JPWO2011065507A1 - 湿度検出センサ - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の実施の形態に係る湿度検出センサの構成を示すブロック図である。図1に示す湿度検出センサは、吸収又は放出した水分量に応じて誘電率が変化する高分子感湿材料を用いた高分子膜湿度センサである。この湿度検出センサは、基板10上に、湿度によって静電容量C20が変化するセンサ部20と、湿度によらず一定の静電容量C30を保持する基準部30と、このセンサ部20と基準部30とに電気的に接続し、該センサ部20と基準部30との間の容量差分ΔC(=C20−C30)を電圧に変換して外部回路に出力する回路部40とを有している。
(1)200−6.18/2=196.91fF
(2)200+6.18/2=203.09fF
となり、感度は、
(1)196.91×0.2/100=0.393fF/%
(2)203.09×0.2/100=0.406fF/%
のばらつきとなる。すなわち、この上部電極形成工程のみで3%前後の感度ばらつきが生じることとなる。当然、ウェハ間の中心値もばらつきを持つことになるので、さらに感度ばらつきが大きくなる。
実施例として、図3(b)に示す構造、すなわち、一対の電極53,55で挟持された高分子感湿膜54の厚さD1と略同じ厚さD2の高分子感湿膜54を有する領域Bを有する構造を持つ湿度検出センサを作製した。このとき、上部電極及び下部電極は、それぞれ厚さ0.2μmのAl膜とし、高分子感湿膜は、厚さ1.0μmのポリイミド膜とし、保護層は、厚さ1.0μmのSiNx膜とした。また、領域Bの幅は、1.5μmとした。この湿度検出センサについて、感度のばらつきを調べた。感度のばらつきは、LCRメータにより測定した。その結果、感度ばらつきが6%であり、非常に小さかった。
Claims (4)
- 基板と、前記基板上に設けられ、湿度に応じて誘電率が変化する高分子感湿膜を一対の電極で挟持し、前記高分子感湿膜が部分的に外界に露出する感湿領域を持つセンサ部と、少なくとも前記一対の電極のうちの上側の電極上に形成された保護層と、を具備し、前記感湿領域以外の領域において、前記一対の電極で挟持された高分子感湿膜の厚さと略同じ厚さの高分子感湿膜を有する領域を前記上側の電極の近傍に有することを特徴とする湿度検出センサ。
- 前記領域の幅は、少なくとも前記一対の電極間の電界の漏れ領域を含む幅であることを特徴とする請求項1記載の湿度検出センサ。
- 前記高分子感湿膜上の電極は、フォトリソグラフィー及びエッチングによりパターニングされてなることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の湿度検出センサ。
- 前記高分子感湿膜上の電極は、フォトリソグラフィー及びエッチングによりパターニングされてなるシード層と、前記シード層上に形成されためっき層とで構成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の湿度検出センサ。
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