JPWO2013122022A1 - 画像評価装置及びパターン形状評価装置 - Google Patents
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Abstract
Description
この場合、モデルは各特徴量の重み係数X1、X2、…Xn、bの値となる。図示しないが、モデル化部122にメモリ等の記憶部を設けておき、露光条件の情報とSEM像の輪郭線から得た特徴量は記憶しておく。
Y=X1A1+X2A2+・・・XnAn+b
で露光量を推定することができる。
この場合、モデルは各統計値の重み係数X1、X2、・・・Xn、bの値となる。また、非線形の回帰で求めてもよいし、線形計画法を用いても良い。複数の統計値とその露光条件を用いて学習させて重みを求めてもよい。同様に図10(b)の垂直方向推定部233の統計量算出部2331では、垂直割合乗算部2314で求めた全ての輪郭画素の特徴量の合計値を求め、その平均値や分散値等の統計量を求める。そして、それら求めた複数の統計値と露光条件情報7を用いて、モデル作成部2332で求めた統計量と水平方向の露光条件の関係を示すモデルを作成する。モデル作成部2322、2332で作成したそれぞれのモデルは方向別モデル2104として出力する。
2 露光条件推定部
11、21 輪郭線生成部
11n、1101、1102 輪郭線作成部
12 モデル生成部
13 評価部
22 推定部
30、37 露光条件情報
31、36 SEM画像
32、35 輪郭線生成パラメータ
33 基準パターン
34 モデル
121、221 特徴量算出部
122 モデル化部
131 モデル評価部
132 記憶/選択部
222 モデル演算部
1100 輪郭線記憶部
Claims (26)
- 電子線を用いて撮影した画像から半導体パターンの露光条件を求める画像評価装置において、
SEM画像から3つ以上の輪郭線を生成するためのパラメータを設定する設定部と、
前記設定部に設定されたパラメータを用いてSEM画像から3つ以上の輪郭線を生成する輪郭線生成部と、
基準パターンと前記輪郭線生成部で生成した3つ以上の輪郭線から求めた特徴量を用いて、露光条件を求める推定部を備えたことを特徴とする画像評価装置。 - 前記特徴量は、基準パターンと生成した各輪郭線との間の距離に関する統計量であることを特徴とする請求項1記載の画像評価装置。
- 前記基準パターンは設計データに基づくパターン又は、シミュレーションパターン又は撮影した1枚若しくは複数のSEM像から作成したパターンであることを特徴とする請求項2記載の画像評価装置。
- 電子線を用いて撮影した画像から半導体パターンの露光条件を求める画像評価装置において、
SEM像から3つ以上の輪郭線を生成して得た特徴量と露光条件との関係を示すモデルと、前記モデルに対応する3つ以上の輪郭線を生成する輪郭線生成パラメータ情報を格納する記憶部と、
前記輪郭線生成パラメータ情報を用いてSEM画像から3つ以上の輪郭線を生成する輪郭線生成部と、
基準パターンと前記輪郭線生成部で生成した3つ以上の輪郭線とから求めた特徴量と、前記モデルを用いて、露光条件を求める推定部を備えたことを特徴とする画像評価装置。 - 前記輪郭線生成パラメータ情報は前記輪郭線生成部で輪郭線を生成するための情報であり、輪郭線の数とその数に対応した輪郭線各々を生成するための情報であることを特徴とする請求項4記載の画像評価装置。
- 前記特徴量は、基準パターンと生成した各輪郭線との間の距離に関する統計量であることを特徴とする請求項5記載の画像評価装置。
- 前記基準パターンは設計データに基づくパターン又は、シミュレーションパターン又は撮影した1枚若しくは複数のSEM像から作成したパターンであることを特徴とする請求項6記載の画像評価装置。
- 前記推定部で求めた露光条件に関する値をモニタ上に表示するモニタ手段を備え、前記SEM像の撮影位置に対応する位置に露光条件に関する値を表示することを特徴とする請求項7記載の画像評価装置。
- 複数の半導体パターンの露光条件とそれに対応する複数のSEM画像を用いてモデルを作成する画像評価装置において、
輪郭線生成パラメータ情報を用いて、SEM像から複数の輪郭線を生成する輪郭線生成部と、
前記輪郭線生成部で生成した複数の輪郭線から得た特徴量とSEM画像に対応する露光条件からモデルを作成するモデル生成部と、
前記輪郭線生成パラメータ情報を複数用いて、前記輪郭線生成部と前記モデル生成部を経てそれぞれのモデルを求め、求めた複数のモデルの中から評価の良いモデル及びそれに対応する輪郭線生成パラメータ情報を求める評価部を備えたことを特徴とする画像評価装置。 - 前記輪郭線生成部は3つ以上の輪郭線を生成することを特徴とする請求項9記載の画像評価装置。
- 前記輪郭線生成パラメータ情報は前記輪郭線生成部で輪郭線を生成するための情報であり、輪郭線の数とその数に対応した輪郭線各々を生成するための情報であることを特徴とする請求項10記載の画像評価装置。
- 前記輪郭線生成パラメータ情報の輪郭線の数は3つ以上であることを特徴とする請求項11記載の画像評価装置。
- 前記特徴量は、基準パターンと生成した各輪郭線との間の距離に関する統計量であることを特徴とする請求項12記載の画像評価装置。
- 前記基準パターンは設計データに基づくパターン又は、シミュレーションパターン又は撮影した1枚若しくは複数のSEM像から作成したパターンであることを特徴とする請求項13記載の画像評価装置。
- 前記評価部での評価はモデルの当てはまりの良さの評価を行うことを特徴とする請求項14記載の画像評価装置。
- 電子線を用いて撮影した画像から半導体パターンの露光条件を求める画像評価装置において、複数の輪郭線を生成し、複数の輪郭線について基準パターンとの寸法を測定し、測定結果に基づく値と露光条件との関連性を示すと共に前記複数の輪郭線毎の測定結果に基づく値に異なる重みの設定が可能なモデルを参照して、露光条件を出力する画像評価装置。
- 画像取得装置によって形成される画像に含まれる対象パターンを評価する画像処理装置を備えたパターン形状評価装置において、
前記画像処理装置は、複数の方向について、前記対象パターンの複数の方向の特徴量を求め、当該複数の方向の特徴量に対し、前記複数の方向について割り当てられた重み付けを行い、当該重み付けに基づいて、特定方向の露光条件の調整に要するパラメータを求めることを特徴とするパターン形状評価装置。 - 請求項17において、
前記画像処理装置は、前記対象パターンのホワイトバンド、パターンエッジ、又は輪郭線の方向ごとに前記特徴量を求めることを特徴とするパターン形状評価装置。 - 請求項17において、
前記特定方向は、X方向、及びY方向の2方向であって、前記画像処理装置は、当該当該X方向、及びY方向以外の方向の特徴量を含む複数の特徴量に基づいて、前記パラメータを求めることを特徴とするパターン形状評価装置。 - 請求項17において、
前記画像処理装置は、前記複数の方向の特徴量と、前記パラメータの関係を示すモデル、又はテーブルを用いて前記パラメータを求めることを特徴とするパターン形状評価装置。 - 請求項17において、
前記画像処理装置は、前記特定方向の方向に基づいて、前記重み付けの係数を算出することを特徴とするパターン形状評価装置。 - 請求項17において、
前記画像処理装置は、前記画像取得装置によって形成される画像に含まれる前記対象パターンと、予め記憶された参照パターンを比較して、前記画像に含まれるパターンを評価することを特徴とするパターン形状評価装置。 - 請求項17において、
前記画像処理装置は、ウエハマップ上に露光条件を方向毎に切り替えて表示することができる表示部を備えたことを特徴とするパターン形状評価装置。 - 請求項17において、
前記画像処理装置は、方向毎の特徴量を求める領域をユーザが指定できる指示部を備えたことを特徴とするパターン形状評価装置。 - 画像取得装置によって形成される画像に含まれる対象パターンを評価する画像処理装置を備えたパターン形状評価装置において、
前記画像処理装置は、複数の方向について、前記対象パターンの複数の方向の特徴量を求め、当該特徴量と特定方向の露光条件の調整に要するパラメータとの関係を示すモデルを作成することを特徴とするパターン形状評価装置。 - 請求項25において、
前記画像処理装置は、前記特定方向は垂直と水平の2方向であって、当該特定毎に特徴量と露光量の関係を示すモデルを作成することを特徴とするパターン形状評価装置。
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