JPWO2011040409A1 - 流量測定機構及びマスフローコントローラ - Google Patents
流量測定機構及びマスフローコントローラ Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2011040409A1 JPWO2011040409A1 JP2010538665A JP2010538665A JPWO2011040409A1 JP WO2011040409 A1 JPWO2011040409 A1 JP WO2011040409A1 JP 2010538665 A JP2010538665 A JP 2010538665A JP 2010538665 A JP2010538665 A JP 2010538665A JP WO2011040409 A1 JPWO2011040409 A1 JP WO2011040409A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluid
- flow rate
- flow path
- measuring device
- resistance member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D7/00—Control of flow
- G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
- G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
- G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
- G05D7/0635—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
- G01F1/34—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
- G01F1/36—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by the use of flow constriction
- G01F1/363—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by the use of flow constriction with electrical or electro-mechanical indication
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
- G01F1/34—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
- G01F1/36—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by the use of flow constriction
- G01F1/40—Details of construction of the flow constriction devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
- G01F1/34—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
- G01F1/48—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by a capillary element
Abstract
Description
さらに、前記凹部1b’を閉塞するための専用の蓋体やパッキンが必要となるため、構造が複雑になったり多くのシール部材が必要になったりしてコスト高を招く場合もある。
本実施形態に係るマスフローコントローラ100は、例えばガスパネルに搭載されて半導体製造装置の材料供給ラインの一部を構成するものであり、図1に流体回路図、図2に全体斜視図を示すように、流量制御対象である流体を流す内部流路1aと、前記内部流路1a上に設けられた流量調整弁4と、この流量調整弁4よりも下流側に設けられ、当該内部流路1aを流れる流体の流量を測定する流量測定機構10と、この流量測定機構10による測定流量が予め定めた目標流量になるように前記流量調整弁4を制御する制御回路6(図1には示していない)とから構成されている。以下に各部を詳述する。
図示しないセンサ素子は、感圧面2b1を形成する壁体の裏側に接触させてある。
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
流体抵抗部材は、音速ノズルを利用したものでもよい。
10・・・流量測定機構
1・・・ボディ
1a・・・内部流路
1a(2)・・・上流側内部流路
1a(3)・・・下流側内部流路
1h・・・凹部
1c・・・外表面(部品取付面)
21、22・・・圧力センサ
23・・・熱式流量センサ
2a1・・・圧力導入口、流体導入口(導入口)
2a2・・・導出口
3・・・流体抵抗部材
3a・・・抵抗流路
3c・・・連通路
4・・・流量調整弁
6・・・制御回路
Claims (7)
- 測定対象流体が流れる内部流路を有したボディと、前記内部流路を分断するとともに分断された上流側内部流路及び下流側内部流路を連通する抵抗流路を有した流体抵抗部材と、前記流体の流量に関連する物理量を検知する流体測定器と、を具備し、前記流体測定器が検知した物理量に基づいて前記流体の流量を算出可能に構成した流量測定機構において、
前記流体抵抗部材に連通路を貫通形成するとともに、前記ボディと前記流体測定器との間に前記流体抵抗部材が配設されるように構成しておき、この配設状態において前記内部流路のいずれか一方と前記流体測定器に設けられた導入口とが、前記連通路を介して連通するとともに、前記内部流路の他方と前記連通路とが前記抵抗流路を介して連通するように構成したことを特徴とする流量測定機構。 - 前記ボディに前記流体測定器を取り付けることによってこれらに挟まれて前記流体抵抗部材が保持されるように構成したことを特徴とする請求項1記載の流量測定機構。
- 内面に前記上流側内部流路及び下流側内部流路が開口する凹部を前記ボディの外表面に開口させておき、この凹部内に前記流体抵抗部材を収容して、前記流体測定器をボディに取り付けることにより、該流体測定器の取付面が凹部の開口を封止して流体抵抗部材を保持することを特徴とする請求項1記載の流量測定機構。
- 前記流体測定器が、前記上流側内部流路及び前記下流側内部通路の少なくとも一方の圧力を検知する圧力センサであるとともに、該圧力センサが検知した流体圧力に基づいて前記流体の流量を算出可能に構成してある請求項1記載の流量測定機構。
- 前記流体測定器が、前記流体抵抗部材により分流され、前記導入口から導入される前記流体の一部が前記内部流路の他方へと導出される導出口を具備するセンサ流路を備えた熱式流量センサである請求項1記載の流量測定機構。
- 請求項1記載の流量測定機構と、前記ボディに取り付けた流量調整弁と、前記流量測定機構による測定流量が予め定めた目標流量になるように前記流量調整弁を制御する制御回路とを具備したことを特徴とするマスフローコントローラ。
- 前記流体測定器及び流量調整弁が前記ボディにおける特定の一面のみに取り付けられていることを特徴とする請求項6記載のマスフローコントローラ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010538665A JP5808537B2 (ja) | 2009-10-01 | 2010-09-28 | 流量測定機構及びマスフローコントローラ |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009229267 | 2009-10-01 | ||
JP2009229267 | 2009-10-01 | ||
JP2010538665A JP5808537B2 (ja) | 2009-10-01 | 2010-09-28 | 流量測定機構及びマスフローコントローラ |
PCT/JP2010/066848 WO2011040409A1 (ja) | 2009-10-01 | 2010-09-28 | 流量測定機構及びマスフローコントローラ |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015177573A Division JP6014225B2 (ja) | 2009-10-01 | 2015-09-09 | 測定機構 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2011040409A1 true JPWO2011040409A1 (ja) | 2013-02-28 |
JP5808537B2 JP5808537B2 (ja) | 2015-11-10 |
Family
ID=43826225
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010538665A Active JP5808537B2 (ja) | 2009-10-01 | 2010-09-28 | 流量測定機構及びマスフローコントローラ |
JP2015177573A Active JP6014225B2 (ja) | 2009-10-01 | 2015-09-09 | 測定機構 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015177573A Active JP6014225B2 (ja) | 2009-10-01 | 2015-09-09 | 測定機構 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP5808537B2 (ja) |
TW (1) | TWI491852B (ja) |
WO (1) | WO2011040409A1 (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5933936B2 (ja) * | 2011-06-17 | 2016-06-15 | 株式会社堀場エステック | 流量測定システム、流量制御システム、及び、流量測定装置 |
US9188989B1 (en) | 2011-08-20 | 2015-11-17 | Daniel T. Mudd | Flow node to deliver process gas using a remote pressure measurement device |
US9958302B2 (en) | 2011-08-20 | 2018-05-01 | Reno Technologies, Inc. | Flow control system, method, and apparatus |
WO2014040002A2 (en) | 2012-09-10 | 2014-03-13 | Mudd Daniel T | Pressure based mass flow controller |
JP6416529B2 (ja) * | 2014-07-23 | 2018-10-31 | 株式会社フジキン | 圧力式流量制御装置 |
JP5781711B1 (ja) * | 2015-03-06 | 2015-09-24 | 山洋電気株式会社 | 測定装置 |
JP6106773B2 (ja) * | 2016-01-28 | 2017-04-05 | 株式会社堀場エステック | 流量測定装置及び流量制御装置 |
US11144075B2 (en) | 2016-06-30 | 2021-10-12 | Ichor Systems, Inc. | Flow control system, method, and apparatus |
US10838437B2 (en) | 2018-02-22 | 2020-11-17 | Ichor Systems, Inc. | Apparatus for splitting flow of process gas and method of operating same |
US10679880B2 (en) | 2016-09-27 | 2020-06-09 | Ichor Systems, Inc. | Method of achieving improved transient response in apparatus for controlling flow and system for accomplishing same |
US10303189B2 (en) | 2016-06-30 | 2019-05-28 | Reno Technologies, Inc. | Flow control system, method, and apparatus |
US10663337B2 (en) | 2016-12-30 | 2020-05-26 | Ichor Systems, Inc. | Apparatus for controlling flow and method of calibrating same |
JP2024512898A (ja) | 2021-03-03 | 2024-03-21 | アイコール・システムズ・インク | マニホールドアセンブリを備える流体流れ制御システム |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0222647Y2 (ja) * | 1985-05-09 | 1990-06-19 | ||
JPH06258106A (ja) * | 1993-03-02 | 1994-09-16 | Gijutsu Kaihatsu Sogo Kenkyusho:Kk | 差圧流量計 |
JPH0863235A (ja) * | 1994-08-24 | 1996-03-08 | Burutsukusu Instr Kk | 差圧式質量流量コントロール装置 |
JP2001147722A (ja) * | 1999-11-22 | 2001-05-29 | Ace:Kk | ガス流量制御装置 |
US6539968B1 (en) * | 2000-09-20 | 2003-04-01 | Fugasity Corporation | Fluid flow controller and method of operation |
WO2003100358A1 (en) * | 2002-05-29 | 2003-12-04 | Ckd Corporation | Thermal flowmeter |
SG144762A1 (en) * | 2002-07-19 | 2008-08-28 | Entegris Inc | Fluid flow measuring and proportional fluid flow control device |
US7222029B2 (en) * | 2004-07-08 | 2007-05-22 | Celerity, Inc. | Attitude insensitive flow device system and method |
US7000463B1 (en) * | 2004-11-12 | 2006-02-21 | Mks Instruments, Inc. | Reynolds number correction function for mass flow rate sensor |
DE602006011744D1 (de) * | 2005-06-24 | 2010-03-04 | Ckd Corp | Stromregelventil |
JP4589846B2 (ja) * | 2005-08-24 | 2010-12-01 | 株式会社堀場エステック | マスフローコントローラ用ボディ構造 |
JP4700448B2 (ja) * | 2005-09-12 | 2011-06-15 | サーパス工業株式会社 | 差圧式流量計 |
-
2010
- 2010-09-28 JP JP2010538665A patent/JP5808537B2/ja active Active
- 2010-09-28 WO PCT/JP2010/066848 patent/WO2011040409A1/ja active Application Filing
- 2010-09-30 TW TW099133366A patent/TWI491852B/zh active
-
2015
- 2015-09-09 JP JP2015177573A patent/JP6014225B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2011040409A1 (ja) | 2011-04-07 |
TWI491852B (zh) | 2015-07-11 |
JP5808537B2 (ja) | 2015-11-10 |
JP2016035462A (ja) | 2016-03-17 |
JP6014225B2 (ja) | 2016-10-25 |
TW201132942A (en) | 2011-10-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6014225B2 (ja) | 測定機構 | |
JP5697453B2 (ja) | 流量測定機構、マスフローコントローラ及び圧力センサ | |
JP5933936B2 (ja) | 流量測定システム、流量制御システム、及び、流量測定装置 | |
US10114385B2 (en) | Fluid control valve | |
JP4086057B2 (ja) | 質量流量制御装置及びこの検定方法 | |
TW201821725A (zh) | 閥裝置和閥控制裝置 | |
WO2011040330A1 (ja) | 流量調整弁及びマスフローコントローラ | |
WO2021044721A1 (ja) | 流量制御弁又は流量制御装置 | |
JP6106773B2 (ja) | 流量測定装置及び流量制御装置 | |
WO2018074208A1 (ja) | 流体制御弁、流体制御装置、及び駆動機構 | |
JP5833403B2 (ja) | 流体機構及び該流体機構を構成する支持部材 | |
JP6082082B2 (ja) | 流体機構及び該流体機構を構成する支持部材 | |
JPH06221885A (ja) | 渦流量計 | |
JP2000346682A (ja) | 流量検出機構 | |
JPS61170614A (ja) | 電気信号−空気圧変換ユニツト |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130729 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140515 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140714 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150115 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150316 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150811 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150909 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5808537 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |