JP7199290B2 - パターン断面形状推定システム、およびプログラム - Google Patents
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Description
例えば、特許文献1には、加速電子のエネルギーを変更し、エッジピークの位置の変化を計測することで、エッジ形状や側壁形状を判定する方法が開示されている。
特許文献2には、低角のBSEおよびSE、または低角のBSEと高角のBSEを同時に検出して信号波形を求め、ホールの穴径を上部と下部で検出して側壁傾斜状態等をモニターする方法が開示されている。
特許文献3には、SEMの信号波形と形状のデータベース(ライブラリー)を予め作成し、得られた信号波形を照合することで形状を推定する方法が開示されている。また、特許文献4には、荷電粒子線をチルトさせて照射することにより、側壁形状の情報を得る方法が開示されている。
本明細書の記述は典型的な例示に過ぎず、本開示の特許請求の範囲又は適用例を如何なる意味においても限定するものではない。
異なる信号電子を検出した複数の角度弁別画像を用いて、検出電子の角度に対する信号波形の寸法の変化量から、パターンの各深さにおけるテーパー角情報(断面形状)を推定するシステムについて説明する。このような構成によれば、SEMによるTopView観察であっても、検出角度に対する信号波形の寸法値変化の傾向を評価することで、テーパー形状、テーパー角(順テーパー、逆テーパー、ボーイング等)の推定が可能となる。本実施形態では、主に、SiのL&S(Line & Space)パターンの断面形状推定について説明するが、当該パターンに限定されるものではない。
図1は、本実施形態による半導体計測システム(断面形状推定システムともいう)1の概略構成例を示す図である。
図2は、本実施形態による、荷電粒子線装置の一種である走査型電子顕微鏡(SEM)10の概略構成例を示す図である。
図3は、本実施形態によって推定する断面形状を有するパターン例を示す図である。なお、断面形状推定が可能なのは図3で示すパターン例に限定されるものではない。
図6は、検出角度に対する各パターンの信号値の寸法変化を示す図である。本実施形態では、仰角0~10度の寸法を基準とし、そこからの信号値の寸法変化を閾値毎に評価した(70%、50%、30%の輝度値を示すときのそれぞれの信号値の寸法変化を評価:信号値の寸法は、例えば、輝度値が70%の位置に含まれるピクセル数を測定し、ピクセル数×1ピクセルの寸法により算出することができる)。図6は、信号電子絞り110によって放出信号電子114の仰角を10度から90度まで変化させて得られる信号値の寸法をプロットして得られるグラフである。
図7は、本実施形態によるパターン断面形状推定処理の詳細を説明するためのフローチャートである。
制御装置30は、走査型電子顕微鏡10を制御し、異なる検出角度(信号電子の仰角を変えて)に対する画像(信号)を取得し、演算処理装置20に受け渡す。
制御装置30は、信号電子集束レンズ108に印加する電圧を制御することにより、検出角度(試料106から放出される信号電子の仰角)を、例えば、0度から90度まで10度ずつ変化させる。仰角が小さ過ぎる場合(例えば、0から10度の場合)、試料106から放出される電子が信号電子絞り110で反射せず(電子の広がりが十分でなく信号電子絞り110の孔を全ての電子が通過してしまう)、検出器(第1検出器)9で検出される信号電子が無くなってしまう。この場合には、検出器(第2検出器)13で検出された信号電子のみを用いて画像が形成される。検出器109および113は、試料106において電子線102が照射された場所に対応する明るさの情報を取得する。
なお、各種偏向器や各種レンズへの印加電圧値や走査幅などの測定条件は、例えば、入出力装置50からユーザ(オペレータ)によって入力される。そして、測定条件設定部2011がその入力された測定条件によって走査型電子顕微鏡10を制御するように制御装置30に指示するように構成することができる。
画像特徴量演算部2012は、異なる検出角度に対応する各画像から、画像信号波形の最大輝度を100%、最小輝度を0%としたときの、輝度値が所定値(例えば、30%、50%、70%:必ずしもこれらの値に閾値を設定しなくても良いし、3つ以上の閾値を設定してもよい)を取る箇所の寸法値を導出する(図5参照)。
画像特徴量演算部2012は、対象の各パターン(例えば、図3に示す、ストレート、順テーパー、ストレート+順テーパー、逆テーパー、またはボーイングなど)の測長値の検出角度依存(即ち、図6に示す特性)を導出する。この時点ではパターンの形状は未知であるので、例えばパターンが順テーパーであった場合には図6に示す順テーパーの特定に対応する(類似する)特性が得られる。
画像特徴量演算部2012は、ステップ703で取得した角度依存特性(角度依存性)と基準パターン(例えば、予めメモリ202に格納しておいたストレートパターンの角度依存特性)とを照合し、対象のパターンの断面形状を推定する。例えば、対象のパターンが順テーパー+ストレートのパターンであった場合、全ての位置(70%、50%、30%)における角度依存特性とストレートパターンの角度依存特性とを比較すれば、どの位置(70%)でストレートパターンと同じ特性で、どの位置(50%および30%)でストレートパターンとは異なる特性であることが分かり、この場合、複合形状であると判断することができる。
なお、基準パターン(リファレンス)が無くても、形状推定が可能であるが、基準パターンなど既知のパターンでの検出角に対する寸法変化のデータがある場合には、それとの照合から容易に断面形状を推定することができる。
パターンに含まれるテーパー部分は、それぞれ異なる角度を持って形成することができる。そのため、このテーパー部分の角度を推定することが必要な場合がある。そこで、本実施形態では、一例として、テーパー角度を検出角度の掃引に対する寸法値の変化の傾向から推定するようにしている。
前述のように、仰角弁別は、例えば、信号電子の広がりを制御する信号電子集束レンズ108と信号電子絞り110との組み合わせによって実現することができる。一方、信号電子集束レンズ108を使わず、信号電子絞り110と信号電子偏向器107を用いて仰角弁別を行うことも可能である。この場合、信号電子絞りの穴の形状を変更することにより弁別が可能である。
図12は、推定したパターンの断面形状を表示するGUI画面の構成例を示す図である。オペレータは、GUI1200上で、パターンの深さ情報(Pattern depth)1201を設定する。また、オペレータは、画像を表示する高さ(View height)1202を指定することにより任意の高さでのXY断面画像を表示でき、この場合、図12の左の領域1203にはSEM像(Top View)が表示される。このとき、図12の右上の領域1204には、左のSEM画像で指定した領域(破線)の断面形状が示される。そして、オペレータは、右上の断面プロファイルにマウスのカーソル12041を合わせることで任意の箇所のテーパー角を表示することが可能である。
(i)本実施形態では、角度弁別器を用いて試料から放出される荷電粒子を所定角度で弁別し、角度弁別された信号電子を検出器で検出し、異なる検出角度の信号電子を用いて複数の角度弁別画像を生成し、各角度弁別画像の信号波形から算出したパターン寸法の検出角度に対する変化に基づいて測定対象パターンの側壁形状を推定するようにしている。このようにすることにより、ウェハを破壊することなく、測定対象パターンの側壁形状を把握することができるようになる。また、角度弁別による情報を用いて形状を推定するので、装置構成も複雑にならず、システムを構成するためのコストを抑えることも可能となる。
10 荷電粒子線装置
20 演算処理装置
30 制御装置
40 設計データ記憶装置
50 入出力装置
101 電子銃
102 電子線
103 コンデンサレンズ
104 1次電子偏向器
105 対物レンズ
106 試料
107 信号電子偏向器
108 信号電子集束レンズ
109 検出器
110 信号電子絞り
111 信号電子偏向器
112 エネルギーフィルタ
113 検出器
201 演算処理部
202 メモリ
2011 測定条件設定部
2012 画像特徴量演算部
2013 設計データ抽出部
2014 断面形状推定部
Claims (7)
- 荷電粒子源から放出された荷電粒子ビームを走査する走査偏向器と、試料に対する前記荷電粒子ビームの走査に基づいて得られる荷電粒子を検出する検出器と、前記検出器の前段に配置され、検出すべき荷電粒子を角度で弁別する角度弁別器と、信号電子の軌道上に配置された方位角を制限する信号電子絞りと、当該信号電子絞りに対して前記信号電子の軌道を偏向する偏向器と、を含む荷電粒子線装置と、
前記検出器の出力に基づいて画像の輝度を生成し、当該輝度を用いて画像上の指定された領域の信号波形を演算する演算装置と、を備え、
前記演算装置は、前記偏向器によって検出角度が連続的に掃引されて得られる複数の信号電子であって、前記検出角度が異なる検出角度の信号電子を用いて複数の角度弁別画像を生成し、各角度弁別画像の信号波形から算出したパターン寸法の検出角度に対する変化に基づいて測定対象パターンの側壁形状を推定する、パターン断面形状推定システム。 - 請求項1において、
前記荷電粒子線装置は、さらに、前記検出器の前段に配置され、信号電子の広がりを制御する集束レンズと、前記信号電子の検出角度を制限する信号電子絞りと、を含み、
前記演算装置は、前記検出角度が制限された複数の信号電子であって、検出角度が異なる信号電子を用いて、前記角度弁別画像を生成する、パターン断面形状推定システム。 - 請求項1において、
前記荷電粒子線装置は、さらに、信号電子の軌道上に配置された径方向、周方向に分割された直接検出器を含み、
前記演算装置は、前記直接検出器で検出された信号電子を用いて前記複数の角度弁別画像を生成する、パターン断面形状推定システム。 - 請求項1において、
前記演算装置は、前記各角度弁別画像の信号波形に対して、異なる閾値で求めた寸法値の変化から、前記測定対象パターンの深さ方向の断面形状を推定する、パターン断面形状推定システム。 - 請求項1において、
前記演算装置は、前記測定対象パターンの推定結果に基づいて、パターン形状を分類し、当該パターン形状の情報と、前記測定対象パターンに含まれるテーパー部分のテーパー角度の情報とを表示画面上に表示する、パターン断面形状推定システム。 - 請求項1において、
前記演算装置は、記憶デバイスから断面形状が予め分かっている既知パターンの検出角度に対する寸法の変化をリファレンスとして取得し、前記既知パターンの変化と前記算出したパターン寸法の検出角度に対する変化との差分から前記測定対象パターンの形状を推定する、パターン断面形状推定システム。 - コンピュータに測定対象パターンの断面形状を推定する処理を実行させるためのプログラムであって、
前記処理は、
試料に対する荷電粒子ビームの走査に基づいて得られる荷電粒子を角度弁別して検出された、偏向器によって検出角度が連続的に掃引されて得られる複数の信号電子であって、検出角度が異なる信号電子を用いて、複数の角度弁別画像を生成することと、
各角度弁別画像の信号波形から算出したパターン寸法の検出角度に対する変化に基づいて測定対象パターンの側壁形状を推定することと、
を含むプログラム。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019073517A JP7199290B2 (ja) | 2019-04-08 | 2019-04-08 | パターン断面形状推定システム、およびプログラム |
US16/810,969 US11211226B2 (en) | 2019-04-08 | 2020-03-06 | Pattern cross-sectional shape estimation system and program |
KR1020200030651A KR102369791B1 (ko) | 2019-04-08 | 2020-03-12 | 패턴 단면 형상 추정 시스템, 및 프로그램 |
TW109108765A TWI777143B (zh) | 2019-04-08 | 2020-03-17 | 圖案剖面形狀推定系統及程式 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019073517A JP7199290B2 (ja) | 2019-04-08 | 2019-04-08 | パターン断面形状推定システム、およびプログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020173904A JP2020173904A (ja) | 2020-10-22 |
JP7199290B2 true JP7199290B2 (ja) | 2023-01-05 |
Family
ID=72662668
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019073517A Active JP7199290B2 (ja) | 2019-04-08 | 2019-04-08 | パターン断面形状推定システム、およびプログラム |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11211226B2 (ja) |
JP (1) | JP7199290B2 (ja) |
KR (1) | KR102369791B1 (ja) |
TW (1) | TWI777143B (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7127089B2 (ja) * | 2020-07-21 | 2022-08-29 | 日本電子株式会社 | 荷電粒子線装置及び設定支援方法 |
JP7160870B2 (ja) * | 2020-07-21 | 2022-10-25 | 日本電子株式会社 | 荷電粒子線装置及び設定支援方法 |
JP7381432B2 (ja) * | 2020-10-28 | 2023-11-15 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子線装置 |
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WO2014132757A1 (ja) | 2013-02-26 | 2014-09-04 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
JP2017009334A (ja) | 2015-06-18 | 2017-01-12 | 株式会社ホロン | 電子を用いた超高速検査装置および電子を用いた超高速検査方法 |
JP2017062174A (ja) | 2015-09-25 | 2017-03-30 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置及びパターン測定装置 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62261911A (ja) | 1986-05-08 | 1987-11-14 | Nec Corp | 形状測定方法 |
US5412210A (en) * | 1990-10-12 | 1995-05-02 | Hitachi, Ltd. | Scanning electron microscope and method for production of semiconductor device by using the same |
US7164128B2 (en) | 2003-11-25 | 2007-01-16 | Hitachi High-Technologies Corporation | Method and apparatus for observing a specimen |
JP2007187538A (ja) * | 2006-01-13 | 2007-07-26 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置及びそれを用いた画像取得方法 |
JP5492383B2 (ja) * | 2008-02-27 | 2014-05-14 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査型電子顕微鏡及びこれを用いたパターン寸法計測方法 |
JP2011033423A (ja) * | 2009-07-31 | 2011-02-17 | Hitachi High-Technologies Corp | パターン形状選択方法、及びパターン測定装置 |
EP2511939B1 (en) | 2011-04-13 | 2016-03-23 | ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH | Arrangement and method for the contrast improvement in a charged particle beam device for inspecting a specimen |
JP6316578B2 (ja) | 2013-12-02 | 2018-04-25 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査電子顕微鏡システム及びそれを用いたパターン計測方法並びに走査電子顕微鏡 |
JP2017016755A (ja) * | 2015-06-29 | 2017-01-19 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
JP6742061B2 (ja) * | 2017-01-12 | 2020-08-19 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子線装置 |
JP6668278B2 (ja) * | 2017-02-20 | 2020-03-18 | 株式会社日立ハイテク | 試料観察装置および試料観察方法 |
JP6882972B2 (ja) * | 2017-10-24 | 2021-06-02 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子線装置、断面形状推定プログラム |
-
2019
- 2019-04-08 JP JP2019073517A patent/JP7199290B2/ja active Active
-
2020
- 2020-03-06 US US16/810,969 patent/US11211226B2/en active Active
- 2020-03-12 KR KR1020200030651A patent/KR102369791B1/ko active IP Right Grant
- 2020-03-17 TW TW109108765A patent/TWI777143B/zh active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013122022A1 (ja) | 2012-02-14 | 2013-08-22 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 画像評価装置及びパターン形状評価装置 |
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JP2017009334A (ja) | 2015-06-18 | 2017-01-12 | 株式会社ホロン | 電子を用いた超高速検査装置および電子を用いた超高速検査方法 |
JP2017062174A (ja) | 2015-09-25 | 2017-03-30 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置及びパターン測定装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW202105441A (zh) | 2021-02-01 |
KR20200118756A (ko) | 2020-10-16 |
TWI777143B (zh) | 2022-09-11 |
JP2020173904A (ja) | 2020-10-22 |
US11211226B2 (en) | 2021-12-28 |
US20200321189A1 (en) | 2020-10-08 |
KR102369791B1 (ko) | 2022-03-03 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20211207 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220831 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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