JPWO2007105391A1 - マイクロチップを用いる検査装置及びマイクロチップを用いる検査システム - Google Patents

Abstract

本発明は、マイクロチップを冷却する場合に、マイクロチップの被検出部や検査装置の光検出部に結露が発生しにくく、また結露が発生したとしても結露を除去して、精度良い検出を行うことのできるマイクロチップを用いる検査装置を提供する。この解決手段として被検出部及び被冷却部を有するマイクロチップが収容されるマイクロチップ収容部と、マイクロチップ収容部に収容されたマイクロチップの被検出部に対応して設けられた検出部と、マイクロチップ収容部に収容されたマイクロチップの被冷却部に対応して設けられた冷却部と、を有するマイクロチップを用いる検査装置において、検出部が結露しないように検出部と冷却部との間隔を設定している。

Description

本発明は、マイクロチップを用いる検査装置及びマイクロチップを用いる検査システムに関する。

近年、微細流路が集積加工されたマイクロチップ上において、複数の溶液を混合して反応させ、当該反応の状態を検出して分析を行うマイクロ総合分析システム（Ｍｉｃｒｏ Ｔｏｔａｌ Ａｎａｌｙｓｉｓ Ｓｙｓｔｅｍ；μＴＡＳ）が注目されている。

μＴＡＳでは、試料の量が少ない、反応時間が短い、廃棄物が少ない等のメリットがある。医療分野に使用した場合、検体（血液、尿、拭い液等）の量を少なくすることで患者への負担を軽減でき、試薬の量を少なくすることで検査のコストを下げることができる。また、検体、試薬の量が少ないことから、反応時間が大幅に短縮され、検査の効率化が図れる。さらに、装置が小型であるため小さな医療機関にも設置することができ、場所を選ばず迅速に検査を行うことができる。

マイクロチップを用いる検査では、試薬の冷却、検体と試薬との反応促進のための加熱等を行うために、マイクロチップの温度調節を行うことが多い。

特許文献１には、マイクロチップにおける複数の領域のそれぞれを温度調節するマイクロチップ用温度調節器が記載されている。

また、マイクロチップ上の反応を検出する方法として、マイクロチップの反応部に光を照射し、その透過光や反射光を検出する方法が知られている。

特許文献２には、マイクロチップ上の反応検出流路（被検出部）に光を照射し、反応検出流路からの光を受光することにより反応検出流路の反応状態の検出を行う検査装置が記載されている。
特開２００５−２１４７８２号公報 特開２００３−４７５２号公報

マイクロチップを冷却する場合に、冷却部分の近傍にマイクロチップの被検出部や検査装置の光検出部が存在していると、当該被検出部や光検出部に結露が生じ易くなる。結露が生じると検出値が変化し、誤った検査結果を出力してしまう可能性がある。

本発明は、以上のような問題に鑑みてなされたものであり、マイクロチップを冷却する場合に、マイクロチップの被検出部や検査装置の光検出部に結露が発生しにくく、また結露が発生したとしても結露を除去して、精度良い検出を行うことのできるマイクロチップを用いる検査装置及びマイクロチップを用いる検査システムを提供することを目的としている。

本発明のマイクロチップを用いる検査装置は、被検出部及び被冷却部を有するマイクロチップが収容されるマイクロチップ収容部と、前記マイクロチップ収容部に収容されたマイクロチップの前記被検出部に対応して設けられた検出部と、前記マイクロチップ収容部に収容されたマイクロチップの前記被冷却部に対応して設けられた冷却部と、を有するマイクロチップを用いる検査装置において、前記検出部が結露しないように前記検出部と前記冷却部との間隔が設定されていることを特徴としている。

また、本発明のマイクロチップを用いる検査装置は、被検出部及び被冷却部を有するマイクロチップが収容されるマイクロチップ収容部と、前記マイクロチップ収容部に収容されたマイクロチップの前記被検出部に対応して設けられた検出部と、前記マイクロチップ収容部に収容されたマイクロチップの前記被冷却部に対応して設けられた冷却部と、を有するマイクロチップを用いる検査装置において、前記検出部と前記冷却部との間に断熱部材が配置されていることを特徴としている。

また、本発明のマイクロチップを用いる検査装置は、被検出部及び被冷却部を有するマイクロチップが収容されるマイクロチップ収容部と、前記マイクロチップ収容部に収容されたマイクロチップの前記被検出部に対応して設けられた検出部と、前記マイクロチップ収容部に収容されたマイクロチップの前記被冷却部に対応して設けられた冷却部と、を有するマイクロチップを用いる検査装置において、除湿手段を有することを特徴としている。

本発明のマイクロチップを用いる検査システムは、被検出部及び被冷却部が設けられたマイクロチップと、前記マイクロチップが収容されるマイクロチップ収容部と、前記マイクロチップ収容部に収容されたマイクロチップの前記被検出部に対応して設けられた検出部と、前記マイクロチップ収容部に収容されたマイクロチップの前記被冷却部に対応して設けられた冷却部と、を有するマイクロチップを用いる検査システムにおいて、前記マイクロチップの被検出部が結露しないように、前記マイクロチップの被検出部と被冷却部との間隔が設定されていることを特徴としている。

本発明によれば、マイクロチップを冷却する場合に、結露が発生しないように冷却部と検出部との相対位置を設定している為マイクロチップの被検出部や検査装置の検出部に結露が発生しにくく、また結露が発生したとしても結露を除湿手段を用いて除去することができるので、精度良い検出を行うことができる。

本実施形態に係るマイクロチップを用いる検査装置の外観図である。 本実施形態に係るマイクロチップを用いる検査装置の構成図である。 本実施形態に係るマイクロチップの構成図である。 本実施形態に係るマイクロチップを用いる検査装置の制御構成の要部を示す図である。 本実施形態に係る除湿制御のフロー図である。 本実施形態に係る光検出制御のフロー図である。

符号の説明

１ マイクロチップ
４ 光検出部
７ 結露センサ
８ 除湿ヒータ
３２ ペルチェ素子
８０ 検査装置
１１１ 被検出部
１２０ 試薬収容部
１２１ 検体収容部
１２２ ポジティブコントロール収容部
１２３ ネガティブコントロール収容部

本実施形態では、一例として、特定ＤＮＡの反応を検出するＤＮＡチップのように、検体と試薬とをマイクロチップ上で反応させる場合について示すが、これに限られず、少なくとも２種類の流体をマイクロチップ上で混合させる場合に適用することができる。

（装置構成）
図１は、本実施形態に係るマイクロチップを用いる検査装置８０の外観図である。検査装置８０は、マイクロチップ１に予め注入された検体と試薬とを自動的に反応させ、反応結果を自動的に出力する装置である。

検査装置８０の筐体８２には、マイクロチップ１を装置内部に挿入するための挿入口８３、表示部８４、メモリカードスロット８５、プリント出力口８６、操作パネル８７、外部入出力端子８８が設けられている。

検査担当者は、図１の矢印方向にマイクロチップ１を挿入し、操作パネル８７を操作して検査を開始させる。検査装置８０の内部では、マイクロチップ１内の反応の検査が自動的に行われ、検査が終了すると表示部８４に結果が表示される。検査結果は操作パネル８７の操作により、プリント出力口８６よりプリントを出力したり、メモリカードスロット８５に挿入されたメモリカードに記憶することができる。また、外部入出力端子８８から例えばＬＡＮケーブルを使って、パソコンなどにデータを保存することができる。検査終了後、検査担当者はマイクロチップ１を挿入口８３から取り出す。

図２は、本実施形態に係るマイクロチップを用いる検査装置８０の構成図である。図２においては、マイクロチップが図１に示す挿入口８３から挿入され、セットが完了している状態を示している。

検査装置８０は、マイクロチップ１に予め注入された検体及び試薬を送液するための駆動液１１を貯留する駆動液タンク１０、マイクロチップ１に駆動液１１を供給するためのポンプ５、ポンプ５とマイクロチップ１とを駆動液１１が漏れないように接続するパッキン６、マイクロチップ１の必要部分を温調する温度調節ユニット３、マイクロチップ１をずれないようにパッキン６に密着させるためのチップ押圧板２、チップ押圧板２を昇降させるための押圧板駆動部３２、マイクロチップ１をポンプ５に対して精度良く位置決めする規制部材３１、マイクロチップ１内の検体と試薬との反応状態等を検出する光検出部４、光検出部４近傍に設けられた結露センサ７及び除湿ヒータ８、等を備えている。

チップ押圧板２は、初期状態においては、図２に示す位置より上方に退避している。これにより、マイクロチップ１は矢印Ｘ方向に挿抜可能であり、検査担当者は挿入口８３（図１参照）から規制部材３１に当接するまでマイクロチップ１を挿入する。その後、チップ押圧板２は、押圧板駆動部３２により下降してマイクロチップ１に当接し、マイクロチップ１の下面が温度調節ユニット３及びパッキン６に密着される。

温度調節ユニット３は、マイクロチップ１の必要部分を温調するもので、ペルチェ素子３３及びヒータ３４を備えている。試薬が収容されている部分をペルチェ素子３３で冷却して試薬が変性しないようにしたり、検体と試薬とが反応する部分をヒータ３４で加熱して反応を促進させたりする。

光検出部４は、発光部４ａ及び受光部４ｂから構成され、発光部４ａからの光をマイクロチップ１に照射し、マイクロチップ１を透過した光を受光部４ｂにより検出する。受光部４ｂはチップ押圧板２の内部に一体的に設けられている。発光部４ａ及び受光部４ｂは、後述のマイクロチップ１の被検出部１１１ａ〜１１１ｄのそれぞれに対向するように複数設けられている。

ポンプ５は、ポンプ室５２、ポンプ室５２の容積を変化させる圧電素子５１、ポンプ室５２のマイクロチップ１側に位置する第１絞り流路５３、ポンプ室の駆動液タンク１０側に位置する第２絞り流路５４、等から構成されている。第１絞り流路５３及び第２絞り流路５４は絞られた狭い流路となっており、また、第１絞り流路５３は第２絞り流路５４よりも長い流路となっている。

駆動液１１を順方向（マイクロチップ１に向かう方向）に送液する場合には、まず、ポンプ室５２の容積を急激に減少させるように圧電素子５１を駆動する。そうすると、短い絞り流路である第２絞り流路５４において乱流が発生し、第２絞り流路５４における流路抵抗が長い絞り流路である第１絞り流路５３に比べて相対的に大きくなる。これにより、ポンプ室５２内の駆動液１１は、第１絞り流路５３の方に支配的に押し出され送液される。次に、ポンプ室５２の容積を緩やかに増加させるように圧電素子５１を駆動する。そうすると、ポンプ室５２内の容積増加に伴って駆動液１１が第１絞り流路５３及び第２絞り流路５４から流れ込む。このとき、第２絞り流路５４の方が第１絞り流路５３と比べて長さが短いので、第２絞り流路５４の方が第１絞り流路５３と比べて流路抵抗が小さくなり、ポンプ室５２内には第２絞り流路５４の方から支配的に駆動液１１が流入する。以上の動作を圧電素子５１が繰り返すことにより、駆動液１１が順方向に送液されることになる。

一方、駆動液１１を逆方向（駆動液タンク１０に向かう方向）に送液する場合には、まず、ポンプ室５２の容積を緩やかに減少させるように圧電素子５１を駆動する。そうすると、第２絞り流路５４の方が第１絞り流路５３と比べて長さが短いので、第２絞り流路５４の方が第１絞り流路５３と比べて流路抵抗が小さくなる。これにより、ポンプ室５２内の駆動液１１は、第２絞り流路５４の方に支配的に押し出され送液される。次に、ポンプ室５２の容積を急激に増加させるように圧電素子５１を駆動する。そうすると、ポンプ室５２内の容積増加に伴って駆動液１１が第１絞り流路５３及び第２絞り流路５４から流れ込む。このとき、短い絞り流路である第２絞り流路５４において乱流が発生し、第２絞り流路５４における流路抵抗が長い絞り流路である第１絞り流路５３に比べて相対的に大きくなる。これにより、ポンプ室５２内には第１絞り流路５３の方から支配的に駆動液１１が流入する。以上の動作を圧電素子５１が繰り返すことにより、駆動液１１が逆方向に送液されることになる。

結露センサ７は、光検出部４及び後述のマイクロチップ１の被検出部１１１の結露を検出するためのセンサである。

除湿ヒータ８は、光検出部４の近傍を除湿するためのヒータである。

本実施形態においては、光検出部４が結露が発生しないように装置の動作環境を考慮してペルチェ素子３３と光検出部４との相対位置を設定している。例えば、以下のように設定する。装置の動作環境における最高温度及び最高湿度がそれぞれ３５℃、７５％とすると、露点温度は約３０℃となる。ペルチェ素子３３の設定温度を５℃としたときの機内の温度分布を考慮して、温度が３０℃以上になる位置に光検出部４を配置する。ここで、装置の動作環境とは、例えば、取扱説明書の製品仕様に記載されているものである。

また、光検出部４及びマイクロチップ１の被検出部１１１の結露の万一の発生に備えて、結露センサ７及び除湿ヒータ８を設け、結露センサ７により結露が検出された場合に、除湿ヒータ８を作動させ光検出部４及びマイクロチップ１の被検出部１１１の結露を除去する。結露除去後に検出動作を行う。

（マイクロチップの構成）
図３は、本実施形態に係るマイクロチップ１の構成図である。一例の構成を示すものであり、これに限定されない。

図３（ａ）において矢印は、検査装置８０にマイクロチップ１を挿入する挿入方向であり、図３（ａ）は挿入時にマイクロチップ１の下面となる面を図示している。図３（ｂ）はマイクロチップ１の側面図である。

図３（ｂ）に示すように、マイクロチップ１は溝形成基板１０８と、溝形成基板１０８を覆う被覆基板１０９から構成されている。

本実施形態に係るマイクロチップ１には、検体と試薬とをマイクロチップ１上で混合・反応させるための微細流路及び流路エレメントが配設されている。これらの微細流路および流路エレメントによってマイクロチップ１内で行われる処理の一例を図３（ｃ）を用いて説明する。図３（ｃ）は、図３（ａ）において被覆基板１０９が取り外された状態で流路エレメントとその接合状態を模式的に示している。

微細流路には、検体液を収容する検体収容部１２１、試薬を収容する試薬収容部１２０、ポジティブコントロール用の試薬を収容するポジティブコントロール収容部１２２、ネガティブコントロール用の試薬を収容するネガティブコントロール収容部１２３等が設けられている。試薬、ポジティブコントロール及びネガティブコントロールは、予め各収容部に収容されている。ポジティブコントロールは試薬と反応して陽性を示すもので、ネガティブコントロールは試薬と反応して陰性を示すものであり、正確な検査が実施されたか否かを確認するためのものである。

なお、図３（ｃ）は、説明を簡単にするため模式的に示しており、実際は、複数の試薬や希釈用溶液などをチップに収容し、チップ内での試薬の調合などを行わせてもよい。

検体注入部１１３はマイクロチップ１に検体を注入するための注入部であり、駆動液注入部１１０ａ〜１１０ｄはマイクロチップ１に駆動液１１を注入するための注入部である。

まず、マイクロチップ１による検査を行うに先立って、検査担当者は検体を検体注入部１１３から注射器等を用いて注入する。図３（ｃ）に示すように、検体注入部１１３から注入された検体は、連通する微細流路を通って検体収容部１２１に収容される。

次に、検体の注入されたマイクロチップ１は、検査担当者により図１に示す検査装置８０の挿入口８３に挿入され、図２に示すようにセットされる。

次に、図２に示すポンプ５が後述するＣＰＵ９０に指令される所定の手順に従い順方向に駆動され駆動液注入部１１０ａ〜１１０ｄから駆動液１１が注入される。駆動液注入部１１０ａから注入された駆動液１１は、連通する微細流路を通って検体収容部１２１に収容されている検体を押し出し、反応部１２４に検体を送り込む。駆動液注入部１１０ｂから注入された駆動液１１は、連通する微細流路を通ってポジティブコントロール収容部１２２に収容されているポジティブコントロール用の試薬を押し出し、反応部１２５にポジティブコントロールを送り込む。駆動液注入部１１０ｃから注入された駆動液１１は、連通する微細流路を通ってネガティブコントロール収容部１２３に収容されているネガティブコントロール用の試薬を押し出し、反応部１２６にネガティブコントロールを送り込む。駆動液注入部１１０ｄから注入された駆動液１１は、連通する微細流路を通って試薬収容部１２０に収容されている試薬を押し出し、上記の反応部１２４〜１２６に試薬を送り込む。

このようにして、反応部１２４では検体と試薬とが合流し、反応部１２５ではポジティブコントロールと試薬とが合流し、反応部１２６ではネガティブコントロールと試薬とが合流する。

ここで、試薬収容部１２０、検体収容部１２１、ポジティブコントロール収容部１２２及びネガティブコントロール収容部１２３は、検査装置８０のペルチェ素子３３に対向して位置し、変性することのないように冷却される。また、反応部１２４〜１２６は、検査装置８０のヒータ３４に対向して位置し、反応が促進されるよう加熱される。

その後、反応部１２４で合流した検体と試薬との混合液の一部は、被検出部１１１ａに送液される。反応部１２４で合流した検体と試薬との混合液の一部並びに反応部１２５で合流したポジティブコントロールと試薬との混合液の一部は、被検出部１１１ｂに送液される。反応部１２５で合流したポジティブコントロールと試薬との混合液の一部は、被検出部１１１ｃに送液される。反応部１２６で合流したネガティブコントロールと試薬との混合液は、被検出部１１１ｄに送液される。

被検出部の窓１１１ｅ及び被検出部１１１ａ〜１１１ｄは、各混合液の反応を光学的に検出するために設けられており、透明なガラスや樹脂等の材料で構成されている。

（制御構成）
図４は、本実施形態に係るマイクロチップを用いる検査装置の制御構成の要部を示す図である。プログラムに従って検査装置８０の制御を実行するＣＰＵ９０を中心に、バス９１により、ＲＯＭ９２、ＲＡＭ９３、不揮発性メモリ９４、光検出部４、結露センサ７、及び除湿ヒータ８、等が相互に接続されている。なお、本発明の制御に直接関係しない装置構成要素については省略している。

ＲＯＭ９２は、ＣＰＵ９０によって実行される各種制御プログラムやデータ等を記憶する。

ＲＡＭ９３は、ＣＰＵ９０によってワークエリアとして利用され、ＣＰＵ９０が制御を実行する際に必要なプログラムやデータを一時的に記憶する。

不揮発性メモリ９４は、光検出部４による検出結果等を記憶する。

光検出部４、結露センサ７、及び除湿ヒータ８についての説明は、前述したので省略する。

（除湿制御フロー）
図５は、本実施形態に係る除湿制御のフロー図である。除湿制御は、ＲＯＭ９２に記憶されている除湿制御プログラムに基づいてＣＰＵ９０が処理を実行することにより行われる。

まず、ＣＰＵ９０は、結露センサ７の出力を取得し、結露が発生しているか否かを判断する（ステップＳ１１）。

結露が発生していると判断すると（ステップＳ１１；Ｙｅｓ）、ＣＰＵ９０は、除湿ヒータ８をＯＮする（ステップＳ１２）。その後、ステップＳ１１に戻る。

結露が発生していないと判断すると（ステップＳ１１；Ｎｏ）、ＣＰＵ９０は、除湿ヒータ８をＯＦＦする（ステップＳ１３）。その後、ステップＳ１１に戻る。

このように、結露センサ７により結露が検出された場合に、除湿ヒータ８を作動させ光検出部４及びマイクロチップ１の被検出部１１１の結露を除去する。

（光検出制御フロー）
図６は、本実施形態に係る光検出制御のフロー図である。光検出制御は、ＲＯＭ９２に記憶されている光検出制御プログラムに基づいてＣＰＵ９０が処理を実行することにより行われる。

まず、ＣＰＵ９０は、光検出を行うタイミングであるか否かを判断する（ステップＳ２１）。光検出を行うタイミングであると判断すると（ステップＳ２１；Ｙｅｓ）、ＣＰＵ９０は、結露センサ７の出力を取得し結露が発生しているか否かを判断する（ステップＳ２２）。光検出を行うタイミングでないと判断すると（ステップＳ２１；Ｎｏ）、ステップＳ２１に戻り、ＣＰＵ９０は、光検出を行うタイミングになるまで待機する。

次に、結露が発生していないと判断すると（ステップＳ２２；Ｎｏ）、ＣＰＵ９０は、発光部４ａからの光をマイクロチップ１の被検出部１１１に照射し、マイクロチップ１の被検出部１１１を透過した光を受光部４ｂにより検出して光検出処理を行う（ステップＳ２３）。結露が発生していると判断すると（ステップＳ２２；Ｙｅｓ）、ステップＳ２２に戻り、ＣＰＵ９０は、結露が発生しなくなるまで待機する。この待機している間に上述の除湿制御が行われ、結露が除去される。

以上のように、本実施形態によれば、マイクロチップ１を冷却する場合に、結露が発生しないようにペルチェ素子３３と光検出部４との相対位置を設定している為マイクロチップ１の被検出部１１１や検査装置の光検出部４に結露が発生しにくく、また結露が発生したとしても結露を除湿ヒータ８を用いて除去することができるので、精度良い検出を行うことができる。

本実施形態では、冷却部（ペルチェ素子３３）と検出部（光検出部４）との間には特に隔離部材を設けていないが、冷却部と検出部との間を断熱壁や断熱材で隔離することにより、検出部の結露を防止したり、この断熱壁により冷却部と検出部の間隔を近接させて装置サイズを小型化することも有効である。

本実施形態では、除湿手段として除湿ヒータを用いたが、マイクロチップ１の被検出部１１１や検査装置の光検出部４にドライエアー（露点温度が所定温度以下の空気）を吹き付けるドライエアー吹付手段を設けてもよい。このとき、ドライエアーを光検出部４を基点に検査装置内を還流させた後、装置外に排出するようなエアー流を形成することが好ましい。

本実施形態では、結露検出手段として結露センサ７を用いたが、温湿度センサを用いて温湿度を測定して露点温度を演算したり、直接露点温度センサを用いることも可能である。この場合、結露の予測が可能であり結露発生前の結露の発生が高まった時点で除湿手段を作動することができるので、結露を予防でき検出処理を待機させることがない。

本実施形態では、透過光により光検出を行ったが、反射光による光検出ももちろん可能である。

Claims (12)

1. 被検出部及び被冷却部を有するマイクロチップが収容されるマイクロチップ収容部と、前記マイクロチップ収容部に収容されたマイクロチップの前記被検出部に対応して設けられた検出部と、前記マイクロチップ収容部に収容されたマイクロチップの前記被冷却部に対応して設けられた冷却部と、を有するマイクロチップを用いる検査装置において、
   前記検出部が結露しないように前記検出部と前記冷却部との間隔が設定されていることを特徴とするマイクロチップを用いる検査装置。
2. 検査装置の動作環境における最高温度及び最高湿度から得られる露点温度、前記冷却部の温度、及び装置内の温度分布に基づいて前記検出部と前記冷却部との間隔が設定されていることを特徴とする請求の範囲第１項に記載のマイクロチップを用いる検査装置。
3. 被検出部及び被冷却部を有するマイクロチップが収容されるマイクロチップ収容部と、前記マイクロチップ収容部に収容されたマイクロチップの前記被検出部に対応して設けられた検出部と、前記マイクロチップ収容部に収容されたマイクロチップの前記被冷却部に対応して設けられた冷却部と、を有するマイクロチップを用いる検査装置において、
   前記検出部と前記冷却部との間に断熱部材が配置されていることを特徴とするマイクロチップを用いる検査装置。
4. 被検出部及び被冷却部を有するマイクロチップが収容されるマイクロチップ収容部と、前記マイクロチップ収容部に収容されたマイクロチップの前記被検出部に対応して設けられた検出部と、前記マイクロチップ収容部に収容されたマイクロチップの前記被冷却部に対応して設けられた冷却部と、を有するマイクロチップを用いる検査装置において、
   除湿手段を有することを特徴とするマイクロチップを用いる検査装置。
5. 前記除湿手段は、前記検出部の近傍に作用させることを特徴とする請求の範囲第４項に記載のマイクロチップを用いる検査装置。
6. 前記除湿手段は、除湿ヒータであることを特徴とする請求の範囲第４項又は第５項に記載のマイクロチップを用いる検査装置。
7. 前記除湿手段は、前記検出部の近傍にドライエアを吹き付けるドライエア吹付手段であることを特徴とする請求の範囲第４項又は第５項に記載のマイクロチップを用いる検査装置。
8. 前記検出部の結露状態を検出する結露検出手段と、
   前記結露検出手段の出力に基づき、前記除湿手段を作動させる制御手段と、
   を有することを特徴とする請求の範囲第７項に記載のマイクロチップを用いる検査装置。
9. 前記制御手段は、前記除湿手段を作動させることにより、前記結露検出手段により結露が検出されなくなった場合、前記検出部による検出を実行させることを特徴とする請求の範囲第８項に記載のマイクロチップを用いる検査装置。
10. 前記結露検出手段は、結露センサであることを特徴とする請求の範囲第８項又は第９項に記載のマイクロチップを用いる検査装置。
11. 前記結露検出手段は、温湿度センサ又は露点温度センサであることを特徴とする請求の範囲第８項又は第９項に記載のマイクロチップを用いる検査装置。
12. 被検出部及び被冷却部が設けられたマイクロチップと、
    前記マイクロチップが収容されるマイクロチップ収容部と、
    前記マイクロチップ収容部に収容されたマイクロチップの前記被検出部に対応して設けられた検出部と、
    前記マイクロチップ収容部に収容されたマイクロチップの前記被冷却部に対応して設けられた冷却部と、
    を有するマイクロチップを用いる検査システムにおいて、
    前記マイクロチップの被検出部が結露しないように、前記マイクロチップの被検出部と被冷却部との間隔が設定されていることを特徴とするマイクロチップを用いる検査システム。