JPWO2005052369A1 - 水の再生方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (13)
- 容器内に設置された極低温冷凍機によって冷却される部分に凝縮した氷を容器外へ排出するための水の再生方法において、
氷を溶かす昇温工程と、
水を蒸発させる蒸発工程と、
水蒸気を排出させる排出工程とを設け、
氷と水と水蒸気とを段階的に再生することを特徴とする水の再生方法。 - 前記蒸発工程と前記排出工程とは、それぞれビルドアップ判定を含むことを特徴とする請求項1に記載の水の再生方法。
- 前記昇温工程が、前記容器内の氷が凝縮した部分を氷の融点以上まで昇温して氷を溶かすウォームアップ工程であることを特徴とする請求項1に記載の水の再生方法。
- 前記昇温工程を、冷凍機のモータを冷却時の回転方向とは逆に回転させる逆転昇温、容器内に氷の融点より高い温度のパージガスを流して、真空に保たれた容器内の圧力を大気圧まで戻し、容器の外との熱伝導を良くするパージ昇温、又は、ヒータによる昇温のいずれか1つ、又は、それらの2つ以上の組合せにより行うことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の水の再生方法。
- 前記蒸発工程が、前記昇温工程で溶けた水が溜まった部分の温度と圧力が水の凝固点に到達しない範囲で、ラフ排気により圧力を低下させて水を蒸発させ、排気を中止した時の放出水分やガスによる圧力上昇を判定するビルドアップ判定をし、水が無くなるまでこれを繰り返すことを特徴とする請求項1に記載の水の再生方法。
- 前記ラフ排気時の圧力を100Pa〜200Paとすることを特徴とする請求項5に記載の水の再生方法。
- 前記排出工程が、前記蒸発工程により水が蒸発した時点で、ラフ排気により更に圧力を下げて水蒸気を排出し、排気を中止した時のガスによる圧力上昇を判定するビルドアップ判定をし、圧力上昇が判定値より低くなるまでこれを繰り返す排気工程であることを特徴とする請求項1に記載の水の再生方法。
- 前記昇温工程を、前記容器内の氷が凝縮した部分の温度が氷の融点となった時点で、前記蒸発工程に切換えることを特徴とする請求項1、3、4のいずれかに記載の水の再生方法。
- 前記蒸発工程を、排気を中止した時の、放出水分やガスによるビルドアップ判定により、前記排気工程に切換えることを特徴とする請求項5又は6に記載の水の再生方法。
- 容器内に設置された極低温冷凍機によって冷却される部分に凝縮した氷を容器外へ排出するための水の再生装置において、
前記容器内の氷が凝縮した部分の温度を氷の融点以上まで昇温して氷を溶かすための昇温手段と、
溶けた水が溜まった部分の温度と圧力が水の凝固点に到達しない範囲で、ラフ排気により圧力を低下させて水を蒸発させ、排気を中止した時の放出水分やガスによるビルドアップ判定をし、水が無くなるまでこれを繰り返す蒸発手段と、
水が蒸発した時点で、更に圧力を下げて水蒸気を排出するための排気手段と、
を備えたことを特徴とする水の再生装置。 - 前記昇温手段が、冷凍機モータの逆回転、パージガス、ヒータの少なくともいずれか1つ、又は、それらの2つ以上の組合せであることを特徴とする請求項10に記載の水の再生装置。
- 請求項10又は11に記載の水の再生装置を備えたことを特徴とするクライオポンプ。
- 請求項10又は11に記載の水の再生装置を備えたことを特徴とする水トラップ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003399206 | 2003-11-28 | ||
JP2003399206 | 2003-11-28 | ||
PCT/JP2004/017502 WO2005052369A1 (ja) | 2003-11-28 | 2004-11-25 | 水の再生方法及び装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2005052369A1 true JPWO2005052369A1 (ja) | 2007-12-06 |
JP4669787B2 JP4669787B2 (ja) | 2011-04-13 |
Family
ID=34631596
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005515796A Active JP4669787B2 (ja) | 2003-11-28 | 2004-11-25 | 水の再生方法及び装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7997089B2 (ja) |
JP (1) | JP4669787B2 (ja) |
KR (1) | KR100782913B1 (ja) |
WO (1) | WO2005052369A1 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20090038319A1 (en) * | 2007-08-08 | 2009-02-12 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Cryopanel and Cryopump Using the Cryopanel |
JP2009156220A (ja) * | 2007-12-27 | 2009-07-16 | Canon Anelva Technix Corp | クライオポンプおよびその再生方法 |
JP4521047B2 (ja) * | 2008-05-16 | 2010-08-11 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ |
US20100011784A1 (en) * | 2008-07-17 | 2010-01-21 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Cryopump louver extension |
JP5669658B2 (ja) * | 2011-04-11 | 2015-02-12 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプシステム、圧縮機、及びクライオポンプの再生方法 |
US8862523B2 (en) * | 2011-10-28 | 2014-10-14 | Microsoft Corporation | Relational learning for system imitation |
JP5963459B2 (ja) | 2012-01-31 | 2016-08-03 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプおよびクライオポンプの修理方法 |
JP5822747B2 (ja) * | 2012-02-02 | 2015-11-24 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ |
JP5808691B2 (ja) * | 2012-02-23 | 2015-11-10 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ、及びクライオポンプの再生方法 |
JP5846966B2 (ja) * | 2012-03-01 | 2016-01-20 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ及びその再生方法 |
JP6124626B2 (ja) | 2013-03-12 | 2017-05-10 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ及びその再生方法 |
JP6253464B2 (ja) * | 2014-03-18 | 2017-12-27 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ、及びクライオポンプの再生方法 |
JP6410589B2 (ja) | 2014-12-17 | 2018-10-24 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ、クライオポンプの制御方法、及び冷凍機 |
JP6351525B2 (ja) | 2015-03-04 | 2018-07-04 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプシステム、クライオポンプ制御装置、及びクライオポンプ再生方法 |
EP3360288B1 (en) * | 2015-10-08 | 2019-11-06 | British Telecommunications public limited company | Analysis of network performance |
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-
2004
- 2004-11-25 WO PCT/JP2004/017502 patent/WO2005052369A1/ja active Application Filing
- 2004-11-25 US US10/580,688 patent/US7997089B2/en active Active
- 2004-11-25 KR KR1020067010327A patent/KR100782913B1/ko active IP Right Grant
- 2004-11-25 JP JP2005515796A patent/JP4669787B2/ja active Active
-
2011
- 2011-08-04 US US13/137,296 patent/US20120031113A1/en not_active Abandoned
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20120031113A1 (en) | 2012-02-09 |
KR100782913B1 (ko) | 2007-12-07 |
WO2005052369A1 (ja) | 2005-06-09 |
KR20060113716A (ko) | 2006-11-02 |
US20070125112A1 (en) | 2007-06-07 |
US7997089B2 (en) | 2011-08-16 |
JP4669787B2 (ja) | 2011-04-13 |
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Legal Events
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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