JPWO2009075361A1 - Ca−La−F系透光性セラミックスの製造方法、Ca−La−F系透光性セラミックス、光学部材、光学系、及びセラミックス形成用組成物 - Google Patents

Ca−La−F系透光性セラミックスの製造方法、Ca−La−F系透光性セラミックス、光学部材、光学系、及びセラミックス形成用組成物 Download PDF

Info

Publication number
JPWO2009075361A1
JPWO2009075361A1 JP2009545466A JP2009545466A JPWO2009075361A1 JP WO2009075361 A1 JPWO2009075361 A1 JP WO2009075361A1 JP 2009545466 A JP2009545466 A JP 2009545466A JP 2009545466 A JP2009545466 A JP 2009545466A JP WO2009075361 A1 JPWO2009075361 A1 JP WO2009075361A1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
particles
caf
fine particles
laf
ceramic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2009545466A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5521551B2 (ja
Inventor
均 石沢
均 石沢
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP2009545466A priority Critical patent/JP5521551B2/ja
Publication of JPWO2009075361A1 publication Critical patent/JPWO2009075361A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5521551B2 publication Critical patent/JP5521551B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/553Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on fluorides
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y30/00Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/626Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
    • C04B35/62605Treating the starting powders individually or as mixtures
    • C04B35/62625Wet mixtures
    • C04B35/6263Wet mixtures characterised by their solids loadings, i.e. the percentage of solids
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/626Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
    • C04B35/62605Treating the starting powders individually or as mixtures
    • C04B35/62625Wet mixtures
    • C04B35/62635Mixing details
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/626Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
    • C04B35/62605Treating the starting powders individually or as mixtures
    • C04B35/62625Wet mixtures
    • C04B35/6264Mixing media, e.g. organic solvents
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/64Burning or sintering processes
    • C04B35/645Pressure sintering
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/64Burning or sintering processes
    • C04B35/645Pressure sintering
    • C04B35/6455Hot isostatic pressing
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B1/00Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
    • G02B1/02Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements made of crystals, e.g. rock-salt, semi-conductors
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3205Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
    • C04B2235/3208Calcium oxide or oxide-forming salts thereof, e.g. lime
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3224Rare earth oxide or oxide forming salts thereof, e.g. scandium oxide
    • C04B2235/3225Yttrium oxide or oxide-forming salts thereof
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3224Rare earth oxide or oxide forming salts thereof, e.g. scandium oxide
    • C04B2235/3227Lanthanum oxide or oxide-forming salts thereof
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/44Metal salt constituents or additives chosen for the nature of the anions, e.g. hydrides or acetylacetonate
    • C04B2235/449Organic acids, e.g. EDTA, citrate, acetate, oxalate
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/50Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
    • C04B2235/52Constituents or additives characterised by their shapes
    • C04B2235/5208Fibers
    • C04B2235/5252Fibers having a specific pre-form
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/50Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
    • C04B2235/54Particle size related information
    • C04B2235/5418Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof
    • C04B2235/5436Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof micrometer sized, i.e. from 1 to 100 micron
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/50Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
    • C04B2235/54Particle size related information
    • C04B2235/5418Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof
    • C04B2235/5445Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof submicron sized, i.e. from 0,1 to 1 micron
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/50Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
    • C04B2235/54Particle size related information
    • C04B2235/5418Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof
    • C04B2235/5454Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof nanometer sized, i.e. below 100 nm
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/50Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
    • C04B2235/54Particle size related information
    • C04B2235/549Particle size related information the particle size being expressed by crystallite size or primary particle size
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/65Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
    • C04B2235/66Specific sintering techniques, e.g. centrifugal sintering
    • C04B2235/661Multi-step sintering
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/74Physical characteristics
    • C04B2235/76Crystal structural characteristics, e.g. symmetry
    • C04B2235/761Unit-cell parameters, e.g. lattice constants
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/96Properties of ceramic products, e.g. mechanical properties such as strength, toughness, wear resistance
    • C04B2235/9646Optical properties
    • C04B2235/9653Translucent or transparent ceramics other than alumina
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/96Properties of ceramic products, e.g. mechanical properties such as strength, toughness, wear resistance
    • C04B2235/9646Optical properties
    • C04B2235/9661Colour

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Composite Materials (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
  • Compounds Of Alkaline-Earth Elements, Aluminum Or Rare-Earth Metals (AREA)
  • Lenses (AREA)

Abstract

CaF2微粒子と、該CaF2微粒子とは別に作製されたLaF3微粒子とを混合して微粒子混合物を調整し、前記微粒子混合物を焼結し、透明化することで透光性セラミックスを製造する、Ca−La−F系透光性セラミックスの製造方法。

Description

この発明は、カルシウム及びランタンのフッ化物からなるCa−La−F系透光性セラミックスの製造方法、Ca−La−F系透光性セラミックス、光学部材、光学系、及びセラミックス形成用組成物に関する。
本願は、2007年12月13日に、日本に出願された特願2007−322437号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
蛍石(CaF)は、アッベ数(νd)が95と高く、屈折率分散特性に優れ、光の波長に対する屈折率の分散が小さい。また蛍石は、紫外域から赤外域までの光の透過率が高い。そのため蛍石は、優れた光学材料として知られている。
このような光学材料からなる凸レンズと、他の材料で形成された凹レンズを組み合わせると、色収差を良好に補正することができる。そのため、蛍石は、例えば顕微鏡対物レンズなど、各種の光学系に多数使用されている(例えば特許文献1:特開2004−191933号公報)。
従来蛍石単結晶が光学系に利用されているが、フッ化カルシウム焼結体として、蛍石セラミックスを製造する方法が、例えば特許文献2(特開2006−206359号公報)によって、知られている。特許文献2には、以下の蛍石セラミックスの製造方法が記載されている。カルシウム化合物とフッ素化合物を溶液中で反応させ、懸濁液を得る。次いで、この懸濁液を密閉容器に入れて100℃以上300℃以下に加熱することでフッ化カルシウム微粒子を作製する。このフッ化カルシウム微粒子を700℃以上1300℃以下に加熱して焼結することで焼結体が形成される。この焼結体に不活性雰囲気中で500Kg/cm以上10000Kg/cm以下の圧力をかけながら、800℃以上1300℃以下に加熱することで、焼結体が透明化し、蛍石セラミックスが形成される。
このように製造されたセラミックスは、ボイド等の発生が抑えられた緻密な焼結体であるため、優れた光学特性が得られる。
しかし、従来より光学系に使用されている単結晶材料の蛍石では、温度上昇の際の熱膨張歪が、結晶方位により異なり、非等方的に発生する。そのため、気温変化によって発生する熱膨張歪により、レンズの結像性能が低下し易い。更に、急激な温度変化により割れが生じ易いため、加工性に劣るという問題点もあった。
また、蛍石はアッベ数が高いものの、屈折率(nd)が1.43と非常に低い。そのため、蛍石セラミックスを用いた場合においても、光学的利用範囲が制限され易いという問題点があった。
なお、立方晶構造を有するCa−La−F系の結晶の存在は知られているが、結晶性が高くかつ均質な結晶を安定して製造することは難しい。そのため、Ca−La−F系の結晶を光学材料に適用するのは困難であった。
そこで、この発明は、蛍石と同程度の高いアッベ数を有すると共に、蛍石より高い屈折率を有し、かつ光学材料として利用可能な透光性を有するCa−La−F系透光性セラミックス、および該透光性セラミックスを用いた光学部材を提供することを課題とする。また、高い屈折率及びアッベ数を有し、温度上昇時の熱膨張が等方的に生じる、Ca−La−F系透光性セラミックス、及び該透光性セラミックスを用いた光学部材を提供することを課題とする。さらに、この発明は、このような光学部材を用いた光学系を提供することを他の課題とする。
また、この発明は、蛍石と同程度の高いアッベを有し、蛍石より高い屈折率を有するCa−La−F系透光性セラミックスを製造可能な製造方法を提供することを別の課題とする。
更に、この発明は、上記Ca−La−F系透光性セラミックスを製造するのに好適に使用可能なセラミックス形成用組成物を提供することを別の課題とする。
この発明のCa−La−F系透光性セラミックスは、(Ca1−XLa)F2+X(ただし、Xは0より大きく0.4以下の数である。)の結晶を含む多結晶体からなり、光を透過可能な透光性を有する。
この発明の光学部材は、前記Ca−La−F系透光性セラミックスからなり、所定形状に形成されている。
この発明の光学系は、光路に少なくとも一組の凸レンズと、凹レンズとを備えた光学系であり、前記凸レンズ又は前記凹レンズの一方が前記Ca−La−F系透光性セラミックスからなり、他方が前記Ca−La−F系透光性セラミックスとは異なる材料からなる光学系である。上記光学系は、さらに1以上の凸レンズ、および1以上の凹レンズを備えていてもよい。
この発明のCa−La−F系透光性セラミックスの製造方法は、CaF微粒子と、該CaF微粒子とは別に作製されたLaF微粒子とを混合して微粒子混合物とし、該微粒子混合物を焼結及び透明化することで透光性セラミックスを製造するCa−La−F系透光性セラミックスの製造方法である。
上記製造方法は、前記CaF微粒子の製造工程および/または前記LaF微粒子工程を含むものであってもよい。
上記製造方法は、前記CaF微粒子および前記LaF微粒子を含む微粒子混合物を調整する工程を含むものであってもよい。
更に、この発明のセラミックス形成用組成物は、CaF微粒子と、該CaF微粒子とは別に作製されたLaF微粒子とを含有するセラミックス形成用組成物である。
この発明のCa−La−F系透光性セラミックスは、(Ca1−XLa)F2+X(Xは0より大きく0.4以下の数である。)の結晶を含む多結晶体からなり、光を透過可能な透光性を有する。そのため、この発明のCa−La−F系透光性セラミックスは、CaF結晶やLaF結晶とは異なる光学的特性を有する。すなわち、本発明によれば、蛍石と同程度の高いアッベ数を有すると共に、蛍石より高い屈折率を有するCa−La−F系透光性セラミックスを提供することができる。しかも、Ca−La−F系透光性セラミックスは多結晶体であるため、温度上昇時に等方的に熱膨張歪みが生じ易いという利点を有する。
また、この発明の光学部材は、前記Ca−La−F系透光性セラミックスからなるので、蛍石と同程度の高いアッベ数を有すると共に、蛍石より高い屈折率を有する。更に、前記光学部材を有するこの発明の光学系によれば、優れた光学性能を実現し易い。
また、この発明のCa−La−F系透光性セラミックスの製造方法によれば、CaF微粒子と、このCaF微粒子とは別に作製されたLaF微粒子とを混合して微粒子混合物とし、この微粒子混合物を焼結及び透明化する。そのため、微粒子混合物の焼結性を確保し易く、カルシウム及びランタンのフッ化物の多結晶体であって光を透過可能な透光性を有するCa−La−F系透光性セラミックスを製造することが可能である。
更に、この発明のセラミックス形成用組成物は、CaF微粒子と、該CaF微粒子とは別に作製されたLaF微粒子とを含有するので、前記Ca−La−F系透光性セラミックスの製造方法に好適に使用可能である。
図1Aは、実施例1により作製されたCaF微粒子のTEM写真である。 図1Bは、実施例1により作製されたLaF微粒子のTEM写真である。 図2Aは実施例1により製造されたCa−La−F系透光性セラミックスのX線解析の結果を示すチャートである。 図2Bは、公知のCLF結晶の粉末X線解析の結果を示すチャートである。 実施例1及び実施例4により製造されたCa−La−F系透光性セラミックスの波長に対する透過率を示すグラフであり、Aは実施例1のアルカリ分散を行って得られたCa−La−F系透光性セラミックスを示す。Bは実施例4のアルカリ分散を行わずに得られたCa−La−F系透光性セラミックスを示す。 実施例1乃至3により製造されたCa−La−F系透光性セラミックスにおいて、CaF微粒子とLaF微粒子との混合割合を変化させた場合の屈折率変化とアッベ数変化とを示すグラフである。 実施例1乃至3により製造されたCa−La−F系透光性セラミックス及び各種光学ガラスにおいて、アッベ数と部分分散比との相関を示すグラフである。 実施例5により製造されたCa−La−F系透光性セラミックスの波長に対する透過率を示すグラフである。
以下、この発明の実施の形態について説明する。
この発明のCa−La−F系透光性セラミックスは、実質的にカルシウム及びランタンのフッ化物の多結晶体であって、光を透過可能な透光性を有するものである。このCa−La−F系透光性セラミックスは、内部に光を透過させる部材として使用できる。特に、この透光性セラミックスは、レンズ等の光学部材に好適に使用可能である。
このCa−La−F系セラミックスは、カルシウムランタンフルオライド(以下、CLFと称す。)の結晶が含有されている多結晶体である。CLFは、(Ca1−XLa)F2+X(Xは0より大きく0.4以下の数である。)により示される組成比(原子比)を有する。組成比は蛍光X線分析や、各種の化学分析法により精度よく測定することが可能である。
このCLFの組成比は、製造時の条件の設定等により種々の値に設定可能であるが、La成分量を、焼結時の条件でCa成分リッチ相中に固溶するLa成分量の固溶限度以下としてCLFの組成比を調整することが好ましい。この場合、CaFを端成分とするCa成分リッチ相の結晶構造が有効に機能し易い構造が得られる。CaFの結晶系は立方晶であり、LaFは六方晶であるが、上記範囲の組成のCLFは、立方晶となる。結晶系が立方晶であると、粒界において結晶構造の整合性を確保し易いため、セラミックスを透明化する条件として非常に有利である。
上記(Ca1−XLa)F2+Xで示されるCLFの組成比において、Xを0.4より大きくすると、局部的にLa濃度の高い部位が生じやすくなり、均質な光学特性を有するセラミックスを得ることが難しい。したがって、Xの上限を0.4とした。Xは0.1以上0.4以下とすることがより好ましい。Xが0.1未満では、蛍石との屈折率の差をあまり大きくすることができない。なお、La濃度の高い部位の発生を防止し、安定的に均質な光学特性を得るためには、Xは0.3以下とすることがより好ましい。したがて、Xは0.1以上0.3以下とすることがさらに好ましい。
Ca−La−F系透光性セラミックスは実質的にCLF結晶からなるものが好適である。但し、所望の屈折率及びアッベ数が得られ、かつ光学材料として利用可能な透光性が得られる範囲において、CLFの結晶と共に、CaFの結晶及びLaFの結晶の一方又は双方が含まれていてもよい。
更に、所望の屈折率及びアッベ数が得られ、かつ光学材料として利用可能な透光性が得られる範囲において、他の不可避成分や焼結助剤等がCa−La−F系透光性セラミックスに含有されていてよい。
Ca−La−F系透光性セラミックスは、上記のCaFの結晶またはLaFの結晶を含まず、実質的にCLF結晶からなるものがより好ましい。またCa−La−F系透光性セラミックスは、実質的に均質なCLF結晶からなることが好ましい。例えば、1μm×1μm×1μmの領域において、CLF結晶の組成式(Ca1−XLa)F2+XにおけるXが、目標値に対し、±10%の範囲内に抑えられていることが好ましい。
Ca−La−F系透光性セラミックスは、光を透過可能な透光性を有する。この透光性は、Ca−La−F系透光性セラミックスの用途に応じた範囲でよい。例えば、使用時に透過させる波長の光の透過率が50%以上としてもよい。本発明が提供するCa−La−F系透光性セラミックスを色収差補正用の光学部材として用いる場合の使用波長は、例えば380nm〜780nmの可視光領域であり、代表波長は例えば550nmである。また、各種の光学部材では550nm以下の波長が使用される。そのため、Ca−La−F系透光性セラミックスは、550nmの波長の光の透過率が50%以上、より好ましくは350nm以上550nm以下の波長の光の透過率が50%以上としてもよい。なお、上記の波長または波長範囲における光の透過率は、70%以上であることが好ましく、80%以上であることがより好ましい。
この透光性は、セラミックスの材料をCa及びLaのフッ化物に特定することで得られるものである。例えば、Laの代わりにCeやYなどのフッ化物として高屈折率物質となり得る物質を用いたとしても、十分な透光性は得られない。
このようなCa−La−F系透光性セラミックスは、そのまま使用してもよいが、所定形状の光学部材として使用することも可能である。例えばCa−La−F系透光性セラミックスを、光の入射面や放射面が、球面形状、非球面形状、平面形状、格子形状等、各種の形状を有する光学部材に加工することができる。更に、同様のCa−La−F系透光性セラミックスにより形成された1つ又は2以上の光学部材を組合せて使用することも可能である。或いは、上記光学部材を、他の材料により形成された光学部材と組合せて光学系を構成することにより使用することも可能である。例えば、Ca−La−F系透光性セラミックスにより形成された少なくとも一つの光学部材を、光学ガラス、光学プラスチック、光学結晶などから選択される材料で形成された少なくとも一つの光学部材と組合わせて使用することができる。
以上のようなCa−La−F系透光性セラミックスは、良好な透光性が付与されたCLFの焼結体からなる新規なセラミックスである。そして、このセラミックスやこのセラミックスにより形成された光学部材は、CaF結晶及びLaF結晶の光学特性とは異なる光学特性を有し、従来にない屈折率とアッベ数をもつフッ化物材料となる。具体的には、このセラミックスは、蛍石と実質的に同じ程度に高いアッベ数を有すると共に、蛍石より高い屈折率を有している。例えば、Ca−La−F系透光性セラミックスは、屈折率(nd)が1.43以上1.55以下であると共に、アッベ数が80以上95以下の範囲を有している。そのため、このセラミックスは、種々の光学系に利用し易い。
しかも、この屈折率及びアッベ数は、後述する実施例の図4に示す通り、CaとLaとの存在割合に対して一次関数的な相関を有している。そのため、CaとLaとの存在割合を調整することで、所望の屈折率及びアッベ数を有するセラミックスを容易に得ることが可能である。
更に、このCa−La−F系透光性セラミックスは、各種のノーマルガラス(一般的な光学ガラス)と比較して異常部分分散を示す。例えば、アッベ数(νd)に対する部分分散比(Pg,F)の相関は、ノーマルガラスの場合、各後述の実施例の図5に示すように、直線で近似できる分布を示す。これに対し、Ca−La−F系セラミックスの場合、アッベ数に対する部分分散比は、上記の直線を離れ、ノーマルガラスとは異なる分布を示す。具体的には、本発明のCa−La−F系透光性セラミックスは、アッベ数が80以上95以下、以下の式(1)で示される部分分散比(Pg,F)が0.53以上0.56以下の特性を有することができる。このため、Ca−La−F系セラミックスでは、フラウンフォーファーg線のような一部の光についての屈折率を、ノーマルガラスと異ならせることができる。
(数1)
Pg,F=(ng−nF)/(nF−nC) (1)
但し、ng、nF、nCは、それぞれフラウンホーファーg線、F線、C線の屈折率である。
そのため、上記の異常部分分散を利用し、Ca−La−F系セラミックスで形成された部材を他の部材と組み合わせることで、色補正(色収差の補正)や二次スペクトルの除去等を容易に行うことができる。例えば、光路に凸レンズと凹レンズとを備えた光学系の場合、凸レンズ又は凹レンズの一方にこのCa−La−F系透光性セラミックスにより形成された部材を用い、他方にCa−La−F系透光性セラミックスとは異なる材料によって形成された部材を用いて光学系を構成することにより、効率よく二次スペクトルを除去することが可能である。例えば、上記光学系は、焦点距離の長い望遠レンズなどにも利用することができる。
本発明に係るCa−La−F系透光性セラミックスから凸レンズ又は凹レンズを製造する場合は、対象の形に近い形状に粗成形したCa−La−F系透光性セラミックスの表面を所定形状に加工し、さらに表面に光学研磨を施した後、必要に応じて反射防止加工等を行なえばよい。これらの各工程には公知の方法を適宜用いることができる。
このCa−La−F系透光性セラミックスは多結晶体であるため、温度上昇時に熱膨張歪が結晶方位に依存する異方性を示すことはなく、等方的に熱膨張歪が生じる。そのため、このセラミックスを加工する際には歪みによる破損が生じ難い。また、このセラミックスに光を透過して使用する際には、気温変化による結像性能の低下を生じ難い。
次に、このようなCa−La−F系透光性セラミックスの製造方法について説明する。
Ca−La−F系透光性セラミックスを製造するには、CaF微粒子と、このCaF微粒子とは別に形成されたLaF微粒子とを含有するセラミックス形成用組成物を準備し、このセラミックス形成用組成物を出来るだけ均一に混合して微粒子混合物とし、この微粒子混合物を焼結及び透明化することで製造することができる。
上記の製造方法は、前記セラミックス形成用組成物の調整を含む方法であってもよい。また、前記組成物に用いるCaF微粒子および/またはLaF微粒子の製造を含む方法であってもよい。なお、このセラミックス形成用組成物には、予め作製されたCaF微粒子及びLaF微粒子や、それらの混合物を用いることも可能である。
ここで、セラミックス形成用組成物とは加熱、加圧等適宜な処理を施すことでセラミックスを形成可能な材料であって、焼結可能なCaF微粒子及びLaF微粒子を含有するものであればよい。前記組成物に含有されるCaF微粒子及びLaF微粒子は、他の成分の含有量を抑えた高純度の微粒子が好ましい。
前記組成物に含有されるCaF微粒子と、LaF微粒子は、それぞれ別に製造されたものとする。例えば、CaFとLaFを同時に生成させる方法により製造されたLaF微粒子は、本発明では使用しない。CaFとLaFを同時に生成させる方法としては、例えば、カルシウム化合物とランタン化合物の双方を含有する混合溶液にフッ素化合物を添加する方法が知られている。しかし、このような方法では、焼結性に優れた所望の純度、粒径の微粒子を得ることが難しい。
上記セラミックス形成用組成物に用いるCaF微粒子は、最大粒径5μm以下、好ましくは3μm以下、さらに好ましくは1μm以下の微粒子であることが望ましい。またLaF微粒子も、最大粒径5μm以下、好ましくは3μm以下、さらに好ましくは1μm以下の微粒子であることが望ましい。粒径5μmを越える粒子が組成物に含まれると、焼結後のセラミックスにおいて、La濃度が局所的に異なる部位を生じやすい。なお、組成物の材料が上記の上限値を越える粒径の粒子を含んでいても、微粒子混合物を調整する過程で上限の数値以下に細粒化されればよい。
上記、微粒子には、複数の一次粒子が凝集した凝集体(二次粒子)が含まれている。微粒子混合物を調整する段階において、二次粒子を細粒化し、一次粒子の割合を高めて、CaF2とLaFを均一に混合することが好ましい。
CaF2微粒子は、一次粒子の粒径を200nm以下とすることが好ましい。LaF微粒子は、一次粒子の粒径を200nm以下とすることが好ましい。
なお、本発明において、「一次粒子」という用語は、より細粒の粒子の凝集体ではない粒子を示し、「二次粒子」という用語は、複数の一次粒子が凝集して形成された粒子を示す。
CaF2微粒子の作成
CaF微粒子は、カルシウム化合物とフッ素化合物とを水溶液中で反応させ、次いで密閉容器内で100℃以上300℃以下に加熱して作製することができる。
CaF微粒子の作成に用いるカルシウム化合物としては、酢酸塩、乳酸塩、シュウ酸塩、アスコルビン酸塩、アルギン酸塩、安息香酸塩、炭酸塩、クエン酸塩、グルコン酸塩、パントテン酸塩、サリチル酸塩、ステアリン酸塩、酒石酸塩、グリセリン酸塩、トリフルオロ酢酸塩等のカルシウムの有機酸塩を用いてもよく、カルシウムの塩化物、水酸化物、硝酸塩、硫酸塩等の無機塩を用いてもよい。カルシウム化合物としては、酢酸カルシウムを用いることが特に好ましい。酢酸カルシウムは水への溶解度が高く、硫酸塩や塩化物のような不純物イオンが残り難いため好適である。
フッ素化合物としては、フッ化水素酸(フッ酸)等を用いることができる。フッ素化合物としてフッ酸を用いれば、不純物イオンが残り難く好適である。
カルシウム化合物とフッ素化合物との反応は、それぞれを溶解して水溶液とし、常温常圧下で、カルシウム化合物水溶液中にフッ素化合物水溶液を徐々に注入することで反応させることができる。
この反応時には、反応混合物中にLaイオン等のような他のイオンが出来るだけ少ないことが好ましい。反応混合物中にCaイオンとフッ素イオン以外の他のイオンが共存すると、これらのイオンが形成されるCaF微粒子に取り込まれることにより、CaFの結晶性が低下し、粒子が凝集し易くなる。そのため、後述する焼結において、強く凝集された粒子が解離できず、セラミックス中にボイドが残留して密度が低下するなどの問題を生じ、焼結性が悪化し易い。焼結においては、焼結条件の僅かな変化でも高密度の焼結体が得られなくなることが多い。他のイオンは焼結性に敏感に影響して焼結性を悪化させるため、出来るだけ少なく抑えることが好適である。
また、反応時には、フッ素化合物をカルシウム化合物に対する化学当量(CaFに換算した場合の化学当量)より多い過剰量とするのが好適である。結晶性を向上させて凝集を抑え易くするためである。
更に、フッ素化合物水溶液の注入時には攪拌を行い、更に、注入終了後も攪拌を続けることが好ましい。生成されるCaF結晶からなる一次粒子の凝集を抑えるためである。強く凝集した状態の粒子が生成された場合、焼結及び透明化の際に加熱加圧しても、凝集状態が解離できず、ボイドが残留したり、緻密なセラミックスを得にくくなる。そのため、CaF結晶生成期間中は十分に攪拌を行うことが好適である。
上記のように、常温常圧下でカルシウム化合物とフッ素化合物とを反応させた後に、反応混合物を密閉容器に収納し、100℃以上300℃以下で加熱・加圧処理を行う水熱反応処理を行うことが好ましい。
常温常圧下でカルシウム化合物とフッ素化合物とを反応させるだけでは、反応は十分に進行せず、結晶はフッ素欠損の多いフッ化物となっている。そのため、得られる反応混合物中の結晶の化学量論比はCa1に対してFが2より小さいく、結晶性が低く、凝集し易い。
そのため、上記のように所謂水熱反応を更に行い、カルシウム化合物とフッ素化合物の反応を完結させることが好ましい。水熱反応処理に用いる容器は特に限定されない。例えば、テフロン(登録商標)製のオートクレーブ等の密閉容器を用いてもよい。好ましい処理温度は120−180℃である。圧力は、この温度範囲における水の飽和蒸気圧である0.2−1.0MPaが好ましい。
これによりCaF微粒子のCa1に対するFの割合を実質的に2にでき、結晶性の高いCaF微粒子を形成できる。そのため、微粒子間の凝集力を小さくし易い。その結果、比較的低温でも高密度に焼結し易い、焼結性に優れたCaF微粒子を得ることができる。
なお、上記の方法によれば、たとえば、一次粒子の平均粒径100〜200nmのCaF微粒子を得ることができる。
LaF微粒子の作成
一方、LaF微粒子は、CaF微粒子の作製とほぼ同様に、ランタン化合物とフッ素化合物とを水溶液中で反応させ、次いで密閉容器内で100℃以上300℃以下に加熱して作製することができる。
ランタン化合物としては、カルシウム化合物と同様のランタンの有機酸塩や無機物を用いることができる。すなわち、酢酸塩、乳酸塩、シュウ酸塩、アスコルビン酸塩、アルギン酸塩、安息香酸塩、炭酸塩、クエン酸塩、グルコン酸塩、パントテン酸塩、サリチル酸塩、ステアリン酸塩、酒石酸塩、グリセリン酸塩、トリフルオロ酢酸塩等のランタンの有機酸塩を用いてもよく、ランタンの塩化物、水酸化物、硝酸塩、硫酸塩等の無機塩を用いてもよい。タン化合物としては、酢酸ランタンを用いることが好ましい。フッ素化合物としては、フッ酸を用いることができる。
まず、CaFの作成時と同様、ランタン化合物とフッ化物のそれぞれを水溶液として常温常圧下で徐々に反応させる。ここでは、ランタン化合物を十分溶解させるために微量の硝酸等の無機酸を添加してもよい。
この反応時には、反応混合物中に存在するCaイオン等の他のイオンを出来るだけ少なくすることが好ましい。これにより、形成されるランタンフッ化物の結晶性低下を抑制し、焼結性を向上させることができる。また、フッ素化合物水溶液をランタン化合物水溶液(例えば酢酸ランタン水溶液)に対し、化学当量(LaFに換算した化学当量)より多くなるように過剰量注入することが好ましい。これにより、ランタンフッ化物の結晶性低下を抑制し、微粒子間の凝集力を弱くすることができる。更に、フッ素化合物水溶液の注入時及びその後に攪拌を続けることで、一次粒子の凝集を抑えることが好ましい。
そして、上記の反応後には、密閉容器内に反応混合物を収容して密閉し、100℃以上300℃以下、好ましくは120−180℃で加熱・加圧処理する水熱反応処理を行うことにより、ランタン化合物とフッ素化合物の反応を完結させるのが好適である。これによりフッ素欠損を抑え、LaF微粒子の結晶性を高くすることができる。そのたえめ、粒子が凝集し難くすることができ、比較的低温でも高密度に焼結し易いLaF微粒子を得ることができる。
なお、上記の方法によれば、たとえば、一次粒子の平均粒径100〜50nmのLaF微粒子を得ることができる。
このようにして得られたCaF微粒子を含有する反応混合物及びLaF微粒子を含有する反応混合物は、何れも強酸性の水溶液中に結晶の微粒子が分散された懸濁液となっている。そのため、固液分離し、必要に応じ、減圧下で室温以上70℃以下の温度で乾燥することで、スラリー又は乾燥粉末とする。固液分離或いは更に乾燥によって強酸性の水溶液を分離することで、その後の処理や保管時においてpHを調整し易くでき、取扱が容易になる。更に、液相中の不純物の混入も抑制できる。
より好ましくは、上記反応混合物を含む懸濁液の固液分離後に、反応混合物に水等の洗浄用溶媒を注入して遠心分離し、上澄み液を除去する等の洗浄処理を1乃至複数回行うのが好適である。これにより強酸性の液や不純物をより効率良く除去することが可能である。
組成物の調整
そして、これらのスラリー又は乾燥粉末状のCaF微粒子とLaF微粒子とを合わせてセラミックス形成用組成物とする。このセラミックス形成用組成物とは、焼結及び透明化することで、透光性セラミックスを形成可能な材料である。上記セラミックス形成用組成物は、前記のようなCaF微粒子及びLaF微粒子が含有されていればよく、均一に混合されていてもよい。また、粉末状であってもよく、スラリー等のように分散液中に分散或いは懸濁されていてもよい。
次いで、上記セラミックス形成用組成物を準備した後、セラミックス形成用組成物をスラリー又は懸濁液として湿式混合により混合する。これによりCaF微粒子及びLaF微粒子を出来るだけ均一に混合する。湿式混合により混合すると、反応により得られたCaF微粒子及びLaF微粒子の一次粒子に、過剰な応力による損傷を与え難い。
この湿式混合においては、粒子の凝集状態を出来るだけ解離させて破壊し、一次粒子を出来るだけ均一に混合させることが好ましい。
湿式混合に供されるCaF微粒子及びLaF微粒子は、例えば、上記のように作製時に凝集を抑え易くして製造しても、一次粒子が複数凝集した二次粒子となっている。微粒子の作成時にフッ素化合物として、フッ酸を用いた場合には、フッ酸が強酸性であるため、凝集が大きくなる。また、CaF微粒子及びLaF微粒子を作製後に乾燥させた場合にも凝集が大きくなり易い。例えば、一次粒子径がCaFで150nm程度、LaFで70nm程度であったとしても、二次粒子は10μm程度となることもある。
CaF粒子及びLaF粒子が大きな塊状の二次粒子の形態のままで混合され、焼結されると、焼結時にCaF微粒子とLaF微粒子との接触面積が少なくなり易い。この場合、十分な固相反応が起こり難くなる。すると、最終的に得られるCa−La−F系透光性セラミックスにおいて、微視的にCaF結晶相とLaF結晶相とが生じ、微視的に不均一な組成のムラが生じることになる。また、CLF結晶のCa-rich相中においても、CaとLaの組成比に不均質性が生じる場合がある。その結果、屈折率にムラ(不均質分布)が生じ、Ca−La−F系透光性セラミックスに入射する光に対し、セラミックス中の内部散乱が大きくなり、透過率を低下させたり、所望の屈折率やアッベ数等の光学特性が得られなくなる。
そのため、粒子の凝集状態を出来るだけ解離させ、凝集粒子(二次粒子)を破壊して一次粒子の割合を高め、一次粒子同士を出来るだけ均一に混合させることが好ましい。
二次粒子の凝集状態を解離する方法としては、化学的凝集破壊および/または機械的凝集破壊を用いることができる。
化学的凝集破壊においては、CaF微粒子及びLaF微粒子が分散されている溶液の物性を調整することで粒子の凝集力を低下させ、凝集を破壊することができる。機械的凝集破壊においては、CaF微粒子及びLaF微粒子の二次粒子に剪断力等の応力を与えて凝集を破壊ことができる。
化学的凝集破壊の方法の一例としては、CaF微粒子及びLaF微粒子が懸濁されている分散液のpHを、少なくとも中性より大きくすることで凝集力を緩和して破壊する方法が挙げられる。分散液が少なくとも中性であれば凝集力を緩和できるが、好ましくは、分散液をpHが8以上のアルカリ液とすることが好適である。
CaF微粒子及びLaF微粒子はアルカリ液中に溶解する。そのため、粒子表面をわずかに溶かすことで凝集粒子の結合力を低くする効果が期待できる。このアルカリ液としては、水酸化ナトリウムや水酸化カリウムなどの無機アルカリの溶液、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド(TMAH)や2−ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムハイドロオキサイドなどの有機アルカリの溶液などが挙げられる。有機アルカリ液であれば、無機アルカリ液のように、ナトリウムやカリウムなどの不純物が分散液中に混入する問題がない。また、有機アルカリ液は、加熱することで容易に分解・離脱するため、Ca−La−F系透光性セラミックス中に残留し難くて好適である。
上記のような化学的凝集破壊の方法においては、CaF微粒子及びLaF微粒子が懸濁されている分散液に、アルカリ液を滴下してpHを調整してもよい。あるいは、pHを調整した液に、粉末またはあスラリー状の組成物を加え、CaF微粒子及びLaF微粒子を分散させてもよい。
一方、機械的凝集破壊としては、攪拌羽根等による攪拌を行ってもよい。またビーズミル、高圧ホモジナイザー、高速旋回機等の分散機を用いて機械的凝集破壊を行ってもよい。
機械的凝集破壊の場合、過剰な応力を与えると、一次粒子に応力が残留したり破損が生じるため、焼結の段階でセラミックスが割れたり反りを生じる易くなる。そのため、攪拌羽根等により攪拌する場合には、適度な速度で攪拌することが好ましい。
なお、機械的凝集破壊においては、高圧ホモジナイザーを用いて分散を行うことが好ましい。
より好ましくは、化学的凝集破壊の方法と機械的凝集破壊の方法とを併用することが好適である。この場合粒子に与える応力を小さく抑え、凝集を解離させ易い。
上記の凝集解離により、CaF微粒子及びLaF微粒子のそれぞれ80%以上(個数比)、好ましくは95%以上を一次粒子とすることが望ましい。
このようにして、CaF微粒子及びLaF微粒子の凝集を解離し、破壊することで、ほぼ一次粒子にまで分散させながら湿式混合を行えば、各々の一次粒子がより均一に混合できる。これにより、焼結後のセラミックスにおいて、内部の組成むら、即ち、屈折率むらを少なくすることができ、内部均質性に優れた透明セラミックスを得ることができる。
上記湿式混合において、CaF微粒子とLaF微粒子との混合割合は、所望のCa−La−F系透光性セラミックスの屈折率及びアッベ数の少なくとも一方に基づいて定めることができる。前述の通り、屈折率及びアッベ数はCaとLaとの存在割合に対応して一次関数的な相関を有しているからである。
上記のように、湿式混合を行うことで、CaF微粒子及びLaF微粒子の一次粒子が出来るだけ均一に混合された状態の微粒子混合物が作製される。
その後、CaF微粒子及びLaF微粒子が分散液中に均一に混合された微粒子混合物を固液分離する。次いで分離された微粒子混合物を乾燥する。例えば、減圧下で脱気しつつ、室温以上70℃以下の温度で乾燥することで、乾燥を行うことができる。
好ましくは、乾燥一軸プレス装置等により加圧して、ひび、割れ、穴などがない乾燥体を形成する。
次に、このようにして得られた乾燥体を700℃以上1000℃以下に加熱して焼結し、焼結体(前駆焼結体)を作製する。
このとき、CaF微粒子及びLaF微粒子の一次粒子の凝集が破壊されていると共に、CaF微粒子及びLaF微粒子の結晶性が高いため、高密度に焼結でき、高い相対密度の焼結体を得ることが可能である。
700℃未満では、乾燥体の焼結を行うことが難しい。他方、焼結温度が1000℃をこえると、結晶構造からフッ素が脱離する現象が顕著となり、セラミックスの透明度が低下する。したがって、温度の上限は1000℃とした。好ましい温度範囲は、800℃以上900℃以下である。
その後、この焼結体を、アルゴンまたは窒素などの不活性雰囲気中において、500Kg/cm以上3000Kg/cm以下の圧力で加圧しつつ、700℃以上1300℃以下の温度に加熱する(二次焼結)ことにより透明化する。この透明化は、例えば熱間等方圧加圧装置(HIP)を用いて行うことができる。
このとき、加圧される間に焼結体内部に残留していた気孔が外部に押し出されて透明になり、上記の焼結体(前駆焼結体)より更に高密度化し、より高い相対密度の透明な焼結体とすることが可能である。これにより、Ca−La−F系透光性セラミックスの製造が完了する。
なお、上記の前駈焼結体の形成時、および透明化の進行中において、CaF微粒子とLaF微粒子は、CaとLaの拡散を伴う反応(反応焼結)を生じ、CLF結晶の多結晶体が形成される。加圧・加熱時の温度が700℃未満では、CaF微粒子とLaF微粒子の反応が生じ難いため、CLF結晶の濃度分布を均一化することが難しい。したがって、温度の下限は700℃とした。他方、温度が1300℃を超えると、固液分離を生じる可能性があり、また加圧条件下でもフッ素の脱離を制御するのがむずかしい。従って、透明化時の温度の上限は1300℃とした。好ましい温度範囲は、800℃以上1100℃以下、より好ましい温度範囲は、800℃以上900℃以下である。
上記の過程で製造されるセラミックスは、CLF結晶を含む多結晶体である。多結晶体に粗大な結晶が含まれた場合、熱膨張の等方性が阻害される可能性がある。そのためセラミックスを構成する多結晶体において、結晶粒径は100μm以下とすることが望ましい。
なお、上記の方法では、微粒子混合物の焼結と透明化を、前駆焼結体を形成する一次焼結と、透明化を行う二次焼結の二段階で行ったが、一個の装置内で温度・圧力を所定の履歴に従って変動させることにより、焼結と透明化を行ってもよい。
上記のCa−La−F系透光性セラミックスの製造方法では、CaF微粒子と、このCaF微粒子とは別に作製されたLaF微粒子とを混合して微粒子混合物とし、この微粒子混合物を焼結及び透明化する。このような製造方法によれば、微粒子混合物の焼結性を確保し易い。そのため、蛍石と同程度に高いアッベ数を有すると共に、蛍石より高い屈折率を有するCa−La−F系透光性セラミックスを製造することが可能である。
また、微粒子混合物から焼結体を作製し、この焼結体を不活性雰囲気中で加圧しつつ、加熱することにより透明化するので、焼結体を高密度化して、透明度の高いCa−La−F系透光性セラミックスを製造できる。
更に、CaF微粒子を、カルシウム化合物とフッ素化合物とを水溶液中で反応させ、次いで密閉容器内で所定温度に加熱して作製するので、焼結性に優れたCaF微粒子を作製できる。
また、LaF微粒子を、ランタン化合物とフッ素化合物とを水溶液中で反応させ、次いで密閉容器内で所定温度に加熱して作製するので、焼結性に優れたLaF微粒子を作製できる。
更に、CaF微粒子とLaF微粒子とを湿式混合して微粒子混合物を作製するので、CaF微粒子及びLaF微粒子の一次粒子に過剰な応力が作用し難く、焼結時に割れや反り等が生じ難い。
特に、CaF微粒子とLaF微粒子とをアルカリ液中で湿式混合すれば、化学的に凝集破壊を促進でき、一次粒子に与える応力を少なく抑え易い。
しかも、アルカリ液を有機アルカリ液とすれば、焼結後にアルカリ液の成分が残留し難く、Ca−La−F系透光性セラミックスの品質を確保し易い。
また、機械的混合手段を用いて湿式混合を行うので、十分な凝集破壊を行い易い。
更に、所望の屈折率及びアッベ数の少なくとも一方に基づいて、CaF微粒子とLaF微粒子との混合割合を調整して混合するので、所望の屈折率及びアッベ数を有するCa−La−F系透光性セラミックスを容易に製造できる。
以下、この発明の実施例について説明する。
[実施例1]
CaF 微粒子の作製
酢酸カルシウム水和物180.4g(1mol)に蒸留水を640g加えて、前記水和物を完全に溶かし、酢酸カルシウム水溶液を調製した。
濃度50%のフッ化水素酸(フッ酸)163.8g(4mol)に同じ重量の蒸留水を加えてフッ酸水溶液を調製した。
羽根付き攪拌棒(羽根径10cm)を300rpmで回転させ、酢酸カルシウム水溶液を攪拌しながら、酢酸カルシウム水溶液にフッ酸水溶液をゆっくり注入した。酢酸カルシウム水溶液を収納するプラスチックビーカー(直径13cm)の側面にフッ酸水溶液の注入口を取り付け、ローラーチューブポンプで吸い出したフッ酸水溶液を酢酸カルシウム水溶液の中に約1時間かけて注入した。
フッ酸水溶液の注入が終了した後、そのまま攪拌を6時間続け、凝集した粒子を破壊して粒径を小さくしつつ、CaFスラリーを作製した。
得られたCaFスラリーを、テフロン(登録商標)製オートクレーブに入れて密閉し、145℃で24時間加熱・加圧することにより水熱反応を行い、CaF微粒子が懸濁されたスラリーを完成した。
LaF 微粒子の作製
LaF微粒子をCaF微粒子と同様な方法で作製した。
酢酸ランタン水和物290.4gに蒸留水を1000g加え、さらに硝酸を加えて酢酸ランタン水和物を完全に溶かし、酢酸ランタン水溶液を調製した。
濃度50%のフッ酸183.8g(5mol)に同じ重量の蒸留水を加えてフッ酸水溶液を調製した。
CaF微粒子の作製と同様に、酢酸ランタン水溶液を攪拌しながら、フッ酸水溶液を酢酸ランタン水溶液の中にゆっくり注入した。注入終了後そのまま攪拌を続け、凝集した粒子を破壊して粒径を小さくしつつ、LaFスラリーを作製した。更に、得られたLaFスラリーに、CaFと同様にして水熱反応処理を行い、LaF微粒子が懸濁されたスラリーを完成させた。
得られたCaF微粒子とLaF微粒子の透過型電子顕微鏡(TEM)写真を図1A,図1Bに示す。一次粒子径はCaFで約150nm、LaFで約70nmであった。TEMを用い高倍率で観察すると粒子内に格子像が見られたことから、どちらの粒子もよく結晶化していることが確認された。低倍率で観察すると、どちらの粒子も多数の一次粒子が凝集した二次粒子を形成しており、最大で10μm程度となっていた。
湿式混合
完成したCaF微粒子が懸濁されたスラリーとLaF微粒子が懸濁されたスラリーとを、モル比でLa/Ca=0.3となるように秤量して混合し、セラミックス形成用組成物とした。
このセラミックス形成用組成物を遠心分離して上澄み液を捨て、さらに蒸留水を加えて遠心分離する操作を2回繰り返して水洗し、できるだけフッ酸や硝酸などを取り除いた。
その後に遠心分離で得られた沈殿を蒸留水に分散させ、TMAHを加えてpHを13にした。そして、攪拌羽根により20時間攪拌し、フッ化物粒子表面を化学的に溶解しつつ凝集粒子を破壊して、均一に湿式混合を行うことで、微粒子混合物を作製した。
焼結
微粒子混合物を100℃で乾燥して粉末とした。乾燥粉末6gを直径30mmの金型を用いて一軸プレス成形して成形体とし、この成形体を空気中800℃で1時間焼結することにより、白色の焼結体を得た。
透明化
次に、熱間等方圧加圧(HIP)装置(Dr.HIP、神戸製鋼社製、商標)により、アルゴン雰囲気中で1500Kg/cmの等方圧をかけながら、前記焼結体を1100℃で2時間加熱した。この処置により、焼結体内部に残留していた閉気孔が外部に押し出されて透明になり、Ca−La−F系透光性セラミックスが得られた。
[実施例2、3]
湿式混合におけるLa/Caのモル比を0.1、0.4とする他は、実施例1と同一にしてCa−La−F系透光性セラミックスを得た。
[実施例4]
湿式混合において、TMAHを加えない他は実施例1と同一にしてCa−La−F系透光性セラミックスを得た。
以上の実施例1〜4で得られたCa−La−F系透光性セラミックスについて以下の測定を行った。
CLF結晶
実施例1において得られたCa−La−F系透光性セラミックス(Ca0.7La0.32.3)について、X線解析を行った結果を図2A及び表1に示すと共に、JCPDSに記載されたCLF結晶(Ca0.65La0.352.35)の公知データを図2B及び表1に示す。
実施例1のCa−La−F系透光性セラミックス(Ca0.7La0.32.3)のX回折パターンと、JCPDS01−087−0975のCLF結晶(Ca0.65La0.352.35)のX線回折パターンとを比較すると、両者はほぼ一致している。ピーク位置に若干の差が存在するのは、La/Ca比が異なることに起因して格子定数に若干の差が存在するためである。従って、両者のX線回折パターンの比較から、実施例1により得られたCa−La−F系透光性セラミックスはCLF結晶からなるもの又はCLF結晶を含有するものであり、単にCaF微粒子とLaF微粒子とが緻密に焼結されたものではないことが確認できた。
化学的凝集破壊の評価
実施例1で得られたCLF透明セラミックス(厚さ2mm)の透過率と、実施例4で得られたCLF透明セラミックス(厚さ2mm)の透過率を測定した結果を図3に示す。図中、AはTMAHを加えて湿式混合を行った実施例1の結果を示し、BはTMAHを加えずに湿式混合を行った実施例4の結果を示す。
TMAHを加えて湿式混合を行うことにより、全波長域で透過率が向上し、550nmにおける透過率は58%から72%に向上した。これにより、アルカリ液によって凝集粒子が破壊され、CLF透明セラミックス内部の組成むらが低減されたことが確認できた。
屈折率
CaF微粒子とLaF微粒子との混合比であるLa/Caを0.1、0.3及び0.4に変化させて作製された実施例1〜3のCLF透明セラミックスにおいて、フラウンフォーファーg線、F線、e線、d線、C線における屈折率(ng、nF、ne、nd、nC)を測定した結果を表2に示す。なお屈折率の測定は、カールツァイスイエナ社製屈折計PR−2を用いて行った。

微粒子の混合比とアッベ数の相関
CaF微粒子とLaF微粒子の混合比であるLa/Caを0.1、0.3及び0.4に変化させて作製された実施例1〜3のCLF透明セラミックスにおいて、La/Caに対する屈折率(nd)とアッベ数との関係を図4に示す。
LaF微粒子の添加量の増加と共に屈折率は上昇する傾向を示し、反対にアッベ数は低下する傾向を示した。屈折率は、La/Ca=0である蛍石の1.43からLa/Ca=0.4の1.52まで上昇した。La/Ca=0.4ではアッベ数は87に低下したものの依然として低分散の領域にある。従って、La/Caが0より大きく0.4以下の範囲では、低分散でありながら高屈折率である、従来にない透明材料が得られていた。
異常部分分散比
前述の各線で測定された屈折率に基づいて、部分分散比を算出し、アッベ数と部分分散比との相関を、各種光学ガラス(ノーマルガラス)の相関と共に図5に示す。図中◆印が各種光学ガラスの相関を示している。
なお、部分分散比(Pg,F)は、フラウンホーファーg線、F線、C線の屈折率に基づいて、次式により算出した。
(数1)
Pg,F=(ng−nF)/(nF−nC) (1)
なお、アッベ数(νd)は、下記の式により算出される。
(数2)
νd=(nd−1)/(nF−nC) (2)
各種光学ガラスでは部分分散比はほぼ一直線上に並んでいるが、実施例1〜3で得られたCLF透明セラミックスは3種類ともこの直線から大きく離れており、各種光学ガラスには見られない異常部分分散性が確認できた。
特にLa/Ca=0.1では最も離れており、2次スペクトルを減少させるのに大きな効果が得られる。焦点距離の長い望遠レンズでは2次スペクトルの影響が大きいため、このようなCLF透明セラミックスを用いることで、色収差を減少させるのに有効である。
[比較例1]
酢酸ランタンの代わりに、酢酸セリウムを用いる他は、実施例1と全く同一にしてセラミックスを作製したところ、透明なセラミックスは得られなかった。
[比較例2]
酢酸ランタンの代わりに、酢酸イットリウムを用いる他は、実施例1と全く同一にしてセラミックスを作製したところ、透明なセラミックスは得られなかった。
[比較例3]
CaF微粒子とLaF微粒子とを別々に作製する代わりに、酢酸カルシウム及び酢酸ランタンを混合してフッ酸と反応させて微粒子を得る他は、実施例1と同一にしてセラミックスを作製したところ、透明なセラミックスは得られなかった。
[実施例5]
実施例1で得られた、スラリー状の微粒子混合物を出発物質として準備した。この出発物質は、上述のようにpH13において20時間攪拌することにより、凝集粒子の破壊もしくは、凝集力の低下が行われているものであった。さらに高圧ホモジナイザー(吉田機械興業社製 ナノマイザー(登録商標))にかけ、機械的に凝集粒子を破壊した。前記微粒子混合物をスラリー中のCaFとLaFの合計重量が20wt%となるよう調整し、上記高圧ホモジナイザーにおいて、200MPaの圧力での処理を20回繰り返し行った。処理されたスラリーを遠心分離し、上澄み液を除去した後、100℃で乾燥させて粉末とした。この混合粉末に実施例1と同様の焼結、透明化処理を行い、Ca−La−F系透光性セラミックスとした。ただし、透明化処理すなわち二次焼結の温度は900℃にした。得られた透光性セラミックス(厚さ2mm)の透過率を図6に示す。光の波長550nmにおける透過率は、実施例1では72%であったが、微粒子混合物を高圧ホモジナイザーで処理した実施例5では、79%に向上した。これにより、微粒子混合物の調整において、化学的な処理による凝集力の低下と、機械的な凝集破壊を併用すると、微粒子混合物を焼結、透明化して得られたセラミックスにおいて光の透過率が向上することが確認された。これは、微粒子混合物の段階で、凝集粒子が一次粒子にまで分散されたため、焼結体内部の組成むらが低下したと考慮される。さらに、CaFとLaFの一次粒子同士の固相反応が促進され、二次焼結温度を実施例1の1100℃から900℃に低下しても透明化できたため、焼結体からのフッ素の離脱が減少したと考えられる。
本発明によれば、蛍石と同程度の高いアッベ数を有すると共に、蛍石より高い屈折率を有するCa−La−F系材料を、透光性セラミックスとして提供することができる。上記、透光性セラミックスは一般的な光学ガラスに比べ、異常部分分散性を示すので、この透光性セラミックスを光学部材として用いることにより、優れた光学性能の光学系を実現できる。また本発明は、上記透光性セラミックスの製造方法、およびこの製造に用い得る組成物を提供することができる。そのため、本発明は産業利用上、高い有用性を有する。

Claims (21)

  1. Ca−La−F系透光性セラミックスの製造方法であって、
    CaF微粒子と、該CaF微粒子とは別に作製されたLaF微粒子とを混合して微粒子混合物を調整し、
    前記微粒子混合物を焼結し、透明化することで透光性セラミックスを製造する、Ca−La−F系透光性セラミックスの製造方法。
  2. 請求項1記載のCa−La−F系透光性セラミックスの製造方法であって、
    前記微粒子混合物を700℃以上1000℃以下に加熱して前駆焼結体を作製し、
    該前駆焼結体を不活性雰囲気中で500Kg/cm以上3000Kg/cm以下の圧力で加圧しつつ、700℃以上1300℃以下の温度に加熱することにより、前記透明化を行う、Ca−La−F系透光性セラミックスの製造方法。
  3. 更に、カルシウム化合物とフッ素化合物とを水溶液中で反応させ、次いで密閉容器内で100℃以上300℃以下に加熱して、前記CaF微粒子を作製する工程を含む、請求項1又は2に記載のCa−La−F系透光性セラミックスの製造方法。
  4. 更に、ランタン化合物とフッ素化合物とを水溶液中で反応させ、次いで密閉容器内で100℃以上300℃以下に加熱して、前記LaF微粒子を作製する工程を含む、請求項1乃至3の何れか一つに記載のCa−La−F系透光性セラミックスの製造方法。
  5. 請求項1乃至4の何れか一つに記載のCa−La−F系透光性セラミックスの製造方法であって、
    前記微粒子混合物の調整において、前記CaF微粒子と前記LaF微粒子とを湿式混合して前記微粒子混合物を作製する、請求項1乃至4の何れか一つに記載のCa−La−F系透光性セラミックスの製造方法。
  6. 前記湿式混合において、前記CaF微粒子と、前記LaF微粒子のそれぞれにおける一次粒子同士の凝集力を化学的に低下する請求項5に記載のCa−La−F系透光性セラミックスの製造方法。
  7. 前記CaF微粒子と前記LaF微粒子とをアルカリ液中で湿式混合する請求項6に記載のCa−La−F系透光性セラミックスの製造方法。
  8. 前記アルカリ液が有機アルカリ液である請求項7に記載のCa−La−F系透光性セラミックスの製造方法。
  9. 機械的混合手段を用いて前記湿式混合を行う請求項5乃至8の何れか一つに記載のCa−La−F系透光性セラミックスの製造方法。
  10. 前記微粒子混合物の調整において、前記CaF微粒子と、前記LaF微粒子のそれぞれにおける、一次粒子同士の凝集を機械的に破壊する、機械的凝集破壊工程を更に含む請求項1乃至請求項9のいずれか1項に記載のCa−La−F系透光性セラミックスの製造方法。
  11. 所望の屈折率又はアッベ数の少なくとも一方に基づいて、前記CaF微粒子と前記LaF微粒子との混合割合を調整して混合することを特徴とする請求項1乃至10の何れか一つに記載のCa−La−F系透光性セラミックスの製造方法。
  12. 前記透光性セラミックスが、(Ca1−XLa)F2+X(Xは0より大きく0.4以下の数である。)の結晶を含む多結晶体であることを特徴とする請求項1乃至11の何れか一つに記載のCa−La−F系透光性セラミックスの製造方法。
  13. (Ca1−XLa)F2+X(Xは0より大きく0.4以下の数である。)の結晶を含む多結晶体からなり、光を透過可能な透光性を有するCa−La−F系透光性セラミックス。
  14. 請求項13に記載のCa−La−F系透光性セラミックスであって、550nmの波長の光の透過率が50%以上であるCa−La−F系透光性セラミックス。
  15. 屈折率が1.43以上1.55以下であると共に、アッベ数が80以上95以下であることを特徴とする請求項13又は14に記載のCa−La−F系透光性セラミックス。
  16. アッベ数が80以上95以下であるとともに、以下の式(1)で示される部分分散比Pg,Fが0.53以上0.56以下である、請求項13乃至15の何れか一つに記載のCa−La−F系透光性セラミックス。
    Pg,F=(ng−nF)/(nF−nC) (1)
    但し、ng、nF、nCは、それぞれフラウンホーファーg線、F線、C線の屈折率である。
  17. 請求項13乃至16の何れか一つに記載のCa−La−F系透光性セラミックスからなり、所定形状に形成されている光学部材。
  18. 光路に少なくとも一組の凸レンズと、凹レンズとを備えた光学系であり、前記凸レンズ又は前記凹レンズの一方が請求項13乃至16に記載のCa−La−F系透光性セラミックスからなると共に、他方が前記Ca−La−F系透光性セラミックスとは異なる材料からなる光学系。
  19. CaF微粒子と、該CaF微粒子とは別に作製されたLaF微粒子とを含有することを特徴とするセラミックス形成用組成物。
  20. 前記CaF微粒子と前記LaF微粒子とが液中に懸濁又は分散されていることを特徴とする請求項19に記載のセラミックス形成用組成物。
  21. CaFの一次粒子と、LaFの一次粒子が混合されている、微粒子混合物を含む請求項19または20に記載のセラミックス形成用組成物。
JP2009545466A 2007-12-13 2008-12-12 Ca−La−F系透光性セラミックスの製造方法、Ca−La−F系透光性セラミックス、光学部材、光学装置、及びCa−La−F系透光性セラミックス形成用組成物 Active JP5521551B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009545466A JP5521551B2 (ja) 2007-12-13 2008-12-12 Ca−La−F系透光性セラミックスの製造方法、Ca−La−F系透光性セラミックス、光学部材、光学装置、及びCa−La−F系透光性セラミックス形成用組成物

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007322437 2007-12-13
JP2007322437 2007-12-13
JP2009545466A JP5521551B2 (ja) 2007-12-13 2008-12-12 Ca−La−F系透光性セラミックスの製造方法、Ca−La−F系透光性セラミックス、光学部材、光学装置、及びCa−La−F系透光性セラミックス形成用組成物
PCT/JP2008/072696 WO2009075361A1 (ja) 2007-12-13 2008-12-12 Ca-La-F系透光性セラミックスの製造方法、Ca-La-F系透光性セラミックス、光学部材、光学系、及びセラミックス形成用組成物

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2009075361A1 true JPWO2009075361A1 (ja) 2011-04-28
JP5521551B2 JP5521551B2 (ja) 2014-06-18

Family

ID=40755596

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009545466A Active JP5521551B2 (ja) 2007-12-13 2008-12-12 Ca−La−F系透光性セラミックスの製造方法、Ca−La−F系透光性セラミックス、光学部材、光学装置、及びCa−La−F系透光性セラミックス形成用組成物

Country Status (4)

Country Link
US (2) US8206679B2 (ja)
JP (1) JP5521551B2 (ja)
CN (1) CN101896441B (ja)
WO (1) WO2009075361A1 (ja)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140129388A (ko) * 2010-11-19 2014-11-06 제이엑스 닛코 닛세키 킨조쿠 가부시키가이샤 고순도 란탄의 제조 방법, 고순도 란탄, 고순도 란탄으로 이루어지는 스퍼터링 타깃 및 고순도 란탄을 주성분으로 하는 메탈 게이트막
CN102126857B (zh) * 2011-01-31 2013-03-20 武汉理工大学 透明氟化钙陶瓷的制备方法
WO2013073592A1 (ja) * 2011-11-17 2013-05-23 株式会社ニコン CaF2系透光性セラミックスおよびその製造方法
EP2927202A1 (en) 2014-04-04 2015-10-07 Paris Sciences et Lettres - Quartier Latin Transparent metal fluoride ceramic
CN107628813B (zh) * 2017-09-25 2020-05-22 信阳师范学院 一种降低萤石矿物制备多晶透明陶瓷烧结温度的方法
US10550041B1 (en) * 2018-10-25 2020-02-04 Raytheon Company Fluoride-based nanocomposite materials for infrared window applications
CN115477539A (zh) * 2022-08-02 2022-12-16 桂林电子科技大学 一种氟化钙透明陶瓷及低温制备方法

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4038201A (en) * 1972-03-24 1977-07-26 Optovac, Inc. Polycrystalline bodies and means for producing them
DE2307925A1 (de) * 1973-02-17 1974-08-29 Bayer Ag Herstellung von fluoriden aus kieselfluorwasserstoffsaeure
US4013796A (en) * 1973-08-27 1977-03-22 The Harshaw Chemical Company Hot-pressed ionic fluoride optical bodies free of absorption bands and method of making them
US3920802A (en) * 1974-03-04 1975-11-18 Kewanee Oil Co Process for preparation of hot-pressable magnesium fluoride
JP4106476B2 (ja) * 1995-11-27 2008-06-25 株式会社ニコン 光学ガラスの製造方法
US6829049B1 (en) * 2000-05-15 2004-12-07 Therma-Wave, Inc. Small spot spectroscopic ellipsometer with refractive focusing
US6669920B2 (en) * 2001-11-20 2003-12-30 Corning Incorporated Below 160NM optical lithography crystal materials and methods of making
US20030094128A1 (en) 2001-11-20 2003-05-22 Sparrow Robert W. Dispersion management optical lithography crystals for below 160nm optical lithography method thereof
US7245425B2 (en) 2002-11-28 2007-07-17 Nikon Corporation Microscope optical system and microscope objective lens
JP2004191933A (ja) 2002-11-28 2004-07-08 Nikon Corp 無限遠系顕微鏡対物レンズ
KR101173198B1 (ko) 2002-12-25 2012-08-10 도꾸리쯔교세이호징 가가꾸 기쥬쯔 신꼬 기꼬 발광소자장치, 수광소자장치, 광학장치, 플루오르화물결정, 플루오르화물 결정의 제조방법 및 도가니
CN1235830C (zh) * 2003-11-07 2006-01-11 四川大学 具有高压电性能的无铅压电陶瓷
JP2006036618A (ja) * 2004-07-27 2006-02-09 Soratesu Lab:Kk フッ化カルシウム結晶およびその作製方法ならびにその使用方法
JP4747587B2 (ja) * 2005-01-27 2011-08-17 株式会社ニコン フッ化カルシウム焼結体の製造方法
JP4525425B2 (ja) * 2005-03-31 2010-08-18 株式会社日立製作所 フッ化物コート膜形成処理液,フッ化物コート膜形成方法及び磁石
JP2006294960A (ja) * 2005-04-13 2006-10-26 Sumitomo Chemical Co Ltd 熱電変換材料

Also Published As

Publication number Publication date
US8618008B2 (en) 2013-12-31
JP5521551B2 (ja) 2014-06-18
US20120257290A1 (en) 2012-10-11
US20100323878A1 (en) 2010-12-23
US8206679B2 (en) 2012-06-26
WO2009075361A1 (ja) 2009-06-18
CN101896441A (zh) 2010-11-24
CN101896441B (zh) 2014-04-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5521551B2 (ja) Ca−La−F系透光性セラミックスの製造方法、Ca−La−F系透光性セラミックス、光学部材、光学装置、及びCa−La−F系透光性セラミックス形成用組成物
JP5862677B2 (ja) CaF2系透光性セラミックスおよびその製造方法
JP5351147B2 (ja) 立方構造を有する焼結製品
US11161274B2 (en) Method for manufacturing transparent ceramic material for faraday rotator
CN110467453B (zh) 制备用于烧结的陶瓷成型体的方法和制造陶瓷烧结体的方法
US9862648B2 (en) Transparent metal fluoride ceramic
CN110467464B (zh) 制备用于烧结的陶瓷成型体的方法和制造陶瓷烧结体的方法
JP2019199078A (ja) 焼結用セラミックス成形体の作製方法及びセラミックス焼結体の製造方法
JP5682132B2 (ja) Ca−Gd−F系透光性セラミックスの製造方法、Ca−Gd−F系透光性セラミックス、光学部材、光学系、及びセラミックス形成用組成物
JP2019099429A (ja) ファラデー回転子用透明セラミックスの製造方法
JP7056625B2 (ja) 焼結用セラミックス成形体の作製方法及びセラミックス焼結体の製造方法
JP2009292688A (ja) 透光性セラミックスおよびその製造方法、それを用いた光学素子、カラー液晶プロジェクター
CN116283271B (zh) 一种高折射率和高光学质量的Gd2Sn2O7烧绿石型透明陶瓷的制备方法
JP5549122B2 (ja) 透光性セラミックス及びその製造方法
JP2014062007A (ja) 透光性セラミックス、その製造方法、光学素子およびその製造方法
JP2005320216A (ja) 合成ケイ素酸化物粒子とその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20110927

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120223

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120223

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130625

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130823

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140107

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140204

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20140311

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20140324

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5521551

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250