JPWO2013145231A1 - 光半導体素子及び光半導体素子の制御方法 - Google Patents
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Abstract
Description
リング導波路と、
前記リング導波路に光学的に接続され、蛇行して前記リング導波路の少なくとも一部を取り囲む蛇行導波路と、
を有し、
前記蛇行導波路は、前記リング導波路から前記蛇行導波路に導波する入射光を吸収して前記リング導波路を加熱する。
13 リング導波路
14 n型半導体層
15、25、35 蛇行導波路
16 p型半導体層
17、18 電圧印加電極
27 直線導波路(入出力導波路)
37、38 金属膜
41 ヒータ
Claims (10)
- リング導波路と、
前記リング導波路に光学的に接続され、蛇行して前記リング導波路の少なくとも一部を取り囲む蛇行導波路と、
を有し、
前記蛇行導波路は、前記リング導波路から前記蛇行導波路に導波する入射光を吸収して前記リング導波路を加熱することを特徴とする光半導体素子。 - 前記蛇行導波路は、不純物がドープされた導波路であることを特徴とする請求項1に記載の光半導体素子。
- 前記リング導波路の外側に位置する第1導電型の半導体層と、
前記リング導波路の内側に位置する第2導電型の半導体層と、
をさらに有し、
前記蛇行導波路は、前記第1導電型の半導体層に形成されることを特徴とする請求項2に記載の光半導体素子。 - 前記第1導電型の半導体層と前記第2導電型の半導体層のそれぞれに電気的に接続される一対の電極、
をさらに有することを特徴とする請求項3に記載の光半導体素子。 - 前記蛇行導波路は、不純物がドープされていないシリコン導波路であり、前記シリコン導波路は第1金属膜で覆われていることを特徴とする請求項1に記載の光半導体素子。
- 前記第1金属膜は、前記シリコン導波路とともに、前記蛇行導波路と前記リング導波路の間に位置する第1導電型の半導体層を被覆することを特徴とする請求項5に記載の光半導体素子。
- 前記リング導波路の内側に位置する第2導電型の半導体層と、
前記第2導電型の半導体層を覆う第2金属膜と、
をさらに有することを特徴とする請求項6に記載の光半導体素子。 - 前記リング導波路を加熱するヒータ、
をさらに有することを特徴とする請求項1に記載の光半導体素子。 - 互いに周回光路長が異なる複数のリング共振器と、
前記複数のリング共振器ごとに設けられる蛇行導波路であって、対応する前記リング共振器に光学的に接続されて前記対応するリング共振器の少なくとも一部を取り囲む蛇行導波路と、
を有し、前記リング共振器の各々に異なる波長の入射光が導波したときに、前記蛇行導波路は対応するリング共振器から導波する前記入射光を吸収して前記対応するリング共振器を加熱することを特徴とする光半導体素子。 - リング共振器と、前記リング共振器に光学的に接続され蛇行して前記リング共振器の少なくとも一部を取り囲む蛇行導波路とを有する光半導体素子に入射光を供給し、
前記光半導体素子を加熱して第1温度まで上昇させ、
前記加熱を停止した後に、前記光半導体素子に電圧を印加して前記入射光に対する変調を開始し、
前記変調中に、前記入射光の一部が前記蛇行導波路に導波して吸収され、前記蛇行導波路からの発熱で前記リング共振器を加熱することによって、前記第1温度より低い第2温度で、前記リング共振器の共振波長を前記入射光の波長に固定する、
ことを特徴とする光変調器の制御方法。
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