JPWO2011114938A1 - 光学式エンコーダ - Google Patents
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Abstract
Description
投光部と、受光部と、上記投光部と受光部との間に配置されるスケールと、を有する光学式エンコーダにおいて、
上記スケールは、光透過可能な導光部を有し、上記投光部が投光した光の少なくとも一部を、その厚み方向に垂直な方向へ上記導光部を通して導光する導光機能を有し、
上記受光部は、上記スケールにより導光した光を受光し、上記スケールに対して相対的に移動する、
ことを特徴とする。
図1に示すように、本発明の第1実施形態に係る光学式エンコーダは、投光部10、上記投光部10に対して相対的に変位するスケール12、及び上記投光部10から投光され上記スケール12を経由した光を検出するための受光部14、から構成される。上記投光部10と上記受光部14とは、ヘッド16上に配される。ここで、図示しないが、相対移動する固定体と移動体とが存在する。上記ヘッド16は、その固定体に設置され、また、上記スケール12は、その移動体に設置されている。
尚、本実施例では、上記投光部10から発光される光は、発散光としている。
例えば、図4に示すように、上記投光部10と上記スケール12の上記光入射部18との間に、上記投光部10及び上記スケール12の屈折率と同等な屈折率のマッチング部材であるマッチングオイル30を塗っても良い。このような構成とすることにより、上記スケール12表面の屈折率差による反射を低減することができる。
例えば、図4に示すように、上記光出射部22と上記受光部14の上記受光素子との間に、上記スケール12及び上記受光素子の屈折率と同等な屈折率のマッチング部材である上記マッチングオイル30を塗っても良い。このような構成とすることにより、上記スケール12表面の屈折率差による反射を低減することができる。
図10に示すように、上記スケール12の少なくとも一部に、拡散部材または蛍光部材60を用いても良い。
図11に示すように、上記投光部10と上記受光部14の位置は、上記スケール12を挟むように配置しても良い。この時、上記スケール12の上記光入射部18は、上記投光部10が配置される側の面にあり、上記光出射部22は、上記受光部14が配置される側の面にある。
図12に示すように、上記光入射部18からの光を上記光出射部22の方向に向かうようにスケール12の反射面(上記反射部材34)に角度を設ける。本変形例3の光路も、通常の光学設計とは異なり、上記光入射部18から上記光出射部22までの間には具体的な光路は想定されていない、もしくは、複数の光路が同時に存在することを想定している。そのため、上記スケール12内部での反射は、主に、1回反射を含む多重反射を想定している。多重反射は、1回以上で特定回数の反射のみが起きる場合と、1回以上で反射回数や反射する位置が異なる反射が同時に起きる場合を想定している。検出に寄与する反射としては、特定回数の反射、例えば、1回反射、の比重が大きくても構わない。
これにより、上記光入射部18からの光を上記光出射部22へより効率よく導光できる。
次に、本発明の第2実施形態に係る光学式エンコーダを、図15を参照して説明する。
本実施形態においては、上記スケール12から離れた場所にLEDやLD等の上記光源66が設けられている。上記光源66の出射部に光ファイバーである上記投光部導光部材68の端部が接続されている。上記投光部導光部材68の他方の端部は、上記投光部10に接続されている。上記投光部10は、上記固定体(図示せず)に設置され、上記スケール12の上記光入射部18に接する、または近接している。なお、図15では、説明のために、上記投光部10の投光面と上記スケール12とを離して図示している。上記投光部10は、上記光源66から上記投光部導光部材68で導光された光を、反射部材等により上記スケール12方向に出射する。このように、上記光源66からの光を光ファイバーで導光することにより、上記投光部10に対する上記光源66の位置が変化したり、上記光源66と上記投光部10の間の経路が湾曲等の変化が起きたりする場合でも、導光可能となる。
上記投光部10及び上記光入射部18は、上記スケール12側面に構成しても良い。図16は、上記光源66からの光を光ファイバーで構成される上記投光部導光部材68で上記スケール12側面に入射している例である。上記投光部導光部材68の上記スケール12に接続されている端部が上記投光部10となり、該投光部10が接続されている上記スケール12側面が上記光入射部18となる。光ファイバーへの光の入射効率を高めたり、ファイバー内で安定した導光を行うには、上記光源66をレーザー光にすることが極めて有効である。上記光源66からの光を光ファイバーで導光することにより、上記投光部10に対する上記光源66の位置が変化したり、上記光源66と投光部10との間の経路が湾曲等の変化が起きたりする場合でも、導光可能となる。また、光ファイバーにより上記光源66と上記スケール12が直接接続されるため、途中の光の漏れが極めて少なくなり、入射効率が向上する。もちろん、上記投光部導光部材68としては、光を上記光源66から上記スケール12まで導光できれば、光ファイバー以外の導光部材を用いても良い。
前記の具体的実施形態から、特許請求の範囲に記載した発明に加えて、以下のような構成の発明を抽出することができる。
上記スケールは、上記投光部からの光を入射する光入射部(18)と、上記光入射部からの光を出射する光出射部(22)と、導光機能を持つ導光部(24)と、スケール側透過スリット(26)と、を有し、
上記投光部から投光され上記導光部を経由して上記受光部が検出した光に基づいて、上記ヘッド部と上記スケールとの相対的な変位に応じた周期信号を出力する光学式エンコーダにおいて、
上記投光部は、投光面が上記光入射部に接するまたは近接して配置され、
上記受光部は、上記スケールに対して上記投光部と同じ側で、相対位置の測定方向及び上記スケールの厚み方向に対し垂直な方向に、上記投光部と所定の間隔に離れた位置にあり、かつ、上記受光部の受光面は、上記光出射部に接するまたは近接して配置され、
上記投光部の投光面と上記受光部の受光面は、同一平面上に配置され、
上記スケールは、板状で、
上記光入射部及び上記光出射部は、相対位置の測定方向に少なくとも測定範囲と同等の長さを有し、
上記導光部は、少なくとも上記光入射部と上記光出射部との間において、上記ヘッド部に対する面と、上記ヘッド部と逆の面に反射面を有し、
上記スケールは、上記投光部の投光面及び上記受光部の受光面と平行に配置され、
上記ヘッド側透過スリット及び上記スケール側透過スリットは、光を透過する矩形状の面と遮光する矩形状の面で測定方向に、上記ヘッド側透過スリットと上記スケール側透過スリットで同じ一定周期をもち、
上記ヘッド側透過スリットと上記スケール側透過スリットは、それぞれ、
上記投光部と上記光入射部の対向する面に形成され、または、上記投光部と上記光入射部に隣接乃至は近くに配置され、
もしくは、
上記受光部と上記光出射部の対向する面に形成され、または、上記受光部と上記光出射部に隣接乃至は近くに配置され、
上記投光部は、上記スケールの上記光入射部に向かって投光し、
上記光入射部は、上記投光部からの光を入射し、
上記導光部が有する反射面により多重反射で少なくとも一部の光を上記光出射部に導光し、
上記光出射部は、上記導光部が導光した光を上記受光部へ出射し、
上記受光部は、上記光出射部が出射した光を受光し、
上記光入射部と上記投光部の間または、上記光出射部と上記受光部の間で、上記ヘッド側透過スリットと上記スケール側透過スリットとの相対的な位置が変化することで、上記光出射部から出射した、上記ヘッド側透過スリットと上記スケール側透過スリットを通って上記受光部が検出する光量が変動し、該光量の変動に基づき上記ヘッド部と上記スケールとの相対的な変位に応じた周期信号を出力することを特徴とする光学式エンコーダ。
Claims (14)
- 投光部と、受光部と、上記投光部と受光部との間に配置されるスケールと、を有する光学式エンコーダにおいて、
上記スケール(12)は、光透過可能な導光部(24)を有し、上記投光部(10)が投光した光の少なくとも一部を、その厚み方向に垂直な方向へ上記導光部を通して導光する導光機能を有し、
上記受光部(14;74,76)は、上記スケールにより導光した光を受光し、上記スケールに対して相対的に移動する、
ことを特徴とする光学式エンコーダ。 - 上記スケールは、上記導光機能により、上記投光部が投光した光の光軸を移動する機能を有することを特徴とする請求項1に記載の光学式エンコーダ。
- 上記投光部から出射した光を上記受光部に効率良く伝達させる、光伝達効率向上機能を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の光学式エンコーダ。
- 上記スケールは、
上記投光部からの光が当該スケール内部に入射可能な光入射部(18)と、
入射した光を当該スケールから上記受光部の方向へ出射するための光出射部(22)と、
上記光入射部に入射した光の少なくとも一部を、当該スケールの厚み方向に垂直な方向へ導光し、上記光出射部に導光する上記導光部と、
を有することを特徴とする請求項3に記載の光学式エンコーダ。 - 上記光伝達効率向上機能として、
上記投光部と上記光入射部との間に、上記スケール内部への光の入射効率を向上する機能と、
上記導光部が導光効率を向上する機能と、
上記光出射部と上記受光部との間に、上記スケール外部への光の出射効率を向上する機能と、
の少なくとも一つを有することを特徴とする請求項4に記載の光学式エンコーダ。 - 上記導光部は、上記スケール内面による反射、導光部内に存在する部材によって生じる拡散、蛍光、の少なくとも一つによって導光することを特徴とする請求項4に記載の光学式エンコーダ。
- 一方の端部が上記投光部に接続され、他方の端部が光源(66)に接続された投光部導光部材(68)を更に具備し、
上記光源が発光した光が上記投光部導光部材で導光されて、上記投光部から投光されることを特徴とする請求項1乃至6の何れかに記載の光学式エンコーダ。 - 一方の端部が上記受光部(74,76)に接続され、他方の端部が受光素子(80,84)に接続された受光部導光部材(78,82)を更に具備し、
上記受光部が受光した光が上記受光部導光部材で導光されて、上記受光素子で受光されることを特徴とする請求項1乃至6の何れかに記載の光学式エンコーダ。 - 一方の端部が上記投光部に接続され、他方の端部が光源(66)に接続された投光部導光部材(68)と、
一方の端部が上記受光部(74,76)に接続され、他方の端部が受光素子(80,84)に接続された受光部導光部材(78,82)と、
を更に具備し、
上記光源が発光した光が上記投光部導光部材で導光されて、上記投光部から投光され、
上記受光部が受光した光が上記受光部導光部材で導光されて、上記受光素子で受光されることを特徴とする請求項1乃至6の何れかに記載の光学式エンコーダ。 - 上記投光部及び上記受光部は、上記スケールに接するまたは近接して配置されていることを特徴とする請求項1乃至6の何れかに記載の光学式エンコーダ。
- 上記投光部は、上記スケールの側面から光を入射することを特徴とする請求項1に記載の光学式エンコーダ。
- 上記スケールは、均質な反射面を有することを特徴とする、請求項1に記載の光学式エンコーダ。
- 上記反射面は、平行平板であることを特徴とする、請求項12に記載の光学式エンコーダ。
- 上記反射面の少なくとも一部分または一面は、上記発光部からの光の進行方向に対して、上記導光部の導光効率を向上させるような平坦な面または曲面を有することを特徴とする、請求項12に記載の光学式エンコーダ。
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Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6088466B2 (ja) * | 2014-06-09 | 2017-03-01 | ファナック株式会社 | 反射型の光学式エンコーダ |
US10303270B2 (en) * | 2016-09-12 | 2019-05-28 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Linear encoder force transducer |
US10648839B2 (en) * | 2017-05-22 | 2020-05-12 | Mitutoyo Corporation | Photoelectric encoder |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59194302A (ja) * | 1983-04-15 | 1984-11-05 | 日照技研株式会社 | 面照明装置 |
JPS61124822A (ja) * | 1984-11-22 | 1986-06-12 | Nippon Denso Co Ltd | 回転角検出装置 |
JP2006084448A (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-30 | Yaskawa Electric Corp | 光学式エンコーダ |
JP2008256641A (ja) * | 2007-04-09 | 2008-10-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 面導光円板、光学式エンコーダおよびテープフィーダ |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3491245A (en) * | 1967-04-10 | 1970-01-20 | George K C Hardesty | Guided light display panel |
US3731107A (en) * | 1971-12-15 | 1973-05-01 | United Aircraft Corp | Optical shaft encoder |
JP3631551B2 (ja) | 1996-01-23 | 2005-03-23 | 株式会社ミツトヨ | 光学式エンコーダ |
DE10058239B4 (de) * | 2000-11-17 | 2012-01-26 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmeßeinrichtung |
US6906315B2 (en) * | 2002-07-16 | 2005-06-14 | Mitutoyo Corporation | High accuracy miniature grating encoder readhead using fiber optic receiver channels |
DE10242169C1 (de) * | 2002-09-10 | 2003-11-20 | Kostal Leopold Gmbh & Co Kg | Optoelektronischer Lenkwinkelsensor |
JP2006330492A (ja) * | 2005-05-27 | 2006-12-07 | Seiko Epson Corp | 導光体、照明装置およびプロジェクタ |
JP5068050B2 (ja) * | 2006-09-28 | 2012-11-07 | スタンレー電気株式会社 | 光学式アブソリュート形ロータリエンコーダ |
US7714272B2 (en) * | 2006-09-28 | 2010-05-11 | Stanley Electric Co., Ltd. | Optical absolute rotary encoder |
GB0809385D0 (en) * | 2008-05-23 | 2008-07-02 | Design Led Products Ltd | Light-guide apparatus |
EP2213987A1 (de) * | 2009-02-03 | 2010-08-04 | Leica Geosystems AG | Optoelektronische Lagemesseinrichtung und optoelektronisches Lagemessverfahren |
-
2011
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59194302A (ja) * | 1983-04-15 | 1984-11-05 | 日照技研株式会社 | 面照明装置 |
JPS61124822A (ja) * | 1984-11-22 | 1986-06-12 | Nippon Denso Co Ltd | 回転角検出装置 |
JP2006084448A (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-30 | Yaskawa Electric Corp | 光学式エンコーダ |
JP2008256641A (ja) * | 2007-04-09 | 2008-10-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 面導光円板、光学式エンコーダおよびテープフィーダ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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WO2011114938A1 (ja) | 2011-09-22 |
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