JPWO2009081466A1 - 配管用加熱ヒータ - Google Patents
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Abstract
【課題】配管用加熱ヒータにおいて、運搬時および装着時の作業性と再現性を向上させつつ、配管を所望の一定温度にかつ均一に維持できるようにする。【解決手段】配管用加熱ヒータ(1)は、断面円形(C)の配管(P)の外周壁(Pa)を囲むように装着されて、この配管(P)に沿った多面体(R)を形成するように構成されたヒンジ(2)を介して連結される複数のシェル(3、13)により構成される。このシェル(3、13)の内壁(3a、13a)の全面には、断熱材(4、14)と、装着時に配管(P)の外周壁(Pa)に当接するように内壁(3a、13a)に配置された複数のモールド(5、15)と、装着時に配管(P)の外周壁(Pa)と形成される多面体(R)の角部(Ra)との間の空間(7)に、配管(P)の長手方向に延びるようにシェル(3、13)の内壁(3a、13a)に配置された複数の発熱体(6)とが設けられる。【選択図】図1
Description
本発明は、半導体製造装置およびその他の製造装置、または化学反応処理装置等における配管用加熱ヒータに関するものである。
従来、半導体製造装置、化学処理装置、食品製造装置およびその他の製造装置においては、処理前の気体または液体、および処理後の気体または液体を移送する配管の内壁に、これらの気体および液体が固化または堆積することを防ぐため配管用加熱ヒータが使用されている。
配管用加熱ヒータとしては、被加熱体である配管に発熱体を直接的に接触させて加熱する接触加熱型の配管用加熱ヒータが知られており、具体的に、断熱材とガラス布等に発熱体を埋設し、配管に巻き付けるジャケット・ヒータや、また、特許文献1に提案されている、シリコン樹脂等に発熱体を埋設し、配管に巻き付けるシリコンラバーヒータがある。
また、配管に直接発熱体を接触させず、配管と発熱体との間に所望の空間を設け、発熱体からの輻射熱と、この空間内の空気の熱伝動により加熱する非接触加熱型の配管用加熱ヒータも知られており、具体的に、特許文献2には面状ヒータを外側面に被着した金属板で配管より大きい空間を形成し、配管を囲う配管用加熱ヒータが提案されている。
特開平10−134947号公報
特開平9−17555号公報
しかしながら、ジャケット・ヒータや特許文献1の配管用加熱ヒータにおいては、発熱体の配置位置、配管への、巻き位置、巻きムラ、密着度ムラにより、配管に温度ムラが発生する虞がある。これは、ヒータを現場で配管する作業の熟練度によって配管への加熱の均一性が左右される原因になる。
また、ジャケット・ヒータにおいては、ガラス布等の発塵による使用環境のクリーン度への影響や、特許文献1の配管用加熱ヒータにおいては、シリコン樹脂等の使用により発生するシロキサンが、配管の金属部分の腐食させる虞もあり、使用環境への配慮が必要とされている。
特許文献2の配管用加熱ヒータにおいては、面状ヒータが、配管に直接的に接触することがなく、配管は、面状ヒータにより加熱された金属板と配管との間の空間にある空気の熱伝導により加熱されるため、面状ヒータの配置位置による配管の温度ムラは低減される。しかし、金属板と配管との間に大きな空間を確保する構造であり、各部品が大型化し、運搬時や装着時の作業性に影響する虞がある。
また、配管のメンテナンスにおいて、再装着時の配管用加熱ヒータの加熱性能を再現することが難しくなる可能性がある。
本発明の目的は、上記事情に鑑み、運搬時および装着時の作業性と装着時の再現性を向上させつつ、配管を所望の一定温度に均一に加熱できる配管用加熱ヒータを提供することにある。
以上の課題を解決するために、本発明による配管用加熱ヒータは、ヒンジを介して連結されて、断面円形の配管の外周壁に、この配管を囲むように装着されて、この配管に沿った多面体を形成するように構成された複数のシェルと、このシェルの内壁の全面に配置された断熱材と、装着時に外周壁に当接するように、内壁に配置された複数のモールドと、装着時に外周壁と多面体の角部との間に形成された空間に、配管の長手方向に延びるように配置された複数の発熱体とを備えることを特徴とするものである。
ここで「断面」とは、配管の長手方向に垂直な面を意味するものである。上記「円形」とは、数学的に厳密な円である必要はなく、楕円等をも含むものである。上記「多面体」とは、複数の面で囲まれた、断面が多角形の立体であり、すべての面が長方形あるいは正方形で構成されるものを意味する。上記「内壁」とは、配管の外周壁と対面するシェルの内面を意味するものである。上記「全面」とは、内壁の略全面を意味するものであるが、厳密に内壁の全部を意味するものではない。上記「断熱材」とは、ジャケット・ヒータ系、シリコン系、マイカ系、および耐熱樹脂を含浸させたクリーン・ブロック系の断熱材を含むが、特に半導体装置のようにクリーンな環境が要求されるものに適用されるものの場合には、クリーン・ブロック系が好ましい。上記「角部」とは、装着時に隣接する内壁の交差部分およびその近傍を意味するものである。
また、本発明においてモールドは、装着時に配管の外周壁に最も近接する位置、すなわち多面体の側面を構成する各シェルの内壁の幅方向の中央近傍に配置されてもよい。
また、本発明においてモールドは、発熱体と一体となって、装着時に多面体の角部の近傍となるように、内壁に配置されてもよい。
ここで、「発熱体と一体」とは、発熱体の全部とモールドが一体となっている必要はなく、実用上は発熱体の一部とモールドが一体となっていればよい。
また、本発明においてシェルは、隣接するシェルの外壁同士が限界角度を持って外方に開き、隣接するシェルの併せ面が当接して内方に閉じるように、ヒンジを介して連結されてもよい。
ここで、「隣接するシェル」とは、ヒンジを介して連結されている隣のシェルを意味するものである。上記「外壁」とは、シェルの内壁と反対側の表面を意味するものである。上記「外方」とは、隣接するシェルの外壁同士が近接する方向を意味するものである。上記「限界角度」とは、隣接するシェルの外壁同士が衝突しない程度に、外壁同士が外方に形成する角度のことを意味するものであり、望ましくは、隣接シェルの外壁同士のなす角度が、60度から180度の範囲であることがよい。上記「併せ面が当接」とは、隣接するシェルの端部同士が接触する程度に近接することを意味するものであり、厳密な接触を意味するものではない。上記「内方」とは、隣接するシェルの内壁同士が近接する方向を意味するものである。
さらに、本発明においてシェルは、施錠により多面体の形状が維持されるパチン錠を備えてもよい。
本発明によれば、配管用加熱ヒータが装着時に断面円形の配管の外周壁を、この配管に沿った多面体を形成するようにヒンジを介して連結された複数のシェルと、このシェルの内壁の全面に配置された断熱材と、装着時に外周壁に当接するように内壁に配置された複数のモールドと、装着時に外周壁と多面体の角部との間に形成された空間に、配管の長手方向に延びるように配置される複数の発熱体とを備えている。
このため、配管用加熱ヒータの全ての構成部品は、ヒンジによって結合されたシェルによって全体として多面体を形成するように構成されており、運搬時および装着時において作業性が向上し、また、装着時には、シェルの内壁に配置されたモールドが配管の外周壁と当接して配管を囲む構造であるため、配管への装着安定性が向上して、ヒータを現場で配管に装着する作業の熟練度によって配管への加熱の均一性が左右されることがなく、常に安定して良好な加熱を実現することができる。また、多面体の角部と配管の外周壁との間の空間が均一に、かつ再現性を有して形成されるため、この空間内に配置される複数の発熱体からの輻射熱と、発熱体により加熱された空間内の空気の対流による配管への加熱も均一に行われる。
さらに、本発明によれば、断熱材により、周囲の熱変動を低減できると共に、「クリーン・ブロック」と呼ばれる耐熱樹脂を含浸した断熱材の場合には、発塵を低減することもできる。
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
本発明による配管用加熱ヒータの第1の実施形態を、図1および図2を参照して説明する。図1は、本発明の第1の実施形態における装着時の断面を示す図である。
図1に示すように、第1の実施形態は、ヒンジ2を介して連結されたL字状の断面形状を有する4つのシェル3を有しており、この4つのシェル3は、装着時に配管Pの外周壁Paを、この配管Pに沿った直方体Rを形成するように構成されている。また、ヒンジ2は、外方に限界角度La(図示の例では略90度)を持って開くようになっており、内方にはシェル2の厚みにより、隣接するシェル2の端面同士が180度をなす位置すなわち後述の併せ面3cで当接し合う位置(図2B参照)より内方へは閉じないようになっている。
シェル3の内壁3aには、全面に複数の断熱材4が配置され、また装着時に外周壁Paと当接し、かつ外周壁Paと最も近接する位置となるように、内壁3aに配管Pの長手方向に複数のモールド5が配置される。さらに装着時にシェル3により形成される直方体Rの角部Raと外周壁Paと間の空間7内に位置するように、4本の発熱体6が内壁3aに配置される。なお、発熱体6は、全ての角部Raと外周壁Paとの間の空間7内に位置する必要はなく、配管Pの径やコストに応じて、発熱体6の本数を減らすことは可能である。
図中上側のシェル3の外壁3bには、パチン錠8が配設され、これを施錠することにより隣接した図中上側のシェル3同士が固定され、配管用加熱ヒータ1は配管Pの外周壁Paに装着される。施錠した状態では、モールド5が配管Pの外周壁Paに与圧を加えながら装着されているため、隣接するシェル3の各併せ面3cの隙間は0.5mm程度以下となる。
次に、本発明の第1の実施形態における未装着時の状態について説明する。図2は、本発明の第1の実施形態における未装着時の断面を示す図である。図2Aは、未装着時においてパチン錠8を解錠した状態の断面を示す図、図2Bは、未装着時においてパチン錠8を施錠した状態の断面を示す図である。
図2Aに示すように、第1の実施形態においては、パチン錠8を解錠した状態であっても、配管用加熱ヒータ1は、すべての部品が一体となって構成されている。また、ヒンジ2は、開閉面2aがシェル3の外壁3bに面するように配設されるため、解錠時には、隣接する各シェル3同士が所定の限界角度La以上には開かない構造となっている。具体的には、図2Aに示すように、隣接するシェル3の外壁3b同士の角度が90度程度に制限される。
また、図2Bに示すように、第1の実施形態においては、パチン錠8が隣接するシェル3との併せ面3cを越えて、外壁3bに配置されているため、配管Pの未装着時にパチン錠8を施錠しても、直方体Rの形状が維持される構造となっている。
次に本発明による配管用加熱ヒータの第2の実施形態について説明する。図3は、本発明の第2の実施形態を示す図である。図3Aは、第2の実施形態の装着時の断面を示す図、図3Bは、第2の実施形態の図3AのA−A断面での右側面を示す図、図3Cは、第2の実施形態の未装着時においてパチン錠前8を解錠した状態を示す図である。なお、第1の実施形態と同一の構成を有する部位には同一の符号を付して説明する。
図3Aに示すように、第2の実施形態は、ヒンジ2を介して連結された平板状の4つのシェル13を有しており、この4つのシェル13は、第1の実施形態と同様に、装着時に配管Pの外周壁Paを、この配管Pに沿った直方体Rを形成するように構成されている。
このシェル13の内壁13aの全面には、第1の実施形態と同様に、複数の断熱材14が配置され、また装着時に外周壁Paと当接し、かつ形成された直方体Rの角部Raの近傍位置となるように、図3Cに示すようなシェル13の内壁13aの両端に、内壁13aに断熱材14のみが配置されたシェル13を挟んで、内壁13aと約45度で傾斜し、かつ対向して延出したモールド15が2つのシェル13の内壁13aに配置される。
図中右側のシェル13の外壁13bに配置されたヒンジ2の端には、パチン錠8の端が溶接により固定され、パチン錠8の端が溶接されているヒンジ2の、溶接側の開閉面2aはシェル13の13bに固定されていない。パチン錠前8を解錠すると、このヒンジ2(図中左上側)が配置されているシェル13と隣接するシェル13との間の併せ面13cから開く構造になっている。この第2の実施形態では、隣接するシェル13同士が直方体Rの角に相当する位置でヒンジ2により連結されているため、ヒンジ2は隣接するシェル13同士が45度傾いた併せ面13cで当接するまで、内方へ90度まで閉じるようになっている。
図3Bに示すように、モールド15は、発熱体6の一部を支持して内壁13aに固定される。このため装着時に発熱体6は、角部Raと外周壁Paとの間に位置すると共に、発熱体6のモールド15により支持されていない部分と外周壁Paとの間には空間7が存在する。本実施形態では、各発熱体6を2つのモールド15で支持して説明するが、これに限定されるものではない。
第2の実施形態においては、第1の実施形態と比較して、モールド15と発熱体6との距離が近いため、モールド15が当接した位置の外壁Paの熱伝動による温度低下が抑制される。なお、未装着時の施錠した状態および解錠した状態の作用については、第1の実施形態と同様であり、説明を省略する。
また、第1の実施形態および第2の実施形態においては、多面体を直方体Rをとして説明したが、特にこれに限定されるものではない。配管Pの径に応じて、その断面が三角形、六角形、八角形等の多面体とすることも可能である。
次に、本発明の配管用加熱ヒータ1の発熱体への配線にいて説明する。図4は、本発明の配管用加熱ヒータ1の斜視図である。図4に示すように、シェル3から給電ケーブル9が導出し、その先端には2本の丸端子10が圧着されている。
また、この給電ケーブル9は、シェル3内をインサート成型され、図示しない状態で各発熱体6に配線されている。なお、給電ケーブル9のシェル3内の配線は各発熱体6の必要容量に応じて、直列配線または並列配線とすることが可能であるし、必要に応じて未使用とする発熱体への配線を省略することも可能である。
また、本発明の配管用加熱ヒータ1の両側面には、接合面となる仕切板11が配設されている。なお、給電ケーブル9および仕切板11については、第1の実施形態および第2の実施形態において共通である。
次に、本発明の配管用加熱ヒータ1の配管Pへの装着作業について説明する。図5は、本発明の配管用加熱ヒータ1の配管Pへの装着作業を示す図である。図5(a)乃至(f)は、本発明の第1の実施形態の配管用加熱ヒータ1を使用して、配管Pへ装着する作業の推移を示している。
図5に示すように、配管Pの所望の加熱位置において、パチン錠8を解錠した状態で外周壁Paを覆い、パチン錠8を施錠することで、配管Pへの装着が完了する。したがって、装着作業において作業者の熟練度も要求されず、短時間の作業が可能となる。さらに、作業場所までは、図2Bに示す状態で配管用加熱ヒータ1を運搬することが可能であり、運搬時の作業性が向上する。
次に、本発明の配管用加熱ヒータの連結装着について説明する。図6は、本発明の配管用加熱ヒータ1の連結装着を示す図である。図6(a)乃至(d)は、エルボ部Pcを有する配管Pへ本発明の配管用加熱ヒータ1を連結して装着させる推移を示す図である。
図6(a)に示すようなエルボ部Pcを有する配管Pに、本発明の配管用加熱ヒータ1を装着する場合、図6(b)に示すようなエルボ部Pcに対応する配管用加熱ヒータ1を用意する。また、図6(c)および6(d)に示すように、配管Pの配管長に応じて、配管用加熱ヒータ1の配管Pの長手方向の長さのバリエーションを用意する。具体的には、配管長が300mm(図中右側)と200mm(図中左側)に対応するものが製作可能であるが、これに限定されるものではない。図6(d)に示すように、これらの配管用加熱ヒータ1を連結することにより、エルボ部Pcを有する配管Pを所望の範囲で加熱することが可能となる。なお、配管Pが図示しないバルブ等の突起物を有する場合であっても、この突起物を回避するような回避孔をシェル3等に設けることも可能である。
次に、本発明の配管用加熱ヒータ1の加熱性能について説明する。図7は、本発明の配管用加熱ヒータ1の加熱性能を計測する際の計測ポイントを示す図である。図7Aは、配管用加熱ヒータ1の軸方向の計測ポイントを示す図、図7Bは、配管用加熱ヒータ1の円周方向の計測ポイントを示す図である。
図7Aに示すように、加熱性能の計測の際には、配管Pに対して、配管長300mmに対応する配管用加熱ヒータ1(図中左)と配管長200mmに対応する配管用加熱ヒータ1(図中右)を連結させ、300mm対応の配管用加熱ヒータ1(図中左)の接合面A4から軸方向に位置A1(150mm)、A2(85mm)、A3(20mm)および接合面A4を軸方向の計測ポイントとする。
図7Bに示すように、加熱性能の計測の際には、配管Pの内周壁Pbの図中最下部を基準とし、22.5度の等間隔に、周方向時計回りに位置R1(0deg)、R2(22.5deg)、R3(45deg)、R4(67.5deg)、R5(90deg)、R6(112.5deg)、R7(135deg)、R8(157.5deg)およびR9(180deg)を周方向の計測ポイントとする。
次に、上記計測ポイントでの本発明の配管用加熱ヒータ1の加熱性能について説明する。図8は、本発明の配管用加熱ヒータを使用しての計測データを示す図である。図8Aは、配管Pの外周壁Paの制御温度を150℃とした低温制御時の計測データ、図8Bは、配管Pの外周壁Paの制御温度を190℃とした高温制御時の計測データを示す。
配管用加熱ヒータ1としては、上述したように、配管長300mmおよび200mmに対応した配管用加熱ヒータ1を接合し、被加熱体である配管Pには、具体的に薄肉ステンレス管80A(t=3mm、SUS304)を使用した。また、温度計測用センサとして、K熱電対(径1mmシースタイプ)と、PID制御機器として、TCMシリーズ(東京技術研究所社製)と、データロガーとして、GL450(グラフテック社製)とを使用し、計測した。
ここで、図8においては、配管用加熱ヒータ1の各測定ポイントの加熱性能を示す評価指数として、均一性(%)=(最高温度−最低温度)/(2×平均温度)×100を定義している。図8に示すように、配管Pを高温制御および低温制御したいずれの場合も、軸方向および円周方向の各計測ポイントにおいて、均一性が2%程度以下に維持されている。
これにより、本発明の配管用加熱ヒータ1によれば、装着時においてモールド5が外周壁Paを与圧している状態となり、作業者の熟練度も要求せずに装着安定性が向上し、かつ隣接するシェル3の隙間が十分に小さくなる程度の再現性が得られる。また、未装着時においては、施錠状態で直方体Rが維持されているため、運搬時の作業性が向上し、解錠状態で各シェル3の開く角度が制限されているため、装着時の作業性も向上する。さらに、配管Pは、角部Raと外周壁Paとの間の空間7に配置された発熱体6からの輻射熱と、この空間7の空気の対流により加熱されるため、発熱体6の空間7における配置誤差の影響が少なく、配管Pの温度を十分な均一性を有して維持することができる。
C 円形
La 限界角度
P 配管
Pa 外周壁
R 直方体
Ra 角部
1 配管用加熱ヒータ
2 ヒンジ
3、13 シェル
3a、13a 内壁
4、14 断熱材
5、15 モールド
6 発熱体
7 空間
12 耐熱樹脂
La 限界角度
P 配管
Pa 外周壁
R 直方体
Ra 角部
1 配管用加熱ヒータ
2 ヒンジ
3、13 シェル
3a、13a 内壁
4、14 断熱材
5、15 モールド
6 発熱体
7 空間
12 耐熱樹脂
Claims (6)
- ヒンジを介して連結され、断面円形の配管の外周壁に該配管を囲むように装着されて、該配管に沿った多面体を形成するように構成された複数のシェルと、
該シェルの内壁の全面に配置された断熱材と、
前記装着時に前記外周壁に当接するように、前記内壁に配置された複数のモールドと、
前記装着時に前記外周壁と前記多面体の角部との間に形成された空間に、前記配管の長手方向に延びるように配置された複数の発熱体とを備えてなることを特徴とする配管用加熱ヒータ。 - 前記モールドが、前記内壁の、前記装着時に前記外周壁と最も近接した位置に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の配管用加熱ヒータ。
- 前記モールドが、前記発熱体と一体となって前記内壁の、前記装着時に前記角部の近傍位置に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の配管用加熱ヒータ。
- 前記シェルは、隣接する該シェルの外壁同士が限界角度を持って外方に開き、隣接する該シェルの併せ面が当接して内方に閉じるように、前記ヒンジを介して連結されていることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の配管用加熱ヒータ。
- さらに、前記シェルが、施錠により前記多面体の形状が維持されるパチン錠を備えたことを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の配管用加熱ヒータ。
- 前記断熱材が、耐熱樹脂を含浸したものからなることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の配管用加熱ヒータ。
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