JPWO2011129232A1 - LED heat dissipation board - Google Patents

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Abstract

本発明は、ポリイミドフィルムの片面に銅箔または銅合金箔が、反対側の面にアルミニウム箔またはアルミニウム合金箔が積層されており、銅箔または銅合金箔の表面とアルミニウム箔またはアルミニウム合金箔の表面との間の熱抵抗が1.8℃/W以下であるLED用放熱基板に関する。In the present invention, a copper foil or a copper alloy foil is laminated on one surface of a polyimide film, and an aluminum foil or an aluminum alloy foil is laminated on the opposite surface, and the surface of the copper foil or the copper alloy foil and the aluminum foil or the aluminum alloy foil It is related with the thermal radiation board | substrate for LED whose thermal resistance between the surfaces is 1.8 degrees C / W or less.

Description

本発明は、LED用放熱基板に関する。特に、薄く、折り曲げ可能で三次元加工可能なLED用放熱基板に関する。   The present invention relates to an LED heat dissipation substrate. In particular, the present invention relates to a heat dissipation substrate for LED that is thin, foldable, and three-dimensionally processable.

近年、消費電力が小さく、寿命が長いことから、LED(発光ダイオード)を光源として用いるLED照明装置の需要が急速に拡大している。しかしながら、LEDは点灯時に発熱し、その発熱によってLEDが高温になると、LEDの発光効率が著しく低下し、また、LEDの寿命にも影響することがある。特に高出力・高輝度のLEDでは点灯時の発熱量がより大きくなるので、LEDの熱を放散させ、LEDの温度上昇を抑制することがより重要になってくる。   In recent years, the demand for LED lighting devices using LEDs (light emitting diodes) as light sources has been rapidly expanding because of low power consumption and long life. However, the LED generates heat when the LED is turned on, and if the LED becomes hot due to the generated heat, the light emission efficiency of the LED is remarkably lowered, and the life of the LED may be affected. In particular, in a high-output / high-brightness LED, the amount of heat generated during lighting increases, so it is more important to dissipate the heat of the LED and suppress the temperature rise of the LED.

そのため、LEDを実装する基板としては、放熱性に優れた放熱基板が用いられ、一般的には、絶縁層であるエポキシ樹脂フィルムの片面に銅箔を、反対側の面にアルミニウム箔を積層した放熱基板が用いられている。しかし、エポキシ樹脂フィルムを用いた場合、耐電圧の面から1mm程度、最低でも100μm程度の厚みのものを用いる必要がある。また、このような厚いエポキシ樹脂フィルムは熱抵抗が大きいために、十分な放熱性を得るには、熱伝導率が高いアルミナ等の無機フィラーを多量に添加して熱抵抗を低減することが必要である。しかしながら、このような無機フィラーが多量に添加されたLED用放熱基板は加工性に劣り、機械加工したときにフィラーが周囲に飛散して問題になることがある。また、このLED用放熱基板は、折り曲げが不可能で、三次元加工することができない。三次元加工が可能になれば回路設計の自由度が向上するため、良好な屈曲特性を有するLED用放熱基板が求められている。   Therefore, as a substrate for mounting the LED, a heat dissipation substrate with excellent heat dissipation is used. Generally, a copper foil is laminated on one side of an epoxy resin film, which is an insulating layer, and an aluminum foil is laminated on the opposite side. A heat dissipation board is used. However, when an epoxy resin film is used, it is necessary to use a film having a thickness of about 1 mm and at least about 100 μm from the standpoint of withstand voltage. In addition, since such a thick epoxy resin film has a large thermal resistance, it is necessary to reduce the thermal resistance by adding a large amount of an inorganic filler such as alumina having a high thermal conductivity in order to obtain sufficient heat dissipation. It is. However, the heat dissipation substrate for LED to which such an inorganic filler is added in a large amount is inferior in processability, and when machined, the filler may be scattered around and cause a problem. Moreover, this LED heat dissipation board cannot be bent and cannot be three-dimensionally processed. If three-dimensional processing becomes possible, the degree of freedom in circuit design is improved. Therefore, an LED heat dissipation substrate having good bending characteristics is required.

特許文献1には、ポリイミドを用いた熱可塑性の耐熱フィルムを所定の三次元的形状に成形した基板本体と、前記基板本体の所定位置に取り付けられた1又は複数個の表面実装型のLEDと、前記基板本体の表面又は裏面のいずれか一方に設けられ、前記LEDを外部回路に接続して点灯させる導電回路とを備えたLED照明装置であって、基板本体の導電回路とは反対の面に、金属からなる放熱層が形成されていることを特徴とするLED照明装置が開示されている。   In Patent Document 1, a substrate body in which a thermoplastic heat-resistant film using polyimide is molded into a predetermined three-dimensional shape, and one or a plurality of surface-mounted LEDs attached to the substrate body at predetermined positions, , An LED lighting device provided on either the front surface or the back surface of the substrate body, and having a conductive circuit for connecting the LED to an external circuit and lighting it, the surface opposite to the conductive circuit of the substrate body Further, an LED lighting device is disclosed in which a heat dissipation layer made of metal is formed.

一方、特許文献2には、熱伝導性の良好な銅張り板として、低熱膨張性の基体ポリイミド(X)層の両面に特定のイミド単位を有する薄層ポリイミド(Y)が積層一体化されてなる多層ポリイミドフィルムの片面に銅箔が、他の面に熱伝達性の良好な金属板またはセラミック板が積層されてなる熱対策銅張り板が開示されており、熱伝達性の良好な金属板として、厚み5μm〜2mmのアルミニウム板が挙げられている。   On the other hand, in Patent Document 2, a thin-layer polyimide (Y) having a specific imide unit on both surfaces of a low thermal expansion base polyimide (X) layer is laminated and integrated as a copper-clad plate having good thermal conductivity. A heat-resistant copper-clad plate is disclosed, in which a copper foil is laminated on one side of a multilayer polyimide film and a metal plate or ceramic plate having a good heat transfer property is laminated on the other side, and a metal plate having a good heat transfer property is disclosed. As an example, an aluminum plate having a thickness of 5 μm to 2 mm is cited.

また、特許文献3には、基板上に、銅またはアルミニウムの金属層と、前記金属層が隣接するポリイミド層または接着剤層と、銅箔層と、液体または膜のソルダーマスク層とを含む、LEDのマウントおよび相互接続に用いられる積層物が開示されている。   Patent Document 3 includes a copper or aluminum metal layer, a polyimide layer or an adhesive layer adjacent to the metal layer, a copper foil layer, and a liquid or film solder mask layer on the substrate. Laminates used for mounting and interconnecting LEDs are disclosed.

特開2008−293692号公報JP 2008-293692 A 特開2003−71982号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2003-71982 国際公開第2009/073670号パンフレットInternational Publication No. 2009/073670 Pamphlet

本発明は、優れた放熱性および耐電圧性を有し、薄く、しかも良好な屈曲特性を有し、三次元加工可能なLED用放熱基板を提供することを目的とする。   An object of the present invention is to provide an LED heat dissipation substrate that has excellent heat dissipation and voltage resistance, is thin, has good bending characteristics, and can be three-dimensionally processed.

本発明は以下の事項に関する。   The present invention relates to the following matters.

1. ポリイミドフィルムの片面に銅箔または銅合金箔が、反対側の面にアルミニウム箔またはアルミニウム合金箔が積層されているLED用放熱基板であって、
銅箔または銅合金箔の表面とアルミニウム箔またはアルミニウム合金箔の表面との間の熱抵抗が1.8℃/W以下であることを特徴とするLED用放熱基板。
1. A heat dissipation substrate for LED in which a copper foil or a copper alloy foil is laminated on one side of a polyimide film and an aluminum foil or an aluminum alloy foil is laminated on the opposite side,
A heat dissipation substrate for LED, wherein the thermal resistance between the surface of the copper foil or copper alloy foil and the surface of the aluminum foil or aluminum alloy foil is 1.8 ° C./W or less.

2. 前記アルミニウム箔またはアルミニウム合金箔が、陽極酸化処理(アルマイト処理)されていないことを特徴とする上記1記載のLED用放熱基板。   2. 2. The LED heat dissipation board according to 1 above, wherein the aluminum foil or aluminum alloy foil is not anodized (anodized).

3. 前記ポリイミドフィルムの厚みが3〜25μmであることを特徴とする上記1または2記載のLED用放熱基板。   3. 3. The heat dissipation substrate for LED as described in 1 or 2 above, wherein the polyimide film has a thickness of 3 to 25 μm.

4. 前記ポリイミドフィルムの銅箔または銅合金箔との接合面、およびアルミニウム箔またはアルミニウム合金箔との接合面が、熱圧着性のポリイミド層であることを特徴とする上記1〜3のいずれかに記載のLED用放熱基板。   4). The bonding surface of the polyimide film with a copper foil or a copper alloy foil, and the bonding surface with an aluminum foil or an aluminum alloy foil are thermocompression-bondable polyimide layers. LED heat dissipation board.

5. 前記ポリイミドフィルムが、耐熱性のポリイミド層の両面に熱圧着性のポリイミド層が積層されているものであることを特徴とする上記4記載のLED用放熱基板。   5. 5. The LED heat dissipation substrate as described in 4 above, wherein the polyimide film is one in which a thermocompression bonding polyimide layer is laminated on both sides of a heat resistant polyimide layer.

6. 前記銅箔または銅合金箔の厚みが9〜200μmであり、
前記アルミニウム箔またはアルミニウム合金箔の厚みが200μm〜1mmであることを特徴とする上記1〜5のいずれかに記載のLED用放熱基板。
6). The thickness of the copper foil or copper alloy foil is 9 to 200 μm,
6. The LED heat dissipation board as described in any one of 1 to 5 above, wherein the aluminum foil or the aluminum alloy foil has a thickness of 200 μm to 1 mm.

7. ポリイミドフィルムと、銅箔または銅合金箔と、アルミニウム箔またはアルミニウム合金箔とが加圧加熱成形装置により貼り合わされていることを特徴とする上記1〜6のいずれかに記載のLED用放熱基板。   7). The heat dissipation substrate for LED according to any one of the above 1 to 6, wherein a polyimide film, a copper foil or a copper alloy foil, and an aluminum foil or an aluminum alloy foil are bonded together by a pressure heating molding apparatus.

ここで、銅箔または銅合金箔の表面とアルミニウム箔またはアルミニウム合金箔の表面との間の熱抵抗(銅箔とアルミニウム箔の間の熱抵抗とも言う。)は、通常、ポリイミドフィルムの熱抵抗と同じ値になる。   Here, the thermal resistance between the surface of the copper foil or copper alloy foil and the surface of the aluminum foil or aluminum alloy foil (also referred to as the thermal resistance between the copper foil and the aluminum foil) is usually the thermal resistance of the polyimide film. The same value as

本発明のLED用放熱基板は、厚みの薄いポリイミドフィルムの片面に銅箔または銅合金箔が、反対側の面にアルミニウム箔またはアルミニウム合金箔が積層されているものであり、銅箔または銅合金箔の表面とアルミニウム箔またはアルミニウム合金箔の表面との間の熱抵抗が1.8℃/W以下である。このようなLED用放熱基板は従来にはなかったものであり、薄く、良好な屈曲特性を有し、優れた放熱性および耐電圧性を有している。   The LED heat dissipation board of the present invention is obtained by laminating a copper foil or a copper alloy foil on one surface of a thin polyimide film and an aluminum foil or an aluminum alloy foil on the opposite surface. The thermal resistance between the surface of the foil and the surface of the aluminum foil or aluminum alloy foil is 1.8 ° C./W or less. Such an LED heat dissipation board is unprecedented, is thin, has good bending characteristics, and has excellent heat dissipation and voltage resistance.

ポリイミドフィルムは絶縁性に優れているので、厚みを薄くしても十分な耐電圧が得られる。そして、ポリイミドフィルムを非常に薄くできることから、本発明のLED用放熱基板は、総厚みが小さく、熱抵抗が低く、良好な放熱性を有しており、機械加工性に優れ、良好な屈曲特性を有し、三次元加工することができる。本発明のLED用放熱基板は、量産性に優れるロール・ツー・ロール方式により製造することができる。   Since the polyimide film is excellent in insulation, a sufficient withstand voltage can be obtained even if the thickness is reduced. And since the polyimide film can be made very thin, the LED heat dissipation substrate of the present invention has a small total thickness, low thermal resistance, good heat dissipation, excellent machinability, and good bending properties. And can be processed three-dimensionally. The LED heat dissipation substrate of the present invention can be manufactured by a roll-to-roll method having excellent mass productivity.

アルミニウム箔またはアルミニウム合金箔は、一般的に、密着性を向上させる目的で、陽極酸化処理(アルマイト処理)されている。しかし、陽極酸化処理されているアルミニウム箔またはアルミニウム合金箔は表面に例えば4μm程度の厚い、比較的硬い酸化皮膜を有するため、これを用いた場合、LED用放熱基板の屈曲特性が低下することがある。本発明においては、陽極酸化処理されていないアルミニウム箔またはアルミニウム合金箔を用いることが好ましい。   An aluminum foil or an aluminum alloy foil is generally anodized (anodized) for the purpose of improving adhesion. However, the anodized aluminum foil or aluminum alloy foil has a thick and relatively hard oxide film on the surface, for example, about 4 μm, and if this is used, the bending characteristics of the heat dissipation substrate for LED may deteriorate. is there. In the present invention, it is preferable to use an aluminum foil or an aluminum alloy foil that has not been anodized.

本発明のLED用放熱基板は、ポリイミドフィルムの片面に銅箔または銅合金箔が、反対側の面にアルミニウム箔またはアルミニウム合金箔が積層されているものであり、銅箔または銅合金箔の表面とアルミニウム箔またはアルミニウム合金箔の表面との間の熱抵抗が1.8℃/W以下である。銅箔または銅合金箔の表面とアルミニウム箔またはアルミニウム合金箔の表面との間の熱抵抗は1.2℃/W以下であることが好ましく、0.8℃/W以下であることがより好ましく、0.6℃/W以下であることが特に好ましい。   The LED heat dissipation board of the present invention is one in which a copper foil or copper alloy foil is laminated on one side of a polyimide film, and an aluminum foil or aluminum alloy foil is laminated on the opposite side, and the surface of the copper foil or copper alloy foil And the surface of the aluminum foil or aluminum alloy foil have a thermal resistance of 1.8 ° C./W or less. The thermal resistance between the surface of the copper foil or copper alloy foil and the surface of the aluminum foil or aluminum alloy foil is preferably 1.2 ° C./W or less, more preferably 0.8 ° C./W or less. Particularly preferred is 0.6 ° C./W or less.

銅箔または銅合金箔の表面とアルミニウム箔またはアルミニウム合金箔の表面との間の熱抵抗の下限値は特に限定されないが、例えば0.1℃/W以上、さらには0.15℃/W以上、特に0.2℃/W以上であることが好ましい。   Although the lower limit value of the thermal resistance between the surface of the copper foil or copper alloy foil and the surface of the aluminum foil or aluminum alloy foil is not particularly limited, for example, 0.1 ° C / W or more, and further 0.15 ° C / W or more In particular, it is preferably 0.2 ° C./W or more.

本発明においては、接着剤などを使用せず、ポリイミドフィルムに銅箔または銅合金箔、およびアルミニウム箔またはアルミニウム合金箔が直接積層されていることが好ましい。したがって、ポリイミドフィルムの銅箔または銅合金箔との接合面、およびアルミニウム箔またはアルミニウム合金箔との接合面は、これら金属との密着性に優れるポリイミド層、好ましくはこれら金属との密着性に優れる熱圧着性のポリイミド層であることが好ましい。ポリイミドフィルムは、これら金属との密着性に優れる単層のポリイミドフィルム、特には、これら金属との密着性に優れる単層の熱圧着性のポリイミドフィルムであってもよく、耐熱性のポリイミド層の両面にこれら金属との密着性に優れるポリイミド層が積層されているもの、特には、耐熱性のポリイミド層の両面にこれら金属との密着性に優れる熱圧着性のポリイミド層が積層されているものであってもよい。機械的特性に優れる点から、耐熱性のポリイミド層の両面にこれら金属との密着性に優れるポリイミド層、好ましくは熱圧着性のポリイミド層が積層されているものが好ましい。   In the present invention, it is preferable that copper foil or copper alloy foil, and aluminum foil or aluminum alloy foil are directly laminated on the polyimide film without using an adhesive or the like. Therefore, the bonding surface of the polyimide film with the copper foil or copper alloy foil and the bonding surface with the aluminum foil or aluminum alloy foil have a polyimide layer excellent in adhesion to these metals, preferably excellent adhesion to these metals. A thermocompression bonding polyimide layer is preferred. The polyimide film may be a single-layer polyimide film excellent in adhesion to these metals, particularly a single-layer thermocompression bonding polyimide film excellent in adhesion to these metals. Those with a polyimide layer with excellent adhesion to these metals on both sides, especially those with a thermocompression bonding polyimide layer with excellent adhesion to these metals on both sides of a heat-resistant polyimide layer It may be. From the viewpoint of excellent mechanical properties, it is preferable that a polyimide layer having excellent adhesion to these metals, preferably a thermocompression bonding polyimide layer, is laminated on both surfaces of the heat-resistant polyimide layer.

本発明において、ポリイミドフィルムは、LED用放熱基板の製造後にポリイミドフィルムとなっていればよく、本発明のLED用放熱基板は、ポリイミドフィルムに銅箔または銅合金箔と、アルミニウム箔またはアルミニウム合金箔とを積層して製造したものに限定されない。例えば、ポリアミック酸などのポリイミド前駆体の溶液を銅箔または銅合金箔上に流延塗布し、熱処理・イミド化してポリイミドフィルムとし、このポリイミドフィルムにアルミニウム箔またはアルミニウム合金箔を熱圧着などにより積層して本発明のLED用放熱基板を製造してもよい。   In this invention, the polyimide film should just become a polyimide film after manufacture of the heat sink for LED, and the heat sink for LED of this invention is copper foil or copper alloy foil, and aluminum foil or aluminum alloy foil to a polyimide film. It is not limited to what was manufactured by laminating. For example, a solution of a polyimide precursor such as polyamic acid is cast on a copper foil or copper alloy foil, heat treated and imidized to form a polyimide film, and aluminum foil or aluminum alloy foil is laminated on the polyimide film by thermocompression bonding. And you may manufacture the thermal radiation board | substrate for LED of this invention.

ポリイミドフィルム及びLED用放熱基板の製造方法については後述する。   A method for manufacturing the polyimide film and the LED heat dissipation substrate will be described later.

本発明において用いる銅箔または銅合金箔は特に限定されないが、銅箔、特に圧延銅箔または電解銅箔を好適に用いることができる。   The copper foil or copper alloy foil used in the present invention is not particularly limited, but a copper foil, particularly a rolled copper foil or an electrolytic copper foil can be suitably used.

銅箔または銅合金箔の厚みは9〜200μmであることが好ましく、18〜200μmであることがより好ましい。また、厚みが35〜80μmの銅箔または銅合金箔が好ましい場合もある。一般に、銅箔または銅合金箔の厚みが厚い方が高電流用途に適する。   The thickness of the copper foil or copper alloy foil is preferably 9 to 200 μm, and more preferably 18 to 200 μm. A copper foil or copper alloy foil having a thickness of 35 to 80 μm may be preferable. Generally, a thicker copper foil or copper alloy foil is suitable for high current applications.

銅箔または銅合金箔としては、表面粗度を示すRzが3μm以下、より好ましくは2μm以下、特に好ましくは0.5〜1.5μmであるものが好ましい。Rzが小さい場合には、銅箔または銅合金箔の表面を表面処理して使用してもよい。   As copper foil or copper alloy foil, Rz which shows surface roughness is 3 micrometers or less, More preferably, it is 2 micrometers or less, Most preferably, it is 0.5-1.5 micrometers. When Rz is small, the surface of the copper foil or copper alloy foil may be used after surface treatment.

このような銅箔としては、圧延銅箔、電解銅箔、またはこれらの銅合金箔を挙げることができ、特に圧延銅箔が好ましい。   Examples of such a copper foil include a rolled copper foil, an electrolytic copper foil, or a copper alloy foil thereof, and a rolled copper foil is particularly preferable.

本発明において用いるアルミニウム箔またはアルミニウム合金箔は特に限定されず、アルミニウム合金箔は、アルミニウムを主成分とする他の金属との合金であればよい。アルミニウム合金箔としては、例えば、マグネシウムを主要添加物質としたアルミ合金(Al−Mg系合金)、例えば、JIS5052合金などのJIS5000系などを挙げることができる。   The aluminum foil or aluminum alloy foil used in the present invention is not particularly limited, and the aluminum alloy foil may be an alloy with another metal mainly composed of aluminum. Examples of the aluminum alloy foil include an aluminum alloy (Al—Mg alloy) containing magnesium as a main additive, for example, a JIS 5000 series such as a JIS 5052 alloy.

本発明においては、少なくともアルミニウムとマグネシウムとを含むアルミニウム合金箔が良好な屈曲特性を有するために好ましい。   In the present invention, an aluminum alloy foil containing at least aluminum and magnesium is preferable because it has good bending characteristics.

Al−Mg系合金は、どのような組成のものでも用いることができるが、マグネシウム含有量が1.5〜5質量%のもの、より好ましくは2〜3質量%のものが強度に優れるために好ましい。   The Al—Mg-based alloy can be used in any composition, but the magnesium content is 1.5 to 5% by mass, more preferably 2 to 3% by mass because the strength is excellent. preferable.

上記のように、良好な屈曲特性を有し、加工性に優れるLED用放熱基板が得られるので、陽極酸化処理されていないか、または陽極酸化処理層の薄い(例えば4μm未満、さらには3μm以下、特に2μm以下)アルミニウム箔またはアルミニウム合金箔、好ましくは陽極酸化処理されていないアルミニウム箔またはアルミニウム合金箔を用いることが好ましい。また、陽極酸化処理されていないか、または陽極酸化処理層の薄いアルミニウム箔またはアルミニウム合金箔を用いると、優れた耐屈曲性が得られ、さらに熱圧着によりポリイミドフィルムに張り合わせる場合、外観不良が起こりにくい。   As described above, an LED heat dissipation substrate having good bending characteristics and excellent workability can be obtained, so that it is not anodized or has a thin anodized layer (for example, less than 4 μm, or even 3 μm or less). In particular, it is preferable to use an aluminum foil or an aluminum alloy foil, preferably an anodized aluminum foil or an aluminum alloy foil. In addition, when anodized or thin anodized aluminum foil or aluminum alloy foil is used, excellent bending resistance can be obtained. Hard to happen.

また、界面活性剤を含むアルカリ性電解液を用いた交流電解処理(KO処理)を施したアルミニウム箔またはアルミニウム合金箔、例えば、古河スカイ株式会社製、KO処理板も用いることができるが、KO処理が施されていないアルミニウム箔またはアルミニウム合金箔を用いることが好ましい。   Further, an aluminum foil or aluminum alloy foil subjected to alternating current electrolytic treatment (KO treatment) using an alkaline electrolyte containing a surfactant, for example, a KO treatment plate manufactured by Furukawa Sky Co., Ltd. can also be used. It is preferable to use an aluminum foil or an aluminum alloy foil that has not been subjected to.

アルミニウム箔またはアルミニウム合金箔は、ポリイミドフィルムと積層する側の表面は、陽極酸化処理(アルマイト処理、または硫酸アルマイト処理ともいう)やKO処理されていてもよいが、耐熱性と折り曲げ性の面から陽極酸化処理やKO処理されていないアルミニウム箔またはアルミニウム合金箔を用いることが好ましい。   In the aluminum foil or aluminum alloy foil, the surface on the side laminated with the polyimide film may be anodized (also referred to as alumite treatment or sulfuric acid alumite treatment) or KO treatment, but from the viewpoint of heat resistance and bendability. It is preferable to use an aluminum foil or aluminum alloy foil that has not been anodized or KO-treated.

アルミニウム箔またはアルミニウム合金箔のポリイミドフィルムと張り合わせる表面は、アルミニウム箔またはアルミニウム合金箔の製造により付着した油分を除去するために、有機溶剤で処理されていることが好ましい。   The surface of the aluminum foil or aluminum alloy foil bonded to the polyimide film is preferably treated with an organic solvent in order to remove the oil adhering to the production of the aluminum foil or aluminum alloy foil.

アルミニウム箔またはアルミニウム合金箔の厚みは200μm〜1mmであることが好ましく、250〜500μmであることがより好ましく、300〜400μmであることが特に好ましい。一般に、アルミニウム箔またはアルミニウム合金箔の厚みが薄い方が折り曲げ用途に適する。   The thickness of the aluminum foil or aluminum alloy foil is preferably 200 μm to 1 mm, more preferably 250 to 500 μm, and particularly preferably 300 to 400 μm. In general, a thinner aluminum foil or aluminum alloy foil is suitable for bending applications.

本発明では、アルミニウム箔またはアルミニウム合金箔にヒートシンクを接合して放熱するようにすることができ、はんだ付け可能なアルミニウム箔またはアルミニウム合金箔、例えば、東洋鋼鈑株式会社製、サップレート(SAPlate)を用いることで直接はんだ付けすることが可能になる。   In the present invention, a heat sink can be joined to an aluminum foil or an aluminum alloy foil to dissipate heat, and solderable aluminum foil or aluminum alloy foil, for example, Saplate (manufactured by Toyo Kohan Co., Ltd.) It becomes possible to solder directly by using.

本発明では、ポリイミドフィルムが金属箔(銅箔、アルミニウム箔)と接する側に熱圧着性層を有する場合、その熱圧着性層の厚みが、金属箔のポリイミドフィルムとの接着面の表面粗さ(Rzjis)以上であることが好ましい。熱圧着性層の厚みが金属箔の表面粗さ(Rzjis)未満の場合、得られるLED用放熱基板のポリイミドフィルムと金属箔とのピール強度は、場所によるバラツキが大きいものとなることがある。   In this invention, when a polyimide film has a thermocompression bonding layer in the side which contacts metal foil (copper foil, aluminum foil), the thickness of the thermocompression bonding layer is the surface roughness of the adhesive surface with the polyimide film of metal foil. (Rzjis) or more is preferable. When the thickness of the thermocompression bonding layer is less than the surface roughness (Rzjis) of the metal foil, the peel strength between the polyimide film and the metal foil of the obtained heat dissipation substrate for LED may vary greatly depending on the location.

次に、ポリイミドフィルムについて説明する。   Next, the polyimide film will be described.

ポリイミドフィルムとしては、特に限定されないが、銅箔やアルミニウム箔との密着性に優れ、好ましくは熱圧着性であり、積層した銅箔などの金属箔をエッチングすることができて、耐熱性、電気絶縁性や屈曲性に優れるものであればよい。また、必要に応じて金属箔を充分に支持できるものであればよく、必要に応じて金属配線を形成する時に使用するフォトレジスト層を除去するための現像液や剥離液に大きな影響を受けないものであればよい。   Although it does not specifically limit as a polyimide film, It is excellent in adhesiveness with copper foil and aluminum foil, Preferably it is thermocompression bonding, metal foils, such as laminated copper foil, can be etched, heat resistance, electricity Any material having excellent insulation and flexibility can be used. In addition, it is sufficient if it can sufficiently support the metal foil as required, and it is not greatly affected by the developer or the stripping solution for removing the photoresist layer used when forming the metal wiring if necessary. Anything is acceptable.

ポリイミドフィルムとしては、単層、または2層以上を積層した複層のフィルム、シート、板の形状のものを用いることができる。   As the polyimide film, a single layer or a multilayer film, sheet, or plate in which two or more layers are laminated can be used.

ポリイミドフィルムとしては、宇部興産株式会社製「ユーピレックス(VT)」(商品名)などが挙げられるが、これらに限定されない。   Examples of the polyimide film include, but are not limited to, “Upilex (VT)” (trade name) manufactured by Ube Industries, Ltd.

ポリイミドフィルムの厚みは、特に限定されるものではないが、十分な電気的な絶縁性能が得られれば薄いほど好ましく、3〜50μm、より好ましくは4〜35μm、より好ましくは5〜25μm、より好ましくは7〜15μm、特に好ましくは9〜15μmであることが好ましい。   The thickness of the polyimide film is not particularly limited, but it is preferably as thin as sufficient electrical insulation performance is obtained, and is preferably 3 to 50 μm, more preferably 4 to 35 μm, more preferably 5 to 25 μm, and more preferably. Is preferably 7 to 15 μm, particularly preferably 9 to 15 μm.

ポリイミドフィルムの厚みは、耐ハンダ性の面から4〜15μm、さらに7〜12.5μmであることが好ましく、さらに耐ハンダ性と熱抵抗の面から9〜15μmであることが好ましい。   The thickness of the polyimide film is preferably 4 to 15 μm and more preferably 7 to 12.5 μm from the viewpoint of solder resistance, and further preferably 9 to 15 μm from the viewpoint of solder resistance and thermal resistance.

本発明においては、基板の少なくとも片面がコロナ放電処理、プラズマ処理、化学的粗面化処理、物理的粗面化処理、シランカップリング剤などの表面処理剤による表面処理などの表面処理されたポリイミドフィルムを用いることができる。単層の熱圧着性のポリイミドフィルムの場合や、フィルムの熱圧着性のポリイミド層を直接金属と張り合わせる場合は、通常、表面処理剤による表面処理を行う必要はない。   In the present invention, at least one surface of the substrate is subjected to surface treatment such as corona discharge treatment, plasma treatment, chemical roughening treatment, physical roughening treatment, or surface treatment with a surface treatment agent such as a silane coupling agent. A film can be used. In the case of a single-layer thermocompression bonding polyimide film or when the thermocompression bonding polyimide layer of the film is directly bonded to a metal, it is usually unnecessary to perform a surface treatment with a surface treatment agent.

ポリイミドフィルムの表面処理に用いるシランカップリング剤としては、最も一般的なアミノ官能性シランカップリング剤、エポキシ官能性シランカップリング剤を始め、メルカプト官能性シランカップリング剤、オレフィン官能性シランカップリング剤、アクリル官能性シランカップリング剤など、種々のものを用いることができる。   The most common amino-functional silane coupling agents and epoxy-functional silane coupling agents, mercapto-functional silane coupling agents, and olefin-functional silane coupling agents are used as surface treatments for polyimide films. Various agents such as an agent and an acrylic functional silane coupling agent can be used.

シランカップリング剤としては、具体的には、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、ビニルフェニルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、4−グリシジルブチルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−3−(4−(3−アミノプロポキシ)ブトキシ)プロピル−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、イミダゾールシラン、トリアジンシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等が挙げられる。ポリイミドフィルムの表面処理剤としては、アミノシラン系、エポキシシラン系などのシランカップリング剤が好ましい。   Specific examples of the silane coupling agent include vinyltrimethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, vinylphenyltrimethoxysilane, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, and γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane. 4-glycidylbutyltrimethoxysilane, γ-aminopropyltriethoxysilane, N-β (aminoethyl) γ-aminopropyltrimethoxysilane, N-3- (4- (3-aminopropoxy) butoxy) propyl-3 -Aminopropyltrimethoxysilane, imidazolesilane, triazinesilane, γ-mercaptopropyltrimethoxysilane and the like. As the surface treating agent for the polyimide film, silane coupling agents such as aminosilane and epoxysilane are preferable.

また、シランカップリング剤に代えて、チタネート系カップリング剤、またはジルコネート系カップリング剤によって処理した場合についても、同様の効果が得られる。   Moreover, it replaces with a silane coupling agent, and the same effect is acquired also when it processes with a titanate coupling agent or a zirconate coupling agent.

なお、シランカップリング剤による表面処理は公知の方法に従って行うことができる。   The surface treatment with the silane coupling agent can be performed according to a known method.

シランカップリング剤等の表面処理剤で処理(表面処理)されているとは、ポリイミドフィルムの表面において、表面処理剤がそのままの状態で含まれている場合でもよく、あるいは、ポリイミドまたはポリイミド前駆体、またはこれらの有機溶液中で例えば320〜550℃の加熱により化学変化などを起こした状態で含まれている場合でもよい。   Treated with a surface treatment agent such as a silane coupling agent (surface treatment) may mean that the surface treatment agent is contained as it is on the surface of the polyimide film, or polyimide or a polyimide precursor. Alternatively, these organic solutions may be contained in a state in which a chemical change or the like is caused by heating at 320 to 550 ° C., for example.

ポリイミドフィルムは、基板の剛性が小さいなど、取扱いが困難である場合には、基板の裏面に後工程で剥離可能な剛性のあるフィルムや基板を張り付けて用いることができる。   When the polyimide film is difficult to handle because the rigidity of the substrate is small, for example, a rigid film or substrate that can be peeled off in a subsequent process can be attached to the back surface of the substrate.

本発明では、ポリイミドフィルムとして、耐熱性を有する層(Sa1)と、この耐熱性を有する層の両面に、接着剤層を含む熱圧着性及び/又は接着性を有する層(Sa2)を有する2層以上の多層の熱圧着性及び/又は接着性を有するものを用いることができる。その層構成の一例としては、Sa2/Sa1/Sa2、Sa2/Sa1/Sa2/Sa1/Sa2等を挙げることができる。また、熱圧着性を有する層(Sa2)単層のポリイミドフィルムを用いることもできる。   In the present invention, the polyimide film has a heat-resistant layer (Sa1) and a thermocompression-bonding and / or adhesive layer (Sa2) including an adhesive layer on both surfaces of the heat-resistant layer. What has the multilayer thermocompression bonding property and / or adhesiveness more than a layer can be used. Examples of the layer structure include Sa2 / Sa1 / Sa2, Sa2 / Sa1 / Sa2 / Sa1 / Sa2, and the like. Moreover, the layer (Sa2) single layer polyimide film which has thermocompression bonding property can also be used.

ポリイミドフィルムの熱圧着性及び/又は接着性を有する層(Sa2)は、金属箔との貼り合わせに使用される。この熱圧着性及び/又は接着性を有する層(Sa2)は、熱圧着性を有する層及び接着性を有する層から選ばれる層である。   The layer (Sa2) having a thermocompression bonding property and / or adhesion property of the polyimide film is used for bonding with the metal foil. This layer (Sa2) having thermocompression bonding and / or adhesion is a layer selected from a layer having thermocompression bonding and a layer having adhesion.

2層以上の熱圧着性及び/又は接着性を有する多層のポリイミドフィルムにおいて、耐熱性を有する層(Sa1)と熱圧着性及び/又は接着性を有する層(Sa2)の厚みは適宜選択することができる。しかし、本発明においては、上記のように、最外層の熱圧着性及び/又は接着性を有する層(Sa2)の厚みは、金属箔のポリイミドフィルムとの接着面の表面粗さ(Rzjis)以上であることが好ましく、好ましくは0.5μm以上、より好ましくは1μm以上、さらに好ましくは2μm以上の範囲にすることが好ましい。また、熱圧着性及び/又は接着性を有する層(Sa2)の厚みは、3μm以下であることが好ましい。   In a multilayer polyimide film having two or more thermocompression bonding properties and / or adhesion properties, the thicknesses of the heat-resistant layer (Sa1) and the thermocompression bonding property and / or adhesion layer (Sa2) should be appropriately selected. Can do. However, in the present invention, as described above, the thickness of the outermost layer having thermocompression bonding and / or adhesion (Sa2) is equal to or greater than the surface roughness (Rzjis) of the adhesive surface of the metal foil to the polyimide film. Preferably, it is 0.5 μm or more, more preferably 1 μm or more, and even more preferably 2 μm or more. Moreover, it is preferable that the thickness (Sa2) which has thermocompression bonding property and / or adhesiveness is 3 micrometers or less.

本発明のLED用放熱基板は、銅箔または銅合金箔と、ポリイミドフィルム(ポリイミド層)と、アルミニウム箔またはアルミニウム合金箔が積層されているものであり、その製造方法によって限定されるものではない。   The heat dissipation substrate for LED of the present invention is obtained by laminating a copper foil or a copper alloy foil, a polyimide film (polyimide layer), and an aluminum foil or an aluminum alloy foil, and is not limited by the manufacturing method. .

LED用放熱基板としては、ポリイミドフィルムの片面に銅箔または銅合金箔を、反対側の面にアルミニウム箔またはアルミニウム合金箔を直接、または接着剤(熱圧着性材料)を介して、加熱および/または加圧により積層したものなどを用いることができる。また、銅箔または銅合金箔、およびアルミニウム箔またはアルミニウム合金箔に、熱圧着性ポリイミド層となるポリイミド溶液あるいはポリイミド前駆体溶液(ポリアミック酸溶液など)を塗布し、必要に応じて加熱乾燥・イミド化して、これらとポリイミドフィルムとを加熱や加圧などにより積層して得られるものを用いることもできる。銅箔または銅合金箔に、熱圧着性ポリイミド層となるポリイミド溶液あるいはポリイミド前駆体溶液(ポリアミック酸溶液など)を塗布し、必要に応じて加熱乾燥・イミド化し、次いで、これにアルミニウム箔またはアルミニウム合金箔を加熱や加圧などにより積層して得られるものを用いることもできる。   As a heat dissipation board for LED, a copper foil or a copper alloy foil is applied to one side of a polyimide film, an aluminum foil or an aluminum alloy foil is directly applied to the opposite side, or via an adhesive (thermocompression bonding material) and / or Or what was laminated by pressurization etc. can be used. In addition, a polyimide solution or a polyimide precursor solution (polyamic acid solution, etc.) to be a thermocompression bonding polyimide layer is applied to copper foil or copper alloy foil, and aluminum foil or aluminum alloy foil. It is also possible to use those obtained by laminating these and a polyimide film by heating or pressing. Apply a polyimide solution or polyimide precursor solution (polyamic acid solution, etc.) to be a thermocompression bonding polyimide layer to copper foil or copper alloy foil, heat-dry and imidize as necessary, then add aluminum foil or aluminum to this It is also possible to use an alloy foil obtained by laminating by heating or pressing.

ポリイミドフィルムと金属箔(銅箔、アルミニウム箔)とは直接積層されていることが好ましいが、ポリイミドフィルムの表面と金属箔とが、加圧、加熱または加圧加熱を行っても、圧着性が低い場合には、ポリイミドフィルムと金属箔とを接着剤を介して積層することが好ましい。   It is preferable that the polyimide film and the metal foil (copper foil, aluminum foil) are directly laminated. However, even if the surface of the polyimide film and the metal foil are pressurized, heated or heated under pressure, the pressure-bonding property is maintained. When it is low, it is preferable to laminate the polyimide film and the metal foil through an adhesive.

ポリイミドフィルムや金属箔に接着性または熱圧着性の有機材料または樹脂、あるいはポリイミドフィルム用の樹脂を塗布する場合、その塗布は、ロールコーター、スリットコーター、コンマコーターなど、一般的に用いられる方法で行うことができる。   When an adhesive or thermocompression bonding organic material or resin, or a polyimide film resin is applied to a polyimide film or metal foil, the application is performed by a commonly used method such as a roll coater, a slit coater, or a comma coater. It can be carried out.

接着剤層又は熱圧着性樹脂層を有する金属箔とポリイミドフィルムとを積層する場合、または金属箔と接着剤層又は熱圧着性樹脂層を有するポリイミドフィルムとを積層する場合、加熱装置、加圧装置または加圧加熱装置を用いて、これらを積層することができる。加熱条件および加圧条件は、用いる材料に応じて適宜選択することが好ましい。また、金属箔とポリイミドフィルムとの積層は、連続またはバッチで行うことができれば特に限定されないが、ロールラミネートあるいはダブルベルトプレス等を用いて連続して行うことが好ましい。   When laminating a metal foil and a polyimide film having an adhesive layer or a thermocompression bonding resin layer, or laminating a metal foil and a polyimide film having an adhesive layer or a thermocompression bonding resin layer, a heating device, pressurization These can be laminated | stacked using an apparatus or a pressurization heating apparatus. It is preferable to appropriately select the heating condition and the pressurizing condition depending on the material used. The lamination of the metal foil and the polyimide film is not particularly limited as long as it can be performed continuously or batchwise, but it is preferably performed continuously using roll lamination or a double belt press.

ポリイミドフィルムとしては、耐熱性、電気絶縁性などに優れるポリイミドフィルムを好適に用いることができる。   As the polyimide film, a polyimide film excellent in heat resistance, electrical insulation and the like can be suitably used.

ポリイミドフィルムとしては、単層のポリイミドフィルムを用いてもよく、2層以上のポリイミドが積層されているポリイミドフィルムを用いてもよい。また、ポリイミドの種類も特に限定されるものではない。   As the polyimide film, a single-layer polyimide film may be used, or a polyimide film in which two or more layers of polyimide are laminated may be used. Moreover, the kind of polyimide is not particularly limited.

ポリイミドフィルムは、公知の方法で製造することができる。例えば単層のポリイミドフィルムは、
(1)ポリイミドの前駆体であるポリアミック酸溶液を支持体上に流延または塗布し、イミド化する方法、
(2)ポリイミド溶液を支持体上に流延または塗布し、必要に応じて加熱する方法
などにより得ることができる。
A polyimide film can be manufactured by a well-known method. For example, a single-layer polyimide film
(1) A method in which a polyamic acid solution, which is a polyimide precursor, is cast or applied onto a support and imidized;
(2) The polyimide solution can be obtained by casting or coating on a support and heating as required.

2層以上のポリイミドフィルムは、
(3)ポリイミドの前駆体であるポリアミック酸溶液を支持体上に流延または塗布し、さらに、そのポリアミック酸層の上面に、2層目以上のポリイミドの前駆体であるポリアミック酸溶液を逐次的に流延または塗布し、イミド化する方法、
(4)2層以上のポリイミドの前駆体であるポリアミック酸溶液を同時に支持体上に流延または塗布し、イミド化する方法、
(5)ポリイミド溶液を支持体上に流延または塗布し、さらに、そのポリイミド層の上面に、2層目以上のポリイミド溶液を逐次的に流延または塗布し、必要に応じて加熱する方法、
(6)2層以上のポリイミド溶液を同時に支持体上に流延または塗布し、必要に応じて加熱する方法、
(7)上記(1)から(6)で得られた2枚以上のポリイミドフィルムを直接、または接着剤を介して積層する方法
などにより得ることができる。
Two or more layers of polyimide film
(3) A polyamic acid solution, which is a polyimide precursor, is cast or coated on a support, and a polyamic acid solution, which is a second or more polyimide precursor, is sequentially applied to the upper surface of the polyamic acid layer. A method of casting or applying to, imidizing,
(4) A method in which a polyamic acid solution which is a precursor of two or more layers of polyimide is simultaneously cast or applied on a support and imidized;
(5) A method in which a polyimide solution is cast or coated on a support, and a polyimide solution of the second layer or more is sequentially cast or coated on the upper surface of the polyimide layer, and heated as necessary.
(6) A method in which two or more layers of polyimide solution are simultaneously cast or coated on a support and heated as necessary.
(7) It can be obtained by a method of laminating two or more polyimide films obtained in (1) to (6) directly or via an adhesive.

なお、LED用放熱基板の銅箔または銅合金箔や、アルミニウム箔またはアルミニウム合金箔を支持体として、その上に直接ポリイミドフィルムを形成することもできる。   In addition, a polyimide film can also be directly formed on a copper foil or copper alloy foil of an LED heat dissipation board, or an aluminum foil or aluminum alloy foil as a support.

ポリイミドフィルムとして、好ましくは耐熱性ポリイミド層(S1)の両面に熱圧着性ポリイミド層(S2)を有する3層以上の熱圧着性を有するポリイミドフィルムを用いることができる。この多層ポリイミドフィルムの層構成の一例としては、S2/S1/S2、S2/S1/S2/S1/S2等を挙げることができる。また、熱圧着性ポリイミド層(S2)単層のポリイミドフィルムを用いることもできる。   As the polyimide film, a polyimide film having three or more layers having thermocompression bonding polyimide layers (S2) on both sides of the heat resistant polyimide layer (S1) is preferably used. Examples of the layer structure of the multilayer polyimide film include S2 / S1 / S2, S2 / S1 / S2 / S1 / S2, and the like. A thermocompression-bonding polyimide layer (S2) single-layer polyimide film can also be used.

熱圧着性を有するポリイミドフィルムにおいて、耐熱性ポリイミド層(S1)と熱圧着性ポリイミド層(S2)の厚みは適宜選択することができる。しかし、本発明においては、上記のように、最外層の熱圧着性ポリイミド層(S2)の厚みは、金属箔のポリイミドフィルムとの接着面の表面粗さ(Rzjis)以上であることが好ましく、耐熱性ポリイミド層(S1)の両面に熱圧着性ポリイミド層(S2)を有するポリイミドフィルムの場合、最外層の熱圧着性ポリイミド層(S2)の厚みは、銅箔やアルミニウム箔と熱圧着により十分な密着性を得ることができればよく、好ましくは0.5〜10μm、より好ましくは1〜7μm、さらに好ましくは2〜5μmの範囲であることが好ましい。また、熱圧着性ポリイミド層(S2)の厚みは、3μm以下であることが好ましい。   In the polyimide film having thermocompression bonding, the thicknesses of the heat-resistant polyimide layer (S1) and the thermocompression bonding polyimide layer (S2) can be appropriately selected. However, in the present invention, as described above, the thickness of the outermost thermocompression bonding polyimide layer (S2) is preferably equal to or greater than the surface roughness (Rzjis) of the adhesion surface of the metal foil to the polyimide film, In the case of a polyimide film having a thermocompression bonding polyimide layer (S2) on both sides of the heat resistant polyimide layer (S1), the outermost thermocompression bonding polyimide layer (S2) is sufficiently thick by thermocompression bonding with a copper foil or an aluminum foil. It is sufficient that a good adhesion can be obtained, preferably 0.5 to 10 μm, more preferably 1 to 7 μm, and still more preferably 2 to 5 μm. The thickness of the thermocompression bonding polyimide layer (S2) is preferably 3 μm or less.

耐熱性ポリイミド層(S1)の両面に厚みが略等しい熱圧着性ポリイミド層(S2)を設けることにより、カールを抑制することができる。   Curling can be suppressed by providing thermocompression bonding polyimide layers (S2) having substantially the same thickness on both surfaces of the heat-resistant polyimide layer (S1).

熱圧着性を有するポリイミドフィルムにおいて、耐熱性ポリイミド層(S1)の耐熱性ポリイミドとしては、下記の特徴(1)〜(4)を少なくとも1つ有するもの、特には下記の特徴(1)〜(4)を少なくとも2つ有するもの[(1)と(2)、(1)と(3)、(2)と(3)の組み合わせ等]を用いることができ、特に下記の特徴を全て有するものを好適に用いることができる。   In the polyimide film having thermocompression bonding, the heat-resistant polyimide of the heat-resistant polyimide layer (S1) has at least one of the following features (1) to (4), particularly the following features (1) to ( 4) having at least two [(1) and (2), (1) and (3), combinations of (2) and (3), etc.], especially having all the following characteristics Can be suitably used.

(1)単独のポリイミドフィルムの場合に、ガラス転移温度が300℃以上、好ましくはガラス転移温度が330℃以上、さらに好ましくは確認不可能であるもの。   (1) In the case of a single polyimide film, the glass transition temperature is 300 ° C. or higher, preferably the glass transition temperature is 330 ° C. or higher, and more preferably cannot be confirmed.

(2)単独のポリイミドフィルムの場合に、線膨張係数(50〜200℃)(MD)が、ポリイミドフィルムに積層する銅箔などの金属箔の熱膨張係数に近いもの。具体的には、ポリイミドフィルムの熱膨張係数は5×10−6〜28×10−6cm/cm/℃であることが好ましく、9×10−6〜20×10−6cm/cm/℃であることがより好ましく、さらに12×10−6〜18×10−6cm/cm/℃であることが好ましい。(2) In the case of a single polyimide film, the linear expansion coefficient (50 to 200 ° C.) (MD) is close to the thermal expansion coefficient of a metal foil such as a copper foil laminated on the polyimide film. Specifically, the thermal expansion coefficient of the polyimide film is preferably 5 × 10 −6 to 28 × 10 −6 cm / cm / ° C., and 9 × 10 −6 to 20 × 10 −6 cm / cm / ° C. It is more preferable that it is 12 × 10 −6 to 18 × 10 −6 cm / cm / ° C.

(3)単独のポリイミドフィルムの場合に、引張弾性率(MD、ASTM−D882)が300kg/mm以上、好ましくは500kg/mm以上、さらに好ましくは700kg/mm以上であるもの。(3) In the case of a single polyimide film, the tensile elastic modulus (MD, ASTM-D882) is 300 kg / mm 2 or more, preferably 500 kg / mm 2 or more, more preferably 700 kg / mm 2 or more.

(4)好ましくは熱収縮率が0.05%以下であるもの。   (4) Preferably the thermal shrinkage rate is 0.05% or less.

耐熱性ポリイミド層(S1)としては、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(s−BPDA)、ピロメリット酸二無水物(PMDA)および3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(BTDA)から選ばれる成分を主とする酸成分と、パラフェニレンジアミン(PPD)および4,4’−ジアミノジフェニルエーテル(DADE)から選ばれる成分を主とするジアミン成分とから合成されるポリイミドを用いることができる。4,4’−ジアミノジフェニルエーテル(DADE)は、一部または全部を3,4’−ジアミノジフェニルエーテル(DADE)と置き換えることができる。   As the heat-resistant polyimide layer (S1), 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride (s-BPDA), pyromellitic dianhydride (PMDA) and 3,3 ′, 4, Mainly an acid component mainly composed of components selected from 4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride (BTDA), and a component selected from paraphenylenediamine (PPD) and 4,4′-diaminodiphenyl ether (DADE). Polyimide synthesized from a diamine component can be used. 4,4'-diaminodiphenyl ether (DADE) can be partially or wholly replaced with 3,4'-diaminodiphenyl ether (DADE).

耐熱性ポリイミド層(S1)として、例えば、次のポリイミドが好ましい。   As the heat-resistant polyimide layer (S1), for example, the following polyimide is preferable.

(1)3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(s−BPDA)と、パラフェニレンジアミン(PPD)および場合によりさらに4,4’−ジアミノジフェニルエーテル(DADE)とから製造されるポリイミド。この場合、PPD/DADE(モル比)は100/0〜85/15であることが好ましい。   (1) Manufactured from 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride (s-BPDA), paraphenylenediamine (PPD) and optionally 4,4′-diaminodiphenyl ether (DADE) Polyimide. In this case, the PPD / DADE (molar ratio) is preferably 100/0 to 85/15.

(2)3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(s−BPDA)およびピロメリット酸二無水物(PMDA)と、パラフェニレンジアミン(PPD)および4,4’−ジアミノジフェニルエーテル(DADE)とから製造されるポリイミド。この場合、BPDA/PMDA(モル比)は15/85〜85/15であり、PPD/DADE(モル比)は90/10〜10/90であることが好ましい。   (2) 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride (s-BPDA) and pyromellitic dianhydride (PMDA), paraphenylenediamine (PPD) and 4,4′-diamino Polyimide produced from diphenyl ether (DADE). In this case, the BPDA / PMDA (molar ratio) is preferably 15/85 to 85/15, and the PPD / DADE (molar ratio) is preferably 90/10 to 10/90.

(3)ピロメリット酸二無水物(PMDA)と、パラフェニレンジアミン(PPD)および4,4’−ジアミノジフェニルエーテル(DADE)とから製造されるポリイミド。この場合、DADE/PPD(モル比)は90/10〜10/90であることが好ましい。   (3) A polyimide produced from pyromellitic dianhydride (PMDA), paraphenylenediamine (PPD) and 4,4'-diaminodiphenyl ether (DADE). In this case, the DADE / PPD (molar ratio) is preferably 90/10 to 10/90.

(4)3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(BTDA)およびピロメリット酸二無水物(PMDA)と、パラフェニレンジアミン(PPD)および4,4’−ジアミノジフェニルエーテル(DADE)とから製造されるポリイミド。この場合、BTDA/PMDA(モル比)が20/80〜90/10であり、PPD/DADE(モル比)が30/70〜90/10であることが好ましい。   (4) 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride (BTDA) and pyromellitic dianhydride (PMDA), paraphenylenediamine (PPD) and 4,4′-diaminodiphenyl ether ( DADE). In this case, it is preferable that BTDA / PMDA (molar ratio) is 20/80 to 90/10, and PPD / DADE (molar ratio) is 30/70 to 90/10.

また、耐熱性ポリイミドの物性を損なわない範囲で、他のテトラカルボン酸二無水物やジアミンを使用してもよい。   Moreover, you may use another tetracarboxylic dianhydride and diamine in the range which does not impair the physical property of heat resistant polyimide.

耐熱性ポリイミド層(S1層)の耐熱性ポリイミドの合成は、最終的に各成分の割合が前記範囲内であればランダム重合またはブロック重合のいずれの方法によっても達成される。また、あらかじめ2種類のポリアミック酸を合成しておき、このポリアミック酸溶液を混合後、反応条件下で混合して均一溶液とする方法によっても達成される。   The synthesis of the heat-resistant polyimide of the heat-resistant polyimide layer (S1 layer) can be achieved by either random polymerization or block polymerization as long as the ratio of each component is finally within the above range. It can also be achieved by a method in which two types of polyamic acids are synthesized in advance, and the polyamic acid solution is mixed and then mixed under reaction conditions to obtain a uniform solution.

耐熱性ポリイミドは、次のようにして製造することができる。まず、前記の各成分を使用し、ジアミン成分と酸成分(テトラカルボン酸二無水物)の略等モル量を有機溶媒中で反応させて、ポリアミック酸の溶液とする。ポリアミック酸の溶液は、均一な溶液状態が保たれていれば一部がイミド化されていてもよい。そして、このポリアミック酸の溶液をドープ液として使用し、そのドープ液の薄膜を形成した後、その薄膜を加熱し、薄膜から溶媒を蒸発させて除去すると共にポリアミック酸をイミド環化することにより耐熱性ポリイミドを製造することができる。   The heat resistant polyimide can be manufactured as follows. First, using each of the above components, a substantially equimolar amount of a diamine component and an acid component (tetracarboxylic dianhydride) is reacted in an organic solvent to obtain a polyamic acid solution. A part of the polyamic acid solution may be imidized as long as a uniform solution state is maintained. The polyamic acid solution is used as a dope solution, and after forming a thin film of the dope solution, the thin film is heated to remove the solvent by evaporating the polyamic acid and imide cyclization of the polyamic acid. Can be produced.

本発明においては、耐熱性ポリイミドのドープ液の薄膜に熱圧着性ポリイミドのドープ液の薄膜を積層後に、両方を同時にイミド化することができる。本発明においては、耐熱性ポリイミドのドープ液と熱圧着性ポリイミドのドープ液とを共押出して、耐熱性ポリイミドのドープ液の薄膜と熱圧着性ポリイミドのドープ液の薄膜とを積層後に、両方を同時にイミド化することもできる。本方法については後述する。   In the present invention, after laminating a thin film of a thermocompression bonding polyimide dope on a thin film of a heat resistant polyimide dope, both can be simultaneously imidized. In the present invention, the heat-resistant polyimide dope solution and the thermocompression bonding polyimide dope solution are coextruded, and after the heat resistant polyimide dope solution thin film and the thermocompression bonding polyimide dope solution thin film are laminated, It is also possible to imidize at the same time. This method will be described later.

一方、熱圧着性ポリイミド層(S2)の熱圧着性ポリイミドは、(1)金属箔との熱圧着性を有するポリイミドである。この熱圧着性ポリイミドとしては、好ましくは熱圧着性ポリイミドのガラス転移温度以上から400℃以下の温度で金属箔と積層することができる熱圧着性を有するポリイミドであることが好ましい。   On the other hand, the thermocompression bonding polyimide of the thermocompression bonding polyimide layer (S2) is (1) a polyimide having thermocompression bonding with a metal foil. This thermocompression bonding polyimide is preferably a polyimide having thermocompression bonding property that can be laminated with a metal foil at a temperature not lower than the glass transition temperature of the thermocompression bonding polyimide and not higher than 400 ° C.

熱圧着性ポリイミド層(S2)の熱圧着性ポリイミドは、さらに、以下の特徴(2)〜(5)を少なくとも1つ有することが好ましい。   The thermocompression bonding polyimide of the thermocompression bonding polyimide layer (S2) preferably further has at least one of the following features (2) to (5).

(2)金属箔とポリイミド(S2)とのピール強度が0.7N/mm以上であり、150℃で168時間加熱処理後でもピール強度の保持率が90%以上、さらには95%以上、特に100%以上であること。   (2) The peel strength between the metal foil and the polyimide (S2) is 0.7 N / mm or more, and the peel strength retention is 90% or more, even 95% or more, even after heat treatment at 150 ° C. for 168 hours. 100% or more.

(3)ガラス転移温度が130〜330℃であること。   (3) The glass transition temperature is 130 to 330 ° C.

(4)引張弾性率が100〜700Kg/mmであること。(4) The tensile elastic modulus is 100 to 700 Kg / mm 2 .

(5)線膨張係数(50〜200℃)(MD)が13〜30×10−6cm/cm/℃であること。(5) The linear expansion coefficient (50 to 200 ° C.) (MD) is 13 to 30 × 10 −6 cm / cm / ° C.

熱圧着性ポリイミド層(S2)の熱圧着性ポリイミドとしては、種々の公知の熱可塑性ポリイミドから選択することができる。例えば、
2,3,3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(a−BPDA)、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(s−BPDA)、ピロメリット酸二無水物(PMDA)、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(BTDA)、3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、4,4’−オキシジフタル酸二無水物(ODPA)、p−フェニレンビス(トリメリット酸モノエステル無水物)、3,3’,4,4’−エチレングリコールジベンゾエートテトラカルボン酸二無水物などから選ばれる成分を含む酸成分、好ましくはそれらを主成分として含む酸成分と、
1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルフォン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルフォンなどから選ばれる、少なくとも主鎖にベンゼン環を3個有するジアミン成分を含み、好ましくはそれらを主成分として含み、必要に応じて主鎖にベンゼン環を1個または2個有するジアミン成分をさらに含むジアミン成分と
から合成されるポリイミドを用いることができる。
The thermocompression bonding polyimide layer (S2) can be selected from various known thermoplastic polyimides. For example,
2,3,3 ′, 4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride (a-BPDA), 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride (s-BPDA), pyromellitic acid dianhydride Anhydride (PMDA), 3,3 ′, 4,4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride (BTDA), 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride, 4,4 ′ -A component selected from oxydiphthalic dianhydride (ODPA), p-phenylenebis (trimellitic acid monoester anhydride), 3,3 ', 4,4'-ethylene glycol dibenzoate tetracarboxylic dianhydride, etc. An acid component containing, preferably an acid component containing them as a main component,
1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 2,2-bis [4- (4- Aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] propane, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl A diamine component having at least three benzene rings in the main chain, preferably including them as a main component, and optionally having a diamine component having one or two benzene rings in the main chain. Furthermore, the polyimide synthesize | combined from the diamine component to contain can be used.

熱圧着性ポリイミドとしては、好適には、2,3,3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(a−BPDA)、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(s−BPDA)、ピロメリット酸二無水物(PMDA)および3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(BTDA)から選ばれる酸成分と、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼンおよび2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパンから選ばれるジアミン成分とから合成されるポリイミドを用いることができる。この熱圧着性ポリイミドは、必要に応じて、主鎖にベンゼン環を1個または2個有するジアミン成分や、上記以外のジアミン成分および酸成分を含むことができる。   The thermocompression bonding polyimide is preferably 2,3,3 ′, 4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride (a-BPDA), 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride. Product (s-BPDA), pyromellitic dianhydride (PMDA) and 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride (BTDA), 1,4-bis ( 4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene and 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane A polyimide synthesized from a diamine component selected from the following can be used. This thermocompression bonding polyimide can contain a diamine component having one or two benzene rings in the main chain, a diamine component other than the above, and an acid component, if necessary.

熱圧着性ポリイミドとしては、特に、1,3−ビス(4−アミノフェノキシベンゼン)(以下、TPERと略記することもある)を80モル%以上含むジアミン成分と、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(s−BPDA)および/または2,3,3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(a−BPDA)とから製造されるポリイミドが好ましい。この場合、s−BPDA/a−BPDA(モル比)は100/0〜5/95であることが好ましい。また、熱圧着性ポリイミドの物性を損なわない範囲で、他のテトラカルボン酸二無水物、例えば2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物あるいは2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物などで置き換えてもよい。   As the thermocompression bonding polyimide, in particular, a diamine component containing 80 mol% or more of 1,3-bis (4-aminophenoxybenzene) (hereinafter sometimes abbreviated as TPER), 3,3 ′, 4,4 Polyimides prepared from '-biphenyltetracarboxylic dianhydride (s-BPDA) and / or 2,3,3', 4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride (a-BPDA) are preferred. In this case, s-BPDA / a-BPDA (molar ratio) is preferably 100/0 to 5/95. In addition, other tetracarboxylic dianhydrides, such as 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride or 2,3,6,7, as long as the physical properties of the thermocompression bonding polyimide are not impaired. -It may be replaced with naphthalenetetracarboxylic dianhydride.

熱圧着性ポリイミドは、次のようにして製造することができる。まず、前記の各成分と、さらに場合により他のテトラカルボン酸二無水物および他のジアミンとを、有機溶媒中、約100℃以下、特に20〜60℃の温度で反応させて、ポリアミック酸の溶液とする。そして、このポリアミック酸の溶液をドープ液として使用し、そのドープ液の薄膜を形成した後、その薄膜を加熱し、薄膜から溶媒を蒸発させて除去すると共にポリアミック酸をイミド環化することにより熱圧着性ポリイミドを製造することができる。   A thermocompression bonding polyimide can be manufactured as follows. First, each of the above-mentioned components is further reacted with another tetracarboxylic dianhydride and another diamine in an organic solvent in an organic solvent at a temperature of about 100 ° C. or less, particularly 20 to 60 ° C. Make a solution. Then, this polyamic acid solution is used as a dope solution, and after forming a thin film of the dope solution, the thin film is heated to remove the solvent by evaporating and heat the polyamic acid by imide cyclization. A pressure-sensitive adhesive polyimide can be produced.

また、前述のようにして製造したポリアミック酸の溶液を150〜250℃に加熱するか、またはイミド化剤を添加して150℃以下、特に15〜50℃の温度で反応させて、イミド環化した後、溶媒を蒸発させるか、もしくは貧溶媒中に析出させて粉末とし、その後、この粉末を有機溶媒に溶解することにより熱圧着性ポリイミドの有機溶媒溶液を得ることができる。   In addition, the polyamic acid solution produced as described above is heated to 150 to 250 ° C., or an imidizing agent is added and reacted at a temperature of 150 ° C. or less, particularly 15 to 50 ° C. to imide cyclization. After that, the solvent is evaporated or precipitated in a poor solvent to form a powder, and then this powder is dissolved in an organic solvent to obtain an organic solvent solution of thermocompression bonding polyimide.

熱圧着性ポリイミドを得るためには、前記の有機溶媒中、ジアミン(アミノ基のモル数として)の使用量が、酸無水物の全モル数(テトラカルボン酸二無水物とジカルボン酸無水物の酸無水物基の総モル数として)に対する比として、0.95〜1.0、特に0.98〜1.0、さらには0.99〜1.0であることが好ましい。ジカルボン酸無水物を使用して反応させる場合、その使用量は、テトラカルボン酸二無水物の酸無水物基のモル量に対する比として、0.05以下であるような割合とすることができる。   In order to obtain a thermocompression bonding polyimide, the amount of diamine (as the number of moles of amino group) used in the organic solvent is the total number of moles of acid anhydride (tetracarboxylic dianhydride and dicarboxylic anhydride). The ratio to the total number of moles of acid anhydride groups) is preferably 0.95 to 1.0, particularly 0.98 to 1.0, more preferably 0.99 to 1.0. When making it react using dicarboxylic acid anhydride, the usage-amount can be made into a ratio which is 0.05 or less as a ratio with respect to the molar amount of the acid anhydride group of tetracarboxylic dianhydride.

熱圧着性ポリイミドの製造において、得られるポリアミック酸の分子量が小さい場合、金属箔との積層体、すなわち本発明のLED用放熱基板の接着強度の低下をもたらす場合がある。   In the production of the thermocompression bonding polyimide, when the molecular weight of the resulting polyamic acid is small, the adhesive strength of the laminate with the metal foil, that is, the heat dissipation substrate for LED of the present invention may be reduced.

また、ポリアミック酸のゲル化を制限する目的で、リン系安定剤、例えば亜リン酸トリフェニル、リン酸トリフェニル等をポリアミック酸重合時に固形分(ポリマー)濃度に対して0.01〜1重量%の範囲で添加することができる。   Further, for the purpose of limiting the gelation of polyamic acid, phosphorus stabilizers such as triphenyl phosphite and triphenyl phosphate are added in an amount of 0.01 to 1 weight with respect to the solid content (polymer) concentration during polyamic acid polymerization. % Can be added.

また、イミド化促進の目的で、ドープ液中に塩基性有機化合物を添加することができる。例えば、イミダゾール、2−メチルイミダゾール、1,2−ジメチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、ベンズイミダゾール、イソキノリン、置換ピリジンなどをポリアミック酸に対して0.05〜10重量%、特に0.1〜2重量%の割合で添加することができる。これらは、比較的低温でポリイミドフィルムを形成するため、イミド化が不十分となることを避けるために使用することができる。   For the purpose of promoting imidization, a basic organic compound can be added to the dope solution. For example, imidazole, 2-methylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-phenylimidazole, benzimidazole, isoquinoline, substituted pyridine and the like are 0.05 to 10% by weight, particularly 0.1 to 2% by weight based on the polyamic acid. % Can be added. Since these form a polyimide film at a relatively low temperature, they can be used to avoid imidation becoming insufficient.

また、接着強度の安定化の目的で、熱圧着性ポリイミド用ポリアミック酸溶液に有機アルミニウム化合物、無機アルミニウム化合物または有機錫化合物を添加してもよい。例えば、水酸化アルミニウム、アルミニウムトリアセチルアセトナートなどをポリアミック酸に対してアルミニウム金属として1ppm以上、特に1〜1000ppmの割合で添加することができる。   For the purpose of stabilizing the adhesive strength, an organoaluminum compound, an inorganic aluminum compound, or an organotin compound may be added to the polyamic acid solution for thermocompression bonding polyimide. For example, aluminum hydroxide, aluminum triacetylacetonate or the like can be added in an amount of 1 ppm or more, particularly 1 to 1000 ppm as an aluminum metal with respect to polyamic acid.

酸成分およびジアミン成分からポリアミック酸を製造するときに使用される有機溶媒は、耐熱性ポリイミドおよび熱圧着性ポリイミドのいずれの場合に対しても、N−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、ヘキサメチルホスホルアミド、N−メチルカプロラクタム、クレゾール類などが挙げられる。これらの有機溶媒は単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。   The organic solvent used when producing the polyamic acid from the acid component and the diamine component is N-methyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethyl for any of heat-resistant polyimide and thermocompression bonding polyimide. Examples include formamide, N, N-dimethylacetamide, N, N-diethylacetamide, dimethyl sulfoxide, hexamethylphosphoramide, N-methylcaprolactam, and cresols. These organic solvents may be used alone or in combination of two or more.

耐熱性ポリイミドおよび熱圧着性ポリイミドは、アミン末端を封止するためにジカルボン酸無水物、例えば、無水フタル酸およびその置換体、ヘキサヒドロ無水フタル酸およびその置換体、無水コハク酸およびその置換体など、特に、無水フタル酸を使用することができる。   Heat-resistant polyimide and thermocompression-bonding polyimide are dicarboxylic anhydrides, such as phthalic anhydride and its substitutes, hexahydrophthalic anhydride and its substitutes, succinic anhydride and its substitutes, etc. In particular, phthalic anhydride can be used.

耐熱性ポリイミド層(S1)の片面又は両面に熱圧着性ポリイミド層(S2)を有する熱圧着性を有するポリイミドフィルムは、好適には、
(i)共押出し−流延製膜法(単に、共押出法ともいう。)によって、耐熱性ポリイミド(S1)のドープ液と熱圧着性ポリイミド(S2)のドープ液とを薄膜状に積層させて支持体上に流延し、乾燥、イミド化して多層ポリイミドフィルムを得る方法、あるいは
(ii)耐熱性ポリイミド(S1)のドープ液を支持体上に流延塗布し、乾燥した自己支持性フィルム(ゲルフィルム)の片面又は両面に熱圧着性ポリイミド(S2)のドープ液を塗布し、これを乾燥、イミド化して多層ポリイミドフィルムを得る方法
によって得ることができる。
The polyimide film having thermocompression bonding having the thermocompression bonding polyimide layer (S2) on one side or both sides of the heat resistant polyimide layer (S1) is preferably
(I) A dope solution of heat-resistant polyimide (S1) and a dope solution of thermocompression bonding polyimide (S2) are laminated in a thin film by a coextrusion-casting film forming method (also simply referred to as a coextrusion method). Or a method of obtaining a multilayer polyimide film by drying and imidization, or (ii) a self-supporting film obtained by casting a dope solution of heat-resistant polyimide (S1) on a support and drying it. It can be obtained by applying a thermocompression-bondable polyimide (S2) dope solution on one side or both sides of (gel film) and drying and imidizing it to obtain a multilayer polyimide film.

共押出法は、特開平3−180343号公報(特公平7−102661号公報)に記載されている方法を用いることができる。   As the coextrusion method, a method described in JP-A-3-180343 (Japanese Patent Publication No. 7-102661) can be used.

熱圧着性を両面に有する3層のポリイミドフィルムの製造の一例を示す。   An example of the production of a three-layer polyimide film having thermocompression bonding on both sides is shown.

耐熱性ポリイミド(S1)のポリアミック酸溶液と熱圧着性ポリイミド(S2)のポリアミック酸溶液とを、三層共押出法によって、耐熱性ポリイミド層(S1層)の厚みが4〜45μmで、その両側の熱圧着性ポリイミド層(S2層)の厚みの合計が1〜20μmとなるように、三層押出し成形用ダイスに供給し、ステンレス鏡面、ベルト面等の支持体上にキャストして、支持体面上に流延塗布する。そして、この流延フィルムを100〜200℃で乾燥して、半硬化状態またはそれ以前の乾燥状態である自己支持性フィルムのポリイミドフィルム(A)を得る。   A polyamic acid solution of heat-resistant polyimide (S1) and a polyamic acid solution of thermocompression-bondable polyimide (S2) are formed by a three-layer coextrusion method, and the thickness of the heat-resistant polyimide layer (S1 layer) is 4 to 45 μm. Supply to a three-layer extrusion die so that the total thickness of the thermocompression bonding polyimide layer (S2 layer) is 1 to 20 μm, cast on a support such as a stainless steel mirror surface or a belt surface, and the support surface Cast on top. And this cast film is dried at 100-200 degreeC, and the polyimide film (A) of the self-supporting film which is a semi-hardened state or the dry state before it is obtained.

ここで、200℃を超えた高い温度で流延フィルムを処理すると、熱圧着性を有するポリイミドフィルムの製造において、接着性の低下などが起こる傾向がある。この半硬化状態またはそれ以前の状態とは、加熱および/または化学イミド化によってフィルムが自己支持性の状態にあることを意味する。   Here, when a cast film is processed at a high temperature exceeding 200 ° C., there is a tendency that adhesiveness is lowered in the production of a polyimide film having thermocompression bonding. The semi-cured state or the state before it means that the film is in a self-supporting state by heating and / or chemical imidization.

自己支持性フィルムのポリイミドフィルム(A)は、溶媒および生成水分が、好ましくは約25〜60質量%、特に好ましくは30〜50質量%残存している。この自己支持性フィルムを乾燥・イミド化温度に昇温する際には、比較的短時間内に昇温することが好ましく、例えば、10℃/分以上の昇温速度で昇温することが好適である。   The polyimide film (A) of the self-supporting film preferably has about 25 to 60% by mass, particularly preferably 30 to 50% by mass of the solvent and generated water remaining. When raising the temperature of the self-supporting film to the drying / imidization temperature, it is preferable to raise the temperature within a relatively short time, for example, it is preferable to raise the temperature at a temperature increase rate of 10 ° C./min or more. It is.

乾燥・イミド化する際に自己支持性フィルムに対して加えられる張力を増大することによって、最終的に得られるポリイミドフィルム(A)の線膨張係数を小さくすることができる。   By increasing the tension applied to the self-supporting film during drying and imidization, the linear expansion coefficient of the finally obtained polyimide film (A) can be reduced.

例えば、前述の自己支持性フィルムを得るための乾燥工程に続いて、連続的または断続的に、自己支持性フィルムの少なくとも一対の両端縁を自己支持性フィルムと共に移動可能な固定装置などで固定した状態で、前記の乾燥温度より高い温度、好ましくは200〜550℃の範囲内、特に好ましくは300〜500℃の範囲内の高い温度で、好ましくは1〜100分間、特に1〜10分間、自己支持性フィルムを乾燥および熱処理する。最終的に得られるポリイミドフィルム中の有機溶媒および生成水等からなる揮発物の含有量が好ましくは1重量%以下になるように、自己支持性フィルムから溶媒などを充分に除去すると共に、前記フィルムを構成しているポリマーのイミド化を充分に行って、両面に熱圧着性を有するポリイミドフィルムを形成することができる。   For example, following the drying step for obtaining the above-mentioned self-supporting film, at least a pair of both end edges of the self-supporting film are fixed with a fixing device that can move together with the self-supporting film continuously or intermittently. At a temperature higher than said drying temperature, preferably in the range 200-550 ° C., particularly preferably in the range 300-500 ° C., preferably 1-100 minutes, in particular 1-10 minutes, self The support film is dried and heat-treated. The film is sufficiently removed from the self-supporting film so that the content of volatile substances composed of an organic solvent and product water in the finally obtained polyimide film is preferably 1% by weight or less. Can be sufficiently imidized to form a polyimide film having thermocompression bonding on both sides.

前記の自己支持性フィルムの固定装置としては、例えば、多数のピンまたは把持具などを等間隔で備えたベルト状またはチェーン状のものを、連続的または断続的に供給される自己支持性フィルムの長手方向の両側縁に沿って一対設置し、そのフィルムの移動と共に連続的または断続的に移動させながら前記フィルムを固定できる装置が好適である。また、前記の自己支持性フィルムの固定装置は、熱処理中のフィルムを幅方向または長手方向に適当な伸び率または収縮率(特に好ましくは0.5〜5%程度の伸縮倍率)で伸縮することができる装置であってもよい。   As a fixing device for the self-supporting film, for example, a belt-like or chain-like one provided with a large number of pins or gripping tools at regular intervals, a self-supporting film supplied continuously or intermittently is used. A device is preferable in which a pair is installed along both side edges in the longitudinal direction, and the film can be fixed while moving the film continuously or intermittently. In addition, the self-supporting film fixing apparatus described above is capable of expanding and contracting the film being heat-treated in the width direction or the longitudinal direction at an appropriate elongation or contraction ratio (particularly preferably about 0.5 to 5% expansion / contraction ratio). It may be a device capable of

なお、前記の工程において製造された両面に熱圧着性を有するポリイミドフィルムを、再び、好ましくは4N以下、特に好ましくは3N以下の低張力下あるいは無張力下で、100〜400℃の温度で、好ましくは0.1〜30分間熱処理することにより、特に寸法安定性に優れた両面に熱圧着性を有するポリイミドフィルムとすることができる。   It should be noted that the polyimide film having thermocompression bonding on both sides produced in the above step is again preferably at a temperature of 100 to 400 ° C. under a low or no tension of 4N or less, particularly preferably 3N or less, Preferably, by performing heat treatment for 0.1 to 30 minutes, a polyimide film having thermocompression bonding on both surfaces particularly excellent in dimensional stability can be obtained.

また、製造された長尺の、両面に熱圧着性を有するポリイミドフィルムは、適当な公知の方法でロール状に巻き取ることができる。   Moreover, the manufactured polyimide film which has thermocompression bonding on both surfaces can be wound up in a roll shape by an appropriate known method.

ここで、ポリイミドフィルムの、流延したドープが支持体と接する側のフィルム表面をB面とし、流延したドープが支持体と接しない側(空気側)のフィルム表面をA面とする。   Here, the film surface of the polyimide film on the side where the cast dope is in contact with the support is referred to as B surface, and the film surface on the side where the cast dope is not in contact with the support (air side) is referred to as A surface.

次に、ポリイミドフィルムとして、特に上記のような耐熱性ポリイミド層(S1)の両面に熱圧着性ポリイミド層(S2)を有するポリイミドフィルムを用いたLED用放熱基板の製造方法について説明する。   Next, the manufacturing method of the heat dissipation board for LED using the polyimide film which has a thermocompression bonding polyimide layer (S2) on both surfaces of the above heat resistant polyimide layers (S1) as a polyimide film is demonstrated.

LED用放熱基板は、例えば、上記の耐熱性ポリイミド(S1)の両面に、直接または接着剤を介して、金属箔、すなわち銅箔または銅合金箔と、アルミニウム箔またはアルミニウム合金箔を積層して製造することができる。   For example, the heat dissipation substrate for LED is formed by laminating a metal foil, that is, a copper foil or a copper alloy foil, and an aluminum foil or an aluminum alloy foil directly or via an adhesive on both surfaces of the heat-resistant polyimide (S1). Can be manufactured.

LED用放熱基板は、好ましくは、上記の両面に熱圧着性ポリイミド層(S2)を有するポリイミドフィルムを用いて、熱圧着性ポリイミド層(S2)と金属箔、すなわち銅箔または銅合金箔と、アルミニウム箔またはアルミニウム合金箔を直接積層して製造することができる。   The LED heat dissipation board is preferably a polyimide film having a thermocompression bonding polyimide layer (S2) on both sides, and a thermocompression bonding polyimide layer (S2) and a metal foil, that is, a copper foil or a copper alloy foil, Aluminum foil or aluminum alloy foil can be directly laminated.

LED用放熱基板は、さらに好ましくは、上記の両面に熱圧着性ポリイミド層(S2)を有するポリイミドフィルムを用いて、熱圧着性ポリイミド層(S2)のフィルム表面(A面側)に銅箔または銅合金箔を、熱圧着性ポリイミド層(S2)のフィルム表面(B面側)にアルミニウム箔またはアルミニウム合金箔を直接積層して製造することが、剥離強度の面から好ましい。   More preferably, the LED heat dissipation board uses a polyimide film having the thermocompression-bondable polyimide layer (S2) on both sides, and a copper foil or A on the film surface (side A side) of the thermocompression-bondable polyimide layer (S2). It is preferable from the viewpoint of peel strength that the copper alloy foil is produced by directly laminating an aluminum foil or an aluminum alloy foil on the film surface (B surface side) of the thermocompression bonding polyimide layer (S2).

熱圧着性を有するポリイミドフィルムの両面に金属箔を積層したLED用放熱基板の製造方法の一例として、次の方法を挙げることができる。即ち、
1)長尺状の金属箔(銅箔または銅合金箔)と、長尺状の熱圧着性を有するポリイミドフィルムと、長尺状の金属箔(アルミニウム箔またはアルミニウム合金箔)とをこの順に3枚重ねて、加熱圧着装置(加熱加圧装置)に送る。このとき、熱風供給装置や赤外線加熱機などの予熱器を用いて、好ましくは導入する直前のインラインで150〜250℃程度、特に150℃より高く250℃以下の温度で2〜120秒間程度予熱することが好ましい。
The following method can be mentioned as an example of the manufacturing method of LED heat dissipation board which laminated metal foil on both surfaces of the polyimide film which has thermocompression bonding property. That is,
1) A long metal foil (copper foil or copper alloy foil), a long polyimide film having thermocompression bonding properties, and a long metal foil (aluminum foil or aluminum alloy foil) in this order 3 The sheets are stacked and sent to a thermocompression bonding apparatus (heat pressurizing apparatus). At this time, using a preheater such as a hot-air supply device or an infrared heater, preheating is preferably performed at about 150 to 250 ° C., particularly at a temperature higher than 150 ° C. and lower than 250 ° C. for about 2 to 120 seconds in an in-line immediately before introduction. It is preferable.

2)一対の圧着ロールまたはダブルベルトプレスを用いて、その加熱圧着ゾーンの温度がポリイミド(S2)のガラス転移温度より20℃以上高い温度から400℃の温度範囲で、特にガラス転移温度より30℃以上高い温度から400℃の温度範囲で、金属箔/ポリイミド/金属箔の3枚重ねを加圧下に熱圧着する。   2) Using a pair of crimping rolls or a double belt press, the temperature of the thermocompression bonding zone is in the temperature range from 20 ° C to 400 ° C higher than the glass transition temperature of polyimide (S2), particularly 30 ° C above the glass transition temperature. The metal foil / polyimide / metal foil stack is thermocompression-bonded under pressure in the temperature range from 400 ° C. to a higher temperature.

3)特にダブルベルトプレスの場合には、引き続いて冷却ゾーンで加圧下に冷却して、好適にはポリイミド(S2)のガラス転移温度より20℃以上低い温度、特に30℃以上低い温度にまで冷却して、ポリイミドフィルムの両面に金属箔を積層させ、これをロール状に巻き取る。
これにより、ロール状のLED用放熱基板を製造することができる。
3) Especially in the case of a double belt press, it is subsequently cooled under pressure in a cooling zone, and preferably cooled to a temperature that is 20 ° C. or more lower than the glass transition temperature of polyimide (S2), particularly 30 ° C. or more. And metal foil is laminated | stacked on both surfaces of a polyimide film, and this is wound up in roll shape.
Thereby, a roll-shaped heat dissipation substrate for LED can be manufactured.

この製造方法では、熱圧着前に予熱することにより、ポリイミドに含有されている水分等による、熱圧着後の積層体の発泡による外観不良の発生を防止したり、電子回路形成時の半田浴浸漬時の発泡を防止したりすることができ、それにより、製品収率の悪化を防ぐことができる。また、熱圧着装置全体を炉の中に設置する方法も考えられるが、熱圧着装置がコンパクトなものに実質限定され、LED用放熱基板の形状に制限を受けるので、実用的ではない。また、アウトラインで予熱処理しても、積層するまでにポリイミドが再度吸湿してしまい、熱圧着後の積層体の発泡による外観不良や、半田耐熱性の低下を避けることが困難となる。   In this manufacturing method, by preheating before thermocompression bonding, occurrence of poor appearance due to foaming of the laminate after thermocompression bonding due to moisture contained in polyimide is prevented, or immersion in a solder bath when forming an electronic circuit Foaming at the time can be prevented, thereby preventing deterioration of the product yield. Although a method of installing the entire thermocompression bonding apparatus in a furnace is also conceivable, the thermocompression bonding apparatus is practically limited to a compact one and is not practical because it is limited by the shape of the LED heat dissipation board. Further, even if pre-heat treatment is performed in the outline, the polyimide absorbs moisture again before being laminated, and it becomes difficult to avoid poor appearance due to foaming of the laminated body after thermocompression bonding and a decrease in solder heat resistance.

ダブルベルトプレスは、加圧下に高温加熱−冷却を行うことができるものであって、熱媒を用いた液圧式のものが好ましい。   The double belt press can perform high temperature heating and cooling under pressure, and is preferably a hydraulic type using a heat medium.

両面に熱圧着性を有するポリイミドフィルムと金属箔とを、ダブルベルトプレスを用いて、加圧下に熱圧着−冷却して積層することによって、好適には引き取り速度1m/分以上とすることができ、また、長尺で幅が約400mm以上、特に約500mm以上の幅広の、接着強度が大きく(即ち、金属箔とポリイミド層とのピール強度に優れる)、しかも金属箔表面に皺が実質的に認められないほど外観が良好な金属箔積層ポリイミドフィルム(LED用放熱基板)を得ることができる。   A polyimide film having a thermocompression bonding property on both sides and a metal foil can be suitably stacked at a take-up speed of 1 m / min or more by using a double belt press and laminating by thermocompression-cooling under pressure. In addition, it is long and has a width of about 400 mm or more, particularly about 500 mm or more, and has a high adhesive strength (that is, excellent peel strength between the metal foil and the polyimide layer), and the surface of the metal foil is substantially wrinkled. It is possible to obtain a metal foil laminated polyimide film (LED heat dissipation substrate) having an appearance that is so unacceptable that it is not recognized.

製品外観の良好なLED用放熱基板を量産するために、熱圧着性ポリイミドフィルムと金属箔との組み合わせを1組以上供給するとともに、最外層の両側とベルトとの間に保護材(つまり保護材2枚)を介在させ、加圧下に熱圧着−冷却して積層することが好ましい。保護材としては、非熱圧着性で表面平滑性が良いものであれば特に材質を問わず使用でき、例えば金属箔、特に銅箔、ステンレス箔、アルミニウム箔や、高耐熱性ポリイミドフィルム(宇部興産株式会社製、ユーピレックスS)などの厚み5〜125μm程度のものが好適に挙げられる。   In order to mass-produce LED heat dissipation substrates with good product appearance, one or more combinations of thermocompression bonding polyimide film and metal foil are supplied, and a protective material (that is, protective material) is provided between the outermost layer and the belt. Two sheets) are interposed, and it is preferable to laminate by thermocompression-cooling under pressure. As the protective material, any material can be used as long as it is non-thermocompressible and has good surface smoothness. For example, metal foil, particularly copper foil, stainless steel foil, aluminum foil, high heat resistant polyimide film (Ube Industries, Ltd.) The thing of thickness about 5-125 micrometers, such as the product made from a corporation | Co., Ltd. and Upilex S), is mentioned suitably.

このようにして得られたLED用放熱基板は、公知の方法に従って、銅箔または銅合金箔をエッチングにより部分的に除去して金属配線を形成し、金属配線を形成した側にLEDチップを実装する。本発明のLED用放熱基板は放熱性に優れ、LED照明装置、LEDバックライト用に、基板に数多くのLEDを搭載しても、LEDの温度上昇、発光効率の低下を抑制することができる。   The LED heat dissipation board obtained in this way is formed by removing the copper foil or copper alloy foil by etching in part according to a known method to form a metal wiring, and mounting the LED chip on the side where the metal wiring is formed To do. The LED heat dissipation substrate of the present invention is excellent in heat dissipation, and even if a large number of LEDs are mounted on the substrate for LED lighting devices and LED backlights, it is possible to suppress an increase in LED temperature and a decrease in light emission efficiency.

以下、実施例により本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention further in detail, this invention is not limited to these Examples.

(評価方法)
(1)ピール強度:ポリイミドフィルムとアルミニウム箔との間のピール強度を、JIS・C5016に準じて、90°、幅5mmの条件で測定する。測定試料は、銅箔を引き剥がしたポリイミド/アルミニウム箔の積層体を用いる。ピール強度の測定は、何も処理していない初期、湿熱処理後(85℃・85%Rh・1000時間後)、および半田耐熱260℃・30秒処理後の3点を行う。
(Evaluation method)
(1) Peel strength: The peel strength between the polyimide film and the aluminum foil is measured under the conditions of 90 ° and a width of 5 mm in accordance with JIS C5016. The measurement sample uses a polyimide / aluminum foil laminate from which the copper foil has been peeled off. The peel strength is measured at three points: an initial stage where nothing is treated, a wet heat treatment (after 85 ° C./85% Rh · 1000 hours), and a solder heat resistance at 260 ° C./30 seconds.

(2)半田耐熱性:JIS・C6481に準じて行う。測定試料は、銅箔をエッチング除去したポリイミド/アルミニウム箔の積層体を用いる。半田耐熱性の評価は、250℃または270℃、30秒間の条件で行い、耐熱処理後、積層体のポリイミドフィルム側の発泡の有無を目視により観察する。
○:発泡なし、×:発泡あり。
(2) Solder heat resistance: Performed according to JIS C6481. The measurement sample is a polyimide / aluminum foil laminate from which the copper foil has been removed by etching. Evaluation of solder heat resistance is performed under conditions of 250 ° C. or 270 ° C. for 30 seconds, and after heat treatment, the presence or absence of foaming on the polyimide film side of the laminate is visually observed.
○: No foaming, ×: Foaming.

(3)曲げ加工性:測定試料は、銅箔/ポリイミド/アルミニウム箔の積層体を用いる。積層体を、外径約1.0mm、内径約0.6mmになるように折り曲げる。その後、折曲げ部分を戻して、アルミニウム箔の折り曲げ部のクラックの発生の有無を目視で観察する。折り曲げは、銅箔面が外側になる場合と、銅箔面が内側になる場合の2通りを行う。
○:クラックなし、×:クラックあり。
(3) Bending workability: As a measurement sample, a laminate of copper foil / polyimide / aluminum foil is used. The laminated body is bent so that the outer diameter is about 1.0 mm and the inner diameter is about 0.6 mm. Thereafter, the bent portion is returned and the presence or absence of cracks in the bent portion of the aluminum foil is visually observed. Bending is performed in two ways: when the copper foil surface is on the outside and when the copper foil surface is on the inside.
○: no crack, ×: crack

(参考例1:耐熱性ポリイミドS1用ドープ液の製造)
N−メチル−2−ピロリドン中にパラフェニレンジアミン(PPD)と3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(s−BPDA)とを1000:998のモル比でモノマー濃度が18%(重量%、以下同じ)になるように加え、50℃で3時間反応させた。得られたポリアミック酸溶液の25℃における溶液粘度は、約1680ポイズであった。
(Reference Example 1: Production of dope solution for heat-resistant polyimide S1)
A monomer concentration of paraphenylenediamine (PPD) and 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride (s-BPDA) in N-methyl-2-pyrrolidone at a molar ratio of 1000: 998. It was added so that it might become 18% (weight%, the same shall apply hereinafter), and reacted at 50 ° C for 3 hours. The solution viscosity at 25 ° C. of the obtained polyamic acid solution was about 1680 poise.

(参考例2:熱圧着性ポリイミドS2用ドープ液の製造)
N−メチル−2−ピロリドン中に1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン(TPE−R)と2,3,3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(a−BPDA)および3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(s−BPDA)とを1000:200:800のモル比でモノマー濃度が18%になるように加え、さらにトリフェニルホスフェートをモノマー重量に対して0.5重量%加え、40℃で3時間反応させた。得られたポリアミック酸溶液の25℃における溶液粘度は、約1680ポイズであった。
(Reference Example 2: Production of dope solution for thermocompression bonding polyimide S2)
1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene (TPE-R) and 2,3,3 ′, 4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride (a-BPDA) in N-methyl-2-pyrrolidone and 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride (s-BPDA) was added at a molar ratio of 1000: 200: 800 to a monomer concentration of 18%, and triphenyl phosphate was added to the monomer. 0.5% by weight based on the weight was added and reacted at 40 ° C. for 3 hours. The solution viscosity at 25 ° C. of the obtained polyamic acid solution was about 1680 poise.

(参考例3、4:熱圧着性多層ポリイミドフィルムA1、A2の製造)
三層押出し成形用ダイス(マルチマニホールド型ダイス)を設けた製膜装置を使用し、参考例1及び参考例2で得たポリアミック酸溶液を三層押出ダイスの厚みを変えて金属製支持体上に流延し、140℃の熱風で連続的に乾燥した後、剥離して自己支持性フィルムを形成した。この支持体から剥離した自己支持性フィルムを加熱炉で150℃から450℃まで徐々に昇温して溶媒の除去、イミド化を行って、厚みの異なる2種類の長尺状の三層ポリイミドフィルムを製造し、これをロールに巻き取った。
(Reference Examples 3 and 4: Production of thermocompression-bonding multilayer polyimide films A1 and A2)
Using a film forming apparatus provided with a three-layer extrusion die (multi-manifold die), the polyamic acid solution obtained in Reference Example 1 and Reference Example 2 was changed on the metal support by changing the thickness of the three-layer extrusion die. And dried continuously with hot air at 140 ° C. and then peeled to form a self-supporting film. The self-supporting film peeled off from the support is gradually heated from 150 ° C. to 450 ° C. in a heating furnace to remove the solvent and imidize, so that two kinds of long three-layer polyimide films having different thicknesses are used. Was wound up on a roll.

得られた三層ポリイミドフィルム(層構成:S2/S1/S2)の特性を評価した結果を下記に示す。   The result of having evaluated the characteristic of the obtained three-layer polyimide film (layer structure: S2 / S1 / S2) is shown below.

(熱圧着性多層ポリイミドフィルムA1)
・厚み構成:2.5μm/7.5μm/2.5μm(合計12.5μm)。
・S2層のガラス転移温度:240℃。
・S1層のガラス転移温度:300℃以上で明確な温度は確認できなかった。
・線膨張係数(50〜200℃):MD19ppm/℃,TD18ppm/℃。
・機械的特性(試験方法:ASTM・D882)
1)引張強度:MD,TD各520MPa、
2)伸び率:MD,TD各90%、
3)引張弾性率:MD,TD各7200MPa。
・電気的特性(試験方法:ASTM・D149)
1)絶縁破壊電圧:4.9kV。
(Thermo-compressible multilayer polyimide film A1)
Thickness configuration: 2.5 μm / 7.5 μm / 2.5 μm (total 12.5 μm).
-Glass transition temperature of S2 layer: 240 degreeC.
-Glass transition temperature of S1 layer: A clear temperature could not be confirmed at 300 ° C or higher.
-Linear expansion coefficient (50-200 degreeC): MD19ppm / degreeC, TD18ppm / degreeC.
・ Mechanical properties (Test method: ASTM D882)
1) Tensile strength: 520 MPa for MD and TD,
2) Elongation rate: MD, TD 90% each
3) Tensile modulus: MD, TD 7200 MPa each.
・ Electrical characteristics (Test method: ASTM D149)
1) Dielectric breakdown voltage: 4.9 kV.

(熱圧着性多層ポリイミドフィルムA2)
・厚み構成:4μm/17μm/4μm(合計25μm)。
・S2層のガラス転移温度:240℃。
・S1層のガラス転移温度:300℃以上で明確な温度は確認できなかった。
・線膨張係数(50〜200℃):MD19ppm/℃,TD18ppm/℃。
・機械的特性(試験方法:ASTM・D882)
1)引張強度:MD,TD各520MPa、
2)伸び率:MD,TD各100%、
3)引張弾性率:MD,TD各7200MPa。
・電気的特性(試験方法:ASTM・D149)
1)絶縁破壊電圧:7.1kV。
(Thermo-compressible multilayer polyimide film A2)
Thickness configuration: 4 μm / 17 μm / 4 μm (total 25 μm).
-Glass transition temperature of S2 layer: 240 degreeC.
-Glass transition temperature of S1 layer: A clear temperature could not be confirmed at 300 ° C or higher.
-Linear expansion coefficient (50-200 degreeC): MD19ppm / degreeC, TD18ppm / degreeC.
・ Mechanical properties (Test method: ASTM D882)
1) Tensile strength: 520 MPa for MD and TD,
2) Elongation rate: MD, TD 100% each,
3) Tensile modulus: MD, TD 7200 MPa each.
・ Electrical characteristics (Test method: ASTM D149)
1) Dielectric breakdown voltage: 7.1 kV.

この熱圧着性多層ポリイミドフィルム(A1、A2)は厚み12.5μmと25μmであり、従来の一般的なLED用放熱基板に用いられるエポキシ樹脂フィルム(厚み:1.2mm)よりも薄いが、電気的な絶縁性は同等であった。   These thermocompression-bonding multilayer polyimide films (A1, A2) are 12.5 μm and 25 μm in thickness, and are thinner than the epoxy resin film (thickness: 1.2 mm) used for conventional general LED heat dissipation substrates. Insulative properties were comparable.

以下の実施例では、ポリイミドフィルムのA面側に銅箔を、ポリイミドフィルムのB面側にアルミニウム箔を積層した。   In the following examples, a copper foil was laminated on the A surface side of the polyimide film, and an aluminum foil was laminated on the B surface side of the polyimide film.

アルミニウム箔は、表面に付着した油分を除去するために有機溶剤で処理したものを用いた。   The aluminum foil used what was processed with the organic solvent in order to remove the oil component adhering to the surface.

(実施例1〜3)
(LED用放熱基板の製造)
ダブルベルトプレス直前のインラインで200℃の熱風で30秒間加熱して予熱した3層のポリイミドフィルムA2と、このポリイミドフィルムA2の片面(A面)に電解銅箔(厚み:18μm、Rz=0.6μm)、反対側の面(B面)に表1に示す通りの無処理または表面処理をしたAl−Mg合金箔(古河スカイ社製、A5052−H34、厚み:300μm)とを積層して加熱ゾーン(最高加熱温度:330℃)に送り、次に冷却ゾーン(最低冷却温度:180℃)に送り、圧着圧力:3.9MPa、圧着時間2分で、連続的に熱圧着−冷却して積層して、LED用放熱基板(幅:540mm、長さ:30m)を製造し、ロール状に巻き取った。得られたLED用放熱基板のピール強度、半田耐熱性および曲げ加工性を評価した結果を表2に示す。半田耐熱性の評価は、250℃で行った。
(Examples 1-3)
(Manufacture of heat dissipation board for LED)
Three layers of polyimide film A2 preheated by heating at 200 ° C. for 30 seconds in-line immediately before the double belt press, and an electrolytic copper foil (thickness: 18 μm, Rz = 0. 6 μm), and the other surface (B surface) was laminated with an untreated or surface-treated Al—Mg alloy foil (Furukawa Sky, A5052-H34, thickness: 300 μm) as shown in Table 1 and heated. Sent to the zone (maximum heating temperature: 330 ° C.), then sent to the cooling zone (minimum cooling temperature: 180 ° C.), pressure bonding pressure: 3.9 MPa, pressure bonding time 2 minutes, thermocompression bonding-cooled and laminated Then, a heat dissipation substrate for LED (width: 540 mm, length: 30 m) was manufactured and wound into a roll. Table 2 shows the results of evaluating the peel strength, solder heat resistance, and bending workability of the obtained LED heat dissipation board. Evaluation of solder heat resistance was performed at 250 ° C.

Figure 2011129232
Figure 2011129232

Figure 2011129232
Figure 2011129232

(実施例4〜5)
(LED用放熱基板の製造)
ダブルベルトプレス直前のインラインで200℃の熱風で30秒間加熱して予熱した表3に示す3層のポリイミドフィルムと、このポリイミドフィルムの片面(A面)に圧延銅箔(厚み:35μm、粗化グレード、Rz=1.2μm)、反対側の面(B面)に無処理のAl−Mg合金箔(古河スカイ社製、A5052−H34、厚み:300μm)とを積層して加熱ゾーン(最高加熱温度:330℃)に送り、次に冷却ゾーン(最低冷却温度:180℃)に送り、圧着圧力:3.9MPa、圧着時間2分で、連続的に熱圧着−冷却して積層して、LED用放熱基板(幅:540mm、長さ:30m)を製造し、ロール状に巻き取った。得られたLED用放熱基板のピール強度、半田耐熱性および曲げ加工性を評価した結果を表3に示す。半田耐熱性の評価は、250℃と270℃で行った。
(Examples 4 to 5)
(Manufacture of heat dissipation board for LED)
Three layers of polyimide film shown in Table 3 preheated by heating with hot air of 200 ° C. for 30 seconds in-line immediately before the double belt press, and rolled copper foil (thickness: 35 μm, roughened) on one side (A side) of this polyimide film Grade, Rz = 1.2 μm), and an untreated Al—Mg alloy foil (manufactured by Furukawa Sky, A5052-H34, thickness: 300 μm) is laminated on the opposite side (B side) and heated zone (maximum heating) Temperature: 330 ° C.), then to the cooling zone (minimum cooling temperature: 180 ° C.), pressure bonding pressure: 3.9 MPa, pressure bonding time 2 minutes, continuously thermocompression-cooled and laminated, LED A heat dissipation substrate (width: 540 mm, length: 30 m) was produced and wound into a roll. Table 3 shows the results of evaluating the peel strength, solder heat resistance, and bending workability of the obtained LED heat dissipation board. Evaluation of solder heat resistance was performed at 250 ° C. and 270 ° C.

Figure 2011129232
Figure 2011129232

(熱抵抗の評価)
実施例4および実施例5で製造したLED用放熱基板の熱抵抗を以下のような方法で評価した。
(Evaluation of thermal resistance)
The thermal resistance of the LED heat dissipation substrate manufactured in Example 4 and Example 5 was evaluated by the following method.

まず、製造したLED用放熱基板を1cm×1.5cmのサイズに切り出した。次に、10cm×10cmの面積を有する銅製の水冷板と、LED用放熱基板のアルミニウム箔側とに熱伝導性グリスを薄く塗布し、両者を貼り付けた。次に、LED用放熱基板の銅箔側と、一つの側面が1cm×1.5cmのトランジスタ(2SC3258)とに熱伝導性グリスを薄く塗布し、両者を貼り付けた。トランジスタとLED用放熱基板との界面のトランジスタ側の最表面の温度Thと、水冷板とLED用放熱基板の銅箔の接触部の水冷板側の最表面の温度Tlとを測定するために、あらかじめトランジスタと水冷板の表面に細い熱電対を挿入するための溝を設けた。   First, the manufactured LED heat dissipation substrate was cut into a size of 1 cm × 1.5 cm. Next, the heat conductive grease was thinly applied to the copper water-cooled plate having an area of 10 cm × 10 cm and the aluminum foil side of the LED heat dissipation substrate, and both were pasted. Next, heat conductive grease was thinly applied to the copper foil side of the LED heat dissipation board and a transistor (2SC3258) having one side of 1 cm × 1.5 cm, and both were pasted. In order to measure the temperature Th of the outermost surface on the transistor side of the interface between the transistor and the LED heat dissipation board, and the temperature Tl of the outermost surface of the water cooling plate and the copper foil contact portion of the LED heat dissipation board on the water cooling plate side, A groove for inserting a thin thermocouple was provided in advance on the surface of the transistor and the water-cooled plate.

以上のようにして、製造したLED用放熱基板を用いて、トランジスタ/銅箔/ポリイミドフィルム/Al−Mg合金箔/水冷板と、細い熱電対をセットした。   As described above, a transistor / copper foil / polyimide film / Al—Mg alloy foil / water-cooled plate and a thin thermocouple were set using the manufactured heat dissipation substrate for LED.

次に、トランジスタに5〜35Wの電力Pを印加し、熱電対の指示が安定するのを待って、Th、Tlを測定した。   Next, a power P of 5 to 35 W was applied to the transistor, and after waiting for the thermocouple instruction to stabilize, Th and Tl were measured.

熱抵抗Rthは以下の式より算出した。   The thermal resistance Rth was calculated from the following formula.

Rth=(Th−Tl)/P−2×Rg
ここで、Rgは熱伝導性グリス1層分の熱抵抗(0.35℃/W)である。
Rth = (Th−Tl) / P−2 × Rg
Here, Rg is the thermal resistance (0.35 ° C./W) for one layer of thermally conductive grease.

以上のようにして、実施例4で製造したLED放熱基板の熱抵抗を求めたところ、0.22℃/Wであり、非常に良好な熱抵抗であった。また、実施例5で製造したLED放熱基板の熱抵抗を求めたところ、0.58℃/Wであり、良好な熱抵抗であった。   As described above, when the thermal resistance of the LED heat dissipation board manufactured in Example 4 was determined, it was 0.22 ° C./W, which was a very good thermal resistance. Moreover, when the heat resistance of the LED heat dissipation board manufactured in Example 5 was calculated | required, it was 0.58 degreeC / W and was a favorable heat resistance.

(実施例6)
(LED用放熱基板の製造)
ダブルベルトプレス直前のインラインで200℃の熱風で30秒間加熱して予熱した3層のポリイミドフィルムA1と、このポリイミドフィルムA1の片面に電解銅箔(厚み:18μm)、反対側の面にAl−Mg合金箔(古河スカイ社製、JIS5052−H32(A5052−H32)、厚み:300μm)とを積層して加熱ゾーン(最高加熱温度:330℃)に送り、次に冷却ゾーン(最低冷却温度:180℃)に送り、圧着圧力:3.9MPa、圧着時間2分で、連続的に熱圧着−冷却して積層して、LED用放熱基板(幅:540mm、長さ:30m)を製造し、ロール状に巻き取った。得られたLED用放熱基板は、銅箔/ポリイミドフィルムA1/Al−Mg合金箔の両面金属箔積層体であり、従来の一般的なLED用放熱基板は折り曲げが不可能であるのに対し、折り曲げ可能で良好な屈曲特性を有していた。
(Example 6)
(Manufacture of heat dissipation board for LED)
Three layers of polyimide film A1 preheated by heating with 200 ° C. hot air for 30 seconds in-line immediately before the double belt press, electrolytic copper foil (thickness: 18 μm) on one side of this polyimide film A1, and Al— on the opposite side Mg alloy foil (Furukawa Sky, JIS5052-H32 (A5052-H32), thickness: 300 μm) is laminated and sent to the heating zone (maximum heating temperature: 330 ° C.), and then the cooling zone (minimum cooling temperature: 180). ° C), pressure bonding pressure: 3.9 MPa, pressure bonding time 2 minutes, continuously heat-bonded-cooled and laminated to produce LED heat dissipation substrate (width: 540 mm, length: 30 m), roll It was wound up into a shape. The obtained LED heat dissipation board is a double-sided metal foil laminate of copper foil / polyimide film A1 / Al-Mg alloy foil, whereas the conventional general LED heat dissipation board cannot be bent, It was foldable and had good bending properties.

(熱抵抗の評価)
実施例6で製造したLED用放熱基板の熱抵抗を、実施例4と同じ方法で評価した。熱抵抗は、0.24℃/Wであり、良好な熱抵抗であった。
(Evaluation of thermal resistance)
The thermal resistance of the LED heat dissipation substrate manufactured in Example 6 was evaluated by the same method as in Example 4. The thermal resistance was 0.24 ° C./W, which was a good thermal resistance.

以上のように、本発明によれば、優れた放熱性および耐電圧性を有し、薄く、しかも良好な屈曲特性を有し、例えば内側に折り曲げたり、外側に折り曲げたり、三次元加工可能なLED用放熱基板を得ることができる。   As described above, according to the present invention, it has excellent heat dissipation and voltage resistance, is thin and has good bending characteristics, and can be folded inward, outwardly, or three-dimensionally processed. An LED heat dissipation substrate can be obtained.

Claims (7)

ポリイミドフィルムの片面に銅箔または銅合金箔が、反対側の面にアルミニウム箔またはアルミニウム合金箔が積層されているLED用放熱基板であって、
銅箔または銅合金箔の表面とアルミニウム箔またはアルミニウム合金箔の表面との間の熱抵抗が1.8℃/W以下であることを特徴とするLED用放熱基板。
A heat dissipation substrate for LED in which a copper foil or a copper alloy foil is laminated on one side of a polyimide film and an aluminum foil or an aluminum alloy foil is laminated on the opposite side,
A heat dissipation substrate for LED, wherein the thermal resistance between the surface of the copper foil or copper alloy foil and the surface of the aluminum foil or aluminum alloy foil is 1.8 ° C./W or less.
前記アルミニウム箔またはアルミニウム合金箔が、陽極酸化処理(アルマイト処理)されていないことを特徴とする請求項1記載のLED用放熱基板。   The heat dissipation substrate for LED according to claim 1, wherein the aluminum foil or the aluminum alloy foil is not anodized (anodized). 前記ポリイミドフィルムの厚みが3〜25μmであることを特徴とする請求項1または2記載のLED用放熱基板。   The heat dissipation substrate for LED according to claim 1, wherein the polyimide film has a thickness of 3 to 25 μm. 前記ポリイミドフィルムの銅箔または銅合金箔との接合面、およびアルミニウム箔またはアルミニウム合金箔との接合面が、熱圧着性のポリイミド層であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のLED用放熱基板。   The joining surface with the copper foil or copper alloy foil of the polyimide film and the joining surface with the aluminum foil or aluminum alloy foil are thermocompression-bondable polyimide layers. The heat dissipation board for LED as described. 前記ポリイミドフィルムが、耐熱性のポリイミド層の両面に熱圧着性のポリイミド層が積層されているものであることを特徴とする請求項4記載のLED用放熱基板。   The heat dissipation substrate for LED according to claim 4, wherein the polyimide film is one in which a thermocompression bonding polyimide layer is laminated on both surfaces of a heat resistant polyimide layer. 前記銅箔または銅合金箔の厚みが9〜200μmであり、
前記アルミニウム箔またはアルミニウム合金箔の厚みが200μm〜1mmであることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のLED用放熱基板。
The thickness of the copper foil or copper alloy foil is 9 to 200 μm,
The thickness of the said aluminum foil or aluminum alloy foil is 200 micrometers-1 mm, The heat dissipation board for LED in any one of Claims 1-5 characterized by the above-mentioned.
ポリイミドフィルムと、銅箔または銅合金箔と、アルミニウム箔またはアルミニウム合金箔とが加圧加熱成形装置により貼り合わされていることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のLED用放熱基板。   The heat dissipation substrate for LED according to any one of claims 1 to 6, wherein the polyimide film, the copper foil or the copper alloy foil, and the aluminum foil or the aluminum alloy foil are bonded together by a pressure heating molding apparatus. .
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