KR102109330B1 - 히팅 파이프 모듈 - Google Patents

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KR102109330B1
KR102109330B1 KR1020180164077A KR20180164077A KR102109330B1 KR 102109330 B1 KR102109330 B1 KR 102109330B1 KR 1020180164077 A KR1020180164077 A KR 1020180164077A KR 20180164077 A KR20180164077 A KR 20180164077A KR 102109330 B1 KR102109330 B1 KR 102109330B1
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박문수
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동주에이피 주식회사
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Abstract

본 발명은 히팅 파이프 모듈의 무게를 줄일 수 있고 파이프 히팅을 정밀하게 제어할 수 있으며 파이프 히팅의 안정성을 담보할 수 있고 유지 보수의 편리성이 증대되는 히팅 파이프 모듈에 관한 것으로서, 양단에 플랜지 구비한 파이프; 제1히팅몸체 및 제2히팅몸체를 포함하여 이루어지되, 상기 제1히팅몸체 및 상기 제2히팅몸체에는 대각선 방향의 양 모서리에 각각 조립홈이 형성되고 상기 대각선 방향과 교차하는 대각선 방향의 양 모서리 내측으로 각각 히팅공이 형성되며, 상기 제1히팅몸체 및 상기 제2히팅몸체는 단면상 서로 90°의 위상차를 갖게 형성되는 히팅바디; 상기 제1히팅몸체 및 상기 제2히팅몸체의 히팅공에 삽입되는 복수의 히팅봉; 상기 제1히팅몸체 및 상기 제2히팅몸체의 조립홈에 설치되는 복수의 터미널블록; 및 상기 각 조립홈의 공간부를 폐쇄하기 위하여 구비되는 복수의 커버를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

히팅 파이프 모듈{Heating Pipe Module}
본 발명은 히팅 파이프 모듈에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 파이프를 효율적이고 안정적으로 히팅할 수 있으며 유지 보수가 편리한 히팅 파이프 모듈에 관한 것이다.
반도체 제조 공정에서는 웨이퍼 상에 특정 패턴의 회로를 형성하기 위해 화학증착법(CVD)이나 에칭(etching) 등의 공정이 수행되며 여기에는 다양한 반응 가스가 사용된다.
이러한 반응 가스는 활성화를 위해 고온인 상태로 사용되는데 저온 상태에서는 쉽게 응결되는 특성이 있다. 이로 인해 열손실이 용이한 이송 중에 쉽게 응결되고, 응결된 고형분이 밸브나 펌프에 고착되어 고장을 유발하거나, 파이프 내벽에 적층되어 반응 가스의 흐름을 방해하거나 압력 상승을 유발하여 적정 공급이나 배출을 방해하는 일이 종종 발생한다.
반도체 제조 공정에 사용되는 파이프에는 이러한 응결을 방지하기 위해 통상 열선 코일을 감은 다음 보온 재킷으로 파이프를 감싸는데, 이러한 히팅 수단의 경우 열선 코일이 복잡한 구조를 갖는 파이프에 적정 간격을 유지하며 권취되어야 한다.
따라서, 권취 작업이 번거롭고 특히, 권취 작업이 정상적으로 이루어지더라도 오랜 사용으로 열선 코일이 변형되거나 불특정 외력(중력 등)의 작용으로 코일 상호 간의 간격이 달라지면, 히팅을 정밀하게 제어하기 곤란해진다.
또한, 일부 지점에서 코일과 파이프와의 밀착이 불량해져 적정 히팅이 이루어지지 않게 되거나 또는 해당 지점의 열전도가 불량해져 코일이 탄화되고 단선되는 문제가 발행할 수 있다.
더불어, 보온 재킷이 노후로 단열 성능을 잃게 되면 반응 가스의 응결이 발생할 수 있는데, 재킷 교체 작업 또한 파이프 주변 환경이나 파이프 연결 구조가 복잡하여 작업이 무척 번거로운 문제가 있다.
KR 10-2016-0099064 A 2016.08.19.
본 발명에서 해결하고자 하는 과제는 히팅 파이프 모듈의 무게를 줄일 수 있고 파이프 히팅을 정밀하게 제어할 수 있으며 파이프 히팅의 안정성을 담보할 수 있고 유지 보수의 편리성이 증대되는 히팅 파이프 모듈을 제공하는 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 히팅 파이프 모듈은, 양단에 플랜지 구비한 파이프; 제1히팅몸체 및 제2히팅몸체를 포함하여 이루어지되, 상기 제1히팅몸체 및 상기 제2히팅몸체에는 대각선 방향의 양 모서리에 각각 조립홈이 형성되고 상기 대각선 방향과 교차하는 대각선 방향의 양 모서리 내측으로 각각 히팅공이 형성되며, 상기 제1히팅몸체 및 상기 제2히팅몸체는 단면상 서로 90°의 위상차를 갖게 형성되는 히팅바디; 상기 제1히팅몸체 및 상기 제2히팅몸체의 히팅공에 삽입되는 복수의 히팅봉; 상기 제1히팅몸체 및 상기 제2히팅몸체의 조립홈에 설치되는 복수의 터미널블록; 및 상기 각 조립홈의 공간부를 폐쇄하기 위하여 구비되는 복수의 커버를 포함한다.
또한, 상기 히팅바디에는 상기 제1히팅몸체와 상기 제2히팅몸체의 사이에 상기 히팅봉과 상기 터미널블록에 연결되는 복수의 케이블을 설치하기 위한 배선홈이 구비된다.
또한, 상기 제1히팅몸체의 어느 일면에는 제1장착홈이 형성되고, 상기 제2히팅몸체의 어느 일면에는 제2장착홈이 형성되며, 상기 제1장착홈 및 제2장착홈은 동일한 평면 상에 형성되되, 상기 제1장착홈에는 바이메탈이 장착되고, 상기 제2장착홈에는 서모커플이 장착된다.
또한, 상기 터미널블록은 상기 제1히팅몸체의 양 조립홈 중 어느 하나에 설치되는 제1터미널블록과 다른 하나에 설치되는 제2터미널블록, 및 상기 제2히팅몸체의 양 조립홈 중 어느 하나에 설치되는 메인터미널블록으로 이루어진다.
아울러, 상기 히팅봉 상기 제1히팅몸체의 양 히팅공 중 어느 하나에 삽입되는 제1히팅봉과 다른 하나에 삽입되는 제2히팅봉, 및 상기 제2히팅몸체의 양 히팅공 중 어느 하나에 삽입되는 제3히팅봉과 다른 하나에 삽입되는 제4히팅봉으로 이루어지고, 상기 제1히팅봉과 상기 제2히팅봉은 전기적으로 직렬 연결되고 상기 제3히팅봉과 상기 제4히팅봉도 전기적으로 직렬 연결되며, 상기 제1히팅봉과 상기 제3히팅봉은 상기 제2터미널블록에 연결되고, 상기 제2히팅봉과 상기 제4히팅봉은 상기 제1터미널블록에 연결되며, 상기 제1터미널블록은 바이메탈을 거쳐 메인터미널블록에 연결되고 상기 제2터미널블록은 메인터미널블록에 직접 연결된다.
본 발명의 히팅 파이프 모듈에 의하면, 탈부착 가능하게 삽입되는 히팅봉 및 조립홈에 설치되는 서모 커플을 통해 파이프 히팅의 정밀 제어가 가능해지고 장기간 사용에도 열이 파이프에 안정적으로 전도되며 모듈화되어 있어 유지 보수가 용이해지므로, 히팅 파이프 모듈의 상품성이 크게 향상된다.
도 1은 본 발명에 따른 히팅 파이프 모듈을 도시한 사시도.
도 2는 본 발명에 따른 히팅 파이프 모듈을 분해 도시한 사시도.
도 3의 (a)는 본 발명에 따른 히팅 파이프 모듈의 정면도, (b)는 본 발명에 따른 히팅 파이프 모듈의 A-A선을 따라 절단한 단면도, (c)는 본 발명에 따른 히팅 파이프 모듈의 B-B선을 따라 절단한 단면도.
도 4의 (a)는 도 3의 D-D선을 따라 절단한 단면도, (b)는 도 3의 E-E선을 따라 절단한 단면도.
도 5는 본 발명에 따른 히팅 파이프 모듈의 배선도.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 더욱 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 히팅 파이프 모듈(1)을 도시한 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 히팅 파이프 모듈을 분해 도시한 사시도이며, 도 3의 (a)는 본 발명에 따른 히팅 파이프 모듈의 정면도, (b)는 본 발명에 따른 히팅 파이프 모듈의 A-A선을 따라 절단한 단면도, (c)는 본 발명에 따른 히팅 파이프 모듈의 B-B선을 따라 절단한 단면도이고, 도 4의 (a)는 도 3의 D-D선을 따라 절단한 단면도, (b)는 도 3의 E-E선을 따라 절단한 단면도이며, 도 5는 본 발명에 따른 히팅 파이프 모듈의 배선도이다.
도 1, 도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 히팅 파이프 모듈(1)은 파이프(100), 히팅바디(200), 복수의 히팅봉(310, 320, 330, 340), 복수의 터미널블록(410, 420, 430), 및 복수의 커버(500)를 포함하여 이루어진다.
이하, 상기 구성 요소들을 중심으로 본 발명의 구체적인 내용을 설명하면, 먼저 파이프(100)는 그 내부로 반응 가스가 이송되는 통로의 역할을 한다.
본 발명의 히팅 파이프 모듈(1)은 길이 방향으로 연결됨으로써 전체 배관을 형성하게 되는바, 히팅 파이프 모듈(1)의 상호 연결을 위하여 파이프(100)의 양단에는 플랜지(105)가 형성되어 있고, 인접하는 플랜지(105)를 클램프와 같은 결속구를 이용하여 체결하게 된다.
히팅바디(200)는 알루미늄 재질로 이루어지고 길이 방향으로 긴 대략 직육면체의 형상으로 이루어지며, 제1히팅몸체(210) 및 제2히팅몸체(220)를 포함한다.
이러한 히팅바디(200)는 파이프(100)를 인서트로 하여 다이캐스팅 공법을 이용하여 제작함으로써 파이프(100) 외주면 상에 일체로 형성한다.
이와 같이 히팅바디(200)를 알루미늄 재질로 제작함으로써 본 발명의 히팅 파이프 모듈의 무게를 대폭 줄일 수 있을 뿐 아니라, 다이캐스팅 공법으로 히팅바디(200)를 파이프(100) 외주면 상에 일체로 제작함으로써 히팅바디(200)에서 파이프(100)로의 열전달이 효과적으로 이루어지게 된다.
이 때, 파이프(100)의 외주면에 세레이션(S)을 형성하면 히팅바디(200)와 파이프(100)의 결합이 더욱 견고해질 수 있다.
제1히팅몸체(210)에는 대각선 방향의 양 모서리에 각각 조립홈(230)이 형성되고 상기 대각선 방향과 교차하는 대각선 방향의 양 모서리 내측으로 각각 히팅공(240)이 형성된다.
제2히팅몸체(220)에는 제1히팅몸체(210)와 마찬가지로 대각선 방향의 양 모서리에 각각 조립홈(230)이 형성되고 상기 대각선 방향과 교차하는 대각선 방향의 양 모서리 내측으로 각각 히팅공(240)이 형성된다.
그리고 제1히팅몸체(210) 및 상기 제2히팅몸체(220)는 단면상 서로 90°의 위상차를 갖게 형성된다.
이와 같은 구조의 히팅바디(200)는 히팅봉(310, 320, 330, 340)의 탈부착시 작업의 편리성을 도모할 수 있고 히팅봉(310, 320, 330, 340)의 유지 보수도 용이해진다.
즉, 조립홈(230)과 히팅공(240)은 길이 방향으로 마주보게 되어 있어 조립홈(230)은 히팅봉(310, 320, 330, 340)을 히팅공(240)에 삽입하거나 히팅공(240)으로부터 빼내기 위한 조립용 공간을 제공하는바, 작업자는 히팅봉(310, 320, 330, 340)을 조립홈(230)에 위치시킨 후 히팅공(240) 쪽으로 쉽게 삽입하여 부착할 수 있고, 이미 삽입되어 있는 히팅봉(310, 320, 330, 340)은 조립홈(230) 쪽으로 잡아 당겨 쉽게 탈착할 수 있다.
제1히팅몸체(210)의 어느 일면에는 제1장착홈(251)이 형성되고, 상기 제2히팅몸체(220)의 어느 일면에도 제2장착홈(252)이 형성되며, 상기 제1장착홈(251) 및 제2장착홈(252)은 동일한 평면 상에 형성된다.
상기 제1장착홈(251)에는 바이메탈(bimetal, 910)이 설치되고, 제2장착홈(252)에는 서모커플(thermocouple, 920)이 설치된다.
바이메탈(910)은 히팅바디(200)가 과열되면 회로를 차단하여 히팅을 중단함으로써 히팅 파이프 모듈을 보호하는 장치로서 기능한다.
서모커플(920)은 히팅 파이프 모듈(1)의 온도를 측정하는 구성으로서, 히팅봉(310, 320, 330, 340)에서 발생한 열이 파이프(100)로 전도되는 과정에서 열 손실이 발생하는데, 상기의 온도 측정과 후술하는 컨트롤러(600)의 제어를 통해 히팅 파이프 모듈(1)의 온도를 응결 개시 온도 이상으로 유지하게 되면, 해당 히팅 파이프 모듈(1)에서는 반응 가스의 응결이 발생하지 않게 된다.
바이메탈(910) 상부에는 바이메탈덮개(950)가 구비되고, 서모커플(920) 상부에는 서모커플덮개(960)가 구비되어, 상기 바이메탈(910)과 서모커플(920)을 보호한다.
히팅바디(200)에는 제1히팅몸체(210)와 제2히팅몸체(220)의 사이에 히팅봉(310, 320, 330, 340)과 터미널블록(410, 420, 430)에 연결되는 복수의 케이블을 설치하기 위한 배선홈(260)이 구비된다.
상기 배선홈(260)은 히팅바디(200)의 둘레를 따라 연속되어 있어 케이블의 정렬과 배치가 용이하게 이루어질 수 있다.
히팅봉(310, 320, 330, 340)은 발생된 열이 파이프(100)에 안정적으로 전도되도록 하는 구성으로서, 제1히팅몸체(210)의 양 히팅공(240)과 제2히팅몸체(220)의 양 히팅공(240)에 탈부착이 가능하도록 삽입된다.
즉, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1히팅몸체(210)의 양 히팅공(240) 중 어느 하나에는 제1히팅봉(310)이 삽입되고 다른 하나에는 제2히팅봉(320)이 삽입되며, 제2히팅몸체(220)의 양 히팅공(240) 중 어느 하나에는 제3히팅봉(330)이 삽입되고 다른 하나에는 제4히팅봉(340)이 삽입된다.
상기 히팅봉(310, 320, 330, 340)은 히팅공(240)에 삽입시 밀착면을 통해 열이 전도되도록 히팅공(240)의 내경과 동일한 외경을 갖도록 제작되며, 일단에는 외부로부터 전력을 인가 받고 다른 히팅봉과의 전기적 연결을 위한 케이블연결용단자(305)가 구비된다.
이와 같이, 본 발명의 히팅 파이프 모듈에서는 발열체인 히팅봉(310, 320, 330, 340)이 히팅공(240)에 탈부착 가능하게 삽입되는 구조를 통해, 수명이 다하거나 고장난 히팅봉(310, 320, 330, 340)을 신속하고 손쉽게 교체할 수 있다.
또한, 기존 열선 코일이 갖는 코일 상호 간의 간격 불량이나 배관 밀착 불량과 같은 문제가 해소된 상태에서 후술할 서모커플(920)과 컨트롤러(600)를 통해 히팅봉(310, 320, 330, 340)을 제어하게 되므로, 히팅 파이프 모듈(1)의 히팅을 정밀하게 제어할 수 있는 동시에 열전도가 안정적으로 유지될 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 제1히팅몸체(210) 및 제2히팅몸체(220)의 조립홈(230)들 중에서 세 곳에 터미널블록(410, 420, 430)이 설치된다.
즉, 제1히팅몸체(210)의 양 조립홈(230) 중 어느 하나에 제1터미널블록(410)이 설치되고 다른 하나에 제2터미널블록(420)이 설치되며, 제2히팅몸체(220)의 양 조립홈(230) 중 어느 하나에는 메인터미널블록(430)이 설치된다.
한편, 도 5를 참조하여 히팅봉(310, 320, 330, 340)들의 배선 경로를 살펴보면 다음과 같다.
제1히팅봉(310)과 제2히팅봉(320)은 전기적으로 직렬로 연결되고, 제3히팅봉(330)과 제4히팅봉(340)도 전기적으로 직렬로 연결된다.
제1히팅봉(310)과 제3히팅봉(330)은 제2터미널블록(420)에 연결되고, 제2히팅봉(320)과 제4히팅봉(340)은 상기 제1터미널블록(410)에 연결된다.
제1터미널블록(410)은 바이메탈(910)을 거쳐 메인터미널블록(430)으로 연결되고, 제2터미널블록(420)은 직접 메인터미널블록(430)으로 연결된다.
한편, 제2장착홈(252)에 설치되는 서모커플(920)은 온도를 실시간으로 모니터링 함으로써 히팅봉(310, 320, 330, 340) 고장 시 신속한 조치를 취할 수 있도록 한다.
즉, 히팅봉(310, 320, 330, 340)의 고장으로 열전도가 정상적으로 이루어지지 않으면 소정의 시간이 경과한 후에 파이프 내부의 온도가 응결 개시 온도 이하로 떨어지게 되는데, 제2장착홈(252)에 설치되는 서모커플(920)을 통해 히팅봉(310, 320, 330, 340)의 고장 발생 여부를 보다 신속하게 인지할 수 있으므로 위와 같은 신속한 조치가 가능해진다.
커버(500)는 각 조립홈(230)을 폐쇄하기 위한 구성으로서, 이는 제1터미널블록(410), 제2터미널블록(420), 메인터미널블록(430)이 설치되고 히팅봉(310, 320, 330, 340)의 삽입이 완료된 후에는 그 조립용 공간을 폐쇄할 필요가 있기 때문이다.
상기 커버(500) 중 메인터미널블록(430)이 설치되는 조립홈(230)에 구비되는 커버(500)는 메인터미널블록(430) 및 서모커플(920)에 연결된 케이블들을 뺄 수 있도록 개방홈(505)이 더 형성될 수 있다.
컨트롤러(600)는 응결 개시 온도 등의 기초 정보가 기 입력된 상태에서 서모커플(920)로부터 입수된 온도값과의 비교를 통해, 히팅 파이프 모듈(1)의 온도를 응결 개시 온도 이상으로 유지하도록 히팅봉(310, 320, 330, 340)의 온도를 제어한다.
즉, 상기 서모커플(920)에서 온도를 측정하여 그 값을 컨트롤러(600)로 보내면, 컨트롤러(600)는 측정한 온도값을 토대로 각 히팅 파이프 모듈(1)의 히팅봉(310, 320, 330, 340)을 제어함으로써 이송로 내 반응 가스가 응결되지 않도록 한다.
또한, 설치 환경에 따라 각 히팅 파이프 모듈(1)의 주변 온도는 상이할 수 있는데, 본 발명은 개별 히팅 파이프 모듈(1) 별로 온도를 모니터링 함으로써 고장 발생 지점을 신속히 파악할 수 있고, 또한, 주변 온도에 맞추어 각 히팅 파이프 모듈(1)의 히팅봉(310, 320, 330, 340) 온도를 독립적으로 제어함으로써 소모 전력의 절약을 기할 수 있으므로, 관리 효율의 향상을 도모할 수 있다.
한편, 반도체 제작의 각 공정이 수행되는 챔버는 통상 외기와 차단되고 항온 항습이 이루어지므로, 히팅 파이프 모듈(1)이 챔버 내부에 설치되는 경우에는 노출된 상태로 설치되나, 챔버의 외부에 설치되어 외부 환경(바람)에 노출되는 경우에는, 이러한 외부 영향을 차단하기 위해 히팅 파이프 모듈(1)의 외부를 감싸는 단열커버(미도시)가 더 구비될 수 있다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였으나, 본 발명의 권리범위는 이에 한정되지 아니하며 본 발명의 실시예와 실질적으로 균등한 범위에 있는 것까지 본 발명의 권리범위가 미치는 것으로 이해되어야 하며, 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형 실시가 가능하다.
1: 히팅 파이프 모듈
100: 파이프 105: 플랜지
200: 히팅바디 210: 제1히팅몸체
220: 제2히팅몸체 230: 조립홈
240: 히팅공 251: 제1장착홈
252: 제2장착홈 305: 케이블연결용단자
310: 제1히팅봉(310) 320: 제2히팅봉(320)
330: 제3히팅봉(330) 340: 제4히팅봉(340)
410: 제1터미널블록 420: 제2터미널블록
430: 메인터미널블록 500: 커버
505: 개방홈 910: 바이메탈
920: 서모커플 950: 바이메탈덮개
960: 서모커플덮개

Claims (6)

  1. 양단에 플랜지(105)를 구비한 파이프(100);
    제1히팅몸체(210) 및 제2히팅몸체(220)를 포함하여 이루어지되, 상기 제1히팅몸체(210) 및 상기 제2히팅몸체(220)에는 대각선 방향의 양 모서리에 각각 조립홈(230)이 형성되고 상기 대각선 방향과 교차하는 대각선 방향의 양 모서리 내측으로 각각 히팅공(240)이 형성되며, 상기 제1히팅몸체(210) 및 상기 제2히팅몸체(220)는 단면상 서로 90°의 위상차를 갖게 형성되는 히팅바디(200);
    상기 제1히팅몸체(210) 및 상기 제2히팅몸체(220)의 히팅공(240)에 삽입되는 복수의 히팅봉(310, 320, 330, 340);
    상기 제1히팅몸체(210) 및 상기 제2히팅몸체(220)의 조립홈(230)에 설치되는 복수의 터미널블록(410, 420, 430); 및
    상기 각 조립홈(230)의 공간부를 폐쇄하기 위하여 구비되는 복수의 커버(500);
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 히팅 파이프 모듈.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 히팅바디(200)에는 상기 제1히팅몸체(210)와 상기 제2히팅몸체(220)의 사이에 상기 히팅봉(310, 320, 330, 340)과 상기 터미널블록(410, 420, 430)에 연결되는 복수의 케이블을 설치하기 위한 배선홈(260)이 구비되는 것을 특징으로 하는 히팅 파이프 모듈.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1히팅몸체(210)의 어느 일면에는 제1장착홈(251)이 형성되고, 상기 제2히팅몸체(220)의 어느 일면에는 제2장착홈(252)이 형성되며, 상기 제1장착홈(251) 및 제2장착홈(252)은 동일한 평면 상에 형성되되,
    상기 제1장착홈(251)에는 바이메탈(910)이 장착되고, 상기 제2장착홈(252)에는 서모커플(920)이 장착되는 것을 특징으로 하는 히팅 파이프 모듈.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 터미널블록(410, 420, 430)은
    상기 제1히팅몸체(210)의 양 조립홈(230) 중 어느 하나에 설치되는 제1터미널블록(410)과 다른 하나에 설치되는 제2터미널블록(420), 및 상기 제2히팅몸체(220)의 양 조립홈(230) 중 어느 하나에 설치되는 메인터미널블록(430)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 히팅 파이프 모듈.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 히팅봉(310, 320, 330, 340)은 상기 제1히팅몸체(210)의 양 히팅공(240) 중 어느 하나에 삽입되는 제1히팅봉(310)과 다른 하나에 삽입되는 제2히팅봉(320), 및 상기 제2히팅몸체(220)의 양 히팅공(240) 중 어느 하나에 삽입되는 제3히팅봉(330)과 다른 하나에 삽입되는 제4히팅봉(340)으로 이루어지고,
    상기 제1히팅봉(310)과 상기 제2히팅봉(320)은 전기적으로 직렬 연결되고, 상기 제3히팅봉(330)과 상기 제4히팅봉(340)도 전기적으로 직렬 연결되며,
    상기 제1히팅봉(310)과 상기 제3히팅봉(330)은 상기 제2터미널블록(420)에 연결되고, 상기 제2히팅봉(320)과 상기 제4히팅봉(340)은 상기 제1터미널블록(410)에 연결되며,
    상기 제1터미널블록(410)은 바이메탈(910)을 거쳐 상기 메인터미널블록(430)에 연결되고 상기 제2터미널블록(420)은 상기 메인터미널블록(430)에 직접 연결되는 것을 특징으로 하는 히팅 파이프 모듈.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 파이프(100)의 외주면에 세레이션을 형성하는 것을 특징으로 하는 히팅 파이프 모듈.
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