JPWO2010044269A1 - 太陽電池の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、2008年10月17日に、日本国に出願された特願2008−268787号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
第三に、太陽光を効率的に発電層で吸収するために光を散乱させるテクスチャー構造が必要となる。通常、スパッタプロセスで作成した酸化インジウム系(例えばIn2O3)、酸化亜鉛系(例えばZnO)又は酸化スズ系(例えばSnO2)の各薄膜は、太陽電池で吸収する領域の波長を散乱させるには平坦な表面状態であるため、ウェットエッチング等によるテクスチャー形成処理が必要となる。
また、上記の太陽電池の製造方法は、以下のようにしてもよい:前記工程Aの後に、前記透明導電膜の形成材料からなるターゲットにスパッタ電圧を印加しながら、このターゲットの表面に水平磁界を発生させてスパッタを行い、前記透明基板上に前記透明導電膜を成膜することにより前記上部電極を形成する、工程Bをさらに備え、前記形成材料が前記インジウム、前記亜鉛、及び前記スズのうちの少なくとも一つと酸素(O)とを主成分とする。
太陽電池50は、表面を構成するガラス基板51と、ガラス基板51上に設けられた酸化インジウム系、酸化亜鉛系又は酸化スズ系の透明導電膜54からなる上部電極53と、アモルファスシリコン(以下、a−Siと記載)で構成されたトップセル55と、トップセル55と後述するボトムセル59との間に設けられた透明導電膜からなる中間電極57と、微結晶シリコン(以下、μc−Siと記載)で構成されたボトムセル59と、透明導電膜からなるバッファ層61と、金属膜からなる裏面電極63とが積層されて形成されている。
本発明に係る太陽電池の製造方法は、光入射側の電力取り出し電極として機能する上部電極が、インジウム(In)、亜鉛(Zn)又はスズ(Sn)を基本構成元素とする透明導電膜からなる太陽電池の製造方法である。この製造方法は、前記透明導電膜が形成される透明基板の表面にテクスチャーを形成する工程Aを、少なくとも備える。
上記製造方法では、透明導電膜が形成される透明基板の表面にテクスチャーが形成されている。
これにより、テクスチャーを設けた透明基板上に透明導電膜を形成することによって、自動的に、この透明導電膜の表面にもテクスチャーが転写される。ゆえに、透明導電膜を成膜した後にウェットエッチングでテクスチャーを形成する従来の方法に比べて、生産性を向上することができる。
図2は、同実施形態に係る太陽電池の製造方法に用いられるスパッタ装置(成膜装置)の一例を示す概略構成図である。図3は、このスパッタ装置の成膜室の主要部を示す断面図である。前記スパッタ装置1は、インターバック式である。例えば、このスパッタ装置1は、無アルカリガラス基板(図示せず)等の基板を搬入/搬出するための仕込/取出室2と、基板上に薄膜を成膜する成膜室(真空容器)3とを備えている。
電源14は、ターゲット7に直流電圧に高周波電圧が重畳されたスパッタ電圧を印加する。この電源14は、直流電源と高周波電源(図示略)とを含む。
ガス導入部15は、Ar等のスパッタガスを導入するために用いられる。
まず、前記透明導電膜54が形成される透明基板(ガラス基板50)の表面にテクスチャーを形成する(工程A)。
本工程Aでは、前記テクスチャーを形成するために、ウェットエッチング法が用いられる。
一般的に、透明導電膜54が形成される透明基板にはガラスが用いられるが、非晶質のガラスは異方性エッチングが困難である。この問題点を解決するために、同実施形態では、テクスチャーを形成する際に、金属薄膜70を透明基板上に形成し、この金属薄膜70をマスクとして、異方性エッチングを行う。
その後、前記金属薄膜70が形成されたガラス基板を、エッチング液に所定時間浸漬することにより、ウェットエッチングを行う[図5B参照]。エッチング液としては、例えば110−BHF(丸善薬品産業社製)等が用いられる。
最後に、硝酸洗浄により前記金属薄膜70を除去する[図5C参照]。
これにより、表面にテクスチャーが形成されたガラス基板51が得られる。
その際、前記透明導電膜54の形成材料として、インジウム(In)、亜鉛(Zn)若しくはスズ(Sn)、又はこれらの元素と酸素(O)を主成分とする材料が好適に用いられる。ターゲット7自体を、酸化インジウム、酸化亜鉛又は酸化スズとしても良い。また、ターゲット7自体はIn、Zn若しくはSnを主成分とし、酸素はプロセスガスから供給しても構わない。
また、透明導電膜54ではなく、ガラス基板51の表面にテクスチャーを形成することで、生産性を向上することができる。
なお、本発明では、上部電極を構成する透明基板にテクスチャーを形成したが、曇りガラス等を上部電極の透明基板として用いることの応用も考えられる。
図2及び図3に示したような成膜装置(スパッタ装置)1を用いて、ガラス基板(透明基板)にテクスチャーを形成した。
具体的には、まず、スパッタカソード機構12に、5インチ×16インチのCuターゲット7を取り付けた。また、基板温度が250[℃]になるようにヒータ11の設定を調整し、成膜室3を加熱した。
スパッタガス導入部15からArガスをプロセスガスとして圧力5[mTorr]で導入した。その後、スパッタカソード機構12にDC電源により1kWの電力を印加することにより、スパッタカソード機構12に取り付けたCuターゲットをスパッタした。
その後、このCu薄膜を設けた基板を、仕込/取出室2から大気圧下に取り出した。
その後、室温としたエッチング液[110−BHF(丸善薬品産業社製)]に、前記Cu薄膜を設けた基板を450、600、900秒間浸漬し、エッチングを行った後、硝酸洗浄によりCu薄膜を除去した。
浸漬時間450秒後の無アルカリガラス基板(実施例1)の表面SEM像を図7に、浸漬時間600秒後の無アルカリガラス基板(実施例2)の表面SEM像を図8に、浸漬時間900秒後の無アルカリガラス基板(実施例3)の表面SEM像を図9に示す。図6〜図9を比較して、非晶質であるガラス基板が異方性エッチングされたことが確認できる。
本発明の製法によれば、テクスチャーは透明基板(ガラス基板)に依存して決まるので、その上に設ける透明導電膜は、導電特性に優れた製造条件にて形成することが可能となる。ゆえに、本発明は、太陽電池特性のさらなる向上に寄与する。
51 ガラス基板(透明基板)
53 上部電極
54 透明導電膜
54a 第一層
54b 第二層
55 トップセル
59 ボトムセル
57 中間電極
61 バッファ層
63 裏面電極
Claims (3)
- 光入射側にあって電力を取り出す上部電極がインジウム(In)、亜鉛(Zn)、及びスズ(Sn)のいずれか一つを基本構成元素とする透明導電膜を含む、太陽電池の製造方法であって、
前記透明導電膜が形成される透明基板の表面に、ウェットエッチング法を用いてテクスチャーを形成する工程Aを備え、
前記工程Aでは、前記テクスチャーを形成する際に、金属薄膜を前記透明基板上に形成し、この金属薄膜をマスクとして異方性エッチングを行うことを特徴とする太陽電池の製造方法。 - 前記工程Aの後に、前記透明導電膜の形成材料からなるターゲットにスパッタ電圧を印加しながら、このターゲットの表面に水平磁界を発生させてスパッタを行い、前記透明基板上に前記透明導電膜を成膜することにより前記上部電極を形成する、工程Bをさらに備え、
前記透明導電膜の前記形成材料がインジウム(In)、亜鉛(Zn)、及びスズ(Sn)のいずれかを主成分とすることを特徴とする請求項1に記載の太陽電池の製造方法。 - 前記工程Aの後に、前記透明導電膜の形成材料からなるターゲットにスパッタ電圧を印加しながら、このターゲットの表面に水平磁界を発生させてスパッタを行い、前記透明基板上に前記透明導電膜を成膜することにより前記上部電極を形成する、工程Bをさらに備え、
前記形成材料が前記インジウム、前記亜鉛、及び前記スズのうちの少なくとも一つと酸素(O)とを主成分とすることを特徴とする請求項1に記載の太陽電池の製造方法。
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