JPWO2013027584A1 - 真空処理装置及び真空処理方法 - Google Patents
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Abstract
プラズマ処理をおこなうときに、絶縁性基板を強く吸着保持できる真空処理装置及び真空処理方法を提供する。接地された真空槽11と、真空槽11に接続された真空排気装置19と、真空槽11内部に配置された吸着装置40と、吸着装置40に設けられた単極3に出力電圧を印加する吸着用電源16と、真空槽11内にプラズマ生成ガスを導入するプラズマ生成ガス導入装置21と、プラズマ生成ガスをプラズマにするプラズマ生成部20とを有し、吸着装置40上に処理対象物6を配置して真空槽11内にプラズマを生成しながら吸着用電源16によって単極3に出力電圧を印加し、処理対象物6を吸着装置に吸着しながらプラズマによって処理する真空処理装置1であって、処理対象物6には絶縁性基板が用いられ、吸着用電源16は正電圧と負電圧とを周期的に変化した出力電圧を単極3に出力する。
Description
本発明は、真空処理装置及び真空処理方法に係り、特に絶縁性基板を吸着保持する吸着装置に関する。
吸着装置は、装置内部の電極に電圧を印加し、処理対象物の基板を静電吸着する装置である。半導体ウェハなどの処理対象物にプラズマ処理を施す場合に、処理対象物を真空処理室内の試料台上に載置固定するために使用されている。
吸着装置には、装置内部の電極に正電圧または負電圧のいずれか一方を印加する単極式と、正電圧が印加される電極と負電圧が印加される電極の両方を持つ双極式とがある。
吸着装置には、装置内部の電極に正電圧または負電圧のいずれか一方を印加する単極式と、正電圧が印加される電極と負電圧が印加される電極の両方を持つ双極式とがある。
従来用いられてきた吸着装置を含む真空処理装置の一般的な構造を図2を用いて説明する。なお、ここでは双極式の吸着装置を用いることにする。一般的な従来の真空処理装置101は真空槽111とプラズマ生成部120とを有している。
真空槽111には真空排気装置119が接続されており、真空排気できるようになっている。真空槽111の内部には絶縁性の台115が配置され、台115の上に吸着装置140が配置されている。台115は真空槽111の壁と吸着装置140とを電気的に絶縁している。吸着装置140は誘電体層105と第一の電極1031、第二の電極1032とを有している。第一の電極1031と第二の電極1032は誘電体層105の内部に配置されている。第一の電極1031と第二の電極1032には吸着用電源116が電気的に接続されており、第一の電極1031には正の直流電圧を、第二の電極1032には負の直流電圧を印加できるようになっている。なお、真空槽111は接地されており、接地電位に置かれている。
プラズマ生成部120は筒型のプラズマ生成容器134と、プラズマ生成容器134の外側の側面を巻回するコイル136とを有している。プラズマ生成容器134の底面は開口となっており、開口の縁は真空槽111に設けられた開口の縁と接触し、プラズマ生成容器134の内部と真空槽111の内部はつながっている。プラズマ生成容器134にはプラズマ生成ガス導入装置121が接続されており、プラズマ生成ガスをプラズマ生成容器134の内部に供給することができる。コイル136には交流電源135が接続されており、交流電源135からコイル136に交流電流を流すと、プラズマ生成容器134の内部に高周波磁界が生じるようになっている。高周波磁界によってプラズマ生成ガスを電離することができる。
このような構造を持つ真空処理装置101を用いてプラズマによる真空処理を行うには、まず、真空排気装置119によってプラズマ生成容器134と真空槽111の内部を真空排気し、真空雰囲気を維持する。
次に、処理対象物106を真空槽111内に搬入し、誘電体層105に載せる。吸着用電源116を起動し、第一の電極1031に正の直流電圧を、第二の電極1032に負の直流電圧を印加する。この電圧印加によって処理対象物106と誘電体層105との間に吸着力が働く。
ここで、双極式吸着装置の吸着原理を図3を用いて簡単に説明する。第一の電極1031と第二の電極1032の作る電界の影響を受けて、誘電体層105は誘電分極を起こす。そして、誘電体層105の表面に電荷が生じる。正電荷と負電荷の分布は図3に示されているように、誘電体層105の表面上で第一の電極1031に近い所は正の電荷を帯び、誘電体層105の表面上で第二の電極1032に近い所は負の電荷を帯びる。誘電体層105表面の電荷は誘電体層105の上方に非一様な電界を作り出す。処理対象物106は電界の影響を受けて分極を起こす。電界が非一様であるために、分極により生じた双極子には、グラディエント力が働き(一様な電界中では双極子に働く力の合力はゼロニュートンとなる)、処理対象物106が誘電体層105の方に引きつけられる。
処理対象物106と誘電体層105とを吸着させた後、交流電源135を起動し、コイル136に交流電流を流し、プラズマ生成容器134の内部に高周波磁界を発生させる。プラズマ生成ガス導入装置121から、プラズマ生成容器134の内部にプラズマ生成ガスを導入すると、プラズマ生成ガスが高周波磁界によって電離されプラズマとなる。プラズマはプラズマ生成容器134の内部から真空槽111の内部に拡散して処理対象物106に接触し、処理対象物106をエッチングする。
エッチング終了後、吸着用電源116による電圧印加を終了し、処理対象物106と誘電体層105との吸着力が消失した後、処理済みの処理対象物106を真空槽111内から搬出し、次の処理対象物106を誘電体層105に載せる。
上記の双極式の吸着装置140の問題点は、処理対象物106と誘電体層105とはグラディエント力によって吸着しているため吸着力が弱く、誘電体層105を加熱または冷却して処理対象物106を加熱または冷却しようとしても熱を伝える効率が悪いため、処理対象物106を所望の温度にすることが困難なことである。
本発明は上記従来技術の不都合を解決するために創作されたものであり、その目的は、プラズマ処理をおこなうときに、絶縁性基板を強く吸着保持できる真空処理装置及び真空処理方法を提供することである。
上記課題を解決するために本発明は、接地電位に接続された真空槽と、前記真空槽に接続された真空排気装置と、前記真空槽内部に配置された吸着装置と、前記吸着装置に設けられた単極と、前記単極に電気的に接続された吸着用電源と、前記真空槽内にプラズマ生成ガスを導入するプラズマ生成ガス導入装置と、前記プラズマ生成ガスをプラズマにするプラズマ生成部とを有し、前記吸着装置上に処理対象物を配置して前記真空槽内に前記プラズマを生成しながら前記吸着用電源によって前記単極に電圧を印加し、前記処理対象物を前記吸着装置に吸着しながらプラズマによって処理する真空処理装置であって、前記プラズマ生成部は前記単極とは離間して配置され、前記処理対象物には絶縁性基板が用いられ、
前記単極には、前記吸着用電源から、正電圧と負電圧との間で周期的に変化する吸着電圧が印加される真空処理装置である。
また、本発明は、前記吸着装置表面には溝が形成され、前記溝には、前記溝に熱伝導性ガスを供給する熱伝導性ガス供給装置が接続された真空処理装置である。
本発明は、前記吸着用電源は、前記正電圧の印加時間が、前記負電圧の印加時間以下の時間にされた前記吸着電圧を出力するように設定された真空処理装置である。
さらに、本発明は、前記吸着用電源は、前記正電圧を1秒以上の時間で出力するように設定された真空処理装置である。
本発明は、接地電位に接続された真空槽と、前記真空槽に接続された真空排気装置と、前記真空槽内部に配置された吸着装置と、前記吸着装置に設けられた単極と、前記単極に電気的に接続された吸着用電源と、前記真空槽内にプラズマ生成ガスを導入するプラズマ生成ガス導入装置と、前記プラズマ生成ガスをプラズマにするプラズマ生成部とを有し、前記プラズマ生成部は前記単極とは離間して配置された真空処理装置を用い、前記吸着装置上に処理対象物を配置して前記真空槽内に前記プラズマを生成しながら前記吸着用電源によって前記単極に電圧を出力し、前記処理対象物を前記吸着装置に吸着しながらプラズマによって処理する真空処理方法であって、前記処理対象物に絶縁性基板を用い、前記処理対象物を前記プラズマに接触させながら、正電圧と負電圧とが周期的に変化する吸着電圧を前記吸着用電源から出力させ、前記吸着電圧を前記単極に印加して前記処理対象物を前記吸着装置に吸着させる真空処理方法である。
本発明は、前記絶縁性基板はサファイアである真空処理方法である。
本発明は、前記吸着電圧は、前記正電圧の印加時間が前記負電圧の印加時間以下の時間にされた真空処理方法である。
本発明は、前記正電圧の印加時間は1秒以上にされた真空処理方法である。
本発明は、前記プラズマで前記処理対象物を真空処理する際に、前記吸着装置表面と前記絶縁性基板との間に熱伝導性ガスを導入する真空処理方法である。
前記単極には、前記吸着用電源から、正電圧と負電圧との間で周期的に変化する吸着電圧が印加される真空処理装置である。
また、本発明は、前記吸着装置表面には溝が形成され、前記溝には、前記溝に熱伝導性ガスを供給する熱伝導性ガス供給装置が接続された真空処理装置である。
本発明は、前記吸着用電源は、前記正電圧の印加時間が、前記負電圧の印加時間以下の時間にされた前記吸着電圧を出力するように設定された真空処理装置である。
さらに、本発明は、前記吸着用電源は、前記正電圧を1秒以上の時間で出力するように設定された真空処理装置である。
本発明は、接地電位に接続された真空槽と、前記真空槽に接続された真空排気装置と、前記真空槽内部に配置された吸着装置と、前記吸着装置に設けられた単極と、前記単極に電気的に接続された吸着用電源と、前記真空槽内にプラズマ生成ガスを導入するプラズマ生成ガス導入装置と、前記プラズマ生成ガスをプラズマにするプラズマ生成部とを有し、前記プラズマ生成部は前記単極とは離間して配置された真空処理装置を用い、前記吸着装置上に処理対象物を配置して前記真空槽内に前記プラズマを生成しながら前記吸着用電源によって前記単極に電圧を出力し、前記処理対象物を前記吸着装置に吸着しながらプラズマによって処理する真空処理方法であって、前記処理対象物に絶縁性基板を用い、前記処理対象物を前記プラズマに接触させながら、正電圧と負電圧とが周期的に変化する吸着電圧を前記吸着用電源から出力させ、前記吸着電圧を前記単極に印加して前記処理対象物を前記吸着装置に吸着させる真空処理方法である。
本発明は、前記絶縁性基板はサファイアである真空処理方法である。
本発明は、前記吸着電圧は、前記正電圧の印加時間が前記負電圧の印加時間以下の時間にされた真空処理方法である。
本発明は、前記正電圧の印加時間は1秒以上にされた真空処理方法である。
本発明は、前記プラズマで前記処理対象物を真空処理する際に、前記吸着装置表面と前記絶縁性基板との間に熱伝導性ガスを導入する真空処理方法である。
処理対象物と単極式吸着装置との間に働く吸着力を強くすることができる。
本発明の真空処理装置の構造を図1を用いて説明する。本発明の真空処理装置1は、金属製の真空槽11とプラズマ生成部20とを有している。
真空槽11には真空排気装置19が接続されており、真空槽11の内部を真空排気できるようになっている。真空槽11の内部には絶縁性の台15が配置され、台15の上に吸着装置40が配置されている。台15は真空槽11の壁と吸着装置40とを電気的に絶縁している。なお、真空槽11は接地されており、接地電位に置かれている。
真空槽11には真空排気装置19が接続されており、真空槽11の内部を真空排気できるようになっている。真空槽11の内部には絶縁性の台15が配置され、台15の上に吸着装置40が配置されている。台15は真空槽11の壁と吸着装置40とを電気的に絶縁している。なお、真空槽11は接地されており、接地電位に置かれている。
吸着装置40は誘電体層5と単極3とを有している。誘電体層5は単極3の上に配置されている。単極3には、真空槽11の外部に配置された吸着用電源16が電気的に接続されている。吸着用電源16は、単極3に印加される出力電圧の大きさと極性とを変更できるようになっている。
単極3は、一枚の導電性の電極板で構成してもよいし、複数の導電性の電極板で構成してもよい。
単極3が複数の電極から構成されている場合、すべての電極に同一の極性で同一の大きさの電圧が印加される。誘電体層5の表面と単極3との間には、単極3以外の異なる極性又は異なる大きさの電圧が印加される電極は配置されていない。
単極3が複数の電極から構成されている場合、すべての電極に同一の極性で同一の大きさの電圧が印加される。誘電体層5の表面と単極3との間には、単極3以外の異なる極性又は異なる大きさの電圧が印加される電極は配置されていない。
真空槽11内には棒状の基板昇降器具18が配置されており、基板昇降器具18には基板昇降制御装置17が接続されている。基板昇降制御装置17は基板昇降器具18を上下に動かすことができるようになっている。基板昇降器具18が吸着装置40の下方から上方に突き出ることができるように誘電体層5と単極3には穴が設けられている。
誘電体層5の表面には溝28が設けられている。溝28は誘電体層5の内部にあり、誘電体層5の表面に溝28の開口が位置している。溝28の底面と側面は誘電体層5であり、溝28の両端は誘電体層5で閉ざされている。板状の処理対象物6が誘電体層5の上に載せられたとき、処理対象物6が溝28の開口に露出し、溝28は誘電体層5と処理対象物6の下方を向いた面(以下、裏面という)によって囲まれ、閉塞された空間となるようになっている。溝28には穴が形成されており、その穴には熱伝導性ガス供給装置10が接続されており、溝28に熱伝導性ガスを供給できるようになっている。
処理対象物6が誘電体層5の上に載せられた状態で、熱伝導性ガスを供給すると、誘電体層5と処理対象物6によって囲まれた空間が熱伝導性ガスで満たされる。
処理対象物6の裏面と誘電体層5の表面との間には、処理対象物6と誘電体層5の微少な不均一さに起因して隙間が生じており、溝28内の空間から熱伝導性ガスがその隙間に進入すると、熱伝導性ガスは処理対象物6と誘電体層5の両方に接触し、処理対象物6と誘電体層5との間で熱が伝わりやすくなる。
処理対象物6の裏面と誘電体層5の表面との間には、処理対象物6と誘電体層5の微少な不均一さに起因して隙間が生じており、溝28内の空間から熱伝導性ガスがその隙間に進入すると、熱伝導性ガスは処理対象物6と誘電体層5の両方に接触し、処理対象物6と誘電体層5との間で熱が伝わりやすくなる。
吸着装置40の下には吸着装置40と接触して温度調整器29が配置されており、温度調整器29には熱電源30が電気的に接続されている。熱電源30を起動すると温度調整器29は加熱または冷却され、熱伝導により温度調整器29に接触している誘電体層5が加熱または冷却されるようになっている。誘電体層5が加熱または冷却されると、誘電体層5との接触によって熱伝導性ガスが加熱または冷却され、加熱または冷却された熱伝導性ガスが処理対象物6に接触し、処理対象物6が加熱または冷却される。
真空槽11には熱伝導性ガス流量測定装置24が接続されており、処理対象物6を誘電体層5に載せたとき、熱伝導性ガス流量測定装置24によって、誘電体層5と処理対象物6との間からリークする熱伝導性ガスの流量を測定できるようになっている。
プラズマ生成部20は筒型のプラズマ生成容器34と、プラズマ生成容器34の外側の側面を巻き回すコイル36とを有している。プラズマ生成容器34の底面は開口となっており、開口の縁は真空槽11に設けられた開口の縁と接触し、プラズマ生成容器34の内部と真空槽11の内部はつながっている。
プラズマ生成容器34にはプラズマ生成ガス導入装置21が接続されており、プラズマ生成ガスをプラズマ生成容器34の内部に供給することができる。コイル36にはプラズマ生成用交流電源35が電気的に接続されており、プラズマ生成用交流電源35からコイル36に交流電流を流すと、プラズマ生成容器34の内部に高周波磁界(交流磁界)が生じるようになっている。高周波磁界によってプラズマ生成ガスはプラズマ生成容器34内で電離され、プラズマ生成ガスのプラズマがプラズマ生成容器34内で生成される。プラズマ生成部20の各部材は、単極3とは離間して配置されている。
プラズマ生成容器34にはプラズマ生成ガス導入装置21が接続されており、プラズマ生成ガスをプラズマ生成容器34の内部に供給することができる。コイル36にはプラズマ生成用交流電源35が電気的に接続されており、プラズマ生成用交流電源35からコイル36に交流電流を流すと、プラズマ生成容器34の内部に高周波磁界(交流磁界)が生じるようになっている。高周波磁界によってプラズマ生成ガスはプラズマ生成容器34内で電離され、プラズマ生成ガスのプラズマがプラズマ生成容器34内で生成される。プラズマ生成部20の各部材は、単極3とは離間して配置されている。
このような構造を持つ真空処理装置1を用いて真空処理をおこなう手順をプラズマ加工を例に説明する。なお、処理対象物6は絶縁性基板であり、プラズマで削らない部分は有機化合物の薄膜で覆われているものとする。
ここでは処理対象物6にサファイア(Al2O3)を用いる。処理対象物6としてはサファイアの他に、窒化ガリウム(GaN)、石英(SiO2)、炭化ケイ素(SiC)、セレン化亜鉛(ZnSe)、酸化亜鉛(ZnO)を用いることができる。また、アルミニウムガリウムヒ素(AlGaAs)、ガリウムヒ素リン(GaAsP)、インジウム窒化ガリウム(InGaN)、アルミニウム窒化ガリウム(AlGaAs)、リン化ガリウム(GaP)、アルミニウムインジウムガリウムリン(AlGaInP)の薄膜で覆われた絶縁性基板も用いられる。
ここでは処理対象物6にサファイア(Al2O3)を用いる。処理対象物6としてはサファイアの他に、窒化ガリウム(GaN)、石英(SiO2)、炭化ケイ素(SiC)、セレン化亜鉛(ZnSe)、酸化亜鉛(ZnO)を用いることができる。また、アルミニウムガリウムヒ素(AlGaAs)、ガリウムヒ素リン(GaAsP)、インジウム窒化ガリウム(InGaN)、アルミニウム窒化ガリウム(AlGaAs)、リン化ガリウム(GaP)、アルミニウムインジウムガリウムリン(AlGaInP)の薄膜で覆われた絶縁性基板も用いられる。
まず、真空排気装置19によって真空槽11の内部とプラズマ生成容器34の内部を真空排気し、真空雰囲気に保つ。
基板昇降制御装置17を起動し、基板昇降器具18を吸着装置40の上方に突き出させておく。真空処理装置1内の真空雰囲気を維持しながら処理対象物6を真空槽11内に搬入し、基板昇降器具18に載せる。基板昇降制御装置17を起動し、基板昇降器具18とともに処理対象物6を降下させ、処理対象物6を誘電体層5の上に載せる。
基板昇降制御装置17を起動し、基板昇降器具18を吸着装置40の上方に突き出させておく。真空処理装置1内の真空雰囲気を維持しながら処理対象物6を真空槽11内に搬入し、基板昇降器具18に載せる。基板昇降制御装置17を起動し、基板昇降器具18とともに処理対象物6を降下させ、処理対象物6を誘電体層5の上に載せる。
処理対象物6を吸着装置40に吸着するために、吸着用電源16を起動して、単極3に吸着電圧を印加する。ここでは、吸着電圧として正電圧と負電圧を交互に印加する。熱伝導性ガス供給装置10から溝28内への熱伝導性ガスの導入を開始し、熱電源30を起動し処理対象物6を冷却する。ここでは熱伝導性ガスとしてヘリウムガスを用いる。以後、誘電体層5と処理対象物6との間の隙間からリークする熱伝導性ガスの流量を熱伝導性ガス流量測定装置24で測定し続ける。
本発明においては、熱伝導性ガスによる吸着力測定方法を用いる。処理対象物6と誘電体層5が強く吸着していれば、処理対象物6と誘電体層5との隙間からリークするヘリウムガスの流量が少なく、逆に吸着力が小さければリークするヘリウムガスの流量が多くなるため、リークするヘリウムガスの流量を測定することで、処理対象物6と誘電体層5との間の吸着力を測定することができる。
プラズマ生成用交流電源35を起動し、コイル36に交流電流を流し、プラズマ生成ガス導入装置21からプラズマ生成容器34の内部にプラズマ生成ガス(エッチングガス)を導入する。導入されたプラズマ生成ガスが高周波磁界によって電離されプラズマが発生する。生成されたプラズマが導体となって吸着装置40と処理対象物6との間に吸着力が働くとともに、処理対象物6の有機化合物の薄膜でマスクされていない部分がエッチングされる。
エッチング終了後、吸着用電源16による電圧印加を終了し、処理対象物6と吸着装置40との吸着力が消失した後、基板昇降制御装置17を動作させ、処理対象物6を上昇させて、処理対象物6と誘電体層5とを引き離す。処理対象物6を真空槽11から搬出し、次の処理対象物6を真空槽11内に搬入し基板昇降器具18の上に載せる。
なお、ここではプラズマ生成部20は、真空槽11内に交流磁界を形成してプラズマ生成容器34の内部でプラズマを生成するように構成されていた(誘導結合方式)が、真空槽やプラズマ生成容器の内部に二個一組の電極を配置し、配置された一組の二個の電極に、互いに逆極性の高周波電圧(交流電圧)を印加して放電させてプラズマを生成するように構成してもよいし(RF方式)、真空槽やプラズマ生成容器の内部に配置された一組の電極に互いに逆極性の直流電圧を印加して放電させてプラズマを生成するように構成してもよい(DC方式)。
また、ここでは図1の真空処理装置1をエッチングに利用したが、エッチングに限らず、洗浄、活性化、成膜にも用いることができる。
また、ここでは図1の真空処理装置1をエッチングに利用したが、エッチングに限らず、洗浄、活性化、成膜にも用いることができる。
<実施例1>
上記単極3に印加する、正電圧と負電圧を含んで周期的な変化を繰り返えす吸着電圧として、負、ゼロ、正、ゼロをそれぞれ10秒ごとに切り替える電圧を単極3に印加する。このときのヘリウムリーク量の変化を測定した結果を図4に示す。図4において、印加する吸着電圧を正にしたときにヘリウムリーク量(リークするヘリウムガスの流量)が増加し吸着力が弱くなるが、印加する出力電圧を負にしたときはヘリウムリーク量が減少し吸着力が回復することが示されている。つまり、上記のような周期的な出力電圧の印加によって、継続的に吸着が可能であることが示されている。
上記単極3に印加する、正電圧と負電圧を含んで周期的な変化を繰り返えす吸着電圧として、負、ゼロ、正、ゼロをそれぞれ10秒ごとに切り替える電圧を単極3に印加する。このときのヘリウムリーク量の変化を測定した結果を図4に示す。図4において、印加する吸着電圧を正にしたときにヘリウムリーク量(リークするヘリウムガスの流量)が増加し吸着力が弱くなるが、印加する出力電圧を負にしたときはヘリウムリーク量が減少し吸着力が回復することが示されている。つまり、上記のような周期的な出力電圧の印加によって、継続的に吸着が可能であることが示されている。
<実施例2>
上記単極3に印加する、正電圧と負電圧を含んで周期的な変化を繰り返す吸着電圧を、ゼロ、負、ゼロ、正の繰り返しとし、正電圧の印加時間を負電圧の印加時間に比べて短くする。ただし、正電圧の印加時間は1秒以上とする。例えば、ゼロ、負、ゼロ、正の印加時間をそれぞれ、4.5秒、50秒、4.5秒、1秒とする。このときのヘリウムリーク量の測定データは図5のようになる。正の電圧を印加するとヘリウムリーク量が増加していくが、図5における正電圧印加時間が図4の場合に比べて短いため、ヘリウムリーク量の増分が図4の場合に比べて小さい。このような電圧印加過程によってヘリウムリーク量を図4の場合よりも低い状態に維持でき、したがって吸着力が強い状態に維持できる。
上記単極3に印加する、正電圧と負電圧を含んで周期的な変化を繰り返す吸着電圧を、ゼロ、負、ゼロ、正の繰り返しとし、正電圧の印加時間を負電圧の印加時間に比べて短くする。ただし、正電圧の印加時間は1秒以上とする。例えば、ゼロ、負、ゼロ、正の印加時間をそれぞれ、4.5秒、50秒、4.5秒、1秒とする。このときのヘリウムリーク量の測定データは図5のようになる。正の電圧を印加するとヘリウムリーク量が増加していくが、図5における正電圧印加時間が図4の場合に比べて短いため、ヘリウムリーク量の増分が図4の場合に比べて小さい。このような電圧印加過程によってヘリウムリーク量を図4の場合よりも低い状態に維持でき、したがって吸着力が強い状態に維持できる。
負の電圧を印加し続けると次第に吸着力が弱くなっていくことが分かっている。そのため、正の電圧印加を印加する時間が必要になるが、正電圧の印加を続けると次第に吸着力が弱くなってしまう。負電圧に戻したときに吸着力が回復するために必要とされる正電圧印加時間は1秒でもよい。1秒間の正電圧印加経過後は速やかに負電圧に戻すことで吸着力を維持することができる。
負電圧のバッググランドに正電圧のパルスをかけた周期的電圧印加過程であって、正電圧の印加時間が負電圧の印加時間に比べて短く、かつ正電圧印加時間が1秒以上であるような電圧印加過程が吸着力維持に有効である。
<比較例1>
上記単極3に印加する、正電圧と負電圧を含んで周期的な変化を繰り返す出力電圧を負の直流電圧に代えた場合、ヘリウムリーク量の変化は図6のようになる。図6にはコイル36に供給する電力が700W時と300W時のグラフが描かれており、双方とも時間が経過するとヘリウムリーク量が増加していくこと、つまり処理対象物6と吸着装置40との間の吸着力が小さくなっていくことを示している。さらに、吸着力の減少の度合いはプラズマに依存しており、コイル36を通じてプラズマに供給される電力が大きい方が吸着力の減少が早いことが読み取れる。
上記単極3に印加する、正電圧と負電圧を含んで周期的な変化を繰り返す出力電圧を負の直流電圧に代えた場合、ヘリウムリーク量の変化は図6のようになる。図6にはコイル36に供給する電力が700W時と300W時のグラフが描かれており、双方とも時間が経過するとヘリウムリーク量が増加していくこと、つまり処理対象物6と吸着装置40との間の吸着力が小さくなっていくことを示している。さらに、吸着力の減少の度合いはプラズマに依存しており、コイル36を通じてプラズマに供給される電力が大きい方が吸着力の減少が早いことが読み取れる。
<比較例2>
図7に、上記単極3に印加する出力電圧を10秒毎に変化させた場合のヘリウムリーク量の変化を示した。図7において0秒から100秒までは、ゼロ、負、ゼロ、正の電圧を繰り返し印加している。ただし、電圧の大きさは前掲の図4の場合の2倍である。
図4に示されているように、負電圧、ゼロ電圧を印加しているときは正電圧印加のときに比べてヘリウムリーク量が少なく、吸着力が強いが、10秒間の正電圧印加のときに、ヘリウムリーク量が増加していき、吸着力が弱くなっている。
図7に、上記単極3に印加する出力電圧を10秒毎に変化させた場合のヘリウムリーク量の変化を示した。図7において0秒から100秒までは、ゼロ、負、ゼロ、正の電圧を繰り返し印加している。ただし、電圧の大きさは前掲の図4の場合の2倍である。
図4に示されているように、負電圧、ゼロ電圧を印加しているときは正電圧印加のときに比べてヘリウムリーク量が少なく、吸着力が強いが、10秒間の正電圧印加のときに、ヘリウムリーク量が増加していき、吸着力が弱くなっている。
100秒から190秒までは、ゼロ電圧と負電圧が交互に印加されている。160秒の時点で、ヘリウムリーク量が100秒から150秒までに比べ急増している。このことから、ゼロ電圧と負電圧の繰り返しでは吸着力を維持できる時間はせいぜい60秒であり、それ以上吸着力を維持するためには正電圧印加が必須であることが示唆される。
要するに、負電圧の印加は正電圧の印加時間以上であり、正電圧の印加時間は1秒以上10秒未満である。
要するに、負電圧の印加は正電圧の印加時間以上であり、正電圧の印加時間は1秒以上10秒未満である。
190秒から240秒にかけては、第一の負電圧と、第一の負電圧の絶対値よりも小さな絶対値を持つ第二の負電圧を交互に印加している。第二の負電圧を印加したときにヘリウムリーク量が増加し、吸着力を維持できていないことが分かる。
240秒から280秒までは、ゼロ電圧と正電圧が交互に印加されている。10秒間の正電圧印加のときにヘリウムリーク量が増加し、吸着力を維持できていないことが分かる。280秒以後は、80秒間のうち10秒間を正に印加し、残りの70秒間はゼロまたは負の電圧を印加している。この過程においても、ヘリウムリーク量を抑えておくことができず、吸着力を維持できていないことが分かる。
1……真空処理装置
3……単極
5……誘電体層
6……処理対象物
10……熱伝導性ガス供給装置
11……真空槽
16……吸着用電源
19……真空排気装置
20……プラズマ生成部
21……プラズマ生成ガス導入装置
28……溝
40……吸着装置
3……単極
5……誘電体層
6……処理対象物
10……熱伝導性ガス供給装置
11……真空槽
16……吸着用電源
19……真空排気装置
20……プラズマ生成部
21……プラズマ生成ガス導入装置
28……溝
40……吸着装置
上記課題を解決するために本発明は、接地電位に接続された真空槽と、前記真空槽に接続された真空排気装置と、前記真空槽内部に配置された吸着装置と、前記吸着装置に設けられた単極と、前記単極に電気的に接続された吸着用電源と、前記真空槽内にプラズマ生成ガスを導入するプラズマ生成ガス導入装置と、前記プラズマ生成ガスをプラズマにするプラズマ生成部とを有し、前記吸着装置上に処理対象物を配置して前記真空槽内に前記プラズマを生成しながら前記吸着用電源によって前記単極に吸着電圧を印加し、前記処理対象物を前記吸着装置に吸着しながらプラズマによって処理する真空処理装置であって、前記プラズマ生成部は前記単極とは離間して配置され、前記処理対象物には絶縁性基板が用いられ、
前記単極には、前記吸着用電源から、正電圧と負電圧との間で周期的に変化する前記吸着電圧が印加される真空処理装置である。
また、本発明は、前記吸着装置表面には溝が形成され、前記溝には、前記溝に熱伝導性ガスを供給する熱伝導性ガス供給装置が接続された真空処理装置である。
本発明は、前記吸着用電源は、前記正電圧の印加時間が、前記負電圧の印加時間以下の時間にされた前記吸着電圧を出力するように設定された真空処理装置である。
さらに、本発明は、前記吸着用電源は、前記正電圧を1秒以上の時間で出力するように設定された真空処理装置である。
本発明は、接地電位に接続された真空槽と、前記真空槽に接続された真空排気装置と、前記真空槽内部に配置された吸着装置と、前記吸着装置に設けられた単極と、前記単極に電気的に接続された吸着用電源と、前記真空槽内にプラズマ生成ガスを導入するプラズマ生成ガス導入装置と、前記プラズマ生成ガスをプラズマにするプラズマ生成部とを有し、前記プラズマ生成部は前記単極とは離間して配置された真空処理装置を用い、前記吸着装置上に処理対象物を配置して前記真空槽内に前記プラズマを生成しながら前記吸着用電源によって前記単極に吸着電圧を出力し、前記処理対象物を前記吸着装置に吸着しながらプラズマによって処理する真空処理方法であって、前記処理対象物に絶縁性基板を用い、前記処理対象物を前記プラズマに接触させながら、正電圧と負電圧とが周期的に変化する前記吸着電圧を前記吸着用電源から出力させ、前記吸着電圧を前記単極に印加して前記処理対象物を前記吸着装置に吸着させる真空処理方法である。
本発明は、前記絶縁性基板はサファイアである真空処理方法である。
本発明は、前記吸着電圧は、前記正電圧の印加時間が前記負電圧の印加時間以下の時間にされた真空処理方法である。
本発明は、前記正電圧の印加時間は1秒以上にされた真空処理方法である。
本発明は、前記プラズマで前記処理対象物を真空処理する際に、前記吸着装置表面と前記絶縁性基板との間に熱伝導性ガスを導入する真空処理方法である。
前記単極には、前記吸着用電源から、正電圧と負電圧との間で周期的に変化する前記吸着電圧が印加される真空処理装置である。
また、本発明は、前記吸着装置表面には溝が形成され、前記溝には、前記溝に熱伝導性ガスを供給する熱伝導性ガス供給装置が接続された真空処理装置である。
本発明は、前記吸着用電源は、前記正電圧の印加時間が、前記負電圧の印加時間以下の時間にされた前記吸着電圧を出力するように設定された真空処理装置である。
さらに、本発明は、前記吸着用電源は、前記正電圧を1秒以上の時間で出力するように設定された真空処理装置である。
本発明は、接地電位に接続された真空槽と、前記真空槽に接続された真空排気装置と、前記真空槽内部に配置された吸着装置と、前記吸着装置に設けられた単極と、前記単極に電気的に接続された吸着用電源と、前記真空槽内にプラズマ生成ガスを導入するプラズマ生成ガス導入装置と、前記プラズマ生成ガスをプラズマにするプラズマ生成部とを有し、前記プラズマ生成部は前記単極とは離間して配置された真空処理装置を用い、前記吸着装置上に処理対象物を配置して前記真空槽内に前記プラズマを生成しながら前記吸着用電源によって前記単極に吸着電圧を出力し、前記処理対象物を前記吸着装置に吸着しながらプラズマによって処理する真空処理方法であって、前記処理対象物に絶縁性基板を用い、前記処理対象物を前記プラズマに接触させながら、正電圧と負電圧とが周期的に変化する前記吸着電圧を前記吸着用電源から出力させ、前記吸着電圧を前記単極に印加して前記処理対象物を前記吸着装置に吸着させる真空処理方法である。
本発明は、前記絶縁性基板はサファイアである真空処理方法である。
本発明は、前記吸着電圧は、前記正電圧の印加時間が前記負電圧の印加時間以下の時間にされた真空処理方法である。
本発明は、前記正電圧の印加時間は1秒以上にされた真空処理方法である。
本発明は、前記プラズマで前記処理対象物を真空処理する際に、前記吸着装置表面と前記絶縁性基板との間に熱伝導性ガスを導入する真空処理方法である。
このような構造を持つ真空処理装置1を用いて真空処理をおこなう手順をプラズマ加工を例に説明する。なお、処理対象物6は絶縁性基板であり、プラズマで削らない部分は有機化合物の薄膜で覆われているものとする。
ここでは処理対象物6にサファイア(Al2O3)を用いる。処理対象物6としてはサファイアの他に、窒化ガリウム(GaN)、石英(SiO2)、炭化ケイ素(SiC)、セレン化亜鉛(ZnSe)、酸化亜鉛(ZnO)を用いることができる。また、アルミニウムガリウムヒ素(AlGaAs)、ガリウムヒ素リン(GaAsP)、インジウム窒化ガリウム(InGaN)、アルミニウム窒化ガリウム(AlGaN)、リン化ガリウム(GaP)、アルミニウムインジウムガリウムリン(AlGaInP)の薄膜で覆われた絶縁性基板も用いられる。
ここでは処理対象物6にサファイア(Al2O3)を用いる。処理対象物6としてはサファイアの他に、窒化ガリウム(GaN)、石英(SiO2)、炭化ケイ素(SiC)、セレン化亜鉛(ZnSe)、酸化亜鉛(ZnO)を用いることができる。また、アルミニウムガリウムヒ素(AlGaAs)、ガリウムヒ素リン(GaAsP)、インジウム窒化ガリウム(InGaN)、アルミニウム窒化ガリウム(AlGaN)、リン化ガリウム(GaP)、アルミニウムインジウムガリウムリン(AlGaInP)の薄膜で覆われた絶縁性基板も用いられる。
Claims (9)
- 接地電位に接続された真空槽と、
前記真空槽に接続された真空排気装置と、
前記真空槽内部に配置された吸着装置と、
前記吸着装置に設けられた単極と、
前記単極に電気的に接続された吸着用電源と、
前記真空槽内にプラズマ生成ガスを導入するプラズマ生成ガス導入装置と、
前記プラズマ生成ガスをプラズマにするプラズマ生成部とを有し、
前記吸着装置上に処理対象物を配置して前記真空槽内に前記プラズマを生成しながら前記吸着用電源によって前記単極に電圧を印加し、前記処理対象物を前記吸着装置に吸着しながらプラズマによって処理する真空処理装置であって、
前記プラズマ生成部は前記単極とは離間して配置され、
前記処理対象物には絶縁性基板が用いられ、
前記単極には、前記吸着用電源から、正電圧と負電圧との間で周期的に変化する吸着電圧が印加される真空処理装置。 - 前記吸着装置表面には溝が形成され、
前記溝には、前記溝に熱伝導性ガスを供給する熱伝導性ガス供給装置が接続された請求項1記載の真空処理装置。 - 前記吸着用電源は、前記正電圧の印加時間が、前記負電圧の印加時間以下の時間にされた前記吸着電圧を出力するように設定された請求項1又は請求項2のいずれか1項記載の真空処理装置。
- 前記吸着用電源は、前記正電圧を1秒以上の時間で出力するように設定された請求項3記載の真空処理装置。
- 接地電位に接続された真空槽と、
前記真空槽に接続された真空排気装置と、
前記真空槽内部に配置された吸着装置と、
前記吸着装置に設けられた単極と、
前記単極に電気的に接続された吸着用電源と、
前記真空槽内にプラズマ生成ガスを導入するプラズマ生成ガス導入装置と、
前記プラズマ生成ガスをプラズマにするプラズマ生成部とを有し、
前記プラズマ生成部は前記単極とは離間して配置された真空処理装置を用い、
前記吸着装置上に処理対象物を配置して前記真空槽内に前記プラズマを生成しながら前記吸着用電源によって前記単極に電圧を出力し、前記処理対象物を前記吸着装置に吸着しながらプラズマによって処理する真空処理方法であって、
前記処理対象物に絶縁性基板を用い、
前記処理対象物を前記プラズマに接触させながら、正電圧と負電圧とが周期的に変化する吸着電圧を前記吸着用電源から出力させ、前記吸着電圧を前記単極に印加して前記処理対象物を前記吸着装置に吸着させる真空処理方法。 - 前記絶縁性基板はサファイアである請求項5記載の真空処理方法。
- 前記吸着電圧は、前記正電圧の印加時間が前記負電圧の印加時間以下の時間にされた請求項5又は請求項6のいずれか1項記載の真空処理方法。
- 前記正電圧の印加時間は1秒以上にされた請求項7記載の真空処理方法。
- 前記プラズマで前記処理対象物を真空処理する際に、前記吸着装置表面と前記絶縁性基板との間に熱伝導性ガスを導入する請求項5乃至請求項8のいずれか1項記載の真空処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013529960A JPWO2013027584A1 (ja) | 2011-08-19 | 2012-08-08 | 真空処理装置及び真空処理方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011179429 | 2011-08-19 | ||
JP2011179429 | 2011-08-19 | ||
JP2013529960A JPWO2013027584A1 (ja) | 2011-08-19 | 2012-08-08 | 真空処理装置及び真空処理方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2013027584A1 true JPWO2013027584A1 (ja) | 2015-03-19 |
Family
ID=47746333
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013529960A Pending JPWO2013027584A1 (ja) | 2011-08-19 | 2012-08-08 | 真空処理装置及び真空処理方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20140158301A1 (ja) |
JP (1) | JPWO2013027584A1 (ja) |
KR (1) | KR20140053323A (ja) |
CN (1) | CN103733318B (ja) |
SG (1) | SG2014012371A (ja) |
TW (1) | TW201322302A (ja) |
WO (1) | WO2013027584A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20150004789A1 (en) * | 2013-06-28 | 2015-01-01 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor manufacturing apparatus and method |
US10923379B2 (en) * | 2017-02-15 | 2021-02-16 | Lam Research Corporation | Methods for controlling clamping of insulator-type substrate on electrostatic-type substrate support structure |
JP6861579B2 (ja) | 2017-06-02 | 2021-04-21 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置、静電吸着方法および静電吸着プログラム |
CN110466177A (zh) * | 2019-02-23 | 2019-11-19 | 成都佛吉亚利民汽车部件系统有限公司 | 一种注塑件等离子表面处理装置 |
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WO2010024146A1 (ja) * | 2008-08-27 | 2010-03-04 | 株式会社アルバック | 静電チャック及び真空処理装置 |
Family Cites Families (11)
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---|---|---|---|---|
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JPH08264509A (ja) * | 1995-03-27 | 1996-10-11 | Hitachi Ltd | 表面処理方法および表面処理装置 |
JPH1167883A (ja) * | 1997-08-14 | 1999-03-09 | Sony Corp | 静電チャック |
JP2001035907A (ja) * | 1999-07-26 | 2001-02-09 | Ulvac Japan Ltd | 吸着装置 |
JP4697833B2 (ja) * | 2000-06-14 | 2011-06-08 | キヤノンアネルバ株式会社 | 静電吸着機構及び表面処理装置 |
JP4926688B2 (ja) * | 2006-12-15 | 2012-05-09 | 日本碍子株式会社 | 静電チャックの誘電体層の体積抵抗率測定装置及びその装置を用いた測定方法 |
US20100287768A1 (en) * | 2007-08-02 | 2010-11-18 | Yoshinori Fujii | Mehtod of manufacturing electrostatic chuck mechanism |
JP4786693B2 (ja) * | 2008-09-30 | 2011-10-05 | 三菱重工業株式会社 | ウェハ接合装置およびウェハ接合方法 |
-
2012
- 2012-08-08 SG SG2014012371A patent/SG2014012371A/en unknown
- 2012-08-08 CN CN201280040387.2A patent/CN103733318B/zh active Active
- 2012-08-08 WO PCT/JP2012/070273 patent/WO2013027584A1/ja active Application Filing
- 2012-08-08 KR KR1020147006786A patent/KR20140053323A/ko not_active Application Discontinuation
- 2012-08-08 JP JP2013529960A patent/JPWO2013027584A1/ja active Pending
- 2012-08-17 TW TW101129921A patent/TW201322302A/zh unknown
-
2014
- 2014-02-11 US US14/177,627 patent/US20140158301A1/en not_active Abandoned
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP2006269556A (ja) * | 2005-03-22 | 2006-10-05 | Elpida Memory Inc | プラズマ処理装置、及び半導体装置の製造方法 |
JP2008251676A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理方法及び装置 |
WO2010024146A1 (ja) * | 2008-08-27 | 2010-03-04 | 株式会社アルバック | 静電チャック及び真空処理装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2013027584A1 (ja) | 2013-02-28 |
US20140158301A1 (en) | 2014-06-12 |
TW201322302A (zh) | 2013-06-01 |
CN103733318B (zh) | 2016-08-31 |
SG2014012371A (en) | 2014-04-28 |
KR20140053323A (ko) | 2014-05-07 |
CN103733318A (zh) | 2014-04-16 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150421 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20150901 |