JPWO2013128621A1 - Organic EL device and manufacturing method thereof - Google Patents
Organic EL device and manufacturing method thereof Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2013128621A1 JPWO2013128621A1 JP2014501919A JP2014501919A JPWO2013128621A1 JP WO2013128621 A1 JPWO2013128621 A1 JP WO2013128621A1 JP 2014501919 A JP2014501919 A JP 2014501919A JP 2014501919 A JP2014501919 A JP 2014501919A JP WO2013128621 A1 JPWO2013128621 A1 JP WO2013128621A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- organic
- substrate
- layer
- connection
- cover layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
有機EL装置において、基板上の接続スペース内で隣接端子間短絡のリスクを低減させることができる。基板2と、基板2上に形成された一つ又は複数の有機EL素子1Uと、基板2上に設けられ、有機EL素子1Uの電極に電気的に接続された複数の接続端子4と、接続端子4と接続端子4間の基板2上を覆う絶縁性のカバー層10と、異方性導電層20を介して実装され、接続端子4と電気的に接続される被接続端子3Aを備える実装部品3とを備え、異方性導電層20は、接続端子4と被接続端子3Aを電気的に接続する導電性粒子22を備え、導電性粒子22は、カバー層10を貫通して接続端子4と被接続端子3Aを電気的に接続する。In the organic EL device, the risk of a short circuit between adjacent terminals in the connection space on the substrate can be reduced. A substrate 2, one or a plurality of organic EL elements 1U formed on the substrate 2, a plurality of connection terminals 4 provided on the substrate 2 and electrically connected to the electrodes of the organic EL elements 1U, and a connection Mounting including an insulating cover layer 10 that covers the substrate 2 between the terminal 4 and the connection terminal 4, and a connected terminal 3 </ b> A that is mounted via the anisotropic conductive layer 20 and electrically connected to the connection terminal 4. The anisotropic conductive layer 20 includes conductive particles 22 that electrically connect the connection terminals 4 and the connected terminals 3A. The conductive particles 22 pass through the cover layer 10 and connect to the connection terminals. 4 and the connected terminal 3A are electrically connected.
Description
本発明は、有機EL装置及びその製造方法に関するものである。 The present invention relates to an organic EL device and a method for manufacturing the same.
有機EL素子を備えた自発光装置(有機EL装置)は、例えば携帯電話の表示画面,車載用或いは家庭用電子機器のモニタ画面,パーソナルコンピュータやテレビジョン受像装置の情報表示画面,宣伝用点灯パネルなどに用いられる各種表示装置として、スキャナやプリンタなどに用いられる各種光源として、一般照明や液晶表示装置のバックライトなどに用いられる照明装置として、また、光電変換機能を利用した光通信用デバイスとして、各種用途及び機種に利用可能なものである。 A self-luminous device (organic EL device) including an organic EL element includes, for example, a display screen of a mobile phone, a monitor screen of an in-vehicle or household electronic device, an information display screen of a personal computer or a television receiver, a lighting panel for advertisement As various display devices used in various applications, as various light sources used in scanners, printers, etc., as illumination devices used in general illumination and backlights of liquid crystal display devices, etc., and as an optical communication device utilizing a photoelectric conversion function It can be used for various applications and models.
有機EL装置は、基板上に有機EL素子が配置されており、有機EL素子は封止部材によって気密に封止される封止領域内に配置されている。有機EL素子の電極は、封止領域の外に引き出された引出電極に接続されており、引出電極は基板の周縁に設けられる接続スペースで駆動素子や配線基板に接続される。 In the organic EL device, an organic EL element is disposed on a substrate, and the organic EL element is disposed in a sealing region that is hermetically sealed by a sealing member. The electrode of the organic EL element is connected to an extraction electrode drawn out of the sealing region, and the extraction electrode is connected to the driving element and the wiring board in a connection space provided at the periphery of the substrate.
引出電極と駆動素子や配線基板との接続は、ACF(Anisotropic Conductive Film:異方性導電フィルム)工法や共晶工法が一般に採用されている。下記特許文献1に記載された従来技術では、封止部材の外側における基板上に有機EL素子に接続される回路パターンが形成され、この回路パターンに対してICチップの実装(COG)やフレキシブルプリント基板の実装(FPC)を行い、回路パターンの露出する部分に樹脂を塗布することが示されている。
In general, an ACF (Anisotropic Conductive Film) method or a eutectic method is used to connect the extraction electrode to the drive element or the wiring board. In the prior art described in
有機EL装置においては、基板上の有機EL素子が配置されている素子形成スペースが発光を得るための有効スペースであり、その外側のスペースは発光が得られない所謂額縁スペースになる。有機EL装置を電子機器や自動車内などの限られたスペースに搭載させる際には、有効スペースである素子形成スペースをできるだけ大きくし、額縁スペースをできるだけ狭くすることが求められる。 In the organic EL device, an element formation space on which an organic EL element is arranged on a substrate is an effective space for obtaining light emission, and the outer space is a so-called frame space where light emission cannot be obtained. When mounting an organic EL device in a limited space such as an electronic device or an automobile, it is required to make the element forming space as an effective space as large as possible and to make the frame space as narrow as possible.
有機EL装置において前述した額縁スペースを狭くするためには、封止領域外側の接続スペースを狭くせざるを得ない。接続スペースを狭くすると、異方性導電層を用いたCOGやFPC実装において、導電性粒子が狭い接続スペース内で接続端子の存在する接続領域から接続端子の存在しない非接続領域に流動して、非接続領域での導電性粒子の過密化が生じる。これによると、非接続領域内で導電性粒子が連なり、接続スペース内の隣接端子間で短絡不良が生じ易くなる問題が生じる。これのような隣接端子間短絡は、高解像度を得るために有機EL素子の電極間隔を密にした場合には更に問題が顕在化することになる。 In order to narrow the frame space described above in the organic EL device, the connection space outside the sealing region must be narrowed. When the connection space is narrowed, in COG or FPC mounting using an anisotropic conductive layer, the conductive particles flow from the connection region where the connection terminal exists within the narrow connection space to the non-connection region where the connection terminal does not exist, Densification of the conductive particles in the non-connected region occurs. According to this, the conductive particles are connected in the non-connection region, and there is a problem that a short circuit failure is likely to occur between adjacent terminals in the connection space. Such a short circuit between adjacent terminals causes a further problem when the electrode interval of the organic EL element is made dense in order to obtain high resolution.
一方、前述した接続スペースにおいては、封止領域から接続端子を引き出して露出させることで、COGやFPC実装が可能になる。これに対して、有機EL素子の封止を封止膜によって行う場合には、接続スペースの接続端子を露出させるために、封止膜の成膜工程に先立って接続スペースを覆うマスクパターンを形成するか、或いは、封止膜の成膜工程後に接続スペース上の封止膜を除去(リフトオフ)することが必要になる。何れの方法による場合も、封止膜の成膜工程に加えて接続端子を露出させるための別工程が必要になり、その工程を実行するための設備が必要になるので、これによってタクト時間の延長と製造コストの高額化が避けられない問題が生じる。 On the other hand, in the connection space described above, COG and FPC can be mounted by pulling out and exposing the connection terminal from the sealing region. On the other hand, when sealing the organic EL element with a sealing film, a mask pattern that covers the connection space is formed prior to the sealing film forming step in order to expose the connection terminals of the connection space. Alternatively, it is necessary to remove (lift off) the sealing film on the connection space after the sealing film forming step. In any method, in addition to the sealing film forming process, a separate process for exposing the connection terminal is required, and equipment for performing the process is required. There is an unavoidable problem that extension and increase in manufacturing cost are inevitable.
本発明は、このような問題に対処することを課題の一例とするものである。すなわち、有機EL装置において、基板上の接続スペース内で隣接端子間短絡のリスクを低減させることができること、有機EL素子の封止を封止膜によって行う場合に、接続スペースにおける接続端子の露出に要する工程と設備を排除し、タクト時間の延長と製造コストの高額化を避けることができること、等が本発明の目的である。 This invention makes it an example of a subject to cope with such a problem. That is, in the organic EL device, the risk of a short circuit between adjacent terminals in the connection space on the substrate can be reduced, and when the organic EL element is sealed with a sealing film, the connection terminal is exposed in the connection space. It is an object of the present invention to eliminate necessary processes and equipment, avoiding an increase in tact time and an increase in manufacturing cost.
このような目的を達成するために、本発明による有機EL装置及びその製造方法は、以下の構成を少なくとも具備するものである。 In order to achieve such an object, an organic EL device and a manufacturing method thereof according to the present invention include at least the following configurations.
基板と、前記基板上に形成された一つ又は複数の有機EL素子と、前記基板上に設けられ、前記有機EL素子の電極に電気的に接続された複数の接続端子と、前記接続端子と前記接続端子間の前記基板上を覆う絶縁性のカバー層と、異方性導電層を介して実装され、前記接続端子と電気的に接続される被接続端子を備える実装部品とを備え、前記異方性導電層は、前記接続端子と前記被接続端子を電気的に接続する導電性粒子を備え、前記導電性粒子は、前記カバー層を貫通して前記接続端子と前記被接続端子を電気的に接続することを特徴とする有機EL装置。 A substrate, one or a plurality of organic EL elements formed on the substrate, a plurality of connection terminals provided on the substrate and electrically connected to electrodes of the organic EL elements, and the connection terminals; An insulating cover layer that covers the substrate between the connection terminals, and a mounting component that is mounted via an anisotropic conductive layer and includes a connected terminal that is electrically connected to the connection terminal, The anisotropic conductive layer includes conductive particles that electrically connect the connection terminals and the connected terminals, and the conductive particles pass through the cover layer to electrically connect the connection terminals and the connected terminals. An organic EL device characterized by being connected.
基板上に有機EL素子を形成すると共に、該有機EL素子の電極に接続される接続端子を前記基板上の接続スペースに形成する工程と、前記接続端子と前記接続スペース内の前記基板上を覆う絶縁性のカバー層を形成する工程と、前記接続スペースに異方性導電層を介して実装部品を実装する実装工程を有し、前記実装工程では、前記基板と前記実装部品とを圧着することで、前記異方性導電層の導電性粒子が前記カバー層を貫通して前記接続端子と前記実装部品の被接続端子を電気的に接続することを特徴とする有機EL装置の製造方法。 Forming an organic EL element on the substrate, forming a connection terminal connected to an electrode of the organic EL element in a connection space on the substrate, and covering the connection terminal and the substrate in the connection space; A step of forming an insulating cover layer; and a mounting step of mounting a mounting component in the connection space via an anisotropic conductive layer, wherein the substrate and the mounting component are pressure-bonded in the mounting step. Then, the conductive particles of the anisotropic conductive layer penetrate the cover layer and electrically connect the connection terminal and the connected terminal of the mounting component.
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態を説明する。本発明の実施形態は図示の内容を含むがこれのみに限定されるものではない。図1は本発明の一実施形態に係る有機EL装置の全体構成を示した説明図である(図1(a)がCOG実装の例であり、図1(b)がFPC実装の例である)。図2は、本発明の実施形態に係る有機EL装置の部分断面図であり、図1(a)におけるX−X断面図を示している。図2(a),(b)はそれぞれ異なる形態例の断面図を示している。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. The embodiment of the present invention includes the contents shown in the drawings, but is not limited thereto. FIG. 1 is an explanatory diagram showing the overall configuration of an organic EL device according to an embodiment of the present invention (FIG. 1A is an example of COG mounting, and FIG. 1B is an example of FPC mounting. ). FIG. 2 is a partial cross-sectional view of the organic EL device according to the embodiment of the present invention, and shows an XX cross-sectional view in FIG. 2A and 2B show cross-sectional views of different embodiments.
有機EL装置1は、基板2と、基板2上に形成された一つ又は複数の有機EL素子1Uと、基板2上に実装された実装部品3を備える。実装部品3としては、例えば、図1(a)に例示すような半導体チップ3−1や図1(b)に例示すようなフレキシブルプリント基板3−2を挙げることができるが、特にこれらに限定されるものではない。
The
基板2上には、有機EL素子1Uが形成される素子形成スペース2aが設けられ、その素子形成スペース2aの外側に接続スペース2bが設けられる。接続スペース2bには、有機EL素子1Uの電極(下部電極11又は上部電極13)に電気的に接続される複数の接続端子4が設けられる。接続端子4は、素子形成スペース2a内の有機EL素子1Uの電極(下部電極11又は上部電極13)と引出配線5や補助電極などを介して電気的に接続されている。また、ここで言う有機EL素子の電極に接続される複数の接続端子には、アクティブマトリックス駆動方式の有機EL装置におけるTFTに接続された接続端子も含まれる。この場合は、接続端子はTFTを介して有機EL素子に間接的に接続されている。また、接続端子4は、金や銅などでメッキ等の処理がなされた複数層構造でもよい。これによって接続端子4による配線の低抵抗化を実現できる。
On the
基板2上の素子形成スペース2a内に形成される有機EL素子1Uは、基板2と封止部材6との間で気密に封止されている。封止部材6としては、図2(a)に示すような封止基板6Aを用い、接着層7を介して基板2と封止基板6Aとを貼り合わせて基板2と封止基板6Aとの間に封止空間6Sを形成するもの(中空封止)であってもよいし、図2(b)に示すような封止膜6Bを用い、封止膜6Bが空間無く有機EL素子1Uの構成要素を覆うもの(膜封止)であってもよい。
The organic EL element 1U formed in the
有機EL素子1Uは、図2(a),(b)に示すように、基板2上に積層されている。この有機EL素子1Uは、下部電極11と有機層12と上部電極13を少なくとも備えている。図示の例では、基板2上に下部電極11が成膜され、その上に有機層12が成膜され、さらにその上に上部電極13が成膜されているが、基板2と下部電極11の間にはいくつかの成膜層が存在していてもよく、下部電極11、有機層12、上部電極13の間に他の層が積層されていてもよい。有機層12は、一つの発光層によって構成されるか、発光するためのいくつかの機能層(正孔注入・輸送層,発光層,電子注入・輸送層など)によって構成される。図示の例では、有機EL素子1Uは、下部電極11上における有機EL素子1U毎の発光領域を絶縁区画する絶縁膜14と、絶縁膜14上に形成され上部電極13を絶縁区画する隔壁15を備える。図示した有機EL素子1Uの構成例は一例であって、本発明の実施形態における有機EL素子1Uの駆動方式は、パッシブ駆動方式、アクティブ駆動方式のいずれであってもよい。
The organic EL element 1U is laminated on the
基板2上の接続スペース2b内には、接続端子4と接続端子4間の基板2上を覆う絶縁性のカバー層10が設けられる。図2(a)に示した例では、カバー層10は接続スペース2b内に単独で形成されている。図2(b)に示した例では、カバー層10は封止膜6Bを延設することで形成されている。この例では、封止膜6Bを基板2の全体に形成することで、接続スペース2b内にカバー層10を形成することができる。接続スペース2b内においては、異方性導電層20を介して実装部品3が実装されており、接続端子4と実装部品3の被接続端子3Aとは異方性導電層20の導電性粒子を介して電気的に接続されている。この際、接続端子4は金や銅などでメッキ等の処理がなされた複数層構造にすることができる。この場合、接続端子4の表面がカバー層10によって覆われているため、腐食し易い金などの金属を接続端子4の表層に使用して積極的に端子の低抵抗化を図ることができる。
In the
図3は、図2におけるX1−X1断面図であり、接続スペース内の接続構造を拡大して示した説明図である。接続スペース2bにおいて、基板2と実装部品3との間に介在する異方性導電層20は、基板2と実装部品3を物理的に接合させる接合層21と接合層21内に分散される導電性粒子22を備える。異方性導電層20としては、熱圧着性の異方性導電フィルム(ACF)や、光硬化性樹脂からなる接合層21に導電性粒子22を分散させたものなどを用いることができる。
FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line X1-X1 in FIG. 2, and is an explanatory diagram showing an enlarged connection structure in the connection space. In the
基板2と実装部品3との圧着が行われる前には、接続スペース2bにおける接続端子4は、絶縁性のカバー層10で個別に覆われることで絶縁区画された状態になっている。そのカバー層10の上に異方性導電層20が形成されて、基板2と実装部品3とが圧着されると、基板2の接続端子4と実装部品3の被接続端子3Aとの間に挟まる導電性粒子22によってカバー層10が貫通されることになる。これによって、接続端子4と被接続端子3Aが対面した接続領域において、導電性粒子22がカバー層10を貫通した箇所で接続端子4と被接続端子3Aとの電気的な接続がなされる。
Before the
この際、隣接する接続端子4,4の間、或いは被接続端子3A,3Aの間の被接続領域では、導電性粒子22に直接圧接力が加わることがないので、この領域では導電性粒子22がカバー層10を貫通することはない。
At this time, since the pressure contact force is not directly applied to the
このような構成を備えた有機EL装置1は、狭額縁化のために接続スペース2bが狭められて接続スペース2bの被接続領域内で導電性粒子22の密度が高まる場合であっても、個々の接続端子4の側面は絶縁性のカバー層10で覆われているので、導電性粒子22が連なった状態になったとしても、隣接する接続端子4,4間での短絡不具合を回避することができる。
Even when the
基板2と実装部品3との圧接によって、基板2の接続端子4と実装部品3の被接続端子3Aとの間に挟まる導電性粒子22がカバー層10を貫通するための条件は、導電性粒子22の硬度,粒径,形態とカバー層10の材質,膜厚との相対関係で試験的に設定することができる。一つの条件としては、導電性粒子22の直径がカバー層10の層厚よりも大きいことが好ましい。しかしながら、接続端子4の表面や被接続端子3Aの表面に微細な突起を設けることで、この条件を満たさなくても接続端子4と被接続端子3Aとの間に挟まる導電性粒子22がカバー層10を貫通することは可能である。
The condition for the
導電性粒子22の形態の一条件としては、導電性粒子22の表面又は全体形状に角部を有することが好ましい。図4は、好ましい導電性粒子22の形態例を模式的に示している。図4(a),(b)に示した例は、全体形状が三角形状又は多角形状であって、全体形状に角部を有している。図4(c),(d),(e)に示した例は、表面に突起を有した形状であって、表面に部分的な角部を有している。
As one condition of the form of the
以下に、前述した有機EL素子1Uの具体的な構成例について説明する。 Below, the specific structural example of the organic EL element 1U mentioned above is demonstrated.
基板2は、光透過性であり、ガラスやプラスチックなど、有機EL素子1Uを支持することができる基材によって形成される。下部電極11を形成する透明導電膜層は、ITO(Indium Tin Oxide),IZO(Indium Zinc Oxide),酸化亜鉛系透明導電膜,SnO2系透明導電膜,二酸化チタン系透明導電膜などの透明金属酸化物を用いることができる。The
下部電極11が複数の電極にパターン形成されている場合は、各電極間の絶縁性を確保するために絶縁膜14が設けられる。この絶縁膜14は、ポリイミド樹脂,アクリル系樹脂,酸化シリコン,窒化シリコンなどの材料が用いられる。絶縁膜14の形成は、絶縁膜14の材料を下部電極11がパターン形成された基板2上に成膜した後、下部電極11上に有機EL素子1U毎の発光領域を形成する開口を形成するパターニングがなされる。具体的には、下部電極11が形成された基板2にスピンコート法により所定の塗布厚となるように膜を形成し、露光マスクを用いて露光処理,現像処理を施すことにより、有機EL素子1Uの開口パターン形状を有する絶縁膜14の層が形成される。この絶縁膜14は、下部電極11のパターン間を埋めると共にその側端部分を一部覆うように形成され、有機EL素子1Uをドットマトリクス状に配置する場合は格子状に形成される。
When the
隔壁15が、マスク等を用いることなく上部電極13のパターンを形成するため、或いは隣り合う上部電極13を完全に電気的に絶縁するために、下部電極11と交差する方向にストライプ状に形成される。具体的には、前述した絶縁膜14の上に感光性樹脂等の絶縁材料を、有機EL素子1Uを形成する有機層12と上部電極13の膜厚の総和より厚い膜厚にスピンコート法等で塗布形成した後、この感光性樹脂膜上に下部電極11に交差するストライプ状パターンを有するフォトマスクを介して紫外線等を照射し、層の厚さ方向の露光量の違いから生じる現像速度の差を利用して、側部が下向きのテーパ面を有する隔壁15を形成する。
The
有機層12は、発光層を含む発光機能層の積層構造を有し、下部電極11と上部電極13の一方を陽極とし他方を陰極とすると、陽極側から順次、正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子輸送層、電子注入層などが選択的に形成される。有機層12の成膜は乾式の成膜として真空蒸着法などが用いられ、湿式の成膜としては塗布や各種の印刷法が用いられる。
The
有機層12の形成例を以下に説明する。例えば先ず、NPB(N,N-di(naphtalence)-N,N-dipheneyl-benzidene)を正孔輸送層として成膜する。この正孔輸送層は、陽極から注入される正孔を発光層に輸送する機能を有する。この正孔輸送層は、1層だけ積層したものでも2層以上積層したものであってもよい。また正孔輸送層は、単一の材料による成膜ではなく、複数の材料により一つの層を形成しても良く、電荷輸送能力の高いホスト材料に電荷供与(受容)性の高いゲスト材料をドーピングしてもよい。
An example of forming the
次に、正孔輸送層の上に発光層を成膜する。一例としては、抵抗加熱蒸着法により、赤(R)、緑(G)、青(B)の発光層を、塗分け用マスクを利用してそれぞれの成膜領域に成膜する。赤(R)としてDCM1(4−(ジシアノメチレン)−2−メチル−6−(4’−ジメチルアミノスチリル)−4H−ピラン)等のスチリル色素等の赤色を発光する有機材料を用いる。緑(G)としてアルミキノリノール錯体(Alq3) 等の緑色を発光する有機材料を用いる。青(B)としてジスチリル誘導体、トリアゾール誘導体等の青色を発光する有機材料を用いる。勿論、他の材料でも、ホスト−ゲスト系の層構成でも良く、発光形態も蛍光発光材料を用いてもりん光発光材料を用いたものであってもよい。 Next, a light emitting layer is formed on the hole transport layer. As an example, red (R), green (G), and blue (B) light-emitting layers are formed in respective film formation regions by using a resistance heating vapor deposition method using a coating mask. As the red (R), an organic material that emits red light such as a styryl dye such as DCM1 (4- (dicyanomethylene) -2-methyl-6- (4'-dimethylaminostyryl) -4H-pyran) is used. An organic material that emits green light such as an aluminum quinolinol complex (Alq3) is used as green (G). As the blue (B), an organic material emitting blue light such as a distyryl derivative or a triazole derivative is used. Of course, other materials or a host-guest layer structure may be used, and the emission form may be a fluorescent light emitting material or a phosphorescent light emitting material.
発光層の上に成膜される電子輸送層は、抵抗加熱蒸着法等の各種成膜方法により、例えばアルミキノリノール錯体(Alq3 )等の各種材料を用いて成膜する。電子輸送層は、陰極から注入される電子を発光層に輸送する機能を有する。この電子輸送層は、1層だけ積層したものでも2層以上積層した多層構造を有してもよい。また、電子輸送層は、単一の材料による成膜ではなく、複数の材料により一つの層を形成しても良く、電荷輸送能力の高いホスト材料に電荷供与(受容)性の高いゲスト材料をドーピングして形成してもよい。 The electron transport layer formed on the light emitting layer is formed using various materials such as an aluminum quinolinol complex (Alq3) by various film forming methods such as resistance heating vapor deposition. The electron transport layer has a function of transporting electrons injected from the cathode to the light emitting layer. This electron transport layer may have a multilayer structure in which only one layer is stacked or two or more layers are stacked. In addition, the electron transport layer may be formed of a plurality of materials instead of a single material, and a guest material having a high charge donating (accepting) property may be formed on a host material having a high charge transport capability. It may be formed by doping.
有機層12上に形成される上部電極13は、こちらが陰極の場合には、陽極より仕事関数の小さい(例えば4eV以下)材料(金属,金属酸化物,金属フッ化物,合金等)を用いることができ、具体的には、アルミニウム(Al),インジウム(In),マグネシウム(Mg)等の金属膜、ドープされたポリアニリンやドープされたポリフェニレンビニレン等の非晶質半導体、Cr2O3,NiO,Mn2O5等の酸化物を使用できる。構造としては、金属材料による単層構造、LiO2/Al等の積層構造等が採用できる。When the
有機EL素子1Uを封止する封止部材6は、中空封止を行う封止基板6Aとしては、ガラス基板や金属基板が用いられる。また、膜封止を行う封止膜6Bとしては、一例として、原子層成長法によって成膜される金属やケイ素の酸化物,窒化物,酸窒化物の単層又は多層膜を用いることができる。例えば、TMA(トリメチルアルミニウム)やTEA(トリエチルアルミニウム)、DMAH(ジメチルアルミニウム水素化物)等のアルキル系金属と、水や酸素、アルコール類との反応で得られるアルミニウム酸化物膜(例えば、Al2O2,Al2O3膜)、ケイ素系材料の気化ガスと水の気化ガスとの反応で得られるケイ素酸化物膜(例えば、SiO2膜)などを用いることができる。For the sealing
カバー層10は、前述したように、導電性粒子22の硬度,直径,形態との関係で適正な材料及び膜厚が選択されるが、封止膜6Bによってカバー層10を形成する場合には、カバー層10は、無機物、特に、Al2O3などのアルミニウム酸化物膜を含むことが好ましい。また、原子層成長法(ALD)によって成膜された層であることが好ましい。As described above, an appropriate material and film thickness are selected for the
図5及び図6は、本発明の実施形態に係る有機EL装置の製造方法を示した説明図である。 5 and 6 are explanatory views showing a method for manufacturing an organic EL device according to an embodiment of the present invention.
図5に示した例は、図2(a)に示した形態例に対応する製造工程を示している。先ず、基板2上に有機EL素子1Uを形成すると共に、有機EL素子1Uの電極(上部電極11,下部電極13)に接続される接続端子4を基板2上の接続スペース2bに形成する(S1工程)。次に、有機EL素子1Uの封止を行う(S2工程)。この工程では、基板2と封止基板6Aとを貼り合わせることで、封止空間6S内で有機EL素子1Uを封止する。
The example shown in FIG. 5 shows a manufacturing process corresponding to the embodiment shown in FIG. First, the organic EL element 1U is formed on the
次に、接続スペース2bにカバー層10を形成し(S3工程)、その上に異方性導電層20を形成する(S4工程)。異方性導電層20の形成は、異方性導電層20がフレキシブル配線基板など実装部品3と一体に形成されている場合は、実装部品3の被接続端子3Aを接続スペース2bに配置することで行われる。異方性導電層20を別途形成する場合には、異方性導電フィルム(ACF)をカバー層10が形成された接続スペース2bに配置する。または、カバー層10が形成された接続スペース2bに導電性粒子22が分散された接合層21を塗布するか、或いは接合層21を塗布した後に、接合層21内に導電性粒子22を分散させる。
Next, the
次に、接続スペース2bにおいて、基板2と実装部品3とを圧着する(S5工程)。基板2と実装部品3との間に介在する異方性導電層20の接合層21が熱溶融性の場合には、加熱しながら基板2と実装部品3との圧着を行う。接合層21が光硬化性樹脂の場合には、樹脂が硬化しない条件下で基板2と実装部品3との圧着を行う。この圧着によって、基板2の接続端子4と実装部品3の被接続端子3Aとの間に挟まる導電性粒子22によってカバー層10が貫通されることになり、接続端子4と被接続端子3Aが対面した接続領域において導電性粒子22を介して接続端子4と被接続端子3Aとの電気的な接続がなされる。その後は、接合層21を硬化させる(S6工程)。接合層21が光硬化性樹脂の場合には、圧着状態を維持したまま、接合層21に紫外線等の光を照射して接合層21を硬化させる。
Next, the
図6に示した例は、図2(b)に示した形態例に対応する製造工程を示している。先ず、前述した例と同様に、基板2上に有機EL素子1Uを形成すると共に、有機EL素子1Uの電極(上部電極11,下部電極13)に接続される接続端子4を基板2上の接続スペース2bに形成する(S1工程)。次に、有機EL素子1Uを封止する封止膜6Bを基板全体に成膜する。この際、有機EL素子1Uの封止が封止膜6Bによって成されると共に、封止膜6Bによって接続スペース2bにカバー層10が形成される。以後の異方性導電膜形成工程(S3−1),実装部品圧着工程(S4−1),接合層硬化工程(S5−1)は、前述したS4工程,S5工程,S6工程と同様である。
The example shown in FIG. 6 shows a manufacturing process corresponding to the embodiment shown in FIG. First, as in the above-described example, the organic EL element 1U is formed on the
図6に示した製造方法によると、封止膜6Bによって有機EL素子1Uの封止を行うに際して、接続スペース2bにおいて接続端子4を露出させるための工程が不要になる。これによって、接続スペース2bにおける接続端子4の露出に要するタクト時間を削除することができると共に、その工程に要する設備を排除できるので、膜封止を行う有機EL装置1の製造工程の短縮化と製造コストの低減化が可能になる。
According to the manufacturing method shown in FIG. 6, when the organic EL element 1U is sealed with the sealing film 6B, a step for exposing the
以上、本発明の実施の形態について図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこれらの実施の形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。上述の各図で示した実施の形態は、その目的及び構成等に特に矛盾や問題がない限り、互いの記載内容を組み合わせることが可能である。また、各図の記載内容はそれぞれ独立した実施形態になり得るものであり、本発明の実施形態は各図を組み合わせた一つの実施形態に限定されるものではない。 As described above, the embodiments of the present invention have been described in detail with reference to the drawings. However, the specific configuration is not limited to these embodiments, and the design can be changed without departing from the scope of the present invention. Is included in the present invention. The embodiments described in the above drawings can be combined with each other as long as there is no particular contradiction or problem in the purpose, configuration, or the like. Moreover, the description content of each figure can become independent embodiment, respectively, and embodiment of this invention is not limited to one embodiment which combined each figure.
Claims (15)
前記基板上に形成された一つ又は複数の有機EL素子と、
前記基板上に設けられ、前記有機EL素子の電極に電気的に接続された複数の接続端子と、
前記接続端子と前記接続端子間の前記基板上を覆う絶縁性のカバー層と、
異方性導電層を介して実装され、前記接続端子と電気的に接続される被接続端子を備える実装部品とを備え、
前記異方性導電層は、前記接続端子と前記被接続端子を電気的に接続する導電性粒子を備え、
前記導電性粒子は、前記カバー層を貫通して前記接続端子と前記被接続端子を電気的に接続することを特徴とする有機EL装置。A substrate,
One or more organic EL elements formed on the substrate;
A plurality of connection terminals provided on the substrate and electrically connected to the electrodes of the organic EL element;
An insulating cover layer covering the substrate between the connection terminals and the connection terminals;
A mounting component including a connected terminal that is mounted via an anisotropic conductive layer and electrically connected to the connection terminal,
The anisotropic conductive layer includes conductive particles that electrically connect the connection terminal and the connected terminal,
The organic EL device according to claim 1, wherein the conductive particles penetrate the cover layer and electrically connect the connection terminal and the connected terminal.
前記接続端子と前記接続スペース内の前記基板上を覆う絶縁性のカバー層を形成する工程と、
前記接続スペースに異方性導電層を介して実装部品を実装する実装工程を有し、
前記実装工程では、前記基板と前記実装部品とを圧着することで、前記異方性導電層の導電性粒子が前記カバー層を貫通して前記接続端子と前記実装部品の被接続端子を電気的に接続することを特徴とする有機EL装置の製造方法。Forming an organic EL element on the substrate and forming a connection terminal connected to an electrode of the organic EL element in a connection space on the substrate;
Forming an insulating cover layer covering the connection terminal and the substrate in the connection space;
A mounting step of mounting a mounting component in the connection space via an anisotropic conductive layer;
In the mounting step, the substrate and the mounting component are pressure-bonded so that the conductive particles of the anisotropic conductive layer penetrate the cover layer to electrically connect the connection terminal and the connected terminal of the mounting component. A method for manufacturing an organic EL device, characterized by comprising:
前記有機EL素子を前記基板との間で封止する封止膜を形成することで、該封止膜によって、前記接続端子と前記接続スペース内の前記基板上を覆う絶縁性のカバー層を形成する工程と、
前記接続スペースに異方性導電層を介して実装部品を実装する実装工程を有し、
前記実装工程では、前記基板と前記実装部品とを圧着することで、前記異方性導電層の導電性粒子が前記カバー層を貫通して前記接続端子と前記実装部品の被接続端子を電気的に接続することを特徴とする有機EL装置の製造方法。Forming an organic EL element on the substrate and forming a connection terminal connected to an electrode of the organic EL element in a connection space on the substrate;
By forming a sealing film for sealing the organic EL element with the substrate, an insulating cover layer is formed by the sealing film to cover the connection terminals and the substrate in the connection space. And a process of
A mounting step of mounting a mounting component in the connection space via an anisotropic conductive layer;
In the mounting step, the substrate and the mounting component are pressure-bonded so that the conductive particles of the anisotropic conductive layer penetrate the cover layer to electrically connect the connection terminal and the connected terminal of the mounting component. A method for manufacturing an organic EL device, characterized by comprising:
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014501919A JPWO2013128621A1 (en) | 2012-03-01 | 2012-03-01 | Organic EL device and manufacturing method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014501919A JPWO2013128621A1 (en) | 2012-03-01 | 2012-03-01 | Organic EL device and manufacturing method thereof |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2013128621A1 true JPWO2013128621A1 (en) | 2015-07-30 |
Family
ID=53770091
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014501919A Pending JPWO2013128621A1 (en) | 2012-03-01 | 2012-03-01 | Organic EL device and manufacturing method thereof |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPWO2013128621A1 (en) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006040589A (en) * | 2004-07-22 | 2006-02-09 | Asahi Glass Co Ltd | Layered product, organic el display element and manufacturing method of organic el display element |
JP2008083365A (en) * | 2006-09-27 | 2008-04-10 | Citizen Miyota Co Ltd | Liquid crystal display device |
JP2009224321A (en) * | 2008-02-18 | 2009-10-01 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | Organic el display |
JP2010244850A (en) * | 2009-04-06 | 2010-10-28 | Toshiba Mobile Display Co Ltd | Organic el display |
-
2012
- 2012-03-01 JP JP2014501919A patent/JPWO2013128621A1/en active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006040589A (en) * | 2004-07-22 | 2006-02-09 | Asahi Glass Co Ltd | Layered product, organic el display element and manufacturing method of organic el display element |
JP2008083365A (en) * | 2006-09-27 | 2008-04-10 | Citizen Miyota Co Ltd | Liquid crystal display device |
JP2009224321A (en) * | 2008-02-18 | 2009-10-01 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | Organic el display |
JP2010244850A (en) * | 2009-04-06 | 2010-10-28 | Toshiba Mobile Display Co Ltd | Organic el display |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102541445B1 (en) | display device | |
US9252398B2 (en) | Organic light emitting diode display device and method of fabricating the same | |
JP4489472B2 (en) | Organic electroluminescence display device | |
US7615924B2 (en) | Organic electroluminescence device panel | |
US8692263B2 (en) | Organic light emitting diode display and manufacturing method thereof | |
CN113838994B (en) | Display panel, flexible display screen, electronic equipment and preparation method of display panel | |
KR20110039061A (en) | Organic light emitting diode display and method of manufacturing the same | |
JP5114215B2 (en) | Optical device and method for manufacturing optical device | |
CN101989613A (en) | Organic el display apparatus | |
JP6439188B2 (en) | Organic EL display panel and organic EL display device | |
JP2007234332A (en) | Method of manufacturing self-luminous panel and self-luminous panel | |
WO2013128621A1 (en) | Organic el device and manufacturing method therefor | |
JP4399202B2 (en) | Manufacturing method of flat panel display device | |
JP2007250251A (en) | Optical device and manufacturing method of optical device | |
JPWO2008018137A1 (en) | Optical device and method for manufacturing optical device | |
JP4741200B2 (en) | Organic EL display and manufacturing method thereof | |
JPWO2013128621A1 (en) | Organic EL device and manufacturing method thereof | |
JP2004355995A (en) | Organic electroluminescent display device and its manufacturing method | |
WO2014041614A1 (en) | Organic el device | |
WO2013145226A1 (en) | El device and method of manufacturing same | |
JP5058690B2 (en) | Organic light emitting device | |
JP2013025961A (en) | Organic el module | |
WO2013128602A1 (en) | Organic el device and manufacturing method therefor | |
JP3867698B2 (en) | Electro-optical device, manufacturing method thereof, and electronic apparatus | |
WO2010023746A1 (en) | Organic el panel |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20150224 |