JPWO2006075760A1 - 変調機能付光源装置とその駆動方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 31
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 132
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 76
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 30
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 24
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000000654 additive Substances 0.000 claims description 3
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 2
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 41
- 238000005086 pumping Methods 0.000 abstract 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 26
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 17
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 10
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 4
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 4
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 4
- 102000034287 fluorescent proteins Human genes 0.000 description 3
- 108091006047 fluorescent proteins Proteins 0.000 description 3
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000007850 fluorescent dye Substances 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 2
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 2
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 2
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 230000008033 biological extinction Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000002073 fluorescence micrograph Methods 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 102000004169 proteins and genes Human genes 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/35—Non-linear optics
- G02F1/353—Frequency conversion, i.e. wherein a light beam is generated with frequency components different from those of the incident light beams
- G02F1/3534—Three-wave interaction, e.g. sum-difference frequency generation
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/10—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void
- G01J1/20—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void intensity of the measured or reference value being varied to equalise their effects at the detectors, e.g. by varying incidence angle
- G01J1/28—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void intensity of the measured or reference value being varied to equalise their effects at the detectors, e.g. by varying incidence angle using variation of intensity or distance of source
- G01J1/30—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void intensity of the measured or reference value being varied to equalise their effects at the detectors, e.g. by varying incidence angle using variation of intensity or distance of source using electric radiation detectors
- G01J1/32—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void intensity of the measured or reference value being varied to equalise their effects at the detectors, e.g. by varying incidence angle using variation of intensity or distance of source using electric radiation detectors adapted for automatic variation of the measured or reference value
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/10—Arrangements of light sources specially adapted for spectrometry or colorimetry
- G01J3/108—Arrangements of light sources specially adapted for spectrometry or colorimetry for measurement in the infrared range
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/42—Absorption spectrometry; Double beam spectrometry; Flicker spectrometry; Reflection spectrometry
- G01J3/433—Modulation spectrometry; Derivative spectrometry
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B2006/12083—Constructional arrangements
- G02B2006/12097—Ridge, rib or the like
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/005—Optical components external to the laser cavity, specially adapted therefor, e.g. for homogenisation or merging of the beams or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/005—Optical components external to the laser cavity, specially adapted therefor, e.g. for homogenisation or merging of the beams or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
- H01S5/0078—Optical components external to the laser cavity, specially adapted therefor, e.g. for homogenisation or merging of the beams or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping for frequency filtering
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/005—Optical components external to the laser cavity, specially adapted therefor, e.g. for homogenisation or merging of the beams or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
- H01S5/0092—Optical components external to the laser cavity, specially adapted therefor, e.g. for homogenisation or merging of the beams or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping for nonlinear frequency conversion, e.g. second harmonic generation [SHG] or sum- or difference-frequency generation outside the laser cavity
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/40—Arrangement of two or more semiconductor lasers, not provided for in groups H01S5/02 - H01S5/30
- H01S5/4012—Beam combining, e.g. by the use of fibres, gratings, polarisers, prisms
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- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
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- H01S5/4025—Array arrangements, e.g. constituted by discrete laser diodes or laser bar
- H01S5/4087—Array arrangements, e.g. constituted by discrete laser diodes or laser bar emitting more than one wavelength
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
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Abstract
Description
実施例1においては、非線光学形材料としてLiNbO3を用いた波長変換素子モジュールを作製し、FBGを備えて波長を安定化した1.064μm半導体レーザと、1.32μm帯波長可変レーザを励起光源として用いることによって波長変換光を出力する変調機能付光源装置を作製する。
実施例2では、実施例1と同じ構成の変調機能付光源装置を用いる。ここでは、パルス駆動電源77の駆動条件を限定して用いる。
図9に、FBG73の直後にアイソレータ81を備えた変調機能付光源装置を示す。波長変換素子モジュール75の入力側ファイバと、1.06/1.32μmWDMカップラ74の出力ファイバとを融着接続する。次に、WDMカップラ74の1.06μm入力ファイバ70aにアイソレータ81を融着する。さらに、アイソレータ81にFBG73を融着接続し、FBG73と1.064μm帯半導体レーザ71とを融着接続する。ここで、FBG73は、1.064μm帯半導体レーザ71の外部に位置する。さらに、WDMカップラ74の1.32μm入力ファイバ70bに1.32μmDFBレーザ72の出力ファイバを融着接続する。1.064μm帯半導体レーザ71には、温度制御装置76とパルス駆動電源77とを結線路80a、80bを介して接続し、1.32μm帯DFBレーザ72には、温度制御装置78とDC駆動電源79とを結線路80c、80dを介して接続することによって変調機能付光源装置は完成する。実施例1及び2の構成においては、使用環境温度等の変化によって装置の状態が変化することにより、反射戻り光の影響が変化し、1.064μm帯半導体レーザの動作が不安定となる。そこで、FBG73の直後にアイソレータ81を用いることで、1.064μm帯半導体レーザの動作を時間的にも安定に使用することができる。
図10に、FBG73に温度制御機能91を付加した変調機能付光源装置を示す。波長変換素子モジュール75の入力側ファイバと、1.06/1.32μmWDMカップラ74の出力ファイバとを融着接続する。次に、WDMカップラ74の1.06μm入力ファイバ70aにアイソレータ81を融着する。さらに、アイソレータ81にFBG73を融着接続し、FBG73と1.064μm帯半導体レーザ71とを融着接続する。また、FBG73に結線路90を融着し、結線路90により、FBG73と温度制御装置91とを接続する。ここで、FBG73は、1.064μm帯半導体レーザ71の外部に位置する。さらに、WDMカップラ74の1.32μm入力ファイバ70bに1.32μmDFBレーザ72の出力ファイバを融着接続する。1.064μm帯半導体レーザ71には、温度制御装置76とパルス駆動電源77とを結線路80a、80bを介して接続し、1.32μm帯DFBレーザ72には、温度制御装置78とDC駆動電源79とを結線路80c、80dを介して接続することによって変調機能付光源装置は完成する。実施例1、2及び3の構成においては、使用環境温度が安定していることを前提とし、FBG73に関して温度制御をしない場合について述べてきた。しかし、1日の間に使用環境温度が大きく変化するような場所での使用も考えられる。そのような場合には、励起光の発振波長が変化し、それにより変換光の波長も変化することが問題となる。そこで、FBG73に温度制御機能91を付加する。これにより、変調機能付光源装置は、使用環境温度が10℃から45℃まで変化したとしても、その特性は全く変化することなく使用することができる。実施例4では、アイソレータ81を用いた例を示したが、仕様によってはアイソレータ81のない構成で使用できることは言うまでもない。
実施例5では、実施例1と同じ構成の変調機能付光源装置を用い、図6の1.064μm帯半導体レーザ71のFBG側端面の反射率を1%以下にした時の変調動作を示す。1.064μm帯半導体レーザ71のFBG側端面の反射率が1%以上残留していると、1.064μm帯半導体レーザ71の両側端面とFBG73の3つの反射が存在することになり、複合共振器が構成される。このような複合共振器が存在すると、レーザ波長及びレーザ強度が不安定となり、電流−光出力特性でキンクが発生する。このような不安定動作を避けるために、1.064μm帯半導体レーザ71のFBG側端面の反射率を1%以下にし、1.064μm帯半導体レーザ71のFBG73と接続されていない側の端面とFBG73とで共振器を構成したレーザを実現した。この時、FBG73の反射率は15%で、また、その反射スペクトラムの半値全幅は20pmで、1.064μm帯半導体レーザ71から約1mの場所に設置した。この1.064μm帯半導体レーザ71とFBG73とから成るレーザでは、縦モード間隔は、約100MHzとなり、FBG73の半値全幅より十分狭い。したがって、縦モードはマルチモードで発振し、外部からの戻り光が存在しても安定した発振が可能となる。なお、FBG73の反射率は、5%以上である事が好ましいが、その一方、高すぎると出力低下を起こしたり、図7Aのようにキンク位置で大きな出力変動が生じる。
図16に、本発明の出力光強度が一定になるようにFBG付レーザの駆動電流にフィードバックをかけた変調機能付光源装置の構成を示す。この実施例6は、実施例1の構成に、ビームサンプラ1201、フォトディテクタ1202、比較期1203、パルス駆動電源1205をさらに備えている。ビームサンプラ1201は、波長変換素子モジュール75から出力されるレーザ光の光路に設置され、波長変換素子モジュール75及びフォトディテクタ1202と光学的に接続されている。フォトディテクタ1202は、検出した光強度を電気信号に変換し、その電気信号を比較器1203に送信することができるように比較器1203に電気的に接続されている。この比較器1203は、パルス駆動電源1205とも接続され、パルス駆動電源1205は、1.064μm帯半導体レーザ71とさらに接続されている。
実施例7においては、実施例1、2、3、4、5又は6の構成において、1.32μm帯DFBレーザの駆動電源として、変調機能を有する駆動電源を備えた装置を用いる。つまり、ここでは、1.32μm帯DFBレーザの電流を制御することにより、変調機能付光源装置に変換機能を持たしている。
Claims (14)
- 周期的に非線形定数が変調された構造を有する非線形光学材料からなる光導波路を有し、前記光導波路に波長の異なる第1及び第2の半導体レーザ光源からの励起光を合波して入射することによって発生する差周波を、又は和周波を出力する光源装置若しくは第2の半導体レーザ光源からの第2高調波を出力する光源装置であって、
前記第2の半導体レーザ光源は、半導体レーザとFBGと半導体レーザを変調する手段から構成され、前記FBGの反射帯域は、前記半導体レーザの素子長で決まる共振波長間隔よりも狭いことを特徴とする変調機能付光源装置。 - 請求項1に記載の変調機能付光源装置であって、
前記第2の半導体レーザ光源への電流変調振幅の下限が閾値以下であり、出射波長が非線形光学材料の擬似位相整合帯域の短波側波長となるよう設定し、上限が電流−光出力特性において生じる最初のキンクを与える電流値より低い電流値である
ことを特徴とする変調機能付光源装置。 - 請求項1又は2に記載の変調機能付光源装置であって、
前記FBGの出力にアイソレータを接続する
ことを特徴とする変調機能付光源装置。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載の変調機能付光源装置であって、
前記FBGに温度制御手段を付加する
ことを特徴とする変調機能付光源装置。 - 周期的に非線形定数が変調された構造を有する非線形光学材料からなる光導波路を有し、前記光導波路に波長の異なる第1及び第2の半導体レーザ光源からの励起光を合波して入射することによって発生する差周波を、又は和周波を出力する光源装置若しくは第1の半導体レーザ光源からの第2高調波を出力する光源装置であって、
前記第1の半導体レーザ光源は、回折格子を内蔵し、半導体レーザから出射される出力光を変調する手段を含み、
第1の半導体レーザ光源に対する電流変調振幅の下限は閾値以下で、閾値直後の出射波長が、非線形光学材料の擬似位相整合帯域の短波長側となるよう設定し、
前記電流変調振幅の上限は、非線形光学材料の擬似位相整合帯域のピーク波長より短波長側で、かつ閾値直後の出射波長より長波側波長となる電流値である
ことを特徴とする変調機能付光源装置。 - 請求項1乃至5のいずれかに記載の変調機能付光源装置であって、
前記第1及び第2の半導体レーザ光源は、半導体レーザから出射される出力光を変調する手段を含み、相互に同期している
ことを特徴とする変調機能付光源装置。 - 請求項1乃至6のいずれかに記載の変調機能付光源装置であって、
前記非線形光学結晶は、
LiNbO3、LiTaO3、LiNb(x)Ta(1-x)O3(0≦x≦1)のいずれか、あるいはそれらの組み合わせであり、又はこれらにMg、Znからなる群から選ばれた少なくとも一種を添加物として含有している
ことを特徴とする変調機能付光源装置。 - 請求項1乃至7のいずれかに記載の変調機能付光源を蛍光顕微鏡装置に組み込んだことを特徴とする変調機能付光源装置。
- 第1の半導体レーザと、第2の半導体レーザと、周期的に非線形定数が変調された構造を有する非線形光学材料からなる光導波路とを備えた光源装置を用いた光変調方法であって、
前記第2の半導体レーザから変調された光を出射するステップと、
前記出射するステップにおいて変調された光を、前記第2の半導体レーザの素子長で決まる共振波長間隔よりも狭い反射帯域を有するFBGに入射するステップと、
前記第1の半導体レーザから出射された光と、前記FBGから出射された光とを合波して前記光導波路に入射するステップと、
前記光導波路から、前記第1及び第2の半導体レーザから光の差周波を、又は和周波を出射するステップと
を備えたことを特徴とする方法。 - 請求項9に記載の光変調方法であって、
前記FBGから出射された光をアイソレータに入射するステップを更に備え、前記光導波路に入射するステップは、前記第1の半導体レーザから出射された光と、前記アイソレータから出射された光とを合波するステップを備えたことを特徴とする方法。 - 請求項9又は10に記載の光変調方法であって、
前記FBGの温度を一定の範囲内に制御するステップを更に備えたことを特徴とする方法。 - 請求項9乃至11のいずれかに記載の光変調方法であって、
前記第2の半導体レーザ光源への電流振幅変調の下限を、閾値以下であり出射波長が非線形光学材料の擬似位相整合帯域の短波側波長となるように設定するステップと、
前記電流振幅変調の上限を電流−光出力特性において生じる最初のキンクを与える電流値より低い電流値であるように設定するステップとを備えたことを特徴とする方法。 - 回折格子を内蔵する第1の半導体レーザと、第2の半導体レーザと、周期的に非線形定数が変調された構造を有する非線形光学材料からなる光導波路とを備えた和周波を出力する光変調方法であって、
前記第1の半導体レーザから変調された光を出射するステップと、
前記第1の半導体レーザから出射された光と、前記第2の半導体レーザから出射された光とを合波して、前記光導波路に入射するステップと、
前記光導波路から、前記第1及び第2の半導体レーザから光の差周波、又は和周波を出射するステップと、
前記第1の半導体レーザ光源に対する電流振幅変調の下限を、閾値以下であり出射波長が非線形光学材料の擬似位相整合帯域の短波側波長となるように設定するステップと、
前記電流振幅変調の上限を出射波長が非線形光学材料の擬似位相整合帯域のピーク波長より短波長側で、かつ閾値直後の出射波長より長波長側波長となるように設定するステップとを備えたことを特徴とする方法。 - 請求項9乃至13のいずれかに記載の光変調方法であって、
前記第2の半導体レーザの光の変調に同期して、前記第1の半導体レーザの光を変調するステップを更に備えたことを特徴とする方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006553023A JP4843506B2 (ja) | 2005-01-17 | 2006-01-17 | 変調機能付光源装置とその駆動方法 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005009693 | 2005-01-17 | ||
JP2005009693 | 2005-01-17 | ||
PCT/JP2006/300551 WO2006075760A1 (ja) | 2005-01-17 | 2006-01-17 | 変調機能付光源装置とその駆動方法 |
JP2006553023A JP4843506B2 (ja) | 2005-01-17 | 2006-01-17 | 変調機能付光源装置とその駆動方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2006075760A1 true JPWO2006075760A1 (ja) | 2008-06-12 |
JP4843506B2 JP4843506B2 (ja) | 2011-12-21 |
Family
ID=36677779
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006553023A Active JP4843506B2 (ja) | 2005-01-17 | 2006-01-17 | 変調機能付光源装置とその駆動方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7729585B2 (ja) |
EP (1) | EP1840638B1 (ja) |
JP (1) | JP4843506B2 (ja) |
CN (1) | CN100529937C (ja) |
WO (1) | WO2006075760A1 (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4719198B2 (ja) * | 2007-09-12 | 2011-07-06 | 日本電信電話株式会社 | 半導体レーザモジュールおよびレーザ光源 |
JP2010054621A (ja) * | 2008-08-26 | 2010-03-11 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 波長変換光源 |
CN101979985A (zh) * | 2010-05-26 | 2011-02-23 | 上海大学 | 偏振保持光纤消光比测试装置 |
US9012851B2 (en) | 2010-10-14 | 2015-04-21 | Thermo Fisher Scientific (Bremen) Gmbh | Optical chamber module assembly |
US9651488B2 (en) | 2010-10-14 | 2017-05-16 | Thermo Fisher Scientific (Bremen) Gmbh | High-accuracy mid-IR laser-based gas sensor |
CA2814356C (en) | 2011-05-25 | 2018-03-27 | Fuji Electric Co., Ltd. | Light source device, analysis device, and light generation method |
DE102012216002B3 (de) * | 2012-05-18 | 2013-09-12 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Schaltung und Verfahren zum Erzeugen von periodischen Steuersignalen sowie Mikroskop und Verfahren zum Steuern eines Mikroskops |
JP5949384B2 (ja) * | 2012-09-24 | 2016-07-06 | 株式会社島津製作所 | レーザ装置の製造方法 |
CN105390933B (zh) * | 2014-08-29 | 2019-01-11 | 三菱电机株式会社 | 激光器装置以及激光加工机 |
CN106404723B (zh) * | 2016-08-22 | 2022-01-11 | 深圳大学 | 一种二次谐波高分辨率成像方法及系统 |
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US10935817B2 (en) | 2018-10-01 | 2021-03-02 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Optical device and driving method thereof |
WO2022003678A1 (en) * | 2020-06-28 | 2022-01-06 | Cozai Ltd | Work function measurements for surface analysis |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US5761226A (en) | 1996-05-29 | 1998-06-02 | Eastman Kodak Company | Frequency conversion laser devices |
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US6907051B1 (en) * | 2001-08-31 | 2005-06-14 | Nlight Photonics Corporation | Dynamically spectrally tailored raman pump laser |
JP3753236B2 (ja) | 2001-11-02 | 2006-03-08 | 日本電信電話株式会社 | 波長変換素子用薄膜基板の製造方法及び波長変換素子の製造方法 |
EP1986044A1 (en) * | 2003-08-01 | 2008-10-29 | Nippon Telegraph and Telephone Corporation | Laser light source |
US20090245294A1 (en) * | 2007-07-31 | 2009-10-01 | Zecotek Laser Systems Pte. Ltd. | Fibre Laser with Intra-cavity Frequency Doubling |
-
2006
- 2006-01-17 CN CNB200680002464XA patent/CN100529937C/zh active Active
- 2006-01-17 JP JP2006553023A patent/JP4843506B2/ja active Active
- 2006-01-17 US US11/813,982 patent/US7729585B2/en active Active
- 2006-01-17 EP EP06711831.5A patent/EP1840638B1/en active Active
- 2006-01-17 WO PCT/JP2006/300551 patent/WO2006075760A1/ja active Application Filing
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1840638A4 (en) | 2011-02-09 |
EP1840638A1 (en) | 2007-10-03 |
CN100529937C (zh) | 2009-08-19 |
WO2006075760A1 (ja) | 2006-07-20 |
JP4843506B2 (ja) | 2011-12-21 |
CN101107562A (zh) | 2008-01-16 |
US7729585B2 (en) | 2010-06-01 |
EP1840638B1 (en) | 2016-11-16 |
US20100053720A1 (en) | 2010-03-04 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141014 Year of fee payment: 3 |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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