JPWO2013129578A1 - 太陽電池の電極用導電性ペースト、太陽電池および太陽電池の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本実施形態で用いる導電性ペーストは、多数のガラス粒子からなるガラスフリットと、銀および銅の少なくとも1種を主成分として、下記の金属元素A1が添加されている導電成分である非ガラス成分と、有機ビヒクル等を含んでいる。ここで、「主成分」とは導電成分を100質量部とした場合に50質量部以上をいうものとする。また、金属元素A1は、バナジウム、ニオブ、タンタル、ロジウム、レニウムおよびオスミウムから選択される少なくとも1種である。
太陽電池の一形態である太陽電池素子の基本構成について説明する。図1〜3に示すように、太陽電池素子10は、光が入射する一主面である表面(受光面、図3における上面)9aと、その反対面である裏面(非受光面、図3における下面)9bを有する。また、太陽電池素子10は、半導体基板1の表面9aに設けられた反射防止膜である反射防止層4および表面電極5と、半導体基板1の裏面9b上に設けられた裏面電極6を備えている。なお、半導体基板1は一導電型層2と、その表面9a側に設けられた逆導電型層3とを有する。
次に、太陽電池素子の具体例について説明する。半導体基板1としては、所定のドーパント元素を有して一導電型(例えば、p型)を呈する、単結晶シリコン基板または多結晶シリコン基板が好適に用いられる。半導体基板1の比抵抗は0.8〜2.5Ω・cm程度である。また、半導体基板1の厚みは、例えば250μm以下とするとよいが、さらに好ましくは150μm以下とする。また、半導体基板1の平面形状は、特に限定されるものではないが、四角形状であれば製法上および多数の太陽電池素子を配列して太陽電池モジュールを構成する際等の観点から好適である。
次に、太陽電池素子10の製造方法について説明する。上述したように、太陽電池素子10は例えばシリコンからなる半導体基板1と、この半導体基板1の一主面上の第1領域に配置された反射防止層4と、半導体基板1の一主面上の第2領域に配置された、上記の導電性ペーストを焼成してなる電極とを備えている。このように構成された太陽電池素子10の製造は、半導体基板1の一主面上に反射防止層4を形成する第1工程と、上述した導電性ペーストを反射防止層4上に配置する第2工程と、上述した導電性ペーストを焼成してこの導電性ペーストの下に位置している反射防止層4を除去することによって、反射防止層4を半導体基板1の第1領域に配置させるとともに半導体基板1の第2領域に電極を形成する第3工程とを含む。
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、以下のように、本発明の範囲内で多くの修正および変更を加えることができる。
図5は、さらに他の太陽電池素子10の一例を裏面9b側から見た平面模式図であり、図6は図5のA−Aにおける構造を模式的に示す断面図である。図5および図6に示すように、太陽電池素子10は、半導体基板1の表面9a側および裏面9b側の両面側略全面に、パッシベーション層が形成されていることを特徴とする。すなわち、n型半導体領域3の上に第1パッシベーション層11とp型半導体領域2上に第2パッシベーション層12が形成されている。第1パッシベーション層11および第2パッシベーション層12は、例えば、ALD(Atomic Layer Deposition:原子層蒸着)法を用いることによって、半導体基板1の全周囲に同時に形成することができる。つまり、半導体基板1の側面9cにも、上記の酸化アルミニウムなどから成るパッシベーション層が形成される。さらに第1パッシベーション層11の上に反射防止層4が形成される。
まず、半導体基板として、平面視して正方形状の1辺が約156mm、厚さが約200μmの多結晶のシリコン基板を複数枚用意した。これらシリコン基板は、ボロンをドープしたことによって、比抵抗1.5Ω・cm程度のp型の導電型を呈する多結晶シリコン基板を用いた。このシリコン基板の表面のダメージ層をNaOH水溶液でエッチングして洗浄を行った。
まず、例1と同様な半導体基板を用いて、例1と同様にして電極形成前までの工程を行ったものを準備した。
例1と同様な半導体基板、工程によって電極形成前まで行ったものを準備した。
例1と同様な半導体基板を用いて、例1と同様にして電極形成前までの工程を行ったものを準備した。
例1と同様な半導体基板を用いて、例1と同様にして電極形成前までの工程を行ったものを準備した。
例1と同様な半導体基板を用いて、例1と同様にして電極形成前まで行ったものを準備した。
次に、例1と同様な半導体基板を用いて、例1と同様にして電極形成前まで行ったものを準備した。
次に、例1と同様な半導体基板を用いて、例1と同様にして電極形成前まで行ったものを準備した。
2 :一導電型層
3 :逆導電型層
4 :反射防止層(反射防止膜)
5 :表面電極
5a :表面出力取出電極
5b :表面集電電極
5c :補助電極
6 :裏面電極
6a :裏面出力取出電極
6b :裏面集電電極
7、14:BSF領域
9a :表面(受光面)
9b :裏面(非受光面)
9c :側面
10 :太陽電池素子(太陽電池)
11:第1パッシベーション層
12:第2パッシベーション層
Claims (13)
- 多数のガラス粒子からなるガラスフリットと、
銀および銅の少なくとも1種を主成分として、下記金属元素A1が添加されている非ガラス成分とを有する、
太陽電池の電極用導電性ペースト。
金属元素A1:バナジウム、ニオブ、タンタル、ロジウム、レニウムおよびオスミウムから選択される少なくとも1種 - 前記非ガラス成分は、前記金属元素A1として下記金属元素A2および下記金属元素A3が添加されている請求項1に記載の太陽電池の電極用導電性ペースト。
金属元素A2:バナジウム、ニオブおよびタンタルから選択される少なくとも1種
金属元素A3:ロジウム、レニウムおよびオスミウムから選択される少なくとも1種 - 前記非ガラス成分は、前記金属元素A1としてバナジウムおよびロジウムの少なくとも一方が添加されている請求項1に記載の太陽電池の電極用導電性ペースト。
- 前記ガラス粒子および前記非ガラス成分の前記主成分となる金属のうち少なくとも一方の表面に前記金属元素A1が担持されている請求項1に記載の太陽電池の電極用導電性ペースト。
- 前記ガラス粒子および前記非ガラス成分の前記主成分となる金属のうち少なくとも一方の表面に前記金属元素A2および前記金属元素A3が担持されている請求項2に記載の太陽電池の電極用導電性ペースト。
- 前記金属元素A2がバナジウムであり、前記金属元素A3がロジウムである請求項5に記載の太陽電池の電極用導電性ペースト。
- 前記非ガラス成分は、前記金属元素A1としてバナジウムが添加されており、銀および銅の少なくとも1種の100質量部に対して、バナジウムが0.05質量部以上1質量部以下で含有されている請求項3に記載の太陽電池の電極用導電性ペースト。
- 前記非ガラス成分は、前記金属元素A1としてロジウムが添加されており、銀および銅の少なくとも1種の100質量部に対して、ロジウムが0.06質量部以上0.5質量部以下で含有されている請求項3に記載の太陽電池の電極用導電性ペースト。
- 前記ガラス粒子中にバナジウム、ニオブおよびタンタルから選択される少なくとも1種の金属元素が含有されており、前記金属元素A1としてロジウム、レニウムおよびオスミウムから選択される少なくとも1種が添加されている請求項1に記載の太陽電池の電極用導電性ペースト。
- 前記ガラス粒子中にバナジウムが含有されており、前記金属元素A1としてロジウムが添加されている請求項9に記載の太陽電池の電極用導電性ペースト。
- 前記ガラス粒子中には前記ガラスフリットの100質量部に対して0.2質量部以上20質量部以下のバナジウムが含有されており、前記非ガラス成分は、銀および銅の少なくとも1種の100質量部に対して、ロジウムが0.06質量部以上1.2質量部以下で含有されている請求項10に記載の太陽電池の電極用導電性ペースト。
- 半導体基板と、
該半導体基板の一主面上の第1領域に配置された反射防止膜と、
前記半導体基板の一主面上の前記第1領域とは異なる領域である第2領域に配置された、請求項1乃至11のいずれかに記載の太陽電池の電極用導電性ペーストを焼成してなる電極とを備えている太陽電池。 - 半導体基板と、該半導体基板の一主面上の第1領域に配置された反射防止膜と、前記半導体基板の一主面上の前記第1領域とは異なる領域である第2領域に配置された電極とを備えている太陽電池の製造方法であって、
前記半導体基板の一主面上に前記反射防止膜を形成する第1工程と、
請求項1乃至11のいずれかに記載の太陽電池の電極用導電性ペーストを前記反射防止膜上に電極パターンで配置する第2工程と、
前記電極用導電性ペーストを焼成して該電極用導電性ペーストの下に位置している前記反射防止膜を除去することによって、前記反射防止膜を前記半導体基板の前記第1領域に配置させるとともに前記半導体基板の前記第2領域に前記電極用導電性ペーストを焼成してなる前記電極を形成する第3工程とを有する太陽電池の製造方法。
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