JPWO2011108452A1 - 還元反応器 - Google Patents
還元反応器 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2011108452A1 JPWO2011108452A1 JP2012503107A JP2012503107A JPWO2011108452A1 JP WO2011108452 A1 JPWO2011108452 A1 JP WO2011108452A1 JP 2012503107 A JP2012503107 A JP 2012503107A JP 2012503107 A JP2012503107 A JP 2012503107A JP WO2011108452 A1 JPWO2011108452 A1 JP WO2011108452A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reaction
- reactor
- vertically divided
- reduction reactor
- reduction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B33/00—Silicon; Compounds thereof
- C01B33/02—Silicon
- C01B33/021—Preparation
- C01B33/027—Preparation by decomposition or reduction of gaseous or vaporised silicon compounds other than silica or silica-containing material
- C01B33/033—Preparation by decomposition or reduction of gaseous or vaporised silicon compounds other than silica or silica-containing material by reduction of silicon halides or halosilanes with a metal or a metallic alloy as the only reducing agents
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J12/00—Chemical processes in general for reacting gaseous media with gaseous media; Apparatus specially adapted therefor
- B01J12/005—Chemical processes in general for reacting gaseous media with gaseous media; Apparatus specially adapted therefor carried out at high temperatures, e.g. by pyrolysis
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J12/00—Chemical processes in general for reacting gaseous media with gaseous media; Apparatus specially adapted therefor
- B01J12/02—Chemical processes in general for reacting gaseous media with gaseous media; Apparatus specially adapted therefor for obtaining at least one reaction product which, at normal temperature, is in the solid state
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J19/0053—Details of the reactor
- B01J19/006—Baffles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J19/24—Stationary reactors without moving elements inside
Abstract
[課題] 亜鉛還元による多結晶シリコンの製造装置において、石英管反応器の数を増やすことではなく製造能力を大幅に高めることのできる還元反応器を提供する。[解決手段] 反応器本体2a内の反応部10,20で四塩化珪素を金属亜鉛で還元して多結晶シリコンを製造する還元反応器2において、石英管を軸方向に沿って分割した縦割り分割体6aを複数用意するとともに、これら複数の縦割り分割体6aを突き合わせることにより、その断面が略花弁状の反応部10,20を構成したことを特徴とする。
Description
本発明は還元反応器に関し、詳しくは縦型還元反応器に関する。
これまでの太陽電池用シリコンの原料となる多結晶シリコンの代表的な製造法としてシーメンス法があげられる。シーメンス法で製造された多結晶シリコンは極めて高純度である。しかしながらその反面、シーメンス法は反応速度が遅く、また製造設備の運転は回分式になるため、製品価格が高価となり、安価な販売価格が望まれる太陽電池用多結晶シリコンの製造法としては不適である。
近年、シーメンス法よりも安価に製造できる多結晶シリコン製造法として、四塩化珪素を金属亜鉛で還元して高純度多結晶シリコンを製造する亜鉛還元法が提案されている。
例えば、特許文献1(特許第4200703号)には、高純度四塩化珪素及び高純度亜鉛をそれぞれ気化させて、900〜1,100℃のガス雰囲気において反応を行うにあたり、反応器内部に通電可能なシリコン芯又はタンタル芯を設置し芯上にシリコン析出を促進するものであり、反応終了後に反応器を開放し、生成した針状並びにフレーク状シリコンを取り出す方法が開示されている。
また、特許文献2(特開2007−223822)には、上部に設置されたシリコン塩化物ガス供給ノズルと、還元剤ガス供給ノズルと、排気ガス抜き出しパイプを有する縦型反応器を用いて、該反応器内にシリコン塩化物ガスと還元剤ガスを供給し、シリコン塩化物ガスと還元剤ガスとの反応によりシリコン塩化物ガス供給ノズルの先端部に多結晶シリコンを生成させ、更にそのまま下方に成長させる多結晶シリコン製造装置が開示されている。
上記を含むこれまでに公表されている亜鉛還元法によるシリコン製造のための反応器は800〜1200℃の高温に耐え、且つ生成した多結晶シリコンの汚染を防ぐため、殆どの反応器において石英部材が採用されている。
また、反応器は製作の容易さ、反応器内部の反応ガスの均一流動性、反応器内部の温度分布均一性などを考慮して、通常円筒形状の石英管が用いられている。
ところで、現在製造されている石英管の直径は製造上の制約から約1000mmが最大である。
したがって、上記亜鉛還元法による多結晶シリコンの製造において、製造装置の大きさ即ち生産能力は石英管の直径により制限されるため、多結晶シリコン製造工場の生産能力を増大するには、現在最大といわれる直径約1000mmの石英管反応器の数を増やすことによる方法しかなかった。
ここで、太陽電池用多結晶シリコンの需要が今後ますます拡大すると言われる状況において、安価に製造できる多結晶シリコンの大型製造装置の実現が期待されている。
本発明は、亜鉛還元による多結晶シリコンの製造装置において、石英管反応器の数を増やさずに製造能力を大幅に高めることのできる還元反応器を提供することを目的とする。
上記目的を達成するための本発明に係る還元反応器は、
反応器本体内の反応部で四塩化珪素を金属亜鉛で還元して多結晶シリコンを製造する還元反応器において、
石英管を軸方向に分割された縦割り分割体を複数用意するとともに、これら複数の縦割り分割体を突き合わせることにより、その断面が略花弁状の反応部を構成したことを特徴としている。
反応器本体内の反応部で四塩化珪素を金属亜鉛で還元して多結晶シリコンを製造する還元反応器において、
石英管を軸方向に分割された縦割り分割体を複数用意するとともに、これら複数の縦割り分割体を突き合わせることにより、その断面が略花弁状の反応部を構成したことを特徴としている。
このような構成であれば、使用する石英管の直径より大型の還元反応器を構成することができる。
ここで、本発明では、1つの反応部を構成する前記縦割り分割体は、3個〜8個のいずれかであることが好ましい。
また、本発明では、1つの反応部を構成する前記縦割り分割体は、4個であることが好ましい。
このような構成の還元反応器によれば、形状バランスが良好で使い勝手のよい還元反応器を作成することができる。
さらに、本発明では、前記複数の縦割り分割体から構成されるその断面が略花弁状の反応部が、上下方向に2〜5段積み重ねて配置されていることが好ましい。
このような構成であれば、所望とする容量の縦型の還元反応器を作成することができる。
また、本発明では、前記複数の縦割り分割体の各々が、その周方向および/またはその上下方向に隣接する縦割り分割体と接着剤によって接合されていることが好ましい。この際、周方向に隣接する縦割り分割体同士を突き合わせできるように、縦割り分割体の突き合わせ面の角度を調整することが好ましい。
さらに、本発明では、前記接着剤はシリカまたはアルミナを主成分とするものであることが好ましい。
また、本願発明では、前記反応部の外周部に補強用の押さえ部材を介在させることが好ましい。
このように押さえ部材を外周部に介在させることにより、接合部からの漏洩や破損を防止することができる。
本発明に係る還元反応器によれば、従来の石英管からなる円筒形状の反応器と比べて、反応部の容積を大きく設定することができるため、製造能力を大幅に高めることのできる大型の還元反応器を作成することができる。
以下、図面を参照しながら、本発明を説明する。
図1は、本発明の一実施例による大型の還元反応器2の製作過程における概略モデルを示した斜視図である。また、図2は、本発明の還元反応器2の全体構成を示した構成図である。
この還元反応器2では、反応器本体2aの内部に2つの反応部10、20が上下に連通している。また、反応器本体2aの脚部には円盤状で耐火物からなる受け部材4が載置され、反応器本体2aの上部には石英製の天板8が設置されている。
天板8及び受け部材4は、還元反応器2の製作過程において一時的に使用するものであって、還元反応器2を多結晶シリコン製造用の還元反応器2として完成させるためには、図2に示したように、反応器本体2aの上部に四塩化珪素ガス供給管14と亜鉛ガス供給管12を設置し、反応器本体2aの下部に排ガス出口部16と多結晶シリコン回収部18を設置する。
上記反応器本体2aの反応部10,20は、以下に示したように、石英管を複数に分割した縦割り分割体から構成されている。
各反応部10,20を構成する縦割り分割体は、図3(A)、(B)に示したように、円筒状の石英管を軸方向(縦方向)に半分に分割した半割体6aを例えば、周方向に4個組み合わせることにより構成されている。なお、この分割体は、完全に半分である半割体である必要はない。例えば、円筒を軸方向に分割する切断線を、円筒中心を通る直線(図3(B)の態様)に代えて、円筒中心を通る直径と平行な2直線で切断することにより得られる分割体であってもよい。このように2直線で切断して得られる分割体は、図3(B)に示した分割体よりやや小さい断面略円弧状(劣弧状)の2つの分割体となる。
また、分割体は、二分の一の分割体でなく、三分の一の分割体(断面劣弧状)などから形成することもできる。したがって、本発明における分割体とは、円筒を軸方向の直線で半分にした半割体、あるいはこれよりやや小さい略円弧状の半割体、さらには、3分割体、4分割体などを含む。しかしながら、実際には、半割体あるいは略円弧状の半割体を用いることが実際的である。
要は、これら分割体を略花弁状の反応部を構成するように多数組み合わせることにより、切断される前の円筒の断面積より大きくなるように設定すれば良い。
また、石英管の直径及び長さは、例えば、直径は800〜1050mm(好ましくは850〜950mm)、長さは800〜2000mmの石英管であるが、本発明はこれに限定されるものではない。また、石英管の肉厚は、10〜35mm(好ましくは20〜30mm)であるが、本発明はこれに限定されるものではない。
本実施例では、図3(A)、(B)に示したように、円筒状、例えば直径約900mm、長さ1000mmの石英管6を軸方向に2つに分割してなる縦割り分割体6a,6aを予め2組用意する。そして、これら4個の縦割り分割体6aを、図4に示したように互いに周方向に突き合わせていくことにより、花弁状の反応部10あるいは反応部20を別々に形成する。なお、反応部10あるいは反応部20を構成する縦割り分割体6aの接続部は、石英用接着剤により接合されることが好ましい。この際、周方向に隣接する縦割り分割体6a,6a同士を突き合わせできるように、縦割り分割体の突き合わせ面の角度を調整することが好ましい。
石英用接着剤としては、耐熱性を有し、反応温度において石英ガラスに対して失透原因とならない、石英管と同程度の熱膨張率を有するシリカ、またはアルミナを主成分とする接着剤を選定することが好ましい。さらに、添加剤として石英ウールまたは石英ガラスビーズを添加することにより接着剤の強度を高めることもできる。
そして、一体化されたこれら2つの反応部10,20を、図1に示した受け部材4を基台としてその上部に上下方向に積み重ねて配置する。なお、反応部10,20同士の接合部も、上記と同様の接着剤により互いに接合されることが好ましい。さらに、図2に示したように、反応器本体2aの最上部に四塩化珪素ガス供給管14及び亜鉛ガス供給管12を設置し、反応器本体2aの下部に排ガス出口部16及び多結晶シリコン回収部18を設置することにより、断面略花弁状の還元反応器2が構成される。
これにより、上記実施例で得られた還元反応器2の反応器本体2aは、単に円筒状の石英管を用いる場合に比べて断面積すなわち反応部の容積を大きく設定することができる。
したがって、本発明では、現在最大級といわれる直径1000mmの石英反応器より大型の石英反応器を構成することができる。
以上、本発明の一実施例に係る還元反応器2について説明したが、本発明の還元反応器は、上記実施例に何ら限定されない。
例えば、上記実施例では、1つの反応部10あるいは反応部20を構成するにあたり、それぞれ4個の縦割り分割体6aを用いて1つの反応部10あるいは20を構成し、かつこれらを上下二段に重ね合わせているが、本発明はこれに限定されない。縦割り分割体6aの周方向の組合わせ個数あるいは反応部の上下方向の重ね段数は、800〜1200℃の高温に耐える強度を確保することを考慮して適宜選定することができる。本発明においては、分割体6aが半割体である場合、その縦割り分割体6aを3〜8個を組み合わせて1つの反応部を形成し、この反応部を2〜5段重ね合わせることにより1つの連通した反応管を形成することができる。この範囲内であれば、800〜1200℃の高温において、十分気密性および強度を保つことができる。
一例として、直径900mm、長さ1000mmの石英管を縦方向に切断した縦割り分割体6aを4個用い、これを接着剤で接合した断面花弁型反応部を2個作成し、これを二段に重ね合わせて接合して、反応器本体2aを作成した。この反応器本体2aにおける最も大きい部分の直径は約1650mmであった。
なお、上記と同じ縦割り分割体6aを3個用いた場合の直径は約1260mmであり、その断面積は上記石英管の断面積の約2.1倍となる。また、縦割り分割体6aを8個用いた場合の直径は約3060mmであり、その断面積は上記石英管の断面積の約10.4倍となる。
この反応器本体2aの上部に還元用の亜鉛ガス供給管12と原料の四塩化珪素ガス供給管14を取り付け、また反応器本体2aの下部には反応排ガスである塩化亜鉛ガスの排ガス出口部16を取り付け、還元反応器2を完成した。
このような還元反応器2を使用して、亜鉛ガス及び四塩化珪素ガスを反応器本体2aの上部から供給し、1000℃で6時間反応させて多結晶シリコンを製造した。還元反応器2は、反応中のガス漏れもなく気密性は良好で耐圧・耐熱強度も十分であった。
なお、反応器本体2aの強度維持のため、反応器本体2aの外側周囲(花弁型の弁頂部に相当する部分4箇所)を複数のセラミックスや石英などで構成される押さえ部材などで外側から押さえ付けて反応器本体2aを補強することもできる。
このような押さえ部材を、反応部10の周囲に張り巡らすように設置すれば、反応部10を多段に重ね合わせていく場合の足場として使用することもでき、これにより、重ね合わせ作業を容易に行うことができる。
2 還元反応器
2a 反応器本体
4 受け部材
6a 分割体
12 亜鉛ガス供給管
14 四塩化珪素ガス供給管
16 排ガス出口部16
18 多結晶シリコン回収部
10,20 反応部
2a 反応器本体
4 受け部材
6a 分割体
12 亜鉛ガス供給管
14 四塩化珪素ガス供給管
16 排ガス出口部16
18 多結晶シリコン回収部
10,20 反応部
Claims (7)
- 反応器本体内の反応部で四塩化珪素を金属亜鉛で還元して多結晶シリコンを製造する還元反応器において、
石英管を軸方向に分割された縦割り分割体を複数用意するとともに、これら複数の縦割り分割体を突き合わせることにより、その断面が略花弁状の反応部を構成したことを特徴とする還元反応器。 - 1つの反応部を構成する前記縦割り分割体は、3個〜8個のいずれかであることを特徴とする請求項1記載の還元反応器。
- 1つの反応部を構成する前記縦割り分割体は、4個であることを特徴とする請求項2に記載の還元反応器。
- 前記複数の縦割り分割体から構成される略花弁状の反応部が、上下方向に2〜5段積み重ねて配置されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の還元反応器。
- 前記複数の縦割り分割体の各々が、その周方向および/またはその上下方向に隣接する縦割り分割体と接着剤によって接合されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の還元反応器。
- 前記接着剤はシリカまたはアルミナを主成分とするものであることを特徴とする請求項5に記載の還元反応器。
- 前記反応部の外周部に補強用の押さえ部材を介在したことを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の還元反応器。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010045017 | 2010-03-02 | ||
JP2010045017 | 2010-03-02 | ||
PCT/JP2011/054284 WO2011108452A1 (ja) | 2010-03-02 | 2011-02-25 | 還元反応器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2011108452A1 true JPWO2011108452A1 (ja) | 2013-06-27 |
Family
ID=44542105
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012503107A Withdrawn JPWO2011108452A1 (ja) | 2010-03-02 | 2011-02-25 | 還元反応器 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPWO2011108452A1 (ja) |
TW (1) | TW201134545A (ja) |
WO (1) | WO2011108452A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9592297B2 (en) * | 2012-08-31 | 2017-03-14 | Bayer Healthcare Llc | Antibody and protein formulations |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4740568B2 (ja) * | 2004-08-17 | 2011-08-03 | コスモ石油株式会社 | シリコンの製造装置及び方法 |
JP4692324B2 (ja) * | 2006-02-21 | 2011-06-01 | チッソ株式会社 | 高純度多結晶シリコンの製造装置 |
-
2011
- 2011-02-25 JP JP2012503107A patent/JPWO2011108452A1/ja not_active Withdrawn
- 2011-02-25 WO PCT/JP2011/054284 patent/WO2011108452A1/ja active Application Filing
- 2011-03-01 TW TW100106670A patent/TW201134545A/zh unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201134545A (en) | 2011-10-16 |
WO2011108452A1 (ja) | 2011-09-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20120308843A1 (en) | Method of manufacturing a hot-gas component with a cooling channel and a hot-gas component thereof | |
KR20150136478A (ko) | 연속 탄소섬유 강화 도가니 예비 성형체 및 이의 제조방법 | |
CN109404723A (zh) | 车用低温绝热气瓶后部支撑结构及装配工艺 | |
CN101290168B (zh) | 线聚焦太阳能真空集热管封接结构和卸载装置 | |
JPWO2011108452A1 (ja) | 還元反応器 | |
CN102390013B (zh) | 多头膜式引出接管装配定位装置及其装配方法 | |
CN101791645B (zh) | 大节间距钢管拱拱肋分步成形工艺 | |
CN202030857U (zh) | 直拉单晶炉用组合坩埚 | |
CN105271693A (zh) | 一种大尺寸光纤预制棒拉伸炉及其使用方法 | |
CN108218461A (zh) | 一种单晶炉用碳/碳热场结构产品的快速cvd致密方法 | |
CN104889519A (zh) | 一种高效、节能环保的金属陶瓷x射线管的制造方法 | |
CN201746331U (zh) | 多晶硅还原炉 | |
KR20140111112A (ko) | 원통형 멤브레인 월 제작 방법 | |
CN105564809B (zh) | 一种复合管道内支撑组件 | |
CN102712031B (zh) | 金属制管、金属制管的加工方法及加工装置 | |
CN102603180B (zh) | 包含石英喷管和原料供给金属配管的玻璃母材的制造装置 | |
CN109317781A (zh) | 一种电弧熔丝增材制造倾斜y字交叉筋结构的成型方法 | |
CN205549983U (zh) | 一种管状膜氢气分离器 | |
CN202240247U (zh) | 多头膜式引出接管装配定位装置 | |
CN102586863B (zh) | 一种石墨坩埚单瓣块体再生利用的切割模具及其切割方法 | |
CN201214631Y (zh) | 多晶硅还原炉 | |
CN204184720U (zh) | 一种复合管道内支撑组件 | |
CN105869683B (zh) | 一种陶瓷引线装置及该装置的成型方法 | |
CN207158795U (zh) | 一种气相可控型多晶硅还原炉 | |
CN206735808U (zh) | 一种多晶硅还原炉底盘 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20140513 |