JPWO2011048919A1 - 感放射線性樹脂組成物及び新規化合物 - Google Patents
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Abstract
Description
[1]下記一般式(1−1)で表される感放射線性酸発生剤と、下記一般式(X)で表される化合物と、溶剤と、を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
[2]下記一般式(1−2)で表される感放射線性酸発生剤と、溶剤と、を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
[3]下記一般式(1−2)で表されることを特徴とする化合物。
[4]感放射線性酸発生剤である前記[3]に記載の化合物。
本発明の新規化合物は、感放射線性樹脂組成物における感放射線性酸発生剤として好適に用いることができる。
また、本明細書における「(メタ)アクリレート」は、「アクリレート」又は「メタクリレート」を意味する。
本発明の感放射線性樹脂組成物〔以下、「感放射線性樹脂組成物(I)」ともいう。〕は、特定の感放射線性酸発生剤〔以下、「酸発生剤(A1)」ともいう。〕と、他の特定の化合物〔以下、「化合物(B)」ともいう。〕と、溶剤と、を含有する。
このような酸発生剤(A1)及び化合物(B)を含有する感放射線性樹脂組成物によれば、環境や人体に対する悪影響が低く、且つ、良好なレジストパターンを得ることができるレジスト被膜を形成することができる。
前記酸発生剤(A1)は、下記一般式(1−1)で表されるものである。この酸発生剤(A1)は、その構造中のスルホニル基のα−位に強い含フッ素系電子吸引基を有するため、露光等を契機として、酸性度の高いスルホン酸(後述の一般式(1a)で表されるスルホン酸)が発生する。また、酸発生剤(A1)は、感放射線性の酸発生剤として機能することに加え、沸点が高く、フォトリソグラフィー工程中に揮発し難く、レジスト被膜中での酸の拡散長が短い。即ち酸の拡散長が適度であるという特性を有する。
また、このアルキル基は、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素等のハロゲン原子、ヒドロキシル基、チオール基、及び、ヘテロ原子(例えば、ハロゲン原子、酸素原子、窒素原子、硫黄原子、リン原子、ケイ素原子等)を含む有機基等の置換基により置換されていてもよい。
また、このアリール基は、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素等のハロゲン原子、ヒドロキシル基、チオール基、アルキル基、及び、ヘテロ原子(例えば、ハロゲン原子、酸素原子、窒素原子、硫黄原子、リン原子、ケイ素原子等)を含む有機基等の置換基により置換されていてもよい。
〔一般式(2−2)において、Rdは水素原子、ハロゲン原子、ヒドロキシル基、チオール基、置換若しくは非置換の炭素数1〜8の直鎖状若しくは分岐状のアルキル基、又は置換若しくは非置換の炭素数6〜8のアリール基を示すか、或いは、2個以上のRdが相互に結合して環を形成している。但し、Rdが複数存在する場合、それぞれ、同一でも異なっていてもよい。Reは水素原子、置換若しくは非置換の炭素数1〜7の直鎖状若しくは分岐状のアルキル基、又は置換若しくは非置換の炭素数6〜7のアリール基を示すか、或いは、2個以上のReが相互に結合して環を形成している。但し、Reが複数存在する場合、それぞれ、同一でも異なっていてもよい。q4は0〜7の整数を示し、q5は0〜6の整数を示し、q6は0〜3の整数を示す。〕
また、このアルキル基は、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素等のハロゲン原子、ヒドロキシル基、チオール基、及び、ヘテロ原子(例えば、ハロゲン原子、酸素原子、窒素原子、硫黄原子、リン原子、ケイ素原子等)を含む有機基等の置換基により置換されていてもよい。
また、このアリール基は、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素等のハロゲン原子、ヒドロキシル基、チオール基、アルキル基、及び、ヘテロ原子(例えば、ハロゲン原子、酸素原子、窒素原子、硫黄原子、リン原子、ケイ素原子等)を含む有機基等の置換基により置換されていてもよい。
また、このアルキル基は、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素等のハロゲン原子、ヒドロキシル基、チオール基、及び、ヘテロ原子(例えば、ハロゲン原子、酸素原子、窒素原子、硫黄原子、リン原子、ケイ素原子等)を含む有機基等の置換基により置換されていてもよい。
また、この脂環式炭化水素基は、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素等のハロゲン原子、ヒドロキシル基、チオール基、アルキル基、及び、ヘテロ原子(例えば、ハロゲン原子、酸素原子、窒素原子、硫黄原子、リン原子、ケイ素原子等)を含む有機基等の置換基により置換されていてもよい。
また、このアリール基は、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素等のハロゲン原子、ヒドロキシル基、チオール基、アルキル基、及び、ヘテロ原子(例えば、ハロゲン原子、酸素原子、窒素原子、硫黄原子、リン原子、ケイ素原子等)を含む有機基等の置換基により置換されていてもよい。
また、このアルキル基は、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素等のハロゲン原子、ヒドロキシル基、チオール基、及び、ヘテロ原子(例えば、ハロゲン原子、酸素原子、窒素原子、硫黄原子、リン原子、ケイ素原子等)を含む有機基等の置換基により置換されていてもよい。
また、このアリール基は、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素等のハロゲン原子、ヒドロキシル基、チオール基、アルキル基、及び、ヘテロ原子(例えば、ハロゲン原子、酸素原子、窒素原子、硫黄原子、リン原子、ケイ素原子等)を含む有機基等の置換基により置換されていてもよい。
また、このアルキル基は、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素等のハロゲン原子、ヒドロキシル基、チオール基、及び、ヘテロ原子(例えば、ハロゲン原子、酸素原子、窒素原子、硫黄原子、リン原子、ケイ素原子等)を含む有機基等の置換基により置換されていてもよい。
また、このアリール基は、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素等のハロゲン原子、ヒドロキシル基、チオール基、アルキル基、及び、ヘテロ原子(例えば、ハロゲン原子、酸素原子、窒素原子、硫黄原子、リン原子、ケイ素原子等)を含む有機基等の置換基により置換されていてもよい。
また、このアルキル基は、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素等のハロゲン原子、ヒドロキシル基、チオール基、及び、ヘテロ原子(例えば、ハロゲン原子、酸素原子、窒素原子、硫黄原子、リン原子、ケイ素原子等)を含む有機基等の置換基により置換されていてもよい。
また、この脂環式炭化水素基は、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素等のハロゲン原子、ヒドロキシル基、チオール基、アルキル基、及び、ヘテロ原子(例えば、ハロゲン原子、酸素原子、窒素原子、硫黄原子、リン原子、ケイ素原子等)を含む有機基等の置換基により置換されていてもよい。
また、このアリール基は、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素等のハロゲン原子、ヒドロキシル基、チオール基、アルキル基、及び、ヘテロ原子(例えば、ハロゲン原子、酸素原子、窒素原子、硫黄原子、リン原子、ケイ素原子等)を含む有機基等の置換基により置換されていてもよい。
前記化合物(B)は、下記一般式(X)で表されるものである。
本発明の感放射線性樹脂組成物(I)は、この化合物(B)を含有しているため、ナノエッジラフネスが良好であると共に、微細パターンを高精度に且つ安定して形成可能なレジスト被膜を成膜することができる。更には、環境や人体に対する悪影響がより低く、且つ、良好なレジストパターンを得ることができるレジスト被膜を形成することができる。
R9における炭素数6〜22のアリール基としては、下記の(x−1)〜(x−3)等の構造に由来する基を挙げることができる。尚、R9が下記の(x−2)に由来する基(即ち、ナフチル基)である場合、R9COO−におけるCOO−部位の炭素原子に結合する結合位置は、1位及び2位のいずれであってもよい。また、R9が下記の(x−3)に由来する基(即ち、アントリル基)である場合、R9COO−におけるCOO−部位の炭素原子に結合する結合位は、1位、2位及び9位のいずれであってもよい。
本発明の感放射線性樹脂組成物(I)は、酸解離性基を有する繰り返し単位を含むアルカリ不溶性又はアルカリ難溶性の樹脂(以下、「樹脂(C)」ともいう。)を含有する。
この樹脂(C)は、酸の作用によりアルカリ易溶性となる樹脂である。ここで、本明細書において「アルカリ不溶性又はアルカリ難溶性」とは、樹脂(C)を含有する感放射線性樹脂組成物から形成されたレジスト被膜からレジストパターンを形成する際に採用されるアルカリ現像条件下で、前記レジスト被膜の代わりに樹脂(C)のみを用いた膜厚100nmの被膜を現像した場合に、前記レジスト被膜の初期膜厚の50%以上が現像後に残存する性質を意味する。
このような酸解離性基を有する繰り返し単位として、繰り返し単位(p−1)及び(p−2)のうちの少なくとも一方を用いることによって、良好な感度が得られるという利点がある。
また、この脂環式炭化水素基から誘導される基としては、上述の1価の脂環式炭化水素基を、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、2−メチルプロピル基、1−メチルプロピル基、t−ブチル基等の炭素数1〜4の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基の1種以上或いは1個以上で置換した基等が挙げられる。
また、このアリール基は置換されていてもよい。置換基の具体例としては、例えば、メチル基、エチル基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、ハロゲン原子(フッ素原子、塩素原子、臭素原子等)、アルコキシル基(メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基等)、アルキルオキシカルボニル基等が挙げられる。
更に、R22が相互に結合して形成された2価の脂環式炭化水素基から誘導される基としては、上述の2価の脂環式炭化水素基を、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、2−メチルプロピル基、1−メチルプロピル基、t−ブチル基等の炭素数1〜4の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基の1種以上或いは1個以上で置換した基等が挙げられる。
尚、繰り返し単位(c−1)は、樹脂(C)に1種のみ含まれていてもよいし、2種以上含まれていてもよい。
尚、繰り返し単位(c−2)は、樹脂(C)に1種のみ含まれていてもよいし、2種以上含まれていてもよい。
この繰り返し単位(c−2)を生成するために用いられる単量体としては、例えば、4−ヒドロキシフェニルアクリレート、4−ヒドロキシフェニルメタクリレート等が挙げられる。
尚、繰り返し単位(c−3)は、樹脂(C)に1種のみ含まれていてもよいし、2種以上含まれていてもよい。
この繰り返し単位(c−3)を生成するために用いられる単量体としては、例えば、N−(4−ヒドロキシフェニル)アクリルアミド、N−(4−ヒドロキシフェニル)メタクリルアミド等が挙げられる。
尚、繰り返し単位(c−4)は、樹脂(C)に1種のみ含まれていてもよいし、2種以上含まれていてもよい。
この繰り返し単位(c−4)を生成するために用いられる単量体としては、例えば、5−ヒドロキシナフタレン−1−イルメタクリレート、5−ヒドロキシナフタレン−1−イルアクリレート等が挙げられる。
本発明における樹脂(C)が、繰り返し単位(c−5)を含有する場合、ナノエッジラフネスにより優れたレジストパターンを形成することができる。
尚、繰り返し単位(c−5)は、樹脂(C)に1種のみ含まれていてもよいし、2種以上含まれていてもよい。
これらのなかでも、アセトン、メチルアミルケトン、メチルエチルケトン、テトラヒドロフラン、メタノール、エタノール、プロパノール、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートが好ましい。
また、樹脂(C)のMwと、GPCで測定したポリスチレン換算数平均分子量(以下、「Mn」ともいう。)との比(Mw/Mn)は、1〜5であることが好ましく、より好ましくは1〜3、更に好ましくは1〜2.5である。
本発明の感放射線性樹脂組成物(I)は、上述の酸発生剤(A)、化合物(B)、樹脂(C)以外に、酸拡散制御剤(以下、「酸拡散制御剤(D)」ともいう。)を更に含有していることが好ましい。
この酸拡散制御剤(D)は、露光により酸発生剤(A)や化合物(B)から生じる酸の、レジスト被膜中における拡散現象を制御し、非露光領域における好ましくない化学反応を抑制する作用を有するものである。
前記含窒素有機化合物としては、例えば、下記一般式(4)で表される化合物(以下、「含窒素化合物(i)」という)、同一分子内に窒素原子を2個有する化合物(以下、「含窒素化合物(ii)」という)、窒素原子を3個以上有するポリアミノ化合物や重合体(以下、これらをまとめて「含窒素化合物(iii)」という)、アミド基含有化合物、ウレア化合物、含窒素複素環化合物等が挙げられる。
本発明の感放射線性樹脂組成物(I)は、溶剤(以下、「溶剤(E)」ともいう。)を含有するものである。
前記溶剤(E)としては、例えば、エチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、プロピレングリコールモノアルキルエーテル類、プロピレングリコールジアルキルエーテル類、プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、乳酸エステル類、ぎ酸エステル類、酢酸エステル類、プロピオン酸エステル類、エステル類、芳香族炭化水素類、ケトン類、アミド類、ラクトン類等が挙げられる。これらの溶剤は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
本発明の感放射線性樹脂組成物(I)には、上述した酸発生剤(A1)、化合物(B)以外にも、その他の感放射線性酸発生剤(以下、「他の酸発生剤」ともいう。)を更に配合することができる。
この他の酸発生剤としては、例えば、前記酸発生剤(A1)及び化合物(B)を除く、オニウム塩化合物、スルホン酸化合物等が挙げられる。
また、スルホン酸化合物としては、例えば、アルキルスルホン酸エステル、アルキルスルホン酸イミド、ハロアルキルスルホン酸エステル、アリールスルホン酸エステル、及びイミノスルホネート等が挙げられる。
尚、これらの他の酸発生剤は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
本発明の感放射線性樹脂組成物(I)には、上述した酸発生剤(A1)、化合物(B)、樹脂(C)、酸拡散制御剤(D)、溶剤(E)、及び他の酸発生剤以外にも、その他の成分として、界面活性剤、増感剤、脂肪族添加剤等の各種の添加剤を更に配合することができる。
このような界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンn−オクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンn−ノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート等のノニオン系界面活性剤の他、以下商品名で、KP341(信越化学工業社製)、ポリフローNo.75、同No.95(以上、共栄社化学社製)、エフトップEF301、同EF303、同EF352(以上、トーケムプロダクツ社製)、メガファックF171、同F173(以上、大日本インキ化学工業社製)、フロラードFC430、同FC431(以上、住友スリーエム社製)、アサヒガードAG710、サーフロンS−382、同SC−101、同SC−102、同SC−103、同SC−104、同SC−105、同SC−106(以上、旭硝子社製)等が挙げられる。これらの界面活性剤は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
このような増感剤としては、例えば、カルバゾール類、アセトフェノン類、ベンゾフェノン類、ナフタレン類、フェノール類、ビアセチル、エオシン、ローズベンガル、ピレン類、アントラセン類、フェノチアジン類等を挙げることができる。尚、これらの増感剤は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
このような脂環族添加剤としては、例えば、1−アダマンタンカルボン酸、2−アダマンタノン、1−アダマンタンカルボン酸t−ブチル、1−アダマンタンカルボン酸t−ブトキシカルボニルメチル、1−アダマンタンカルボン酸α−ブチロラクトンエステル、1,3−アダマンタンジカルボン酸ジ−t−ブチル、1−アダマンタン酢酸t−ブチル、1−アダマンタン酢酸t−ブトキシカルボニルメチル、1,3−アダマンタンジ酢酸ジ−t−ブチル、2,5−ジメチル−2,5−ジ(アダマンチルカルボニルオキシ)ヘキサン等のアダマンタン誘導体類;デオキシコール酸t−ブチル、デオキシコール酸t−ブトキシカルボニルメチル、デオキシコール酸2−エトキシエチル、デオキシコール酸2−シクロヘキシルオキシエチル、デオキシコール酸3−オキソシクロヘキシル、デオキシコール酸テトラヒドロピラニル、デオキシコール酸メバロノラクトンエステル等のデオキシコール酸エステル類;リトコール酸t−ブチル、リトコール酸t−ブトキシカルボニルメチル、リトコール酸2−エトキシエチル、リトコール酸2−シクロヘキシルオキシエチル、リトコール酸3−オキソシクロヘキシル、リトコール酸テトラヒドロピラニル、リトコール酸メバロノラクトンエステル等のリトコール酸エステル類;3−〔2−ヒドロキシ−2,2−ビス(トリフルオロメチル)エチル〕テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]ドデカン等を挙げることができる。尚、これらの脂環族添加剤は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
本発明の感放射線性樹脂組成物〔以下、「感放射線性樹脂組成物(II)」ともいう。〕は、特定の感放射線性酸発生剤〔以下、「酸発生剤(A2)」ともいう。〕と、溶剤と、を含有する。
このような酸発生剤(A2)を含有する感放射線性樹脂組成物によれば、環境や人体に対する悪影響が低く、且つ、良好なレジストパターンを得ることができるレジスト被膜を形成することができる。
前記酸発生剤(A2)は、下記一般式(1−2)で表されるものである。この酸発生剤(A2)は、その構造中のスルホニル基のα−位に強い含フッ素系電子吸引基を有するため、露光等を契機として、酸性度の高いスルホン酸が発生する。また、酸発生剤(A2)は、感放射線性の酸発生剤として機能することに加え、沸点が高く、フォトリソグラフィー工程中に揮発し難く、レジスト被膜中での酸の拡散長が短い。即ち酸の拡散長が適度であるという特性を有する。
また、この酸発生剤(A2)は、上述の感放射線性樹脂組成物(I)における酸発生剤(A1)と同様にして合成することができる。
本発明の感放射線性樹脂組成物(II)は、上述の酸発生剤(A2)以外にも、前記一般式(X)で表される化合物(B)を更に含有することが好ましい。この場合、環境や人体に対する悪影響がより低く、且つ、良好なレジストパターンを得ることができるレジスト被膜を形成することができる。尚、化合物(B)については、上述の感放射線性樹脂組成物(I)における化合物(B)の説明をそのまま適用することができる。
また、本発明の感放射線性樹脂組成物(II)は、化合物(B)を1種のみ含有していてもよいし、2種以上含有していてもよい。
本発明の感放射線性樹脂組成物(II)は、酸解離性基を有する繰り返し単位を含むアルカリ不溶性又はアルカリ難溶性の樹脂(以下、「樹脂(C)」ともいう。)を含有する。尚、樹脂(C)については、上述の感放射線性樹脂組成物(I)における樹脂(C)の説明をそのまま適用することができる。
また、本発明の感放射線性樹脂組成物(II)は、樹脂(C)を1種のみ含有していてもよいし、2種以上含有していてもよい。
本発明の感放射線性樹脂組成物(II)は、上述の酸発生剤(A2)、化合物(B)、樹脂(C)以外に、酸拡散制御剤(以下、「酸拡散制御剤(D)」ともいう。)を更に含有していることが好ましい。尚、酸拡散制御剤(D)については、上述の感放射線性樹脂組成物(I)における酸拡散制御剤(D)の説明をそのまま適用することができる。
また、本発明の感放射線性樹脂組成物(II)は、酸拡散制御剤(D)を1種のみ含有していてもよいし、2種以上含有していてもよい。
本発明の感放射線性樹脂組成物(II)は、溶剤(以下、「溶剤(E)」ともいう。)を含有するものである。尚、溶剤(E)については、上述の感放射線性樹脂組成物(I)における溶剤(E)の説明をそのまま適用することができる。
また、本発明の感放射線性樹脂組成物(II)は、溶剤(E)を1種のみ含有していてもよいし、2種以上含有していてもよい。
本発明の感放射線性樹脂組成物(II)には、上述した酸発生剤(A2)、化合物(B)以外にも、その他の感放射線性酸発生剤(以下、「他の酸発生剤」ともいう。)を更に配合することができる。尚、他の酸発生剤については、上述の感放射線性樹脂組成物(I)における他の酸発生剤の説明をそのまま適用することができる。
また、本発明の感放射線性樹脂組成物(II)は、他の酸発生剤を1種のみ含有していてもよいし、2種以上含有していてもよい。
本発明の感放射線性樹脂組成物(II)には、上述した酸発生剤(A2)、化合物(B)、樹脂(C)、酸拡散制御剤(D)、溶剤(E)、及び他の酸発生剤以外にも、その他の成分として、界面活性剤、増感剤、脂肪族添加剤等の各種の添加剤を更に配合することができる。更に、これらの添加剤以外にも、アルカリ可溶性重合体、酸解離性の保護基を有する低分子のアルカリ溶解性制御剤、ハレーション防止剤、保存安定化剤、消泡剤等を配合することもできる。尚、これらの各成分については、上述の感放射線性樹脂組成物(I)における各説明をそのまま適用することができる。
また、これらの各成分は、それぞれ、1種単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
本発明の新規化合物は、下記一般式(1−2)で表されることを特徴とする。
一般式(2−1−1)で表されるスルホニウムカチオンについては、上述の感放射線性樹脂組成物(I)における、一般式(2−1−1)で表されるスルホニウムカチオンの説明をそのまま適用することができる。
また、この新規化合物は、上述の感放射線性樹脂組成物(I)における酸発生剤(A1)と同様にして合成することができる。
本発明の各感放射線性樹脂組成物は、化学増幅型ポジ型レジスト膜を成膜可能な材料として有用である。化学増幅型ポジ型レジスト膜においては、露光により酸発生剤(A1)や(A2)から発生した酸の作用によって、樹脂(C)中の酸解離性基が脱離し、樹脂(C)がアルカリ可溶性となる。即ち、レジスト被膜に、アルカリ可溶性部位が生じる。このアルカリ可溶性部位は、レジストの露光部であり、この露光部はアルカリ現像液によって溶解、除去することができる。このようにして所望の形状のポジ型のレジストパターンを形成することができる。以下、具体的に説明する。
感放射線性樹脂組成物としては、例えば、上述したように、全固形分濃度を調整した後、孔径0.2μm程度のフィルターでろ過したものを用いることができる。この感放射線性樹脂組成物を、回転塗布、流延塗布、ロール塗布等の適宜の塗布手段によって、例えば、シリコンウエハー、アルミニウムで被覆されたウェハー等の基板上に塗布することにより、レジスト被膜を形成する。その後、場合により、予め70〜160℃程度の温度で加熱処理(以下、「PB」という)を行ってもよい。
(合成例1−1)樹脂(C−1)の合成
p−アセトキシスチレン53g、下記式(M−1)で表される化合物(以下、「化合物(M−1)」ともいう)48g、アゾビスイソブチロニトリル(以下、「AIBN」という)7g、及びt−ドデシルメルカプタン1gを、プロピレングリコールモノメチルエーテル150gに溶解した後、窒素雰囲気下、反応温度を70℃に保持して、16時間重合させた。重合後、反応溶液を1000gのn−ヘキサン中に滴下して、共重合体を凝固精製した。次いで、この共重合体に、再度プロピレングリコールモノメチルエーテル150gを加えた後、更に、メタノール150g、トリエチルアミン37g、及び水7gを加えて、沸点にて還流させながら、8時間加水分解反応を行った。反応後、溶剤及びトリエチルアミンを減圧留去し、得られた共重合体をアセトン150gに溶解した後、2000gの水中に滴下して凝固させ、生成した白色粉末をろ過して、減圧下50℃で一晩乾燥した。
得られた共重合体は、Mwが6000、Mw/Mnが1.9であり、13C−NMR分析の結果、p−ヒドロキシスチレンに由来する繰り返し単位及び化合物(M−1)に由来する繰り返し単位の含有比(mol比)が60:40の共重合体であった。以下、この共重合体を、樹脂(C−1)とする。
p−アセトキシスチレン55g、下記式(M−2)で表される化合物(以下、「化合物(M−2)」ともいう)45g、AIBN4g、及びt−ドデシルメルカプタン1gを、プロピレングリコールモノメチルエーテル100gに溶解した後、窒素雰囲気下、反応温度を70℃に保持して、16時間重合させた。重合後、反応溶液を1000gのn−ヘキサン中に滴下して、共重合体を凝固精製した。次いで、この共重合体に、再度プロピレングリコールモノメチルエーテル150gを加えた後、更に、メタノール150g、トリエチルアミン34g、及び水6gを加えて、沸点にて還流させながら、8時間加水分解反応を行なった。反応後、溶剤及びトリエチルアミンを減圧留去し、得られた共重合体をアセトン150gに溶解した後、2000gの水中に滴下して凝固させ、生成した白色粉末をろ過して、減圧下50℃で一晩乾燥した。
得られた共重合体は、Mwが10000、Mw/Mnが2.1であり、13C−NMR分析の結果、p−ヒドロキシスチレンに由来する繰り返し単位及び化合物(M−2)に由来する繰り返し単位の含有比(mol比)が65:35の共重合体であった。以下、この共重合体を、樹脂(C−2)とする。
下記式(M−3)で表される化合物(以下、「化合物(M−3)」ともいう)31.63g(35モル%)、下記式(M−4)で表される化合物(以下、「化合物(M−4)」ともいう)49.60g(45モル%)、下記式(M−5)で表される化合物(以下、「化合物(M−5)」ともいう)6.45g(10モル%)を、2−ブタノン200gに溶解し、更に2,2’−アゾビス(2−メチルプロピオニトリル)8.14gを投入した単量体溶液を準備した。次いで、前記化合物(M−2)12.32g(10モル%)、2−ブタノン100gを投入した1000mlの三口フラスコを30分窒素パージし、窒素パージの後、反応釜を攪拌しながら80℃に加熱し、事前に準備した前記単量体溶液を、滴下漏斗を用いて3時間かけて滴下した。滴下開始を重合開始時間とし、重合反応を6時間実施した。重合終了後、重合溶液は水冷することにより30℃以下に冷却し、4000gのメタノールへ投入し、析出した白色粉末をろ別した。ろ別された白色粉末を400gのメタノールに分散させてスラリー状にして洗浄した後にろ別する操作を2回行い、その後、50℃にて17時間真空乾燥し、白色粉末(共重合体)を得た。
得られた共重合体は、Mwが4300、Mw/Mnが1.30であり、13C−NMR分析の結果、化合物(M−2)、化合物(M−3)、化合物(M−4)、化合物(M−5)で表される各繰り返し単位の含有率が8.9:35.6:46.2:9.3(モル%)の共重合体であった。この共重合体を重合体(C−3)とする。
下記式(X−1)で表される化合物8.8g、下記式(X−2)で表される化合物3.9g、水100g、ジクロロメタン100gを混合し、室温で3時間撹拌した。撹拌終了後、有機層を回収し、有機層を水50gで8回洗浄した。その後、有機層のジクロロメタンを減圧留去し、得られた固体を50℃で12時間乾燥した。得られた共重合体は、1H−NMR及び19F−NMR分析の結果、下記式(A−1)で表される化合物であった。
下記式(X−3)で表される化合物6.0g、前記式(X−2)で表される化合物3.9g、水100g、ジクロロメタン100gを混合し、室温で3時間撹拌した。撹拌終了後、有機層を回収し、有機層を水50gで8回洗浄した。その後、有機層のジクロロメタンを減圧留去し、得られた固体を50℃で12時間乾燥した。得られた共重合体は、1H−NMR及び19F−NMR分析の結果、下記式(A−2)で表される化合物であった。
下記式(X−4)で表される化合物7.5g、前記式(X−2)で表される化合物3.9g、水100g、ジクロロメタン100gを混合し、室温で3時間撹拌した。撹拌終了後、有機層を回収し、有機層を水50gで8回洗浄した。その後、有機層のジクロロメタンを減圧留去し、得られた固体を50℃で12時間乾燥した。得られた共重合体は、1H−NMR及び19F−NMR分析の結果、下記式(A−3)で表される化合物であった。
また、1H−NMR、13C−NMR及び19F−NMR分析は、日本電子社製の型式「JNM−ECX400」を用いて測定した。
(実施例1)
表1に示すように、合成例(1−1)で調製した樹脂(C−1)100部、酸発生剤(A−1)20部、化合物(B−1)2部、酸拡散制御剤(D−1)1部、溶剤(E−1)2500部、及び溶剤(E−2)1100部を混合し、得られた混合液を孔径200nmのメンブランフィルターでろ過することにより、感放射線性樹脂組成物の組成物溶液を調製した。
表1に示す仕込み量にて、樹脂(C)、酸発生剤(A)、化合物(B)、酸拡散制御剤(D)及び溶剤(E)を混合し、得られた混合液を孔径200nmのメンブランフィルターでろ過することにより、実施例2〜13及び比較例1〜3の各組成物溶液(感放射線性樹脂組成物)を調製した。
(A−1):前記合成例(2−1)で得られた酸発生剤(A−1)
(A−2):前記合成例(2−2)で得られた酸発生剤(A−2)
(A−3):前記合成例(2−3)で得られた酸発生剤(A−3)
(a−1):下記式(a−1)で表される化合物
(B−1):下記式(B−1)で表される化合物
(B−2):下記式(B−2)で表される化合物
(C−1):前記合成例(1−1)で得られた樹脂(C−1)
(C−2):前記合成例(1−2)で得られた樹脂(C−2)
(C−3):前記合成例(1−3)で得られた樹脂(C−3)
<酸拡散制御剤(D)>
(D−1):トリ−n−オクチルアミン
<溶剤(E)>
(E−1):乳酸エチル
(E−2):プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
(E−3):シクロヘキサノン
東京エレクトロン社製の「クリーントラックACT−8」内で、シリコンウエハー上に組成物溶液(実施例1〜5、8、9及び比較例1の各感放射線性樹脂組成物)をスピンコートした後、表2に示す条件でPB(加熱処理)を行い、膜厚50nmのレジスト被膜を形成した。その後、簡易型の電子線描画装置(日立製作所社製、型式「HL800D」、出力;50KeV、電流密度;5.0アンペア/cm2)を用いてレジスト被膜に電子線を照射した。電子線の照射後、表2に示す条件でPEBを行った。その後、2.38%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を用い、23℃で1分間、パドル法により現像した後、純水で水洗し、乾燥して、レジストパターンを形成した。
このようにして形成したレジストパターンについて各評価試験を行い、その評価結果を表2に示した。
線幅110nmのライン部と、隣り合うライン部によって形成される間隔が110nmのスペース部(即ち、溝)と、からなるパターン(いわゆる、ライン・アンド・スペースパターン(1L1S))を1対1の線幅に形成する露光量を最適露光量とし、この最適露光量により感度(μC/cm2)を評価した。
設計線幅110nmのライン・アンド・スペースパターン(1L1S)のラインパターンを、半導体用走査電子顕微鏡(高分解能FEB測長装置、商品名「S−9220」、日立製作所社製)にて観察した。観察された形状について、図1及び図2に示すように、シリコンウエハー1上に形成したレジスト被膜のライン部2の横側面2aに沿って生じた凹凸の最も著しい箇所における線幅と、設計線幅110nmとの差「ΔCD」を、CD−SEM(日立ハイテクノロジーズ社製、「S−9220」)にて測定することにより、ナノエッジラフネスを評価した。尚、図1及び図2で示す凹凸は、実際より誇張している。
ライン・アンド・スペースパターン(1L1S)について、最適露光量により解像されるラインパターンの最小線幅(nm)を解像度とした。
東京エレクトロン社製の「クリーントラックACT−8」内で、シリコンウエハー上に組成物溶液(実施例6〜7、10、11及び比較例2の各感放射線性樹脂組成物)をスピンコートした後、表3に示す条件でPB(加熱処理)を行い、膜厚50nmのレジスト被膜を形成した。その後、商品名「スキャナーNSR−S203B」(ニコン社製、開口数=0.68、σ=0.75)を用い、バイナリーマスクを介して露光し、表3に示す条件でPEBを行った。その後、2.38%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を用い、23℃で30秒間、LDノズルを用いてパドル法により現像し、純水で水洗し、乾燥することによりレジストパターンを形成した。
このようにして形成したレジストパターンについて各評価試験を行い、その評価結果を表3に示した。
線幅110nmのライン部と、隣り合うライン部によって形成される間隔が110nmのスペース部(即ち、溝)と、からなるパターン(いわゆる、ライン・アンド・スペースパターン(1L1S))を1対1の線幅に形成する露光量を最適露光量とし、この最適露光量により感度(mJ/cm2)を評価した。
設計線幅110nmのライン・アンド・スペースパターン(1L1S)のラインパターンを、半導体用走査電子顕微鏡(高分解能FEB測長装置、商品名「S−9220」、日立製作所社製)にて観察した。観察された形状について、図1及び図2に示すように、シリコンウエハー1上に形成したレジスト被膜のライン部2の横側面2aに沿って生じた凹凸の最も著しい箇所における線幅と、設計線幅110nmとの差「ΔCD」を、CD−SEM(日立ハイテクノロジーズ社製、「S−9220」)にて測定することにより、ナノエッジラフネスを評価した。尚、図1及び図2で示す凹凸は、実際より誇張している。
下層反射防止膜(「ARC66」、日産化学社製)を形成した12インチシリコンウェハ上に、感放射線性樹脂組成物(実施例12、13及び比較例3の各感放射線性樹脂組成物)によって、膜厚75nmの被膜を形成し、表4に示す条件でPBを行った。次に、形成した被膜上に、WO2008/047678号の実施例1に記載の上層膜形成用組成物をスピンコートし、PB(90℃、60秒)を行うことにより膜厚90nmの塗膜を形成した。この被膜を、ArFエキシマレーザー液浸露光装置(「NSR S610C」、NIKON社製)を用い、NA=1.3、ratio=0.800、Annularの条件により、マスクパターンを介して露光した。露光後、表3に示す条件でPEBを行った。その後、2.38%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液により現像し、水洗し、乾燥して、ポジ型のレジストパターンを形成した。
このようにして形成されたレジストパターンについて各評価試験を行い、その評価結果を表4に示した。
上記評価条件にてターゲットサイズが50nm1L/1Sのマスクパターンを介して露光することによって線幅が50nmのラインアンドスペース(LS)パターンが形成される露光量を最適露光量とした。次いで、最適露光量にてライン幅のターゲットサイズを46nm、48nm、50nm、52nm、54nmのとするマスクパターンをそれぞれ用い、ピッチ100nmのLSパターンを形成し、レジスト膜に形成されたライン幅を日立製測長SEM:CG4000にて測定した。
このとき、ターゲットサイズ(nm)を横軸に、各マスクパターンを用いてレジスト膜に形成されたライン幅(nm)を縦軸にプロットしたときの直線の傾きをMEEFとして算出した。
尚、MEEFの値が低い程、マスク作成コストを低減することができる。
上記評価条件にてターゲットサイズが50nm1L/1.8Sのマスクパターンを介して露光することによって線幅が50nmのレジストパターンが形成される露光量を最適露光量とした。最適露光量にて得られた50nm1L/1.8Sパターンの観測において、日立製測長SEM:CG4000にてパターン上部から観察する際、線幅を任意のポイントで10点観測し、その測定ばらつきを3シグマで表現した値をナノエッジラフネス(LWR)とした。
尚、LWRの値が小さいほどパターンの直線性が優れていることを示す。
上記評価条件にてターゲットサイズが50nm1L/1.8Sのマスクパターンを介して1mJ/cm2ずつ露光量を変化させながら露光した。ラインの倒れが発生した露光量よりも1mJ/cm2小さい露光量にて形成されたパターンのライン幅を測長SEM(日立製作所社製、型番「CG4000」)により測定し、最小倒壊寸法とした。
尚、この値が小さいほどパターンの倒れに対する耐性が高いことを示す。
本発明の新規化合物は、感放射線性樹脂組成物における感放射線性酸発生剤として好適に用いることができる。
Claims (4)
- 下記一般式(1−1)で表される感放射線性酸発生剤と、下記一般式(X)で表される化合物と、溶剤と、を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
- 下記一般式(1−2)で表される感放射線性酸発生剤と、溶剤と、を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
- 下記一般式(1−2)で表されることを特徴とする化合物。
- 感放射線性酸発生剤である請求項3に記載の化合物。
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