WO2007105391A1

WO2007105391A1 - マイクロチップを用いる検査装置及びマイクロチップを用いる検査システム

Info

Publication number: WO2007105391A1
Application number: PCT/JP2007/052224
Authority: WO
Inventors: Tsuneo Sawazumi; Mitsuharu Kitamura; Yuushi Nobumoto
Original assignee: Konica Minolta Medical & Graphic, Inc.
Priority date: 2006-03-13
Filing date: 2007-02-08
Publication date: 2007-09-20
Also published as: JPWO2007105391A1; JP5176952B2

Abstract

　本発明は、マイクロチップを冷却する場合に、マイクロチップの被検出部や検査装置の光検出部に結露が発生しにくく、また結露が発生したとしても結露を除去して、精度良い検出を行うことのできるマイクロチップを用いる検査装置を提供する。この解決手段として被検出部及び被冷却部を有するマイクロチップが収容されるマイクロチップ収容部と、マイクロチップ収容部に収容されたマイクロチップの被検出部に対応して設けられた検出部と、マイクロチップ収容部に収容されたマイクロチップの被冷却部に対応して設けられた冷却部と、を有するマイクロチップを用いる検査装置において、検出部が結露しないように検出部と冷却部との間隔を設定している。

Description

明細書

マイクロチップを用いる検査装置及びマイクロチップを用いる検査システム技術分野

[0001] 本発明は、マイクロチップを用いる検査装置及びマイクロチップを用いる検査システムに関する。

背景技術

[0002] 近年、微細流路が集積加工されたマイクロチップ上にぉヽて、複数の溶液を混合して反応させ、当該反応の状態を検出して分析を行うマイクロ総合分析システム（Micr o Total Analysis System; TAS)が注目されている。

[0003] μ TASでは、試料の量が少な、、反応時間が短!、、廃棄物が少な!/、等のメリットがある。医療分野に使用した場合、検体 (血液、尿、拭い液等)の量を少なくすることで患者への負担を軽減でき、試薬の量を少なくすることで検査のコストを下げることができる。また、検体、試薬の量が少ないことから、反応時間が大幅に短縮され、検査の効率ィ匕が図れる。さらに、装置が小型であるため小さな医療機関にも設置することができ、場所を選ばず迅速に検査を行うことができる。

[0004] マイクロチップを用いる検査では、試薬の冷却、検体と試薬との反応促進のための加熱等を行うために、マイクロチップの温度調節を行うことが多、。

[0005] 特許文献 1には、マイクロチップにおける複数の領域のそれぞれを温度調節するマイク口チップ用温度調節器が記載されて、る。

[0006] また、マイクロチップ上の反応を検出する方法として、マイクロチップの反応部に光を照射し、その透過光や反射光を検出する方法が知られて、る。

[0007] 特許文献 2には、マイクロチップ上の反応検出流路 (被検出部）に光を照射し、反応検出流路からの光を受光することにより反応検出流路の反応状態の検出を行う検査装置が記載されている。

特許文献 1：特開 2005— 214782号公報

特許文献 2 :特開 2003— 4752号公報発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0008] マイクロチップを冷却する場合に、冷却部分の近傍にマイクロチップの被検出部や検査装置の光検出部が存在していると、当該被検出部や光検出部に結露が生じ易くなる。結露が生じると検出値が変化し、誤った検査結果を出力してしまう可能性がある。

[0009] 本発明は、以上のような問題に鑑みてなされたものであり、マイクロチップを冷却する場合に、マイクロチップの被検出部や検査装置の光検出部に結露が発生しにくぐまた結露が発生したとしても結露を除去して、精度良、検出を行うことのできるマイク口チップを用いる検査装置及びマイクロチップを用いる検査システムを提供することを目的としている。

課題を解決するための手段

[0010] 本発明のマイクロチップを用いる検査装置は、被検出部及び被冷却部を有するマイク口チップが収容されるマイクロチップ収容部と、前記マイクロチップ収容部に収容されたマイクロチップの前記被検出部に対応して設けられた検出部と、前記マイクロチップ収容部に収容されたマイクロチップの前記被冷却部に対応して設けられた冷却部と、を有するマイクロチップを用いる検査装置において、前記検出部が結露しな

V、ように前記検出部と前記冷却部との間隔が設定されて!、ることを特徴として、る。

[0011] また、本発明のマイクロチップを用いる検査装置は、被検出部及び被冷却部を有するマイクロチップが収容されるマイクロチップ収容部と、前記マイクロチップ収容部に収容されたマイクロチップの前記被検出部に対応して設けられた検出部と、前記マイク口チップ収容部に収容されたマイクロチップの前記被冷却部に対応して設けられた冷却部と、を有するマイクロチップを用いる検査装置において、前記検出部と前記冷却部との間に断熱部材が配置されて、ることを特徴として、る。

[0012] また、本発明のマイクロチップを用いる検査装置は、被検出部及び被冷却部を有するマイクロチップが収容されるマイクロチップ収容部と、前記マイクロチップ収容部に収容されたマイクロチップの前記被検出部に対応して設けられた検出部と、前記マイク口チップ収容部に収容されたマイクロチップの前記被冷却部に対応して設けられた冷却部と、を有するマイクロチップを用いる検査装置において、除湿手段を有することを特徴としている。

[0013] 本発明のマイクロチップを用いる検査システムは、被検出部及び被冷却部が設けられたマイクロチップと、前記マイクロチップが収容されるマイクロチップ収容部と、前記マイクロチップ収容部に収容されたマイクロチップの前記被検出部に対応して設けられた検出部と、前記マイクロチップ収容部に収容されたマイクロチップの前記被冷却部に対応して設けられた冷却部と、を有するマイクロチップを用いる検査システムにおいて、前記マイクロチップの被検出部が結露しないように、前記マイクロチップの被検出部と被冷却部との間隔が設定されていることを特徴としている。

発明の効果

[0014] 本発明によれば、マイクロチップを冷却する場合に、結露が発生しな!、ように冷却部と検出部との相対位置を設定している為マイクロチップの被検出部や検査装置の検出部に結露が発生しにくぐまた結露が発生したとしても結露を除湿手段を用いて除去することができるので、精度良い検出を行うことができる。

図面の簡単な説明

[0015] [図 1]本実施形態に係るマイクロチップを用いる検査装置の外観図である。

[図 2]本実施形態に係るマイクロチップを用いる検査装置の構成図である。

[図 3]本実施形態に係るマイクロチップの構成図である。

[図 4]本実施形態に係るマイクロチップを用いる検査装置の制御構成の要部を示す図である。

[図 5]本実施形態に係る除湿制御のフロー図である。

[図 6]本実施形態に係る光検出制御のフロー図である。

符号の説明

[0016] 1 マイクロチップ

4 光検出部

7 結露センサ

8 除湿ヒータ

32 ペルチェ素子 80 検査装置

111 被検出部

120 試薬収容部

121 検体収容部

122 ポジティブコントロール収容部

123 ネガティブコントロール収容部

発明を実施するための最良の形態

[0017] 本実施形態では、一例として、特定 DNAの反応を検出する DNAチップのように、検体と試薬とをマイクロチップ上で反応させる場合について示すが、これに限られず

、少なくとも 2種類の流体をマイクロチップ上で混合させる場合に適用することができる。

[0018] (装置構成）

図 1は、本実施形態に係るマイクロチップを用いる検査装置 80の外観図である。検查装置 80は、マイクロチップ 1に予め注入された検体と試薬とを自動的に反応させ、反応結果を自動的に出力する装置である。

[0019] 検査装置 80の筐体 82には、マイクロチップ 1を装置内部に挿入するための揷入口 83、表示部 84、メモリカードスロット 85、プリント出力口 86、操作パネル 87、外部入出力端子 88が設けられている。

[0020] 検査担当者は、図 1の矢印方向にマイクロチップ 1を挿入し、操作パネル 87を操作して検査を開始させる。検査装置 80の内部では、マイクロチップ 1内の反応の検査が自動的に行われ、検査が終了すると表示部 84に結果が表示される。検査結果は操作パネル 87の操作により、プリント出力口 86よりプリントを出力したり、メモリカードスロット 85に挿入されたメモリカードに記憶することができる。また、外部入出力端子 88 力例えば LANケーブルを使って、パソコンなどにデータを保存することができる。検査終了後、検査担当者はマイクロチップ 1を挿入口 83から取り出す。

[0021] 図 2は、本実施形態に係るマイクロチップを用いる検査装置 80の構成図である。図 2においては、マイクロチップが図 1に示す揷入口 83から挿入され、セットが完了している状態を示している。 [0022] 検査装置 80は、マイクロチップ 1に予め注入された検体及び試薬を送液するための駆動液 11を貯留する駆動液タンク 10、マイクロチップ 1に駆動液 11を供給するためのポンプ 5、ポンプ 5とマイクロチップ 1とを駆動液 11が漏れな!/、ように接続するパッキン 6、マイクロチップ 1の必要部分を温調する温度調節ユニット 3、マイクロチップ 1をずれないようにパッキン 6に密着させるためのチップ押圧板 2、チップ押圧板 2を昇降させるための押圧板駆動部 32、マイクロチップ 1をポンプ 5に対して精度良く位置決めする規制部材 31、マイクロチップ 1内の検体と試薬との反応状態等を検出する光検出部 4、光検出部 4近傍に設けられた結露センサ 7及び除湿ヒータ 8、等を備えている。

[0023] チップ押圧板 2は、初期状態においては、図 2に示す位置より上方に退避している。これにより、マイクロチップ 1は矢印 X方向に挿抜可能であり、検査担当者は挿入口 83 (図 1参照)から規制部材 31に当接するまでマイクロチップ 1を挿入する。その後、チップ押圧板 2は、押圧板駆動部 32により下降してマイクロチップ 1に当接し、マイク口チップ 1の下面が温度調節ユニット 3及びパッキン 6に密着される。

[0024] 温度調節ユニット 3は、マイクロチップ 1の必要部分を温調するもので、ペルチェ素子 33及びヒータ 34を備えて、る。試薬が収容されて、る部分をペルチェ素子 33で冷却して試薬が変性しな!ヽようにしたり、検体と試薬とが反応する部分をヒータ 34で加熱して反応を促進させたりする。

[0025] 光検出部 4は、発光部 4a及び受光部 4bから構成され、発光部 4aからの光をマイク口チップ 1に照射し、マイクロチップ 1を透過した光を受光部 4bにより検出する。受光部 4bはチップ押圧板 2の内部に一体的に設けられて、る。発光部 4a及び受光部 4b は、後述のマイクロチップ 1の被検出部 11 la〜： L 1 Idのそれぞれに対向するように複数設けられている。

[0026] ポンプ 5は、ポンプ室 52、ポンプ室 52の容積を変化させる圧電素子 51、ポンプ室 5 2のマイクロチップ 1側に位置する第 1絞り流路 53、ポンプ室の駆動液タンク 10側に位置する第 2絞り流路 54、等から構成されている。第 1絞り流路 53及び第 2絞り流路 54は絞られた狭い流路となっており、また、第 1絞り流路 53は第 2絞り流路 54よりも長い流路となっている。 [0027] 駆動液 11を順方向（マイクロチップ 1に向力方向）に送液する場合には、まず、ポンプ室 52の容積を急激に減少させるように圧電素子 51を駆動する。そうすると、短い絞り流路である第 2絞り流路 54において乱流が発生し、第 2絞り流路 54における流路抵抗が長い絞り流路である第 1絞り流路 53に比べて相対的に大きくなる。これにより、ポンプ室 52内の駆動液 11は、第 1絞り流路 53の方に支配的に押し出され送液される。次に、ポンプ室 52の容積を緩やかに増力！]させるように圧電素子 51を駆動する。そうすると、ポンプ室 52内の容積増加に伴って駆動液 11が第 1絞り流路 53及び第 2絞り流路 54から流れ込む。このとき、第 2絞り流路 54の方が第 1絞り流路 53と比べて長さが短いので、第 2絞り流路 54の方が第 1絞り流路 53と比べて流路抵抗が小さくなり、ポンプ室 52内には第 2絞り流路 54の方力も支配的に駆動液 11が流入する。以上の動作を圧電素子 51が繰り返すことにより、駆動液 11が順方向に送液されることになる。

[0028] 一方、駆動液 11を逆方向（駆動液タンク 10に向力う方向）に送液する場合には、まず、ポンプ室 52の容積を緩やかに減少させるように圧電素子 51を駆動する。そうすると、第 2絞り流路 54の方が第 1絞り流路 53と比べて長さが短いので、第 2絞り流路 5 4の方が第 1絞り流路 53と比べて流路抵抗が小さくなる。これにより、ポンプ室 52内の駆動液 11は、第 2絞り流路 54の方に支配的に押し出され送液される。次に、ボンプ室 52の容積を急激に増力！]させるように圧電素子 51を駆動する。そうすると、ポンプ室 52内の容積増加に伴って駆動液 11が第 1絞り流路 53及び第 2絞り流路 54から流れ込む。このとき、短い絞り流路である第 2絞り流路 54において乱流が発生し、第 2 絞り流路 54における流路抵抗が長い絞り流路である第 1絞り流路 53に比べて相対的に大きくなる。これにより、ポンプ室 52内には第 1絞り流路 53の方力も支配的に駆動液 11が流入する。以上の動作を圧電素子 51が繰り返すことにより、駆動液 11が逆方向に送液されることになる。

[0029] 結露センサ 7は、光検出部 4及び後述のマイクロチップ 1の被検出部 111の結露を検出するためのセンサである。

[0030] 除湿ヒータ 8は、光検出部 4の近傍を除湿するためのヒータである。

[0031] 本実施形態にぉ、ては、光検出部 4が結露が発生しな、ように装置の動作環境を考慮してペルチェ素子 33と光検出部 4との相対位置を設定している。例えば、以下のように設定する。装置の動作環境における最高温度及び最高湿度がそれぞれ 35 。C、 75%とすると、露点温度は約 30°Cとなる。ペルチェ素子 33の設定温度を 5°Cとしたときの機内の温度分布を考慮して、温度が 30°C以上になる位置に光検出部 4を配置する。ここで、装置の動作環境とは、例えば、取扱説明書の製品仕様に記載されているものである。

[0032] また、光検出部 4及びマイクロチップ 1の被検出部 111の結露の万一の発生に備えて、結露センサ 7及び除湿ヒータ 8を設け、結露センサ 7により結露が検出された場合に、除湿ヒータ 8を作動させ光検出部 4及びマイクロチップ 1の被検出部 111の結露を除去する。結露除去後に検出動作を行う。

[0033] (マイクロチップの構成）

図 3は、本実施形態に係るマイクロチップ 1の構成図である。一例の構成を示すものであり、これに限定されない。

[0034] 図 3 (a)において矢印は、検査装置 80にマイクロチップ 1を挿入する挿入方向であり、図 3 (a)は挿入時にマイクロチップ 1の下面となる面を図示している。図 3 (b)はマイク口チップ 1の側面図である。

[0035] 図 3 (b)に示すように、マイクロチップ 1は溝形成基板 108と、溝形成基板 108を覆う被覆基板 109から構成されて、る。

[0036] 本実施形態に係るマイクロチップ 1には、検体と試薬とをマイクロチップ 1上で混合' 反応させるための微細流路及び流路エレメントが配設されて、る。これらの微細流路および流路エレメントによってマイクロチップ 1内で行われる処理の一例を図 3 (c)を用いて説明する。図 3 (c)は、図 3 (a)において被覆基板 109が取り外された状態で流路エレメントとその接合状態を模式的に示している。

[0037] 微細流路には、検体液を収容する検体収容部 121、試薬を収容する試薬収容部 1 20、ポジティブコントロール用の試薬を収容するポジティブコントロール収容部 122、ネガティブコントロール用の試薬を収容するネガティブコントロール収容部 123等が設けられている。試薬、ポジティブコントロール及びネガティブコントロールは、予め各収容部に収容されている。ポジティブコントロールは試薬と反応して陽性を示すもので、ネガティブコントロールは試薬と反応して陰性を示すものであり、正確な検査が実施された力否かを確認するためのものである。

[0038] なお、図 3 (c)は、説明を簡単にするため模式的に示しており、実際は、複数の試薬や希釈用溶液などをチップに収容し、チップ内での試薬の調合などを行わせてもよい。

[0039] 検体注入部 113はマイクロチップ 1に検体を注入するための注入部であり、駆動液注入部 110a〜l 10dはマイクロチップ 1に駆動液 11を注入するための注入部である

[0040] まず、マイクロチップ 1による検査を行うに先立って、検査担当者は検体を検体注入部 113から注射器等を用いて注入する。図 3 (c)に示すように、検体注入部 113から注入された検体は、連通する微細流路を通って検体収容部 121に収容される。

[0041] 次に、検体の注入されたマイクロチップ 1は、検査担当者により図 1に示す検査装置 80の挿入口 83に挿入され、図 2に示すようにセットされる。

[0042] 次に、図 2に示すポンプ 5が後述する CPU90に指令される所定の手順に従い順方向に駆動され駆動液注入部 110a〜l 10dから駆動液 11が注入される。駆動液注入部 11 Oaから注入された駆動液 11は、連通する微細流路を通って検体収容部 121に収容されている検体を押し出し、反応部 124に検体を送り込む。駆動液注入部 110b 力注入された駆動液 11は、連通する微細流路を通ってポジティブコントロール収容部 122に収容されて、るポジティブコントロール用の試薬を押し出し、反応部 125 にポジティブコントロールを送り込む。駆動液注入部 110cから注入された駆動液 11 は、連通する微細流路を通ってネガティブコントロール収容部 123に収容されて、るネガティブコントロール用の試薬を押し出し、反応部 126にネガティブコントロールを送り込む。駆動液注入部 l lOdから注入された駆動液 11は、連通する微細流路を通つて試薬収容部 120に収容されて、る試薬を押し出し、上記の反応部 124〜 126に試薬を送り込む。

[0043] このようにして、反応部 124では検体と試薬とが合流し、反応部 125ではポジティブコントロールと試薬とが合流し、反応部 126ではネガティブコントロールと試薬とが合流する。 [0044] ここで、試薬収容部 120、検体収容部 121、ポジティブコントロール収容部 122及びネガティブコントロール収容部 123は、検査装置 80のペルチェ素子 33に対向して位置し、変性することのないように冷却される。また、反応部 124〜126は、検査装置 80のヒータ 34に対向して位置し、反応が促進されるよう加熱される。

[0045] その後、反応部 124で合流した検体と試薬との混合液の一部は、被検出部 111a に送液される。反応部 124で合流した検体と試薬との混合液の一部並びに反応部 1 25で合流したポジティブコントロールと試薬との混合液の一部は、被検出部 11 lbに送液される。反応部 125で合流したポジティブコントロールと試薬との混合液の一部は、被検出部 111cに送液される。反応部 126で合流したネガティブコントロールと試薬との混合液は、被検出部 11 Idに送液される。

[0046] 被検出部の窓 1 l ie及び被検出部 11 la〜l l idは、各混合液の反応を光学的に検出するために設けられており、透明なガラスゃ榭脂等の材料で構成されている。

[0047] (制御構成）

図 4は、本実施形態に係るマイクロチップを用いる検査装置の制御構成の要部を示す図である。プログラムに従って検査装置 80の制御を実行する CPU90を中心に、ノス 91により、 ROM92、 RAM93、不揮発性メモリ 94、光検出部 4、結露センサ 7、及び除湿ヒータ 8、等が相互に接続されている。なお、本発明の制御に直接関係しな V、装置構成要素につ、ては省略して、る。

[0048] ROM92は、 CPU90によって実行される各種制御プログラムやデータ等を記憶する。

[0049] RAM93は、 CPU90によってワークエリアとして利用され、 CPU90が制御を実行する際に必要なプログラムやデータを一時的に記憶する。

[0050] 不揮発性メモリ 94は、光検出部 4による検出結果等を記憶する。

[0051] 光検出部 4、結露センサ 7、及び除湿ヒータ 8についての説明は、前述したので省略する。

[0052] (除湿制御フロー）

図 5は、本実施形態に係る除湿制御のフロー図である。除湿制御は、 ROM92に記憶されている除湿制御プログラムに基づいて CPU90が処理を実行することにより行われる。

[0053] まず、 CPU90は、結露センサ 7の出力を取得し、結露が発生しているか否かを判断する (ステップ S 11)。

[0054] 結露が発生していると判断すると (ステップ S11； Yes)、 CPU90は、除湿ヒータ 8を

ONする（ステップ S 12)。その後、ステップ S 11に戻る。

[0055] 結露が発生していないと判断すると (ステップ Sl l ;No)、 CPU90は、除湿ヒータ 8 を OFFする（ステップ S 13)。その後、ステップ S 11に戻る。

[0056] このように、結露センサ 7により結露が検出された場合に、除湿ヒータ 8を作動させ光検出部 4及びマイクロチップ 1の被検出部 111の結露を除去する。

[0057] (光検出制御フロー）

図 6は、本実施形態に係る光検出制御のフロー図である。光検出制御は、 ROM92 に記憶されている光検出制御プログラムに基づいて CPU90が処理を実行することにより行われる。

[0058] まず、 CPU90は、光検出を行うタイミングである力否かを判断する (ステップ S21)。

光検出を行うタイミングであると判断すると (ステップ S21 ; Yes)、 CPU90は、結露センサ 7の出力を取得し結露が発生している力否かを判断する (ステップ S22)。光検出を行うタイミングでないと判断すると（ステップ S21 ;No)、ステップ S21に戻り、 CPU9 0は、光検出を行うタイミングになるまで待機する。

[0059] 次に、結露が発生していないと判断すると (ステップ S22 ;No)、 CPU90は、発光部 4aからの光をマイクロチップ 1の被検出部 111に照射し、マイクロチップ 1の被検出部 111を透過した光を受光部 4bにより検出して光検出処理を行う (ステップ S23)。結露が発生していると判断すると (ステップ S22 ; Yes)、ステップ S22に戻り、 CPU9 0は、結露が発生しなくなるまで待機する。この待機している間に上述の除湿制御が行われ、結露が除去される。

[0060] 以上のように、本実施形態によれば、マイクロチップ 1を冷却する場合に、結露が発生しな、ようにペルチェ素子 33と光検出部 4との相対位置を設定して、る為マイクロチップ 1の被検出部 111や検査装置の光検出部 4に結露が発生しにくぐまた結露が発生したとしても結露を除湿ヒータ 8を用いて除去することができるので、精度良い検出を行うことができる。

[0061] 本実施形態では、冷却部（ペルチェ素子 33)と検出部（光検出部 4)との間には特に隔離部材を設けて、な、が、冷却部と検出部との間を断熱壁や断熱材で隔離することにより、検出部の結露を防止したり、この断熱壁により冷却部と検出部の間隔を近接させて装置サイズを小型化することも有効である。

[0062] 本実施形態では、除湿手段として除湿ヒータを用いた力マイクロチップ 1の被検出部 111や検査装置の光検出部 4にドライエアー (露点温度が所定温度以下の空気）を吹き付けるドライエアー吹付手段を設けてもよい。このとき、ドライエアーを光検出部 4を基点に検査装置内を還流させた後、装置外に排出するようなエアー流を形成することが好ましい。

[0063] 本実施形態では、結露検出手段として結露センサ 7を用いたが、温湿度センサを用 V、て温湿度を測定して露点温度を演算したり、直接露点温度センサを用いることも可能である。この場合、結露の予測が可能であり結露発生前の結露の発生が高まった時点で除湿手段を作動することができるので、結露を予防でき検出処理を待機させることがない。

[0064] 本実施形態では、透過光により光検出を行ったが、反射光による光検出ももちろん可能である。

Claims

請求の範囲

[1] 被検出部及び被冷却部を有するマイクロチップが収容されるマイクロチップ収容部と

、前記マイクロチップ収容部に収容されたマイクロチップの前記被検出部に対応して設けられた検出部と、前記マイクロチップ収容部に収容されたマイクロチップの前記被冷却部に対応して設けられた冷却部と、を有するマイクロチップを用いる検査装置において、

前記検出部が結露しないように前記検出部と前記冷却部との間隔が設定されていることを特徴とするマイクロチップを用いる検査装置。

[2] 検査装置の動作環境における最高温度及び最高湿度から得られる露点温度、前記冷却部の温度、及び装置内の温度分布に基づ!、て前記検出部と前記冷却部との間隔が設定されていることを特徴とする請求の範囲第 1項に記載のマイクロチップを用いる検査装置。

[3] 被検出部及び被冷却部を有するマイクロチップが収容されるマイクロチップ収容部と、前記マイクロチップ収容部に収容されたマイクロチップの前記被検出部に対応して設けられた検出部と、前記マイクロチップ収容部に収容されたマイクロチップの前記被冷却部に対応して設けられた冷却部と、を有するマイクロチップを用いる検査装置において、

前記検出部と前記冷却部との間に断熱部材が配置されていることを特徴とするマイク口チップを用いる検査装置。

[4] 被検出部及び被冷却部を有するマイクロチップが収容されるマイクロチップ収容部と、前記マイクロチップ収容部に収容されたマイクロチップの前記被検出部に対応して設けられた検出部と、前記マイクロチップ収容部に収容されたマイクロチップの前記被冷却部に対応して設けられた冷却部と、を有するマイクロチップを用いる検査装置において、

除湿手段を有することを特徴とするマイクロチップを用いる検査装置。

[5] 前記除湿手段は、前記検出部の近傍に作用させることを特徴とする請求の範囲第 4 項に記載のマイクロチップを用いる検査装置。

[6] 前記除湿手段は、除湿ヒータであることを特徴とする請求の範囲第 4項又は第 5項に記載のマイクロチップを用いる検査装置。

[7] 前記除湿手段は、前記検出部の近傍にドライエアを吹き付けるドライエア吹付手段であることを特徴とする請求の範囲第 4項又は第 5項に記載のマイクロチップを用いる検査装置。

[8] 前記検出部の結露状態を検出する結露検出手段と、

前記結露検出手段の出力に基づき、前記除湿手段を作動させる制御手段と、を有することを特徴とする請求の範囲第 7項に記載のマイクロチップを用いる検査装置。

[9] 前記制御手段は、前記除湿手段を作動させることにより、前記結露検出手段により結露が検出されなくなった場合、前記検出部による検出を実行させることを特徴とする請求の範囲第 8項に記載のマイクロチップを用いる検査装置。

[10] 前記結露検出手段は、結露センサであることを特徴とする請求の範囲第 8項又は第 9 項に記載のマイクロチップを用いる検査装置。

[11] 前記結露検出手段は、温湿度センサ又は露点温度センサであることを特徴とする請求の範囲第 8項又は第 9項に記載のマイクロチップを用いる検査装置。

[12] 被検出部及び被冷却部が設けられたマイクロチップと、

前記マイクロチップが収容されるマイクロチップ収容部と、

前記マイクロチップ収容部に収容されたマイクロチップの前記被検出部に対応して設けられた検出部と、

前記マイクロチップ収容部に収容されたマイクロチップの前記被冷却部に対応して設けられた冷却部と、

を有するマイクロチップを用いる検査システムにお、て、

前記マイクロチップの被検出部が結露しないように、前記マイクロチップの被検出部と被冷却部との間隔が設定されていることを特徴とするマイクロチップを用いる検査システム。