JPWO2008152865A1 - 薄膜太陽電池およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

裏面電極層（４）の金属膜の種類を限定せずに裏面電極層とバスバー（１１）との間の接着強度を向上させ、信頼性の高い薄膜太陽電池（１２）およびその製造方法を提供する。透光性絶縁基板（１）と、透光性絶縁基板上に設けられた透明導電膜（２）、光電変換層（３）および裏面電極層（４）と、裏面電極層上に設けられたバスバー（１１）と、を少なくとも備え、バスバーが、導電性テープ（８）を介して裏面電極層と電気的に接続されていることにより、裏面電極層が取り出し電極として使用される、薄膜太陽電池（１２）を提供する。導電性テープは、熱硬化性樹脂と導電性粒子とを含むことが好ましい。また導電性テープは異方性導電テープであることが好ましい。

Description

本発明は、薄膜太陽電池およびその製造方法に関し、特に、裏面電極層とバスバーとの間の接着強度に優れ信頼性の高い薄膜太陽電池およびその製造方法に関する。

従来、薄膜太陽電池としては、ガラス等の光透過性絶縁基板上に、ＺｎＯ、ＩＴＯ、ＳｎＣｌ₂等の透明導電膜が形成され、その上に、アモルファスシリコン等の薄膜半導体のｐ層、ｉ層、ｎ層が順次積層されて光電変換層が形成され、その上に、たとえばＺｎＯ／Ａｇの裏面電極層が積層されてなる積層体が直列、並列、または直並列に接続されている集積型薄膜太陽電池が提案されている。たとえば特許文献１（特開２００２−３１４１０４号公報）には、導電性ペーストを介して裏面電極層に結合されたバスバーが薄膜太陽電池の出力取出し用の電極部として使用されることが提案されている。
特開２００２−３１４１０４号公報

アルミニウムと半田との接着性は一般的に悪く、裏面電極層にアルミニウムを用いる場合には、特別な半田を用いた場合のみアルミニウムと半田との良好な接着が可能である。たとえば特許文献１の技術では、アルミニウムの厚みが薄い場合には該アルミニウムと半田との良好な接着性が得られ難いという問題があった。また、裏面電極層にアルミニウム以外の金属を用いた場合にも、接着強度をさらに高めることが望まれている。

本発明の目的は、上記のような従来技術の課題を解決し、裏面電極層の金属膜の種類を限定せずに裏面電極層とバスバーとの間の接着強度を向上させることが可能で、信頼性の高い薄膜太陽電池およびその製造方法を提供することを目的とする。

本発明は、透光性絶縁基板と、透光性絶縁基板上に設けられた透明導電膜、光電変換層および裏面電極層と、裏面電極層上に設けられたバスバーと、を少なくとも備え、バスバーが、導電性テープを介して裏面電極層と電気的に接続されていることにより、裏面電極層が取り出し電極として使用される、薄膜太陽電池を提供する。

本発明の薄膜太陽電池においては、導電性テープが、熱硬化性樹脂と導電性粒子とを含むことが好ましい。

本発明の薄膜太陽電池においては、導電性テープが異方性導電テープであることが好ましい。

本発明の薄膜太陽電池においては、導電性テープが点状に配置されることが好ましい。
本発明の薄膜太陽電池においては、バスバーの幅よりも導電性テープの幅を小さくされることが好ましい。

本発明の薄膜太陽電池において、バスバーは、金属箔からなる導電体にメッキが施されてなることが好ましい。

本発明の薄膜太陽電池においては、バスバーの導電性テープとの接続側の表面の平坦度が１０μｍ以下であることが好ましい。

本発明はまた、上述のいずれかに記載の薄膜太陽電池を得るための製造方法であって、透光性絶縁基板上に、透明導電膜、光電変換層および裏面電極層をこの順で形成する工程と、裏面電極層上に、導電性テープを介してバスバーを接着する接着工程とを含み、接着を、導電性テープの仮圧着と該仮圧着の後の本圧着とによって行なう、薄膜太陽電池の製造方法を提供する。

本発明の薄膜太陽電池の製造方法においては、接着がパルスヒーターを用いて行なわれることが好ましい。

本発明によれば、裏面電極層の金属膜の種類を限定せずに裏面電極層とバスバーとの間の接着強度を向上させることが可能で、信頼性に優れる薄膜太陽電池およびその製造方法を提供することが可能となる。

本発明に係る薄膜太陽電池の構成の例を示す断面図である。 本発明における導電性テープの配置の例を示す平面図である。 本発明の薄膜太陽電池において形成されるバスバーの典型的な形状について説明する断面図である。 バスバーの導電性テープとの接続側の表面が平坦でない場合の接着状態について説明する模式的な断面図である。 バスバーの導電性テープとの接続側の表面が平坦な場合の接着状態について説明する模式的な断面図である。 本発明の薄膜太陽電池の使用態様の例を示す断面図である。

符号の説明

１ 透光性絶縁基板、２ 透明導電膜、３ 光電変換層、４ 裏面電極層、５，７ 分離ライン、６ コンタクトライン、８ 導電性テープ、９ 導電体、１０ メッキ、１１ バスバー、１２ 薄膜太陽電池、１３ 接着材料、１４ 裏面封止材、１５ 裏面電極層、１６，１７ 領域、１８ 基準線。

本発明の薄膜太陽電池は、透光性絶縁基板と、透光性絶縁基板上に設けられた透明導電膜、光電変換層および裏面電極層と、裏面電極層上に設けられたバスバーと、を少なくとも備える。該バスバーは、導電性テープを介して裏面電極層と電気的に接続されていることにより、裏面電極層が取り出し電極として使用される。

図１は、本発明に係る薄膜太陽電池の構成の例を示す断面図である。図１に示す薄膜太陽電池１２においては、透光性絶縁基板１上に、透明導電膜２、光電変換層３、裏面電極層４が設けられており、バスバー１１が、導電性テープ８を介して裏面電極層４と電気的に接続されている。本発明において裏面電極層とバスバーとを接着させるために導電性テープを用いることにより、裏面電極層を構成する金属膜の種類に左右されずに裏面電極層とバスバーとを良好に接着することができる。これにより、裏面電極層とバスバーとの間の良好かつ安定な導電性が確保され、信頼性の高い薄膜太陽電池が得られる。

また導電性テープを用いることによって簡便な製造工程で良好な接着性を確保できるため、本発明によれば薄膜太陽電池の製造コストを低く抑えることができる。

導電性テープとしては、裏面電極層の金属膜の種類に左右されずに裏面電極層とバスバーとの接着強度を向上させる効果が特に大きい点で、熱硬化性樹脂と導電性粒子とを含むものを好ましく使用できる。好ましい熱硬化性樹脂としては、硬化温度が１５０〜２５０℃の範囲内ものを例示できる。該熱硬化性樹脂の硬化温度が１５０℃以上である場合、導電性テープ部分の物理的強度が大きく薄膜太陽電池の信頼性が特に良好であり、２５０℃以下である場合、導電性テープと裏面電極層またはバスバーとが剥離し難く薄膜太陽電池の信頼性が特に良好である。より好ましい熱硬化性樹脂としては、１５０〜２５０℃の範囲内の硬化温度において数秒程度で硬化する樹脂を例示できる。

熱硬化性樹脂の好ましい具体例としては、エポキシ樹脂、アクリル樹脂等を主成分とするものを例示できる。

好ましい導電性粒子としては、たとえば、ニッケル粒子、金等でメッキされたニッケル粒子、等を例示できる。導電性粒子の平均粒径は、たとえば３〜１０μｍの範囲内であることが好ましい。バスバーにおける導電性テープとの接続側の表面の平坦度が良くない場合には、粒子径がより大きい導電性粒子を含む導電性テープを使用することが好ましい。

導電性テープの厚みは、たとえば２０〜４０μｍの範囲内であることが好ましい。導電性テープの厚みが２０μｍ以上である場合、裏面電極層とバスバーとの安定した接着性が得られ、４０μｍ以下である場合、接着時の条件設定を容易に制御できるとともに製造コストの上昇を抑制できる。

導電性テープは、異方性導電テープであることが好ましい。ここで異方性導電性テープとは、厚み方向に対しては導電性、圧着部の面方向に対しては絶縁性という電気的異方性を示すテープを意味する。異方性導電テープを用いる場合、裏面電極層の金属膜の種類に左右されずに裏面電極層とバスバーとの良好な接着性を得る効果が特に良好である。

導電性テープの水平方向（すなわち厚み方向と垂直をなす方向）における引張強度は、１６６Ｎ／ｃｍ²以上であることが好ましく、この場合薄膜太陽電池の信頼性が特に良好である。また、導電性テープの上記水平方向から斜め４５度における引張強度は、２５Ｎ／ｃｍ²以上であることが好ましく、この場合も薄膜太陽電池の信頼性が特に良好である。

導電性テープは、点状に配置されることが好ましく、この場合、薄膜太陽電池の信頼性を損なわずに製造コストをさらに低減することができる。図２は、本発明における導電性テープの配置の例を示す平面図である。図２は、裏面電極層４の上に導電性テープ８を形成した状態を示している。図２では、導電性テープ８が、裏面電極層４上に長さＸ、ピッチＹで点状に配置される場合を例示している。本発明において、上記長さＸはたとえば３〜８ｍｍ程度、ピッチＹはたとえば７０〜１５０ｍｍ程度とすることができる。

本発明において、導電性テープの幅はバスバーの幅よりも小さくされることが好ましく、この場合裏面電極層とバスバーとの接続部分から導電性テープがはみ出すことを防止でき、外観が良好な薄膜太陽電池を得ることができる。

透光性絶縁基板としては典型的にはガラス基板等を使用できる。透明導電膜としては、たとえばＺｎＯ、ＩＴＯ、ＳｎＯ₂等の、光透過性を有する導電性酸化物を典型的に使用できる。光電変換層は、たとえば半導体薄膜からなるｐ層、ｉ層、ｎ層が順次積層された構造とされることができる。該半導体薄膜としては、たとえば、アモルファスシリコン薄膜、結晶性シリコン薄膜またはこれらを組合せたものを使用できる。

裏面電極層としては、たとえば、ＺｎＯ等の導電性酸化物からなる層と、銀、銀合金等の金属からなる層とを有するものを使用できる。より典型的な裏面電極層としては、ＺｎＯ／Ａｇを積層したものを例示できる。

本発明においては、裏面電極層とバスバーとを導電性テープによって電気的に接続するため、裏面電極層を取り出し電極として使用することができ、裏面電極層の厚みが比較的小さい場合にも裏面電極層とバスバーとを良好に接着できる。裏面電極層の厚みは、たとえば５００ｎｍ以下、典型的には１００〜５００ｎｍの範囲内、より典型的には１２５〜３５０ｎｍの範囲内とすることができる。

バスバーとしては、典型的には、金属箔からなる導電体にメッキが施されてなるものを好ましく使用できる。これにより半田の成分を含まないバスバーをも選択できるため、製造コストの上昇を抑えることができる。メッキの材質としては、たとえばニッケルメッキ等を採用できる。

図３は、本発明の薄膜太陽電池において形成されるバスバーの典型的な形状について説明する断面図である。バスバー１１の導電性テープとの接続側の表面においては、基準線１８から見た高さＺのような若干の反りが生じている場合がある。本発明においては、バスバーの導電性テープとの接続側の表面の平坦度が１０μｍ以下であることが好ましい。

図４は、バスバーの導電性テープとの接続側の表面が平坦でない場合の接着状態について説明する模式的な断面図であり、図５は、バスバーの導電性テープとの接続側の表面が平坦な場合の接着状態について説明する模式的な断面図である。バスバーの導電性テープとの接続側の表面が平坦でない場合、図４に示すように、バスバー１１と裏面電極層１５との間に導電性テープ８を介在させ、厚み方向に圧力をかけて接着する際には、圧力が十分にかかった領域１６では導電性テープが流動してバスバー１１と裏面電極層１５とが強固に接着されるが、圧力が十分にかからない領域１７では、導電性テープ８とバスバー１１および裏面電極層１５との間に隙間が残り接触面積が小さくなることがある。これにより、バスバーと裏面電極層との間での接着強度の低下や電気抵抗の増大が生じる場合がある。一方、バスバーの導電性テープとの接続側の表面が平坦である場合、図５に示すように、厚み方向の圧力を均一にかけることができるため、バスバー１１の全面の圧力が十分にかかった領域１６で導電性テープが流動してバスバー１１と裏面電極層１５とが強固に接着される。

バスバーの導電性テープとの接続側の表面の平坦度が１０μｍ以下である場合、バスバーと裏面電極層とを導電性テープで接着する際、接着面に対して厚み方向に均一な圧力をかけ接着面積を大きくすることができるため、バスバーと裏面電極層との間の接着強度が良好で電気抵抗が小さくなり、薄膜太陽電池の信頼性が特に良好になる。

なお上記の平坦度とは、たとえば走査電子顕微鏡による断面観察等により評価される値を意味する。

上記の平坦度を１０μｍ以下にするためには、たとえば導電体にメッキを施してなるバスバーを用い、メッキ条件を厳密に制御することによって、少なくとも導電性テープを接着する側の表面においてはメッキが平坦になされるようにする方法等を用いることができる。

本発明はまた、上述のいずれかに記載の薄膜太陽電池を得るための製造方法であって、透光性絶縁基板上に、透明導電膜、光電変換層および裏面電極層をこの順で形成する工程と、裏面電極層上に、導電性テープを介してバスバーを接着する接着工程とを含み、接着を、導電性テープの仮圧着と仮圧着の後の本圧着とによって行なう、薄膜太陽電池の製造方法を提供する。

裏面電極層上に導電性テープを介してバスバーを接着する際に該接着を仮圧着と該仮圧着の後の本圧着によって行なう場合、裏面電極層とバスバーとの位置ずれを生じさせずに両者を精度良く接着することができる点で有利である。

図１に示す構成の薄膜太陽電池を例に、本発明の薄膜太陽電池の典型的な製造方法について以下により詳しく説明する。まず、たとえばガラス基板等の透光性絶縁基板１上に、透明導電膜２として、たとえばＳｎＯ₂（酸化錫）を熱ＣＶＤ法等で形成する。次に、ＹＡＧレーザの基本波等を用いて透明導電膜２のパターニングを行なう。次に、レーザ光をガラス基板面から入射させることにより、透明導電膜２を短冊状に分離して、分離ライン５を形成した後、純水で超音波洗浄し、光電変換層３を形成する。光電変換層３としては、たとえば、ａ−Ｓｉ：Ｈｐ層、ａ−Ｓｉ：Ｈｉ層、ａ−Ｓｉ：Ｈｎ層からなる上部セル、μｃ−Ｓｉ：Ｈｐ層、μｃ−Ｓｉ：Ｈｉ層、μｃ−Ｓｉ：Ｈｎ層からなる下部セルを成膜する。

次に、たとえばＹＡＧレーザの第二高調波やＹＶＯ₄レーザを用いて、光電変換層３をレーザでパターニングする。レーザ光をガラス基板面から入射させることにより、光電変換層３を短冊状に分離し、透明導電膜２と裏面電極層４とを電気的に接続するためのコンタクトライン６を形成する。

次に、マグネトロンスパッタ法等により、裏面電極層４として、ＺｎＯ（酸化亜鉛）／Ａｇを成膜する。ＺｎＯの厚みは、５０ｎｍ程度とすることができる。なおＺｎＯの代わりに、ＩＴＯやＳｎＯ₂等の透光性が高い膜を用いても良い。銀の膜厚は、１２５ｎｍ程度とすることができる。なお裏面電極層４において上記のＺｎＯ等の透明性導電膜は割愛しても構わないが、高い変換効率を得るためにはあった方が望ましい。

次に、裏面電極層４をレーザでパターニングする。レーザ光をガラス基板面から入射させることにより、裏面電極層４を短冊状に分離し、分離ライン７を形成する。この際、レーザによる透明導電膜２へのダメージを避けるため、レーザには、透明導電膜２の透過性の良いＹＡＧレーザの第二高調波等を使用することが好ましく、ＹＶＯ₄レーザを用いても構わない。また、透明導電膜２へのダメージを最小限に抑え、かつ、裏面電極層４の加工後の銀電極のバリの発生を抑制する加工条件を選択することが好ましい。

次に、導電性テープ８としてたとえば異方性導電フィルム（ＡＣＦ：Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ Ｆｉｌｍ）を使用し、バスバー形成部位となる裏面電極層４の表面上に、たとえば点状に貼り付ける。なお導電性テープとしては、金属粒子としてニッケル粒子や金メッキニッケル粒子等を含むものを使用できる。

その後、該導電性テープ８を貼り付けた裏面電極層４の上に、たとえばメッキした金属箔からなるバスバー１１を載置し、バスバー１１上から圧力をかけた状態で、導電性テープを完全に硬化させないような比較的低温の加熱を行なうことにより仮圧着する。たとえば導電性テープが熱硬化性樹脂と金属粒子とを含むものである場合、該熱硬化性樹脂の硬化温度より７０〜１００℃程度低い温度で加熱を行なうことにより仮圧着を行なうことができる。次に、バスバー１１上から圧力をかけた状態で、導電性テープを硬化させる温度の加熱を行なうことにより本圧着する。たとえば導電性テープが熱硬化性樹脂と金属粒子とを含むものである場合、該熱硬化性樹脂の硬化温度以上で加熱を行なうことにより本圧着を行なうことができる。以上のようにして、本発明の薄膜太陽電池を製造できる。

本発明の薄膜太陽電池の製造方法においては、仮圧着および本圧着がパルスヒーターを用いて行なわれることが好ましい。この場合、導電性テープの構成材料に応じた加熱温度の制御が容易であり、導電性テープを介して裏面電極層とバスバーとを確実に接着できるため、信頼性の高い太陽電池を得ることができる。

図６は、本発明の薄膜太陽電池の使用態様の例を示す断面図である。上述したような薄膜太陽電池１２の裏面側（すなわち裏面電極層の形成面側）に、たとえば真空ラミネート装置を用い、透明なＥＶＡ（エチレン−酢酸ビニル共重合体）等からなる接着材料１３を介して、たとえば白色ＰＥＴ／アルミニウム／ＰＥＴの積層フィルム等からなる裏面封止材１４を接着し、種々の用途に適用されることができる。本発明の薄膜太陽電池は、たとえば建材一体型薄膜太陽電池やシースルー太陽電池等の用途に好適に適用され得る。

以下、実施例を挙げて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。

＜実施例１＞
本実施例では、図１に示す構成の薄膜太陽電池を作製した。透光性絶縁基板１として、厚さ１．８ｍｍ程度、サイズ５６０ｍｍ×９２５ｍｍのガラス基板を使用し、該ガラス基板上に、透明導電膜２として、熱ＣＶＤ法でＳｎＯ₂（酸化錫）を成膜した。次に、ＹＡＧレーザの基本波を用いて透明導電膜２のパターニングを行なった。すなわち、レーザ光をガラス基板面から入射させることにより、透明導電膜２を短冊状に分離して、分離ライン５を形成した。

次に、当該ガラス基板を純水で超音波洗浄し、その後、光電変換層３を形成した。光電変換層３としては、ａ−Ｓｉ：Ｈｐ層、ａ−Ｓｉ：Ｈｉ層、ａ−Ｓｉ：Ｈｎ層からなる上部セル、μｃ−Ｓｉ：Ｈｐ層、μｃ−Ｓｉ：Ｈｉ層、μｃ−Ｓｉ：Ｈｎ層からなる下部セルを成膜した。次に、ＹＡＧレーザの第二高調波を用いて光電変換層３をパターニングした。すなわち、レーザ光をガラス基板面から入射させることにより、光電変換層３を短冊状に分離し、透明導電膜２と裏面電極層４とを電気的に接続するためのコンタクトライン６を形成した。

次に、マグネトロンスパッタ法により、裏面電極層４であるＺｎＯ（酸化亜鉛）／Ａｇを成膜した。この際、ＺｎＯの厚みは、５０ｎｍとし、銀の膜厚は、１２５ｎｍとした。次に、裏面電極層４をＹＡＧレーザの第二高調波等でパターニングした。すなわち、レーザ光をガラス基板面から入射させることにより、裏面電極層４を短冊状に分離し、分離ライン７を形成した。

導電性テープ８としては、異方性導電フィルム（ＡＣＦ：Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ Ｆｉｌｍ）を使用した。使用したＡＣＦはＡＣ−９０５１ＡＲ−３５（日立化成製、ニッケル粒子）である。本実施例では、図２に示すように、導電性テープの長さＸを５ｍｍ、ピッチＹを１２５ｍｍとし、裏面電極層４の表面の両端に該導電性テープを８ケ所ずつ点状に貼り付けた。その後、該導電性テープを貼り付けた裏面電極層４の上にバスバー１１を載置し、バスバー１１の上から、温度８０℃、圧力３ＭＰａ、２秒間の条件で仮圧着した。さらに、バスバー１１上から、温度１６０℃、圧力３ＭＰａ、８秒間の条件で本圧着した。この際、仮圧着および本圧着にはパルスヒーターを用いた。

なお上記の導電性テープは、金属粒子として平均粒径が約２μｍのニッケル粒子を含むものである。バスバー１１としては、導電体９が厚み１００μｍの銅箔であり、メッキ１０が錫メッキであるものを用いた。なおメッキ１０のメッキ厚は４０μｍとした。以上の手順で薄膜太陽電池１２を作製した。

上記で得た薄膜太陽電池１２の裏面側（すなわち裏面電極層の形成側）に、接着材料１３として透明なＥＶＡを用いて、真空ラミネート装置で裏面封止材１４を接着した。裏面封止材１４としては、白色ＰＥＴ／アルミニウム／ＰＥＴの積層フィルムを用いた。以上の手順で実施例１に係る太陽電池を作製した。

上記で得た太陽電池につき、信頼性試験として高温高湿保存試験および温湿度サイクル試験を実施した。信頼性試験は、ＩＥＣ６１６４６に準じた条件で行なった。各々の試験で、太陽電池の出力変化、外観変化といった問題の無い事を確認できた。

＜実施例２＞
裏面電極層４として厚み１５０μｍのアルミニウムを形成した以外は実施例１と同じ手順で試験用の太陽電池を作製した。実施例１と同様の方法で信頼性試験を実施したところ、出力変化および外観変化に問題の無い事を確認できた。

＜実施例３＞
実施例１と同じ方法で裏面電極層４まで形成し、ガラス基板を３０ｍｍ角程度の大きさにカットした。これに実施例１と同じ方法でバスバーを接着して引張試験用のサンプルを作製した。該サンプルの５０個につき、引っ張り試験機を用い、斜め４５度の引張強度を測定した。５０個のサンプルの引張強度の平均値、および５０個のサンプルの引張強度のばらつきとして標準偏差を算出した。引張強度の平均値およびばらつきは、後述の比較例１における平均値およびばらつきをそれぞれ１とした場合、平均値は３．１、ばらつきは０．６１であった。

＜比較例１＞
実施例１と同じ方法で裏面電極層４まで形成し、ガラス基板を３０ｍｍ角程度の大きさにカットした。導電性テープを貼り付ける代わりに導電性ペーストである銀ペーストを厚み約１０μｍで塗布した他は実施例１と同様の方法でバスバーを接着して引張試験用のサンプルを作製した。該サンプルの５０個につき、実施例３と同じ方法で斜め４５度の引張強度を測定し、５０個のサンプルの引張強度の平均値およびばらつきを算出した。

＜実施例４，５＞
実施例４および実施例５では、導電性テープとの接続側の表面の平坦度が異なるバスバーを用い、裏面電極層とバスバーとの接着状態について評価した。

実施例４では、走査電子顕微鏡による断面観察で測定した平坦度が２０μｍであるバスバーを用い、実施例５では、上記方法で測定した平坦度が１０μｍであるバスバーを用い、それぞれ実施例１と同じ方法で薄膜太陽電池を作製した。得られたそれぞれの薄膜太陽電池において、バスバーと裏面電極層との接着面の１５箇所で、バスバーと裏面電極層との距離を測定した。またバスバーと裏面電極層との接着状態を走査電子顕微鏡による断面観察で観察した。

実施例４，５におけるバスバーと裏面電極層との間の接着状態を走査電子顕微鏡による断面観察で確認した。実施例４では、図４に示すように導電性テープに圧力が均一にかからず、裏面電極層とバスバーとの間の一部には導電性テープが入り込んでいなかった。一方、実施例５では、図５に示すようにバスバーの全面が導電性テープを介して裏面電極層と接着していた。

上記の結果から、バスバーの導電性テープとの接続側の表面における平坦度が２０μｍ以上である場合、導電性テープを形成した部位の一部にバスバーと裏面電極層とが接続していない領域が生じるが、該平坦度が１０μｍ以下である場合、導電性テープによる接着をより完全に行なうことができることが分かった。

今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

本発明で提供される薄膜太陽電池は、たとえば建材一体型薄膜太陽電池やシースルー太陽電池等の用途の集積型太陽電池として好適に適用され得る。

Claims (9)

1. 透光性絶縁基板（１）と、前記透光性絶縁基板上に設けられた透明導電膜（２）、光電変換層（３）および裏面電極層（４）と、前記裏面電極層上に設けられたバスバー（１１）と、を少なくとも備え、
   前記バスバーが、導電性テープ（８）を介して前記裏面電極層と電気的に接続されていることにより、前記裏面電極層が取り出し電極として使用される、薄膜太陽電池（１２）。
2. 前記導電性テープ（８）が、熱硬化性樹脂と導電性粒子とを含む、請求の範囲第１項に記載の薄膜太陽電池（１２）。
3. 前記導電性テープ（８）が、異方性導電テープである、請求の範囲第１項に記載の薄膜太陽電池（１２）。
4. 前記導電性テープ（８）が点状に配置される、請求の範囲第１項に記載の薄膜太陽電池（１２）。
5. 前記バスバー（１１）の幅よりも前記導電性テープ（８）の幅を小さくしてなる、請求の範囲第１項に記載の薄膜太陽電池（１２）。
6. 前記バスバー（１１）は、金属箔からなる導電体（９）にメッキ（１０）が施されてなる、請求の範囲第１項に記載の薄膜太陽電池（１２）。
7. 前記バスバー（１１）の前記導電性テープ（８）との接続側の表面の平坦度が１０μｍ以下である、請求の範囲第１項に記載の薄膜太陽電池（１２）。
8. 請求の範囲第１項に記載の薄膜太陽電池（１２）を得るための製造方法であって、
   前記透光性絶縁基板（１）上に、透明導電膜（２）、光電変換層（３）および裏面電極層（４）をこの順で形成する工程と、
   前記裏面電極層上に、導電性テープ（８）を介して前記バスバー（１１）を接着する接着工程と、
   を含み、
   前記接着を、前記導電性テープの仮圧着と前記仮圧着の後の本圧着とによって行なう、薄膜太陽電池の製造方法。
9. 前記接着がパルスヒーターを用いて行なわれる、請求の範囲第８項に記載の薄膜太陽電池（１２）の製造方法。

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