JPWO2004047157A1 - プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 - Google Patents
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Abstract
Description
発明の背景
プラズマを用いたシリコン基板の窒化処理に際しては,例えば,マイクロ波励起されたアルゴンあるいはクリプトンのような希ガスプラズマ中に,窒素あるいは窒素と水素,あるいはNH3ガスのような窒素を含んだガスを導入する。これにより,NラジカルあるいはNHラジカルを発生させ,シリコン酸化膜表面を窒化膜に変換する。また,シリコン基板表面をマイクロ波プラズマにより直接に窒化する方法もある。
従来の装置及び方法によると,シリコン酸化膜(シリコン基板)上に入射したイオンにより,下地膜(Si,SiO2)又は,成膜している膜(SiN)がダメージを受けることがある。膜のダメージにより,基板が劣化し,リーク電流の増大,界面特性の劣化によるトランジスタ特性の劣化等の不都合を招く場合がある。
また,別の問題として,シリコン酸化膜とシリコン窒化膜との界面への酸素の拡散により,シリコン窒化膜の膜厚が必要以上に増大することがあった。
また,シリコン窒化膜の膜厚増大を効果的に抑制可能なプラズマ処理装置及びプラズマ処理方法を提供することを第2の目的とする。
上記目的を達成するために,本発明の第1の態様に係るプラズマ処理装置は,プラズマ発生部とシリコン基板との間に,開口部を有する仕切り板を配置している。
このように処理容器内に仕切り板を配置することにより,シリコン基板上に到達するイオンエネルギーが緩和され,シリコン基板や窒化膜自体へのダメージを効果的に抑制可能となる。また,仕切り板の開口部を透過してシリコン基板に達したガスの基板上での流速が増すことになり,シリコン基板表面の酸素分圧が低下し,窒化膜からシリコン基板の表面側に抜ける酸素の量が増加する。その結果,窒化膜の厚さ増大を効果的に抑制可能となる。
仕切り板としては,シリコン基板の形状に対応した領域内に配置された多数の開口部を有するものを使用することが好ましい。この際,各開口部の開口面積は,例えば,13mm2〜450mm2,仕切り板の厚さは,3mm〜7mm,仕切り板の位置は,シリコン基板の表面から20〜40mm上方とすることが好ましい。
また開口部の大きさについていうと,各開口部は全て同一の大きさであってもよいが,前記仕切板における中央部の開口部の径を,該中央部の外側に位置する開口部の径よりも小さく設定してもよい。これによって,シリコン基板の中央部の窒化膜の厚さ増大を,その外側よりもさらに抑制することができる。例えば中央部の開口部の直径を9.5mm,該中央部の外側に位置する開口部の直径を10mmとすることができる。さらにまた前記仕切板における中央部の開口部の径を,該中央部の外側に位置する開口部の径よりも大きく設定した場合には,シリコン基板の中央部の窒化膜の厚さ増大を,その外側よりも促進することができる。
また本発明は,プラズマを用いて酸化処理する装置にも適用できる。すなわち,処理容器内に配置されたシリコン基板に対して,プラズマを用いて酸化処理を行うプラズマ処理装置において,プラズマ発生部と前記シリコン基板との間に,開口部を有する仕切板が配置された装置も提案できる。この場合も,仕切板における中央部の開口部の径は,該中央部の外側に位置する開口部の径よりも小さく設定してもよい。例えば中央部の開口部の直径は2mm,該中央部の外側に位置する開口部の直径は2.5mmに設定してもよい。さらにまたその逆に仕切板における中央部の開口部の径を,該中央部の外側に位置する開口部の径よりも大きく設定してもよい。
本発明の他の態様に係るプラズマ処理方法においては,シリコン基板表面における電子密度が1e+7(個・cm−3)〜1e+9(個・cm−3)となるように制御される。上述のように,シリコン基板上のイオンエネルギーとイオン密度が弱まることにより,シリコン基板や窒化膜へのダメージを効果的に抑制することができる。
更に,本発明の他の態様に係るプラズマ処理方法においては,シリコン基板表面におけるガス流速が1e−2(m・sec−1)〜1e+1(m・sec−1)がとなるように制御される。上述のように,シリコン基板上のガス流速が増すと,シリコン基板表面の酸素分圧が低下し,窒化膜からシリコン基板の表面側に抜ける酸素の量が増加する。その結果,窒化膜の厚さ増大を効果的に抑制することができる。
図2は,実施例に使用されるプラズマバッフルプレートの平面図である。
図3の(A)〜(C)は,実施例のプラズマ処理工程の一部を示す概略図である。
図4は,窒化処理の時間の経過に伴う膜中の窒素含有割合の変化を示すグラフである。
図5は,処理圧力の変化に伴う電子密度の変化を示すグラフである。
図6は,処理圧力の変化に伴う電子温度の変化を示すグラフである。
図7は,開口部の大きさが中央部とその外周とでは異なったプラズマバッフルプレートの平面図である。
処理容器11の上方は,基板保持台12上のシリコンウエハWに対応して開口部が形成されている。この開口部は,石英やAl2O3からなる誘電体板13によって塞がれている。誘電体板13の上(外側)には,アンテナとして機能するスロット板14が配置されている。このスロット板14は,導電性を有する材質,たとえば銅の薄い円板からなり,多数の長孔14aが形成されている。これら長孔14aは,全体として同心円状,あるいは略渦巻状に配列されている。
スロット板14の上(外側)には,石英,アルミナ,窒化アルミニウム等からなる誘電体板15が配置されている。この誘電体板15は,遅波板又は波長短縮板と呼ばれることがある。誘電体板15の上(外側)には,冷却プレート16が配置されている。冷却プレート16の内部には,冷媒が流れる冷媒路16aが設けられている。また,処理容器11の上端中央には,マイクロ波供給装置17で発生させた例えば2.45GHzのマイクロ波を導入する同軸導波管18が設けられている。
処理容器11内のシリコンウエハWの上方には,石英,アルミナ又は金属からなる,仕切板としてのプラズマバッフルプレート20が配置される。プラズマバッフルプレート20は,処理容器11の内壁に設けられた石英製のライナー21によって保持されている。プラズマバッフルプレート20の詳細については,後述する。基板保持台12の周囲には,アルミニウムからなるガスバッフル板26が配置されている。ガスバッフル板26の下面には石英カバー28が設けられている。
処理容器11の内壁には,ガスを導入するためのガスノズル22が設けられている。ガスノズルから供給されるガスの流量は,マスフローコントローラ23によって制御される。処理容器11の内壁の内側には,容器全体を囲むように冷媒流路24が形成されている。
図2は,プラズマバッフルプレート20の構造を示す。プラズマバッフルプレート20は,厚さ3mm〜7mm(例えば,約5mm)の円盤状のプレートの中央付近に多数の開口部20aを形成することによって構成される。なお,図中の開口部20aの大きさ,配置等は模式的に示したものであり,実際に使用するものとは異なる場合があることは言うまでもない。
プラズマバッフルプレート20は,例えば,石英,アルミニウム,アルミナ,シリコン,金属等から成形することができる。プラズマバッフルプレート20の位置は,シリコンウエハWの表面から高さH2(20mm〜50mm,例えば30mm)とし,シャワープレート14の下面から距離H1(40mm〜110mm,例えば80mm)とする。プラズマバッフルプレート20がシリコンウエハW表面に近すぎると,均一な酸化・窒化処理の妨げになる。一方,プラズマバッフルプレート20がシリコンウエハWの表面から遠すぎると,プラズマ密度が低下し,酸化・窒化が進行し難くなる。
直径約200mmのシリコンウエハWを処理する場合には,プラズマバッフルプレート20の直径D1を360mm,開口部20aが配置される領域の直径D2を250mmとすることができる。直径約300mmのシリコンウエハWを扱う場合には,ウエハの大きさに応じて,D1,D2の大きさを適宜変更する。また,シリコンウエハW表面の均一な処理を図るため,D2の値は,プラズマバッフルプレート20のシリコンウエハWからの距離H2に応じて設定することが好ましいが,例えば150mm以上あることが好ましい。
プラズマバッフルプレート20に形成される開口部20aの直径としては,2.5mm〜10mmに設定することができる。例えば,開口部20aの直径を2.5mmとした場合には,その数は,1000〜3000程度とすることができる。また,開口部20aの直径を5.0mm又は10.0mmとした場合には,その数は,300〜700程度とすることができる。開口部20aの成形にはレーザ加工法を採用することができる。なお,開口部20aの形状は円形に限らず,スリット状であってもよい。この時,各開口部20aの開口面積を3mm2〜450mm2とすることが好ましい。開口部20aの開口面積が大きすぎると,イオン密度が高くなり,ダメージを低減できない。一方,開口面積が小さすぎると,プラズマ密度が低下し,酸化・窒化が進行し難くなる。また,開口部20aの開口面積は,プラズマバッフルプレート20の厚さを考慮して設定することが好ましい。
上記のような構成のプラズマ処理装置10を用いてプラズマ処理を行う際には,まず,排気ポート11A,11Bを介して処理容器11内部の排気が行われ,処理容器11が所定の処理圧に設定される。その後,ガスノズル22からアルゴン,Kr等の不活性ガスと共に酸化ガスや窒化ガスが導入される。
また,同軸導波管18を通って供給される周波数が,数GHz,例えば2.45GHzのマイクロ波を,誘電体板15,スロット板14,誘電体板13を介して処理容器11中に導入する。処理容器11内での高密度マイクロ波プラズマ励起によって形成されたラジカルは,プラズマバッフルプレート20を介してシリコンウエハWの表面に達する。シリコンウエハWに到達したラジカル(ガス)は,ウエハ表面に沿って径方向(放射方向)に流れ,速やかに排気される。これにより,ラジカルの再結合が抑制され,効率的で非常に一様な基板処理が,低温において可能になる。
図3(A)〜(C)は,図1のプラズマ処理装置10を使った本実施例による基板処理プロセスを示す。
シリコン基板31(シリコンウエハWに対応)を処理容器11中に導入し,ガスノズル22からKrと酸素の混合ガスを導入する。このガスをマイクロ波プラズマで励起することにより原子状酸素(酸素ラジカル)O*が形成される。そうすると,図3(A)に示すように,かかる原子状酸素O*は,プラズマバッフルプレート20を介してシリコン基板31の表面に達する。
原子状酸素によってシリコン基板31の表面を処理することにより,図3(B)に示すように,シリコン基板31の表面に厚さが1.6nmのシリコン酸化膜32が形成される。このようにして形成されたシリコン酸化膜32は,400℃程度の非常に低い基板温度で形成されたにもかかわらず,1000℃以上の高温で形成された熱酸化膜に匹敵するリーク電流特性を有する。
次に,図3(C)に示す工程において,処理容器11中にアルゴンと窒素の混合ガスを供給し,基板温度を400℃に設定してマイクロ波を供給することによりプラズマを励起する。
図3(C)の工程では,処理容器11の内圧を0.7Paに設定し,アルゴンガスを例えば1000SCCMの流量で,また窒素ガスを例えば40SCCMの流量で供給する。その結果,シリコン酸化膜32の表面がシリコン窒化膜32Aに変換される。なお,シリコン酸化膜32は,熱酸化膜であってもよい。
図3(C)の工程は,20秒間以上,例えば40秒間継続され,その結果,シリコン窒化膜32Aは成長し,ターンアラウンド点を過ぎるとシリコン窒化膜32Aの下のシリコン酸化膜32中の酸素がシリコン基板31中に侵入を開始する。
本実施例においては,処理容器11内にプラズマバッフルプレート20を配置しているため,シリコンウエハW上に到達するイオンエネルギーとプラズマ密度が減少する。具体的には,シリコンウエハW表面における電子密度が1e+7(個・cm−3)〜1e+9(個・cm−3)となるように制御される。これにより,シリコン酸化膜32や窒化膜32Aへのダメージを与えると思われるイオン密度が減少し,シリコン酸化膜32や窒化膜32Aへのダメージが緩和される。
シリコンウエハWの表面の電子密度を制御する場合,例えば(a)プラズマバッフルプレート20の径を小さくする,(b)プラズマバッフルプレート20とウエハW表面との間隔を大きくする,(c)ラズマバッフルプレート20の厚さを大きくする,ことにより電子密度を下げることができる。
また,プラズマバッフルプレート20の開口部20aを通過してシリコンウエハWに達したガスは,ウエハW上での流速が増加する。具体的には,シリコンウエハW表面におけるガス流速が1e−2(m・sec−1)〜1e+1(m・sec−1)となるように制御される。その結果,シリコンウエハW表面の酸素分圧が低下し,窒化膜32AからシリコンウエハWの表面側に抜ける酸素の量が増加するため,窒化膜32Aの膜厚増大が緩和される。そのようなガス流速の制御は,開口部20aの大きさの調整によってなされ,小さくするほど流速は増加する。
さらにまたプラズマ処理装置10は,スロット板14を使用してマイクロ波によるプラズマを発生させているので,低いパワーで高密度のプラズマを発生させることができ,この点からも基板に対するダメージが極めて少ない処理を実施することが可能である。
次にプラズマ処理装置10を用いて,シリコン基板に対して実際に窒化処理を行った結果を図4〜図6に示す。本発明の効果を明らかにするため,プラズマバッフルプレート20を持たない従来のプラズマ処理装置との比較も併せて示されている。なお処理の条件は,次の通りである。
すなわち,基板温度は400℃,マイクロ波のパワーは1500W,処理容器内の圧力は50〜2000mTorr,窒素ガスの流量は40〜150sccm,アルゴンガスの流量は1000〜2000sccmである。
図4は,処理時間−膜中の窒素の割合を示しており,プラズマバッフルプレートを持たない従来の装置では,10秒間に約30%の窒素の割合増加をみるが,本発明のようにプラズマバッフルプレートを持った装置によれば,時間の経過に伴う膜中の窒素の割合増加が緩やかである。したがって本発明の方が,窒化レートを制御しやすくなっている。
図5は,処理圧力を変えた際の電子密度の変化を示しており,本発明のようにプラズマバッフルプレートを持った装置の方が,全ての圧力値で,従来よりも電子密度が低くなっていることが確認できる。したがって,本発明によれば,窒化膜に対するダメージを抑えることが確認できた。
図6は,処理圧力を変えた際の電子温度の変化を示しており,本発明のようにプラズマバッフルプレートを持った装置の方が,全ての圧力値で,従来よりも電子温度が低くなっていることが確認できる。したがって,本発明によれば,チャージアップに起因する基板に対するダメージを従来よりも抑えることが可能である。
なお前記した実施例で使用したプラズマバッフルプレート20は,開口部20aの大きさが全て同一のものを使用したが,図7に示したように,直径D3で示される円形の中央部領域の開口部20bの大きさを,直径D2で示されるその外側の領域の開口部20bよりも小さく設定してもよい。例えば開口部20aの直径が10mmの場合,中央部の開口部20bの直径は,それより小さい,例えば9.5mmに設定してもよい。
このように中央部の開口部20bの大きさを,その外側の領域に位置する開口部20aよりも小さくすることで,当該中央部を通過する窒素ラジカルの量を減少させることができ,それによって基板中央部での窒化を抑えることができる。したがって,例えば中央部の膜厚が増大するような傾向にある装置特性,処理特性があった場合には,図7に示したような中央部の開口部20bの径が小さいプラズマバッフルプレート20を使用することによって,中央部の膜厚の成長を抑制し,結果的に基板全体として均一な窒化処理を行ない,均一な膜厚を実現できる。
逆に中央部の開口部20bの大きさを,その外側の領域に位置する開口部20aよりも大きくすると,当該中央部を通過する窒素ラジカルの量を他よりも増加させて基板中央部での窒化を促進させることができる。したがって,例えば中央部の膜厚が他よりも減少するような傾向にある装置特性,処理特性があった場合には,そのように中央部の開口部20bの大きさが,その外側の領域に位置する開口部20aよりも大きいプラズマバッフルプレート20を使用することで,均一な膜厚を実現できる。
またプラズマバッフルプレート20自体の厚さを変化させることにより,窒化レートの制御できる。すなわちプラズマバッフルプレート20の厚さを大きくすると窒化レートをより抑制することができる。
さらにまた前記実施の形態におけるプラズマ処理装置は,窒化処理を行う装置として構成されていたが,装置構成自体はそのままで,これを酸化処理の装置としても使用できる。
既述した窒化処理の場合と同様,プラズマバッフルプレートを採用することで,イオンエネルギーとイオン密度を減少させ,シリコン酸化膜へのダメージを緩和させることができる。
11 プラズマ処理容器
12 基板保持台
20 プラズマバッフルプレート
20a 開口部
31 シリコン基板
32 シリコン酸化膜
32A シリコン窒化膜
W シリコン基板
Claims (15)
- 処理容器内に配置されたシリコン基板に対して,プラズマを用いて窒化処理を行うプラズマ処理装置であって,
プラズマ発生部と前記シリコン基板との間に,開口部を有する仕切り板が配置されている。 - 請求項1のプラズマ処理装置において,
前記仕切り板は,前記シリコン基板の形状に対応した領域内に配置された多数の開口部を有し,
各開口部の開口面積は,13mm2〜450mm2である。 - 請求項1のプラズマ処理装置において,
前記仕切り板の厚さは,3mm〜7mmである。 - 請求項1のプラズマ処理装置において,
前記仕切り板の位置は,前記シリコン基板の表面から20〜40mm上方である。 - 請求項1のプラズマ処理装置において,
前記仕切板における各開口部の径は,全て同一である。 - 請求項1に記載のプラズマ処理装置において,
前記仕切板における中央部の開口部の径は,該中央部の外側に位置する開口部の径よりも小さい。 - 請求項6に記載のプラズマ処理装置において,
中央部の開口部の直径は9.5mmであり,該中央部の外側に位置する開口部の直径は10mmである。 - 請求項1に記載のプラズマ処理装置において,
前記仕切板における中央部の開口部の径は,該中央部の外側に位置する開口部の径よりも大きい。 - 処理容器内に配置されたシリコン基板に対して,プラズマを用いて酸化処理を行うプラズマ処理装置であって,
プラズマ発生部と前記シリコン基板との間に,開口部を有する仕切板が配置されている。 - 請求項9に記載のプラズマ処理装置において,
前記仕切板における各開口部の径は,全て同一である。 - 請求項9に記載のプラズマ処理装置において,
前記仕切板における中央部の開口部の径は,該中央部の外側に位置する開口部の径よりも小さい。 - 請求項11に記載のプラズマ処理装置において,
中央部の開口部の直径は2mmであり,該中央部の外側に位置する開口部の直径は2.5mmである。 - 請求項9に記載のプラズマ処理装置において,
前記仕切板における中央部の開口部の径は,該中央部の外側に位置する開口部の径よりも大きい。 - 処理容器内に配置されたシリコン基板に対して,プラズマを用いて窒化処理を行うプラズマ処理方法において,
前記シリコン基板表面における電子密度が1e+7(個・cm−3)〜1e+9(個・cm−3)となるように制御される。 - 処理容器内に配置されたシリコン基板に対して,プラズマを用いて窒化処理を行うプラズマ処理方法において,
前記シリコン基板表面におけるガス流速が1e−2(m・sec−1)〜1e+1(m・sec−1)となるように制御される。
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