JP2009177088A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】処理によって生成した生成物によって触媒の劣化が生じ難い基板処理装置を提供すること。
【解決手段】基板処理装置1は、ウエハWを収容するチャンバ2と、チャンバ2内でウエハWを載置するウエハステージ5と、チャンバ2内に設けられたシャワーヘッド7と、シャワーヘッド7を介してチャンバ2内に水素含有ガスを供給するガス供給機構11と、チャンバ2内に設けられたガス排出口16と、ガス排出口16を介してチャンバ2を排気する排気機構19と、チャンバ2内に設けられた触媒ワイヤ22と、触媒ワイヤ22を加熱する可変直流電源25と、チャンバ2内における、触媒ワイヤ22が存在する空間51と、ウエハを処理する空間52とを区画するように設けられたバッフルプレート26とを具備する。
【選択図】図1
【解決手段】基板処理装置1は、ウエハWを収容するチャンバ2と、チャンバ2内でウエハWを載置するウエハステージ5と、チャンバ2内に設けられたシャワーヘッド7と、シャワーヘッド7を介してチャンバ2内に水素含有ガスを供給するガス供給機構11と、チャンバ2内に設けられたガス排出口16と、ガス排出口16を介してチャンバ2を排気する排気機構19と、チャンバ2内に設けられた触媒ワイヤ22と、触媒ワイヤ22を加熱する可変直流電源25と、チャンバ2内における、触媒ワイヤ22が存在する空間51と、ウエハを処理する空間52とを区画するように設けられたバッフルプレート26とを具備する。
【選択図】図1
Description
本発明は、高温の触媒に水素含有ガスを接触させて生成した水素ガスにより、基板上に残存したレジストの剥離等の処理を行う基板処理装置に関する。
半導体デバイスの製造プロセスにおいては、被処理基板である半導体ウエハに対し、フォトリソグラフィー工程によりフォトレジストパターンを形成し、これをマスクとしてエッチングを行っている。そして、エッチング後、フォトレジストを剥離している。
フォトレジストの剥離工程においては、プラズマを利用したドライアッシング技術やウェットアッシング技術が主流であり、特にイオン注入後の変質したレジストを剥離する際にはドライアッシング技術とウェットアッシング技術とを併用することが行われている。しかしながら、このようにドライアッシング技術とウェットアッシング技術とを併用すると工程も複雑になるとともに、処理にも時間がかかる。また、このような変質したレジストを剥離する場合には、レジストの下地層上に残渣が残り、これを清浄化するためにさらに工程が増加してしまう。
このような問題を解決することができる技術として、特許文献1には、水素原子を有する分子を含む剥離ガスと、高温に加熱したタングステン(W)等の高融点触媒体とを接触させる接触分解反応で原子状水素(水素ラジカル)を生成し、生成した原子状水素とレジストとの接触によりレジストをガス化して剥離する技術が開示されている。これにより簡易な工程でレジストを剥離することができ、しかもレジスト剥離後に下地膜の表面を清浄化することができる。
しかしながら、特許文献1に開示された技術では、繰り返しレジスト剥離処理を行うと、触媒能が低下したり、寿命が短くなる、パーティクルが発生するといった触媒体の劣化が生ずることが判明した。
一方、上記特許文献1では、触媒として用いるタングステン線が載置台上のレジスト付基板の上に設けられており、触媒に接触して生成された水素ラジカルが直下の基板上のレジストに作用してレジスト剥離を進行させるが、水素ラジカルの生成量をより多くして、レジスト剥離処理の速度をより高めることが求められる。
特開2002−289586号公報
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであって、水素含有ガスを高温の前記触媒に接触させて接触分解反応により水素ラジカルを生成し、生成した水素ラジカルにより基板を処理する基板処理装置であって、処理によって生成した生成物によって触媒の劣化が生じ難い基板処理装置を提供することを目的とする。
また、水素ラジカルの生成量を高めることができる基板処理装置を提供することを目的とする。
また、水素ラジカルの生成量を高めることができる基板処理装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、本発明の第1の観点では、基板を収容する処理容器と、前記処理容器内で基板を載置する載置台と、前記処理容器に設けられたガス導入部と、前記ガス導入部を介して前記処理容器内に水素含有ガスを供給するガス供給機構と、前記処理容器内に設けられたガス排出部と、前記ガス排出部を介して前記処理容器を排気する排気機構と、処理容器内に設けられた触媒と、触媒を加熱する加熱手段とを具備し、前記処理容器内で、前記水素含有ガスを高温の前記触媒に接触させて接触分解反応により水素ラジカルを生成し、生成した水素ラジカルにより基板を処理する基板処理装置であって、前記処理容器内における、前記触媒が存在する空間と、前記水素ラジカルにより基板を処理する空間とを区画するように設けられたバッフルプレートをさらに具備することを特徴とする基板処理装置を提供する。
上記第1の観点において、前記処理容器内における、前記水素ラジカルにより基板を処理する空間と、前記排気部を含む排気空間とを区画するように設けられた排気用バッフルプレートをさらに具備することが好ましい。また、前記処理は炭素含有物質を生成させるものとすることができ、この場合に、前記バッフルプレートは前記水素ラジカルを十分に通過させ、前記炭素含有物質は通過し難い径の複数の孔を有しているものとすることができる。そして、このように処理が炭素含有物質を生成させるような場合に、前記触媒は、その表面に炭素化合物層が形成されているものとすることができる。この場合に、前記触媒は、前記容器内で炭素含有物質に対して水素ラジカル処理を行うことにより表面に炭素化合物層が形成されたものとすることができる。さらに、前記ガス導入部は、前記載置台に対向して設けられ、前記載置台上の基板の全面に対してシャワー状に水素含有ガスを供給するシャワーヘッドを有し、前記触媒は前記シャワーヘッドの直下に設けられている構成とすることができる。
本発明の第2の観点では、基板を収容する処理容器と、前記処理容器内で基板を載置する載置台と、前記処理容器に設けられたガス導入部と、前記ガス導入部を介して前記処理容器内に水素含有ガスを供給するガス供給機構と、前記処理容器内に設けられたガス排出部と、前記ガス排出部を介して前記処理容器を排気する排気機構と、処理容器内に設けられた触媒と、触媒を加熱する加熱手段とを具備し、前記処理容器内で、前記水素含有ガスを高温の前記触媒に接触させて接触分解反応により水素ラジカルを生成し、生成した水素ラジカルにより基板を処理する基板処理装置であって、前記触媒は、前記ガス導入部から導入された水素含有ガスが前記処理容器内に拡散する前に接触するように設けられていることを特徴とする基板処理装置を提供する。
上記第2の観点において、前記ガス導入部は、前記処理容器内へ水素含有ガスを導入する導入口と、前記導入口から導入された水素含有ガスを前記処理容器の上部の外周に導く案内部材と、前記案内部材に導かれた前記水素含有ガスを前記処理容器の外周に向けて円状に吐出させる吐出口とを有し、前記触媒は吐出口の直下位置に設けられている構成とすることができる。また、前記ガス導入部は、前記処理容器内へ水素含有ガスを導入する導入口と、前記導入口から導入された水素含有ガスを前記処理容器の上部の外周に導く案内部材と、前記案内部材に導かれた前記水素含有ガスを前記処理容器の外周に向けて円状に吐出させる吐出口とを有し、前記触媒は前記導入口と前記案内部材との間の空間に設けられている構成とすることができる。
上記第1および第2の観点において、前記基板処理装置は、基板に形成されたレジストの剥離処理を行うものとすることができる。また、前記基板処理装置は、基板の裏面に付着したバックサイドポリマーの除去処理を行うものとすることができる。さらに、前記触媒は、処理レートを調整するためにその配置密度が調整されるようにすることができる。さらにまた、前記触媒は、ワイヤ状をなすものであることが好ましく、タングステンで構成されていることが好ましい。
本発明によれば、処理容器内に、前記触媒が存在する空間と、前記水素ラジカルにより基板を処理する空間とを区画するようにバッフルプレートを設けたので、処理にともなって基板から生成する生成物を触媒に到達することを抑制することができ、触媒の劣化を防止することができる。特に、基板処理がレジスト剥離処理の場合には、レジストから脱離した炭素を含有する脱離物が触媒に接触して表面を炭化させて触媒能を劣化させたり、脆い炭素化合物を形成して寿命が短縮する、それが剥離することによりパーティクルが発生するといった問題が生じるが、バッフルプレートの存在により、このような不都合を抑制することができる。
また、本発明によれば、触媒を、ガス導入部から導入された水素含有ガスが処理容器内に拡散する前に接触するように設けたので、拡散する前の高濃度の水素含有ガスを触媒に接触させることができ、水素ラジカルの生成効率を高めることができる。このため、処理速度を高めることができる。
以下、添付図面を参照して本発明の実施の形態について具体的に説明する。
まず、第1の実施形態について説明する。図1は、本発明の第1の実施形態に係る基板処理装置を示す断面図である。
まず、第1の実施形態について説明する。図1は、本発明の第1の実施形態に係る基板処理装置を示す断面図である。
基板処理装置1はレジスト剥離(アッシング)装置として構成されており、真空に保持可能なチャンバ(処理容器)2を有している。このチャンバ2は、小径の上段部2aと大径の下段部2bを有しており、下段部2bの底部には、ヒータ4を埋設したヒータプレート3が設けられ、その上に剥離すべきレジスト膜を有する被処理基板としての半導体ウエハ(以下、単にウエハという)Wを載置するウエハステージ5が設けられている。ウエハステージ5の上面には、ウエハWを載置するための座繰り部5aが形成されている。ヒータ4はヒータ電源6から給電されるようになっている。
ウエハステージ5内には、空間30が設けられており、3本のウエハ昇降ピン31(2本のみ図示)が支持板32に支持された状態で空間30内を上下動可能に設けられている。ウエハ昇降ピン31は支持板32を介してチャンバ2の下方に設けられたシリンダにより上下動してウエハステージ5に対して突没可能となっており、これによりウエハWをウエハステージ5に対して昇降するようになっている。
チャンバ2の上段部2aには、ウエハステージ5に対向するように剥離ガスであるH2ガスをチャンバ2内に導入するための中空円盤状のシャワーヘッド7が設けられている。シャワーヘッド7は、上面中央にガス導入口8を有し、下面に多数のガス吐出孔9を有している。
上記ガス導入口8にはガス供給配管10が接続されており、ガス供給配管10の他端には剥離ガスであるH2ガスを供給するためのH2ガス供給源11が設けられている。またガス供給配管10には開閉バルブ12と流量制御器としてのマスフローコントローラ(MFC)13が設けられている。剥離ガスとしては、水素を含有し、後述する高温の触媒ワイヤ22に接触した際に水素ラジカル(原子状水素)を生成可能なものであればH2ガスに限らず、例えばSiH4、CH4、NH3等を用いることもできる。
チャンバ2の側壁には、ウエハWの搬入出を行う搬入出口14が設けられており、この搬入出口14はゲートバルブ15により開閉可能となっている。また、チャンバ2の底部には排気口16が設けられ、この排気口16に排気管17が接続されている。排気管17には、自動圧力制御器(APC)18とターボ分子ポンプなどの真空ポンプを有する排気装置19が接続されている。チャンバ2内の圧力は圧力計21で検出可能となっており、この値に基づいてAPC18の開度が制御される。
チャンバ2の上段部2a内の最下部には、ウエハステージ5とシャワーヘッド7との間に位置するように、導電性の高融点材料例えばタングステンからなる触媒ワイヤ22が設けられている。この触媒ワイヤ22は、図2に示すように、上段部2aの断面全体に張り巡らされている。この触媒ワイヤ22の両端はそれぞれ電極23a,23bに接続されており、これら電極23a,23bは上方に延びてチャンバ2から延出されている。そして、これら電極23a,23bから給電線24が接続され、この給電線24には可変直流電源25が接続されて、触媒ワイヤ22に給電することが可能となっている。そして、この可変直流電源25から触媒ワイヤ22に給電されることにより、触媒ワイヤ22が例えば1400℃以上の高温に加熱されるようになっている。この高温に加熱された触媒ワイヤ22にH2ガスが接触することにより、水素ラジカルが生成するようになっている。なお、触媒ワイヤ22の材料はタングステンに限らず、高温に加熱可能な他の金属触媒、例えば、Pt、Ta、Mo等を用いることができる。
触媒ワイヤ22の直下位置には、上段部2aの底面を覆うようにバッフルプレート26が設けられている。すなわち、触媒ワイヤ22により水素ラジカルを生成する水素ラジカル生成空間51とウエハWを水素ラジカルで処理する処理空間52がバッフルプレート26により区画されている。バッフルプレート26には、多数の孔26aが形成されている。このバッフルプレート26により、コンダクタンスが調整されて、水素ラジカル生成空間51よりも処理空間52のほうが圧力が低くなり、これらの間に、触媒ワイヤ22で生成された水素ラジカルはウエハWの処理空間52へ容易に拡散するが、水素ラジカルによる処理によりレジストが分解して生成した脱離物は水素ラジカル生成空間51へ拡散し難い圧力差が形成されている。
ウエハステージ5の側面上端部とチャンバ2の内壁との間には、排気用バッフルプレート27が設けられている。この排気用バッフルフレート27はウエハWの処理空間52とその下方の排気空間53を区画するように設けられている。排気用バッフルプレート27には、多数の孔27aが形成されている。この排気用バッフルプレート27により、コンダクタンスが調整されて排気空間53の圧力を処理空間52の圧力よりも低くすることができ、処理空間52が速やかに排気される。一方、この排気用バッフルプレート27によりレジストが分解して生成した脱離物が排気空間53へは拡散し難くなっている。
基板処理装置1の各構成部、例えば、剥離ガスであるH2ガスの供給部(バルブ12、マスフローコントローラ13等)、ヒータ電源6、自動圧力制御器(APC)18等は、マイクロプロセッサ(コンピュータ)からなる制御部(全体制御装置)40に接続されて制御される構成となっている。制御部40には、オペレータが基板処理装置1を管理するためにコマンドの入力操作等を行うキーボードや、プラズマ処理装置の稼働状況を可視化して表示するディスプレイ等からなるユーザーインターフェース41が接続されている。
また、制御部40には、基板処理装置1で実行される各種処理を制御部40の制御にて実現するための制御プログラムや、処理条件に応じて基板処理装置1の各構成部に処理を実行させるためのプログラムすなわちレシピが格納された記憶部42が接続されている。レシピは記憶部42の中の記憶媒体に記憶されている。記憶媒体は、ハードディスクや半導体メモリであってもよいし、CDROM、DVD、フラッシュメモリ等の可搬性のものであってもよい。また、他の装置から、例えば専用回線を介してレシピを適宜伝送させるようにしてもよい。
そして、必要に応じて、ユーザーインターフェース41からの指示等にて任意のレシピを記憶部42から呼び出して制御部40に実行させることで、制御部40の制御下で、基板処理装置1での所望の処理が行われる。
次に、このように構成される基板処理装置1により実施される、レジスト剥離動作について説明する。
被処理体であるウエハWの被エッチング膜をエッチングした後には、被エッチング膜の上に反射防止膜(BARC)とレジスト膜が残存しているから、これらを基板処理装置1により剥離(アッシング)する。
被処理体であるウエハWの被エッチング膜をエッチングした後には、被エッチング膜の上に反射防止膜(BARC)とレジスト膜が残存しているから、これらを基板処理装置1により剥離(アッシング)する。
まず、ゲートバルブ15を開いて隣接する真空に保持された搬送室(図示せず)から搬入出口14を介して上記のようなエッチング後のウエハWをチャンバ2内に搬入し、ウエハステージ5上に載置する。この状態で排気装置19を作動させ、圧力計21の値に基づいて自動圧力制御器(APC)18によりチャンバ2内を所定の圧力(真空度)に制御しつつ、ヒータ電源6によりヒータ4を発熱させてウエハステージ5上のウエハWを所定の温度に加熱する。
一方、触媒ワイヤ22には可変直流電源25から給電されて所定の高温に加熱制御される。この際の触媒ワイヤ22の温度は、放射温度計(図示せず)によって測定される。
このように触媒ワイヤ22を高温に加熱した状態で、H2ガス供給源11からガス供給配管10およびシャワーヘッド7を介してH2ガスをチャンバ2内に導入する。このときのH2ガスの流量は、剥離するレジストの種類や量等に応じて適宜設定される。また、H2ガスを希ガス等の不活性ガスで希釈してもよい。不活性ガスとしては、HeガスやArガス等を用いることができる。
そして、このようにして高温に加熱された触媒ワイヤ22にH2ガスが接触すると、接触分解反応により励起されて水素ラジカル(原子状水素)が生成され、生成した水素ラジカルをレジスト膜に接触させることによりレジスト膜をガス化して分解除去し、剥離する。このときウエハWを所定の温度に加熱しておくことにより、レジスト剥離反応を速やかに進行させることができる。また、BARCもレジストと類似成分を有しているので、同様に分解除去することができる。
このときの触媒ワイヤ22の加熱温度は1400℃以上が好ましい。このことを図3に基づいて説明する。図3は、チャンバ内圧力:500mTorr(66.4Pa)、H2ガス流量:1000sccm(mL/min)、ウエハージ温度:250〜275℃の条件で、タングステン製の触媒ワイヤの温度を1200〜1400℃の間で変化させて60secアッシング処理(剥離処理)を行った際の、触媒ワイヤの温度とアッシングレート(剥離レート)との関係を示す図である。図3では、ウエハWの加熱によるレジストの収縮を含めた場合と、レジストの収縮を除いた場合について求めている(収縮を除いたものについては、条件毎に収縮率を測定し、その差を計算することによって求めた)。この図に示すように、1400℃においてアッシングレートが飽和しておらず、さらに温度を上昇させることによりアッシングレートが上昇すると考えられる。このため、触媒ワイヤの加熱温度は1400℃以上が好ましい。上限については特に限定する必要はないが、温度が高すぎると触媒ワイヤ22が断線してしまうので、より好ましい範囲は1400〜2000℃である。
また、レジスト剥離処理の際のチャンバ2内の圧力は133〜1333Pa(1〜10Torr)が好ましい。このことを図4に基づいて説明する。図4は、H2ガス流量:1000sccm(mL/min)、ウエハ温度:250〜275℃、タングステン触媒ワイヤの温度:1400℃として、チャンバ2内の圧力を500mTorr〜8Torrの間で変化させて60secアッシング処理(剥離処理)を行った際の、チャンバ内圧力とアッシングレート(剥離レート)との関係を示す図である。この図に示すように、500mTorr(66.5Pa)ではアッシングレートが低いが、それを超えるとアッシングレートが急激に上昇し、2Torr(266Pa)以上では安定していることがわかる。一方、一般的に圧力が1333Pa(10Torr)を超えると、圧力調整方法によっては、高圧を維持するために大流量のガス導入が必要になる可能性がある。以上のことからHラジカルを用いた剥離処理(アッシング)の際の圧力は133〜1333Pa(1〜10Torr)が好ましい。
レジスト剥離処理の際のウエハ温度は230〜300℃が好ましい。このことを図5に基づいて説明する。図5は、H2ガス流量:1000sccm(mL/min)とし、チャンバ内圧力やタングステン触媒ワイヤの温度を変化させ、ウエハ温度を200〜330℃の間で変化させた場合の、ウエハ温度とアッシングレート(剥離レート)との関係を示す図である。この図から、ウエハ温度が230℃を超えると、ウエハステージからの熱によるレジストの収縮のラインよりも上になり、レジストの剥離が開始されているものと考えられる。一方、ウエハ温度が300℃を超えると、層間絶縁膜として低誘電率膜(Low−k膜)を用いた場合に、膜の変質が懸念されるため、300℃以下が好ましい。このため、ウエハ温度は230〜300℃が好ましいのである。
剥離ガスとしてH2ガスを用いる場合には、上述したようにH2ガスを不活性ガスで希釈してもよく、その場合のH2ガス濃度(H2ガス流量割合)は5%以上であることが好ましい。このことを図6に基づいて説明する。図6は、H2ガスの希釈ガスとしてHeガスを用い、H2ガスの流量割合とアッシングレート(剥離レート)との関係を示す図である。図6では、図3と同様、ウエハWの加熱によるレジストの収縮を含めた場合と、レジストの収縮を除いた場合について求めている。この図に示すように、Heガスで希釈することによりアッシングレートは低下していくものの、H2ガスが5%以上であれば十分に高いアッシングレートが得られることがわかる。このため、H2ガス濃度は5%以上が好ましい。なお、ウエハ温度は、ウエハステージに埋設され、その先端がウエハWに接するように設けられた熱電対のような温度センサ(図示せず)により測定される。
アッシングレート(剥離レート)は、触媒ワイヤ22の張り方にも依存する。例えば、触媒ワイヤ22の配置密度を高くすると、アッシングレートを上昇させることができる。すなわち、このように触媒ワイヤ22の配置密度を高くすると、供給されたH2ガスが触媒ワイヤ22に接触する確率が上昇し、これにより水素ラジカルの生成量が増加し、結果としてアッシングレートを上昇させることができる。この場合に、本実施形態のようにシャワーヘッド7の下方に触媒ワイヤ22を配置し、シャワーヘッド7からウエハWに対して均一なダウンフローでH2ガスを供給する場合には、アッシングレートは触媒ワイヤ22の配置密度分布を反映するため、触媒ワイヤ22の配置密度分布を調整することによりアッシング速度の均一性を制御することができる。例えば、触媒ワイヤ22のアッシングレートの小さい部分に対応する領域の密度を高く調整することにより、アッシング速度を上昇させつつアッシングレートの均一性を高めることができる。また、所望のアッシングレートを得るために、触媒ワイヤ22の配置密度分布を調整することもできる。
このように触媒ワイヤ22の配置密度分布を変更することにより、アッシングレートを調整した例について説明する。ここでは、まず、タングステン製の触媒ワイヤを図2に示すように設け、チャンバ内圧力:500mTorr(66.4Pa)、H2ガス流量:600〜1000sccm(mL/min)、ウエハ温度:250℃、触媒ワイヤの温度:1400℃の条件で60secアッシング処理(剥離処理)を行った。その結果、平均のアッシングレートが349.3nm/minとなり、ウエハ中央部分のアッシングレートが低くなったため、そのばらつきが13.4%と大きなものとなった。これに対し、図7に示すように、中央部の2箇所をφ10mmより小さいコイル状にした場合には、ウエハ中央のアッシングレートが上昇し、平均のアッシングレートが522.6nm/minと大きくなり、ばらつきも7.3%と低下した。
ところで、この剥離処理は、水素ラジカルによるレジストの分解反応によって生じるため、それによって生成する脱離物は、レジストの組成に依存したポリマー等のカーボン含有物質である。従来のようにバッフルプレートを設けない場合には、このようなカーボン含有物質がそのまま例えばタングステン製の触媒ワイヤに接触し、その表面で炭化反応が生じてタングステンカーバイド(WC)等の炭素化合物からなる変質層を生成し、触媒能が低下してしまう。また、タングステンカーバイド(WC)は硬くて脆い物質であるから、炭化が進行すると変質層にクラックが入って剥離し、寿命が短くなるとともに、パーティクルとなってチャンバ2内でタングステン汚染を引き起こすおそれがある。
図8はレジスト剥離処理をした後のタングステン触媒ワイヤの深さ方向の二次イオン質量分析(SIMS)の結果を示す図であり、(a)は1ロット(ウエハ25枚)を剥離処理した後のもの、(b)は6ロットを剥離処理した後のものである。この図から、表面にカーボンリッチな層が形成され、処理を繰り返すに従ってカーボン(C)が内部に拡散していくことが確認される。
また、図9はウエハの処理枚数とアッシングレートとの関係、およびウエハの処理枚数とアッシングレートのばらつきを示す図である。この図から、ウエハの処理枚数が増加するに従って、アッシングレートが低下していることがわかる。
これら図8、9から、レジスト剥離処理の処理枚数が増加することにより、表面からのカーボンの拡散が進行し、タングステン触媒ワイヤの触媒能が低下する結果、アッシングレートが低下することが確認される。
本実施形態では、このような触媒ワイヤ22の劣化を防止する観点から、上述のように、水素ラジカル生成空間51と処理空間52との間をバッフルプレート26で区画する。これにより、コンダクタンスが調整されて水素ラジカル生成空間51よりも処理空間52のほうが圧力が低くなり、これらの間に、バッフルプレート26には、触媒ワイヤ22で生成された水素ラジカルはウエハWの処理空間へ容易に拡散するが、水素ラジカルによる処理によりレジストが分解して生成した脱離物は水素ラジカル生成空間51へ拡散し難い圧力差が形成されることとなる。
また、排気用バッフルプレート27が形成されているので、コンダクタンスが調整されて排気空間53の圧力を処理空間52の圧力よりも低くすることができ、処理空間52が速やかに排気される一方、この排気用バッフルプレート27によりレジストが分解して生成した脱離物が排気空間53へは拡散し難くなっている。
具体的には、バッフルプレート26および排気用バッフルプレート27によるコンダクタンス調整により、水素ラジカル生成空間51の圧力を100Torr以上(大気圧程度まで)、処理空間52の圧力を1〜10Torr、排気空間53の圧力を1Torr未満と、圧力を、
水素ラジカル生成空間≫処理室≫排気空間
とすることができる。このため、水素ラジカルは、水素ラジカル生成空間→処理室→排気空間と流れるが、処理室からの脱離物拡散領域は十分に抑制するようにすることができる。
水素ラジカル生成空間≫処理室≫排気空間
とすることができる。このため、水素ラジカルは、水素ラジカル生成空間→処理室→排気空間と流れるが、処理室からの脱離物拡散領域は十分に抑制するようにすることができる。
また、このように排気用バッフルプレート27を設けることにより、排気空間53の壁部への脱離物の付着を抑制することができることから、チャンバ2内の付着物をドライ洗浄で十分に除去することが可能となる。
また、このような水素ラジカルによるレジスト剥離の場合、プラズマアッシングの場合と異なり、水素ラジカルが隙間に侵入しやすく、ウエハステージ5とウエハWとの微小な隙間からウエハ裏面側に容易に回り込むため、ウエハWの裏面に形成されたバックサイドポリマー(BSP)も水素ラジカルにより除去することが可能である。
従来から、デバイスにダメージを与えないBPS除去技術が求められており、局所プラズマによる除去が提案されているが、このような技術では、プラズマの表面回り込み制御等のコントロールが難しい。これに対し、本実施形態では、プラズマを用いずに水素ラジカルを用いてレジスト剥離を行う際に、図10に示すように、水素ラジカルH*がウエハステージ5の座繰り部5aとウエハWの微小な隙間5bを通ってウエハWの裏面に容易に侵入し、ウエハW裏面に付着したBSP55を水素ラジカルにより分解除去することができる。これにより、従来困難であったBSPの剥離を容易に行うことができる。
一方、触媒ワイヤ22は、上述したように、バッフルプレート26の存在により、レジストからの脱離物による炭化が抑制されるが、脱離物が触媒ワイヤ22へ到達することを完全には防止することができず、極めて緩やかではあるが、触媒ワイヤ22の表面の炭化が進行する場合がある。このような場合には、上述した図9に示すように、初期の段階でアッシングレートが経時的に変化して安定性が低くなるおそれがある。これに対して、同じく図9を見ると、24枚目以降はアッシングレートが安定していることがわかる。
このような点を考慮すると、レジスト剥離処理の安定性を重視する場合には、触媒ワイヤ22を新品のまま使うのではなく、アッシングレートが安定するまで表面の炭化処理を行って炭素化合物層を形成してから使用することが好ましい。すなわち、新品の触媒ワイヤはアッシングレートは高いがアッシングレートが変化しやすいため、レジスト剥離処理の安定性を重視する場合には、アッシングレートを多少犠牲にしてアッシングレートが安定するところまで表面を炭化してから処理に供することが好ましいのである。このような触媒ワイヤ22の表面の炭化は、チャンバ2内のバッフルプレート26を外してレジスト等の炭素含有物質に上述の水素ラジカル処理を行うことにより容易に行うことができ、安定領域まで炭化された後に、バッフルプレート26を装着し、しかる後にウエハWのレジスト剥離処理を開始すればよい。
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。
図11は本発明の第2の実施形態に係る基板処理装置を示す断面図、図12は図11の基板処理装置における触媒配置を示す図である。図11、12中、図1と同じものには同じ符号を付して説明を省略する。本実施形態の基板処理装置1′においては、シャワーヘッド7を設ける代わりに、ガス導入口8の直下位置に、ガス導入口8から導入されたH2ガスを外周方向へ導く円盤状の案内部材61を設け、この案内部材61とチャンバ2の天壁との間の吐出口62からチャンバ2内へ円状にH2ガスが吐出されるようになっており、図12に示すように、この吐出口62の直下位置に円状をなすように触媒ワイヤ22′が設けられている。触媒ワイヤ22′の配置形態はコイル状に巻回させながら全体が円状をなすようにしてもよいし、多重円配置されるようにしてもよい。
図11は本発明の第2の実施形態に係る基板処理装置を示す断面図、図12は図11の基板処理装置における触媒配置を示す図である。図11、12中、図1と同じものには同じ符号を付して説明を省略する。本実施形態の基板処理装置1′においては、シャワーヘッド7を設ける代わりに、ガス導入口8の直下位置に、ガス導入口8から導入されたH2ガスを外周方向へ導く円盤状の案内部材61を設け、この案内部材61とチャンバ2の天壁との間の吐出口62からチャンバ2内へ円状にH2ガスが吐出されるようになっており、図12に示すように、この吐出口62の直下位置に円状をなすように触媒ワイヤ22′が設けられている。触媒ワイヤ22′の配置形態はコイル状に巻回させながら全体が円状をなすようにしてもよいし、多重円配置されるようにしてもよい。
このように触媒ワイヤ22′を配置することにより、H2ガスがチャンバ2内に拡散する前に触媒ワイヤ22′に接触することとなり、これによりH2ガスが極めて高効率で触媒ワイヤ22′に接触して水素ラジカルの生成効率を高めることができる。
従来は、導入されたH2ガスがチャンバ内に拡散した後の圧力制御されたウエハ直上の空間に触媒ワイヤを設置しているため、触媒ワイヤに到達するH2ガスの量自体が少なく、水素ラジカルの生成効率は低くならざるを得ず、チャンバ内の圧力を低圧にする場合には、特に水素ラジカルの生成効率が低いものとなる。したがって、レジスト剥離処理の速度が必ずしも十分なものではない。
これに対して、本実施形態では、上述のようにH2ガスがチャンバ2内に拡散する前に触媒ワイヤ22′にH2ガスを接触させて高効率で水素ラジカルを生成するので、レジスト剥離処理の速度を従来より著しく高めることができる。この場合に、水素ラジカルは拡散しやすいので、このように外周位置で水素ラジカルを生成しても容易に中央へ拡散し、ウエハWの全面に亘ってレジスト剥離処理を行うことができる。
また、触媒ワイヤ22′がこのように隙間62の直下に円状をなすように設けられているので、触媒ワイヤ22′に接触するレジストからの脱離物を減少させることができ、触媒ワイヤ22′が炭化され難くなり、触媒ワイヤの寿命を延ばすことができる。
水素ラジカルをより効率的に生成する観点からは、図13に示すように、ガス導入口8と案内部材61との間の空間に触媒ワイヤ22″を設けることが好ましい。
本実施形態においても、上記第1の実施形態と同様の処理条件が好ましい。また、本実施形態の装置もバックサイドポリマーの除去に適用することが可能である。さらに、本実施形態の装置においても、触媒ワイヤの配置形態を変更することにより、アッシングレートの分布を調整することができる。さらにまた、本実施形態の装置に、第1の実施形態と同様のバッフルプレート26および/または排気用バッフルプレート27を設けてもよい。
なお、本発明は上記実施形態に限定されることなく種々変形可能である。例えば、上記実施形態では、レジストの剥離処理に本発明を適用した場合について示したが、これに限るものではない。また、上記実施形態では被処理基板として半導体ウエハを用いた場合について説明したが、これに限らず他の基板を用いることもできる。
1,1′;基板処理装置
2;チャンバ(処理容器)
4;ヒータ
5;ウエハステージ
7;シャワーヘッド
11;H2ガス供給源
17;排気口
18;自動圧力制御器
19;排気装置
22,22′,22″;触媒ワイヤ
25;可変直流電源
26;バッフルプレート
26a;孔
27;排気用バッフルプレート
40;制御部
41;ユーザーインターフェース
42;記憶部
51;水素ラジカル生成空間
52;処理空間
53;排気空間
61;案内部材
62;吐出口
W…半導体ウエハ(基板)
2;チャンバ(処理容器)
4;ヒータ
5;ウエハステージ
7;シャワーヘッド
11;H2ガス供給源
17;排気口
18;自動圧力制御器
19;排気装置
22,22′,22″;触媒ワイヤ
25;可変直流電源
26;バッフルプレート
26a;孔
27;排気用バッフルプレート
40;制御部
41;ユーザーインターフェース
42;記憶部
51;水素ラジカル生成空間
52;処理空間
53;排気空間
61;案内部材
62;吐出口
W…半導体ウエハ(基板)
Claims (15)
- 基板を収容する処理容器と、
前記処理容器内で基板を載置する載置台と、
前記処理容器に設けられたガス導入部と、
前記ガス導入部を介して前記処理容器内に水素含有ガスを供給するガス供給機構と、
前記処理容器内に設けられたガス排出部と、
前記ガス排出部を介して前記処理容器を排気する排気機構と、
処理容器内に設けられた触媒と、
触媒を加熱する加熱手段と
を具備し、前記処理容器内で、前記水素含有ガスを高温の前記触媒に接触させて接触分解反応により水素ラジカルを生成し、生成した水素ラジカルにより基板を処理する基板処理装置であって、
前記処理容器内における、前記触媒が存在する空間と、前記水素ラジカルにより基板を処理する空間とを区画するように設けられたバッフルプレートをさらに具備することを特徴とする基板処理装置。 - 前記処理容器内における、前記水素ラジカルにより基板を処理する空間と、前記排気部を含む排気空間とを区画するように設けられた排気用バッフルプレートをさらに具備することを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記処理は炭素含有物質を生成させるものであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の基板処理装置。
- 前記バッフルプレートは前記水素ラジカルを十分に通過させ、前記炭素含有物質は通過し難い径の複数の孔を有していることを特徴とする請求項3に記載の基板処理装置。
- 前記触媒は、その表面に炭素化合物層が形成されていることを特徴とする請求項3または請求項4に記載の基板処理装置。
- 前記触媒は、前記容器内で炭素含有物質に対して水素ラジカル処理を行うことにより表面に炭素化合物層が形成されたものであることを特徴とする請求項5に記載の基板処理装置。
- 前記ガス導入部は、前記載置台に対向して設けられ、前記載置台上の基板の全面に対してシャワー状に水素含有ガスを供給するシャワーヘッドを有し、前記触媒は前記シャワーヘッドの直下に設けられていることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の基板処理装置。
- 基板を収容する処理容器と、
前記処理容器内で基板を載置する載置台と、
前記処理容器に設けられたガス導入部と、
前記ガス導入部を介して前記処理容器内に水素含有ガスを供給するガス供給機構と、
前記処理容器内に設けられたガス排出部と、
前記ガス排出部を介して前記処理容器を排気する排気機構と、
処理容器内に設けられた触媒と、
触媒を加熱する加熱手段と
を具備し、前記処理容器内で、前記水素含有ガスを高温の前記触媒に接触させて接触分解反応により水素ラジカルを生成し、生成した水素ラジカルにより基板を処理する基板処理装置であって、
前記触媒は、前記ガス導入部から導入された水素含有ガスが前記処理容器内に拡散する前に接触するように設けられていることを特徴とする基板処理装置。 - 前記ガス導入部は、前記処理容器内へ水素含有ガスを導入する導入口と、前記導入口から導入された水素含有ガスを前記処理容器の上部の外周に導く案内部材と、前記案内部材に導かれた前記水素含有ガスを前記処理容器の外周に向けて円状に吐出させる吐出口とを有し、前記触媒は吐出口の直下位置に設けられていることを特徴とする請求項8に記載の基板処理装置。
- 前記ガス導入部は、前記処理容器内へ水素含有ガスを導入する導入口と、前記導入口から導入された水素含有ガスを前記処理容器の上部の外周に導く案内部材と、前記案内部材に導かれた前記水素含有ガスを前記処理容器の外周に向けて円状に吐出させる吐出口とを有し、前記触媒は前記導入口と前記案内部材との間の空間に設けられていることを特徴とする請求項8に記載の基板処理装置。
- 前記基板処理装置は、基板に形成されたレジストの剥離処理を行うことを特徴とする請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の基板処理装置。
- 前記基板処理装置は、基板の裏面に付着したバックサイドポリマーの除去処理を行うことを特徴とする請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の基板処理装置。
- 前記触媒は、処理レートを調整するためにその配置密度が調整されることを特徴とする請求項1から請求項12のいずれか1項に記載の基板処理装置。
- 前記触媒は、ワイヤ状をなすことを特徴とする請求項1から請求項13のいずれか1項に記載の基板処理装置。
- 前記触媒は、タングステンで構成されていることを特徴とする請求項1から請求項14のいずれか1項に記載の基板処理装置。
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2008
- 2008-01-28 JP JP2008016661A patent/JP2009177088A/ja active Pending
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- 2009-01-28 US US12/361,004 patent/US20090188428A1/en not_active Abandoned
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