JPWO2012004824A1 - 発光素子の製造方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 62
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 49
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 160
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 96
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 96
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims abstract description 19
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 315
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 26
- 238000011161 development Methods 0.000 claims description 23
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 claims description 21
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 18
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 18
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 18
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 13
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims description 10
- 238000011049 filling Methods 0.000 claims description 6
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 claims description 5
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims description 4
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 claims description 4
- 229910000476 molybdenum oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- AWOORJZBKBDNCP-UHFFFAOYSA-N molybdenum;oxotungsten Chemical compound [Mo].[W]=O AWOORJZBKBDNCP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N nonaoxidotritungsten Chemical compound O=[W]1(=O)O[W](=O)(=O)O[W](=O)(=O)O1 QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- PQQKPALAQIIWST-UHFFFAOYSA-N oxomolybdenum Chemical compound [Mo]=O PQQKPALAQIIWST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims description 3
- 229910001930 tungsten oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 claims description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 15
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 14
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 12
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 10
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 8
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 7
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 7
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 6
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 6
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 3
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 3
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 3
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000599 Cr alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 206010047571 Visual impairment Diseases 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 2
- PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M lithium fluoride Chemical compound [Li+].[F-] PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 238000007665 sagging Methods 0.000 description 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 2
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BIXMBBKKPTYJEK-UHFFFAOYSA-N 1,3-benzoxazin-2-one Chemical class C1=CC=C2OC(=O)N=CC2=C1 BIXMBBKKPTYJEK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004325 8-hydroxyquinolines Chemical class 0.000 description 1
- 229910001020 Au alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001182 Mo alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910015202 MoCr Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001252 Pd alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 229920000265 Polyparaphenylene Polymers 0.000 description 1
- 229910000544 Rb alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 125000000641 acridinyl group Chemical class C1(=CC=CC2=NC3=CC=CC=C3C=C12)* 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001454 anthracenes Chemical class 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N boric acid Chemical compound OB(O)O KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004327 boric acid Substances 0.000 description 1
- 229960005057 canrenone Drugs 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N chromium nickel Chemical compound [Cr].[Ni] VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001846 chrysenes Chemical class 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 150000001882 coronenes Chemical class 0.000 description 1
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000000332 coumarinyl group Chemical class O1C(=O)C(=CC2=CC=CC=C12)* 0.000 description 1
- ZSWFCLXCOIISFI-UHFFFAOYSA-N cyclopentadiene Chemical class C1C=CC=C1 ZSWFCLXCOIISFI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 150000002219 fluoranthenes Chemical class 0.000 description 1
- 150000002220 fluorenes Chemical class 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229940083761 high-ceiling diuretics pyrazolone derivative Drugs 0.000 description 1
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000007644 letterpress printing Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 150000002790 naphthalenes Chemical class 0.000 description 1
- 229910001120 nichrome Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 150000004866 oxadiazoles Chemical class 0.000 description 1
- 150000002916 oxazoles Chemical class 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 1
- DGBWPZSGHAXYGK-UHFFFAOYSA-N perinone Chemical class C12=NC3=CC=CC=C3N2C(=O)C2=CC=C3C4=C2C1=CC=C4C(=O)N1C2=CC=CC=C2N=C13 DGBWPZSGHAXYGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002080 perylenyl group Chemical group C1(=CC=C2C=CC=C3C4=CC=CC5=CC=CC(C1=C23)=C45)* 0.000 description 1
- 150000002987 phenanthrenes Chemical class 0.000 description 1
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical compound N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000301 poly(3-hexylthiophene-2,5-diyl) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920000553 poly(phenylenevinylene) Polymers 0.000 description 1
- 229920001197 polyacetylene Polymers 0.000 description 1
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920002098 polyfluorene Polymers 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- JEXVQSWXXUJEMA-UHFFFAOYSA-N pyrazol-3-one Chemical class O=C1C=CN=N1 JEXVQSWXXUJEMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003219 pyrazolines Chemical class 0.000 description 1
- 150000003220 pyrenes Chemical class 0.000 description 1
- RQGPLDBZHMVWCH-UHFFFAOYSA-N pyrrolo[3,2-b]pyrrole Chemical class C1=NC2=CC=NC2=C1 RQGPLDBZHMVWCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- MCJGNVYPOGVAJF-UHFFFAOYSA-N quinolin-8-ol Chemical compound C1=CN=C2C(O)=CC=CC2=C1 MCJGNVYPOGVAJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000007660 quinolones Chemical class 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 1
- PYWVYCXTNDRMGF-UHFFFAOYSA-N rhodamine B Chemical class [Cl-].C=12C=CC(=[N+](CC)CC)C=C2OC2=CC(N(CC)CC)=CC=C2C=1C1=CC=CC=C1C(O)=O PYWVYCXTNDRMGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IGLNJRXAVVLDKE-UHFFFAOYSA-N rubidium atom Chemical compound [Rb] IGLNJRXAVVLDKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 1
- 150000003518 tetracenes Chemical class 0.000 description 1
- ANRHNWWPFJCPAZ-UHFFFAOYSA-M thionine Chemical class [Cl-].C1=CC(N)=CC2=[S+]C3=CC(N)=CC=C3N=C21 ANRHNWWPFJCPAZ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 150000005075 thioxanthenes Chemical class 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N vinyl-ethylene Natural products C=CC=C KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/122—Pixel-defining structures or layers, e.g. banks
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B33/00—Electroluminescent light sources
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Abstract
脂材料層の非硬化の部分を除去して前記樹脂材料層を貫通して前記中間層に通じる開口を形成し、(b)前記現像液の一部を前記開口を通じて前記中間層に浸入させ、前
記中間層における、前記開口に対応する第1の領域およびその周辺である第2の領域の、少なくとも表面部を除去する。前記樹脂材料層の、前記第2の領域に相当するオーバーハング部分を加熱により軟化させて下方に垂れさせることで、前記樹脂材料層下の空間に露出する前記中間層の端部を覆いつつ、前記樹脂材料層下の空間を埋める。これにより、前記オーバーハング部分を前記下地層または前記中間層上に接触させて前記樹脂材料層からなる隔壁を形成する。
Description
本発明の一態様である発光素子の製造方法は、基板の上方に、第1電極を含む下地層を形成する第1工程と、前記下地層上に、中間層を形成する第2工程と、前記中間層上に、感光性樹脂材料を有する樹脂材料層を形成する第3工程と、前記樹脂材料層を選択的に露光した後、前記樹脂材料層及び前記中間層の両方を溶解する現像液を用いて現像処理することにより、(a)前記樹脂材料層の非硬化の部分を除去して前記樹脂材料層を貫通して前記中間層に通じる開口を形成し、(b)前記現像液の一部を前記開口を通じて前記中間層に浸入させ、前記中間層における、前記開口に対応する第1の領域およびその周辺である第2の領域の、少なくとも表面部を除去する第4工程と、前記第4工程後に残存した樹脂材料層を加熱し、前記樹脂材料層の、前記第2の領域に相当するオーバーハング部分を軟化させて下方に垂れさせることで、前記第2の領域の少なくとも表面部が除去されることで生じた、前記樹脂材料層下の空間に露出する前記中間層の端部を覆いつつ、前記樹脂材料層下の空間を埋めることにより、前記樹脂材料層の、前記第2の領域に相当するオーバーハング部分を前記下地層または前記中間層上に接触させて前記樹脂材料層からなる隔壁を形成する第5工程と、前記第5工程の後、前記複数の隔壁間に、有機発光層を含む機能層を形成する第6工程と、前記機能層の上方に、第2電極を形成する第7工程とを有するとした。
<表示装置100の全体構成>
本実施の形態に係る表示装置100の全体構成について、図1を用い説明する。図1は、表示装置100の全体構成を模式的に示すブロック図である。
<有機EL表示パネル10の構成>
(有機EL表示パネル10の概略構成)
有機EL表示パネル10の構成について詳細に説明する。図2は、実施の形態1の有機EL表示パネル10における有機発光層とバンクとの配置関係を模式的に示す図である。
<各部構成>
TFT基板1は、例えば、無アルカリガラス、ソーダガラス、無蛍光ガラス、燐酸系ガラス、硼酸系ガラス、石英、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリエチレン、ポリエステル、シリコーン系樹脂、又はアルミナ等の絶縁性材料の基板本体上に、TFT、配線部材、および前記TFTを被覆するパッシベーション膜など(図示せず)を形成した構成である。また、前記基板本体は有機樹脂フィルムであってもかまわない。
<残渣除去層を形成しない場合の有機EL表示パネルの製造工程>
図4は、残渣除去層を形成しない場合の有機EL表示パネルの製造工程の一例を示す図である。なお、図4では、有機EL表示パネルの一部を抜き出して模式的に示している。
<本実施の形態の有機EL表示パネル10の製造方法>
続いて、本実施の形態の有機EL表示パネル10の製造工程を例示する。図5、6は、有機EL表示パネル10の製造工程の一例を示す図である。なお、図5,6では、有機EL表示パネル10の一部を抜き出して模式的に示している。
<現像処理後及びベーク後のバンクの形状>
次に、現像処理後とベーク後とでバンク材料層41の形状が実際にどのように変化するのかを実験により検証した。まず、実験条件について説明する。発明者は今回、基板としてガラス基板1を、第1電極2としてAPCを、残渣除去層3としてMoWOxを用いた。ただし、第1電極2上に透明導電膜としてITO2aを設けている(図7参照)。
(補足)
以上、本発明に係る有機EL表示パネル10について、実施の形態に基づいて説明したが、本発明は上記実施の形態に限られないことは勿論である。例えば、以下のような変形例が考えられる。
(1)上記実施の形態では、ウェットプロセスにおいて、残渣除去層3の第1の領域および第2の領域が除去され、第1電極2が露出しているが、本発明は、残渣除去層3の第1の領域および第2の領域における表面部さえ除去できれば、これに限られない。表面部さえ除去できれば、残渣除去層3上に形成されたバンク材料層41を併せて除去できるからである。したがって、例えば、図8に示すように、残渣除去層3の第1の領域および第2の領域が表面部を含む一部しか除去されずに、第1電極2が露出しなくてもよい。図8の構成を採用した場合には、残渣除去膜3が正孔注入性を有する材料で形成されていることが好ましい。こうすることで、有機発光層5に対して効果的に正孔を注入することができる。この構成の場合の有機EL表示パネルの製造方法について図9を用いて簡単に説明する。
(2)上記実施の形態では、所謂、ピクセルバンク(井桁状バンク)を採用しているが、本発明は、これに限らない。例えば、ラインバンク(ライン状のバンク)を採用することができる。図10の例では、ラインバンク65が採用されており、X軸方向に隣接する有機発光層66a,66b,66cが区分けされる。なお、図10に示すように、ラインバンク65を採用する場合には、Y軸方向に隣接する有機発光層同士はバンク要素により規定されていないが、駆動方法および陽極のサイズおよび間隔などを適宜設定することにより、互いに影響せず発光させることができる。
(3)上記実施の形態では、トップエミッション型で説明しているが、これに限定されず、ボトムエミッション型であっても良い。
(4)上記実施の形態では、有機発光層と第2電極との間に電子注入層のみが介挿されているが、これに加えて電子輸送層が介挿されているとしてもよい。
(5)上記実施の形態では、表示装置1の外観を示さなかったが、例えば、図11に示すような外観を有するものとすることができる。
(6)上記実施の形態では、表示装置に備えられた有機EL表示パネルについて説明したが、本発明はこれに限らない。例えば、有機EL表示パネルの一のサブピクセルに対応する発光素子であってもよい。
(7)上記実施の形態では、表示装置を例に挙げて説明したが、これに限らず、発光装置に適用することも可能である。
(8)上記実施の形態では、第1電極2もしくは残渣除去膜3と、有機発光層5とが直接接する構成のみが示されているが、本発明はこれに限定するものではなく、例えば第一電極2もしくは残渣除去膜3と、有機発光層との間に正孔注入層や正孔輸送層が介挿される構成であってもよい。
(9)上記図7(a)に現像処理後のバンク材料層の写真をトレースした模式図を、上記図7(b)にベーク後のバンク材料層の写真をトレースした模式図を示したが、図12(a)は、現像処理後のバンク材料層を示す写真であり、図12(b)は、ベーク後のバンク材料層を示す写真である。
10 有機EL表示パネル
20 駆動制御部
21−24 駆動回路
25 制御回路
1 TFT基板
2 第1電極
3 残渣除去層
4 バンク
5 有機発光層
6 電子注入層
7 第2電極
8 封止層
本発明は、発光素子の製造方法に関する。
【背景技術】
Claims (13)
- 基板の上方に、第1電極を含む下地層を形成する第1工程と、
前記下地層上に、中間層を形成する第2工程と、
前記中間層上に、感光性樹脂材料を有する樹脂材料層を形成する第3工程と、
前記樹脂材料層を選択的に露光した後、前記樹脂材料層及び前記中間層の両方を溶解する現像液を用いて現像処理することにより、(a)前記樹脂材料層の非硬化の部分を除去して前記樹脂材料層を貫通して前記中間層に通じる開口を形成し、(b)前記現像液の一部を前記開口を通じて前記中間層側に浸入させ、前記中間層における、前記開口に対応する第1の領域およびその周辺である第2の領域の、少なくとも表面部を除去する第4工程と、
前記第4工程後に残存した樹脂材料層を加熱し、前記樹脂材料層の、前記第2の領域に相当するオーバーハング部分を軟化させて下方に垂れさせることで、前記第2の領域の少なくとも表面部が除去されることで生じた、前記樹脂材料層下の空間に露出する前記中間層の端部を覆いつつ、前記樹脂材料層下の空間を埋めることにより、前記樹脂材料層の、前記第2の領域に相当するオーバーハング部分を前記下地層または前記中間層上に接触させて前記樹脂材料層からなる隔壁を形成する第5工程と、
前記第5工程の後、前記複数の隔壁間に、有機発光層を含む機能層を形成する第6工程と、
前記機能層の上方に、第2電極を形成する第7工程と
を有することを特徴とする発光素子の製造方法。 - 前記中間層と前記樹脂材料とが同一の現像液にてエッチングされる
請求項1記載の発光素子の製造方法。 - 前記中間層として、タングステン酸化物、モリブデン酸化物、またはタングステン−モリブデン酸化物のいずれかを用い、
前記樹脂材料層として、アクリレート樹脂、ポリイミド樹脂、またはフェノール樹脂のいずれかを用い、
前記現像液として、TMAH(Tetra methyl ammonium hydroxide)を用いる
請求項2記載の発光素子の製造方法。 - 前記第1工程における下地層を、前記第4工程における前記現像液に対して溶解性を有しない材料を用いて構成する
請求項1または2記載の発光素子の製造方法。 - 前記下地層は第1電極のみからなり、前記第1電極としてITOまたはIZOを用いる
請求項4記載の発光素子の製造方法。 - 前記第5工程は、前記樹脂材料層の、前記第2の領域に相当するオーバーハング部分を軟化させて下方に垂れさせることで、前記樹脂材料層下の空間に露出する前記中間層の端部を覆いつつ、前記樹脂材料層下の空間を埋めることにより、前記樹脂材料層の、前記第2の領域に相当するオーバーハング部分を前記下地層または前記残渣除去層上に接触させるとともに、対向する樹脂材料層同士を接触させることなく開口を成し、樹脂材料層からなる複数の隔壁を形成し、
前記第6工程は、前記複数の隔壁間である前記開口に相当する部分に、有機発光層を含む機能層を形成する
請求項1記載の発光素子の製造方法。 - 前記中間層における、前記第1の領域及び前記第2の領域の表面部を除いた一部を前記第4工程後に前記下地層上に残存させ、
前記第6工程において、前記機能層を、残存している前記中間層上に形成する
請求項1〜6の何れかに記載の発光素子の製造方法。 - 前記中間層は、前記機能層に対して電荷を注入および/または輸送する電荷注入輸送層である
請求項7記載の発光素子の製造方法。 - 前記下地層を、第1電極である陽極として設け、
前記電荷注入輸送層を、前記機能層に対して正孔を注入する正孔注入層として設ける
請求項8記載の発光素子の製造方法。 - 前記第4工程において、前記中間層における、前記第1の領域及び前記第2の領域の全てが除去され、
前記第6工程において、前記機能層を、前記下地層上に形成する
請求項1〜6の何れかに記載の発光素子の製造方法。 - 請求項1〜10のいずれかに記載された発光素子の製造方法により製造された発光素子を用いた有機表示パネル。
- 請求項1〜10のいずれかに記載された発光素子の製造方法により製造された発光素子を用いた有機発光装置。
- 請求項1〜10のいずれかに記載された発光素子の製造方法により製造された発光素子を用いた有機表示装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2010/004376 WO2012004824A1 (ja) | 2010-07-05 | 2010-07-05 | 発光素子の製造方法、並びに発光素子を用いた有機表示パネル、有機発光装置、及び有機表示装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2012004824A1 true JPWO2012004824A1 (ja) | 2013-09-02 |
JP5330545B2 JP5330545B2 (ja) | 2013-10-30 |
Family
ID=45440829
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011546512A Active JP5330545B2 (ja) | 2010-07-05 | 2010-07-05 | 発光素子の製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8642360B2 (ja) |
JP (1) | JP5330545B2 (ja) |
CN (1) | CN102440071B (ja) |
WO (1) | WO2012004824A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101386828B1 (ko) | 2009-09-29 | 2014-04-17 | 파나소닉 주식회사 | 발광 소자 및 그것을 이용한 표시 장치 |
CN102474939B (zh) | 2009-11-04 | 2015-03-04 | 松下电器产业株式会社 | 显示面板装置及其制造方法 |
JP5785935B2 (ja) | 2011-06-03 | 2015-09-30 | 株式会社Joled | 有機el表示パネルの製造方法、および有機el表示パネルの製造装置 |
CN103794625B (zh) * | 2012-10-30 | 2017-04-12 | 乐金显示有限公司 | 有机发光二极管显示装置及其制造方法 |
KR102065364B1 (ko) * | 2012-10-30 | 2020-01-13 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기발광다이오드 표시장치 및 그 제조방법 |
KR102651136B1 (ko) * | 2016-04-12 | 2024-03-25 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 |
CN109192886B (zh) * | 2018-09-05 | 2021-01-22 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显示基板及其制作方法、显示面板及显示装置 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05163488A (ja) | 1991-12-17 | 1993-06-29 | Konica Corp | 有機薄膜エレクトロルミネッセンス素子 |
US5443922A (en) | 1991-11-07 | 1995-08-22 | Konica Corporation | Organic thin film electroluminescence element |
WO2001058222A1 (en) * | 2000-02-02 | 2001-08-09 | Mitsubishi Chemical Corporation | Organic electroluminescent element and method of manufacture thereof |
JP3910864B2 (ja) * | 2002-03-04 | 2007-04-25 | ローム株式会社 | 有機el表示パネルおよびその製造方法 |
JP2004234901A (ja) * | 2003-01-28 | 2004-08-19 | Seiko Epson Corp | ディスプレイ基板、有機el表示装置、ディスプレイ基板の製造方法および電子機器 |
JP4617749B2 (ja) * | 2004-07-16 | 2011-01-26 | 三菱電機株式会社 | 表示装置の製造方法 |
JP4378366B2 (ja) * | 2005-08-04 | 2009-12-02 | キヤノン株式会社 | 発光素子アレイ |
GB0517195D0 (en) * | 2005-08-23 | 2005-09-28 | Cambridge Display Tech Ltd | Molecular electronic device structures and fabrication methods |
US20070241665A1 (en) | 2006-04-12 | 2007-10-18 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Organic electroluminescent element, and manufacturing method thereof, as well as display device and exposure apparatus using the same |
JP2007288074A (ja) * | 2006-04-19 | 2007-11-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセント素子およびその製造方法 |
JP2008034198A (ja) * | 2006-07-27 | 2008-02-14 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 薄膜パターンの形成方法、有機elディスプレイの製造方法及び有機elディスプレイ |
JP2008135318A (ja) * | 2006-11-29 | 2008-06-12 | Toppan Printing Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセンス素子およびその製造方法 |
JP4439589B2 (ja) | 2007-12-28 | 2010-03-24 | パナソニック株式会社 | 有機elデバイスおよび有機elディスプレイパネル、ならびにそれらの製造方法 |
JP5192828B2 (ja) * | 2008-01-08 | 2013-05-08 | 住友化学株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス表示素子及びその製造方法 |
EP2270896B1 (en) * | 2008-02-28 | 2014-12-24 | Panasonic Corporation | Organic el display panel |
JP2010061952A (ja) * | 2008-09-03 | 2010-03-18 | Casio Comput Co Ltd | 発光装置及び発光装置の製造方法 |
JP4770896B2 (ja) * | 2008-09-08 | 2011-09-14 | カシオ計算機株式会社 | 発光装置及び発光装置の製造方法 |
US20100051993A1 (en) * | 2008-09-03 | 2010-03-04 | Casio Computer Co., Ltd. | Light emitting apparatus and manufacturing method thereof |
KR101153037B1 (ko) | 2008-09-19 | 2012-06-04 | 파나소닉 주식회사 | 유기 일렉트로 루미네슨스 소자 및 그 제조 방법 |
-
2010
- 2010-07-05 WO PCT/JP2010/004376 patent/WO2012004824A1/ja active Application Filing
- 2010-07-05 JP JP2011546512A patent/JP5330545B2/ja active Active
- 2010-07-05 CN CN201080020694.5A patent/CN102440071B/zh active Active
-
2011
- 2011-11-04 US US13/289,426 patent/US8642360B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102440071A (zh) | 2012-05-02 |
US8642360B2 (en) | 2014-02-04 |
WO2012004824A1 (ja) | 2012-01-12 |
US20120049211A1 (en) | 2012-03-01 |
JP5330545B2 (ja) | 2013-10-30 |
CN102440071B (zh) | 2014-09-03 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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|
S303 | Written request for registration of pledge or change of pledge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316303 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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|
S803 | Written request for registration of cancellation of provisional registration |
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S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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