JPWO2002061516A1 - バルブユニット及び流量制御システム - Google Patents

Abstract

本発明は、流体を系統別配管に分岐して各々の系統を流れる流量を制御しつつ吐出するのに使用されるバルブユニットと、このバルブユニットを使用してシステムの単純化とコンパクト化を図った流量制御システムに関する。本発明のバルブユニット（３８）は、吸込口（４８）と複数の吐出口（５０）を備え、かつ各吐出口の内部に弁座部（５４）を設けたバルブケーシング（４４）と、バルブケーシングの各弁座部に着座自在に設けられるとともに弁座部方向に付勢されたバルブ本体（５６）と、回転自在な主軸（６０）の軸方向に沿い弁座部に対向する位置に設けられ各バルブ本体にそれぞれ当接してバルブの開度を調節するカム（６４）とを有している。

Description

技術分野
本発明は、バルブユニット及び流量制御システムに係り、特に流体を系統別配管に分岐して各々の系統を流れる流量を制御しつつ吐出するのに使用されるバルブユニットと、このバルブユニットを使用してシステムの単純化とコンパクト化を図った流量制御システムに関するものである。
背景技術
流量制御システムの一例として、空調用の温水循環システムが知られている。図４は従来の空調用の温水循環システムの一例を示す図である。従来の空調用の温水循環システムは、熱源から供給された温水を貯めるタンク１０と、タンク１０に貯められた温水を吸い込んで圧送するポンプ（流体機械）１２と、ポンプ１２の吐出側に設けられた上流側主配管１４と、上流側主配管１４に接続された往ヘッダ１６と、往ヘッダ１６から分岐される複数の系統別配管１８と、系統別配管１８の下流側に設けられる戻りヘッダ２０と、戻りヘッダ２０とタンク１０を接続する下流側主配管２２とから主に構成されている。そして、各系統別配管１８には、電磁流量計等の流量検出装置（流量検出手段）２４と、電磁弁等の流量調整装置（流量調整手段）２６及びファンコイルユニット等の空調負荷２８がそれぞれ設けられている。更に、往ヘッダ１６と戻りヘッダ２０の間にはバイパス配管３０が配置され、このバイパス配管３０には、電磁流量計等の流量検出装置（流量検出手段）２４と、電磁弁等の流量調整装置（流量調整手段）２６が設けられている。
ここで、流量調整装置２６として広く使用されている電磁弁は、一般に、吸込口と吐出口とを有するバルブケーシングと、このバルブケーシングの内部に収納されたバルブ本体と、このバルブ本体と弁座間の距離又は隙間を変化させるためのねじ機構と、該ねじ機構を駆動するための駆動機等によって構成されている。
上述した構成の空調用の温水循環システムにおいては、流量検出装置２４及び空調負荷２８からの検出信号をコントローラ３２に入力し、このコントローラ３２から出力される制御信号で、ポンプ１２のオン・オフ制御を行うとともに、流量調整装置２６によって各系統別配管１８及びバイパス配管３０を流れる流量を制御するようにしている。
すなわち、図４に示すシステムにおいて、空調負荷２８が運転を開始すると、ポンプ１２が始動して温水が系統内を循環するが、各系統で必要な流量は温水が空調負荷２８に伝えるべき熱量に応じて時々刻々変化するため、流量調整装置２６の開度を調整することで、この熱量を確保するようにしている。ここで、ポンプ１２は一定速度運転されるため、空調負荷２８が小さい場合には、ポンプ１２の運転流量が過小となるだけでなく、配管系にポンプの締切り運転圧力に相当する高い圧力が掛かり不都合を生じる。このため、バイパス配管３０の流量調整装置２６の開度を調整することで必要最小限の運転流量を確保するようにしている。
しかしながら、上記従来の温水循環システムにあっては、各系統別配管毎に流量検出装置（流量検出手段）と流量調整装置（流量調整手段）を設置する必要があるばかりでなく、これらの各装置（各手段）を設置したバイパス配管も別途必要となって、構造的にかなり複雑となる。しかも、ポンプは一定速度運転されるため、必要流量が小さい場合でも消費電力はあまり低減されることはない。即ち、従来の温水循環システムは省エネルギーの観点で不利である。
また、例えば、部屋Ａは早朝に素早く暖め暖房を維持して夕刻に暖房を停止し、部屋Ｂは午前中から深夜まで暖房を維持し、部屋Ｃは午前１０時から正午までを気温２０℃程度に、正午から午後２時までを２５℃程度にする等、実際には、各系統毎の温水の必要流量が数種類の運転モードによって特定される用途も多い。このような場合、従来のシステムのように、各系統毎にバルブや流量計を設けると、特に小規模なシステムになればなるほど、バルブや流量計がシステムにおいて占めるスペースやコストの比率が大きくなり、システム全体を阻害する要因となって、システム全体の無駄が多い。
発明の開示
本発明は上記に鑑みてなされたもので、単純な構造でかつコンパクトで信頼性が高く、省エネルギーに役立つ系統別流量制御用のバルブユニットと、このバルブユニットを使用するのに好適な流量制御システムを提供することを目的とする。
請求項１に記載の発明は、吸込口と複数の吐出口を備え、かつ該各吐出口の内部に弁座部を設けたバルブケーシングと、前記バルブケーシングの各弁座部に着座自在に設けられるとともに該弁座部方向に付勢されたバルブ本体と、回転自在な主軸の軸方向に沿い前記弁座部に対向する位置に設けられ前記各バルブ本体にそれぞれ当接してバルブの開度を調節するカムとを有することを特徴とするバルブユニットである。
本発明においては、任意のカム形状を有するカムを使用し、主軸に適当な回転角度位置を与えることで、カム形状とカムの角度位置によって、各吐出口から吐出される流体の流量比率を決定する。これにより、各吐出口から吐出される流量を各々完全に独立して制御することはできないが、各吐出口から吐出される流量を一括して制御することができる。しかも、カム機構を介してバルブの開度を調節しているため、カム形状の異なるカムを使用することで、各吐出口から吐出される流量比率を任意にかつ容易に変更することができる。
請求項２に記載の発明は、前記主軸を回転させるモータを備え、該モータの少なくとも固定子を気密構造にしたことを特徴とする請求項１記載のバルブユニットである。
本発明のように、モータの少なくとも固定子を気密構造とすることで、取扱流体のユニット外への漏洩や、取扱流体（例えば、水）の浸入によるモータ固定子巻線の絶縁劣化を防止できる。この結果、メカニカルシール等の軸封装置が不要となり、バルブユニット全体がコンパクトで信頼性の高いものとなる。
具体的には、モータとしてサーボモータを使用し、このサーボモータを構造的にキャンドモータとして構成したものや、樹脂モールドモータとして構成したものが使用される。なお、サーボモータは、ロボットやＮＣ工作機械に代表される各種の自動機械の動力源として、また、回転速度の停止位置の制御を指令通りに行うことのできるモータとして現在広く使用されている。
請求項３に記載の発明は、前記バルブケーシングをケーシング本体と吐出ヘッダに分割して構成し、該ケーシング本体と吐出ヘッダは、共に一体でアンダーカット部のないオープン形状であることを特徴とする請求項１または２記載のバルブユニットである。
本発明によれば、例えば、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）樹脂等を使用し射出成形によって軽量なバルブユニットを製作する際の生産性を向上させることができる。つまり、アンダーカット部のある部材を射出成形によって製作するためには、低融点合金製の中子金型を使用する等の方策が必要となり、著しく生産性が阻害される。アンダーカット部のないオープン形状のケーシング本体と吐出ヘッダに分割してバルブケーシングを構成することで、このような弊害をなくすことができる。
請求項４に記載の発明は、吸込口と複数の吐出口を備え、かつ内部に該複数の吐出口にそれぞれ連通された複数の弁座部を設けたバルブケーシングと、前記バルブケーシングの各弁座部に着座自在に設けられた複数のバルブ本体と、前記複数のバルブ本体を個別に駆動して、各バルブ本体と各弁座部との間のバルブ開度を個別に調節するアクチュエータとを備えたことを特徴とするバルブユニットである。
本発明は、複数のバルブ本体を個別に駆動するためのアクチュエータを備えている。このアクチュエータは、複数のバルブ本体に個別に連結された複数の駆動用素子で構成されている。この駆動用素子としては、圧電効果を利用した圧電素子等がある。複数の駆動用素子を制御することにより、各バルブ本体の開閉のタイミングおよび開度を個別に制御できる。これにより、１つのバルブユニットで複数の吐出口から吐出される流量を同時に制御することができ、また各吐出口から吐出される流量比率を任意かつ容易に変更することができる。
請求項５に記載の発明は、請求項１乃至４のいずれかに記載のバルブユニットと、該バルブユニットの各吐出口にそれぞれ接続した系統別配管と、前記バルブユニットの吸込口に接続された上流側主配管内に設置された可変速制御可能な流体機械とを備え、前記バルブユニットによるバルブ制御と前記流体機械の可変速制御とを連動させて、前記各系統別配管内を流れる流量を制御することを特徴とする流量制御システムである。
本発明によれば、各系統別配管毎に個別にバルブや流量検出装置（流量検出手段）を設ける必要がない。しかも、カム形状とカムの角度位置によって時々刻々の系統毎の流量比率は決定されるため、流量の絶対値が要求値に合致するように流体機械を可変速運転することで、流体機械の一定速度運転に比べて部分負荷運転時の消費電力を軽減できる。同時に、流体機械の回転速度を低下させて、ミニマムフロー（運転可能最小水量）の値を低減でき、これによって、バイパス配管を削除することもできる。
請求項６に記載の発明は、前記系統別配管の一部に流量検出装置を設け、この流量検出装置の信号によって全系統別配管内を流れる流量を制御することを特徴とする請求項５記載の流量制御システムである。
本発明によれば、流量検出装置（流量検出手段）を代表的な系統別配管にのみ設けることで、系統毎の流量絶対値を把握することができ、この絶対値を要求値に合致させるように流体機械を可変速運転することで、流量検出装置の個数を一部省略しつつ、システムを合理的に機能させることができる。
発明を実施するための最良の形態
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
図１は、本発明の実施の形態のバルブユニットを示す。図１に示すバルブユニット３８は、ケーシング本体４０と吐出ヘッダ４２に２分割して構成したバルブケーシング４４と、モータ４６とを備えている。ケーシング本体４０と吐出ヘッダ４２は、いずれも一体でアンダーカット部のない構成になっている。バルブケーシング４４のケーシング本体４０には吸込口４８が設けられており、吐出ヘッダ４２には複数（図示では３個）の吐出口５０が設けられている。
ケーシング本体４０は、円筒状のシリンダ部５２を有し、このシリンダ部５２の内部と吸込口４８とが連通している。また、シリンダ部５２と連通する各吐出口５０の内部には弁座部５４が設けられている。そして、この各弁座部５４に着座自在にバルブ本体５６が配置されており、このバルブ本体５６は、ばね５８により弁座部５４の方向に付勢されるようになっている。また、シリンダ部５２の内部に沿ってモータ４６の出力軸である主軸６０が延びている。この主軸６０の軸方向に沿って各弁座部５４と対向する位置には、カム６４が設けられており、このカム６４は、バルブ本体５６の軸部６２に当接してバルブ本体５６を作動させるようになっている。
バルブケーシング４４のシリンダ部５２は、一端が閉塞され、他端が開放された形状に形成されている。そして、シリンダ部５２の閉塞端側の内部には、主軸６０を支承する第１の軸受６６が設けられている。また、シリンダ部５２の開放端側には、モータ４６がボルト（図示せず）によって連結されている。シリンダ部５２とモータ４６の連結部には、密封用のＯリング６８が介装されている。
モータ４６は、供給電圧等によって正確に主軸６０の回転角度位置を制御できる、所謂サーボモータからなる。モータ４６の固定子７０は、例えば熱硬化性の不飽和ポリエステル樹脂をモールド成形したモータケーシング７２の内部に一体に埋設されている。このモータケーシング７２は、バルブケーシング４４側を開放した形状に形成されており、バルブケーシング４４とモータケーシング７２とにより全体が密封容器となって取扱流体の漏洩を防止している。モータケーシング７２の閉塞端側には、主軸６０を支承する第２の軸受７４が設けられている。また、モータケーシング７２の外側には、電源からの電力をモータ４６に供給するためのリード線７６が引き出され、このリード線７６は、モータ固定子巻線７８に接続されている。
なお、図１に示す例は、モータ固定子７０の内周側に樹脂モールドを施していない例を示しているが、取扱流体が水の場合には、モータ固定子の内周側にも樹脂モールドを施すことで、水が固定子巻線部に浸入して電気的絶縁を劣化させないようにすることができる。
モータケーシング７２の内部には、モータ回転子８０が配置され、このモータ回転子８０は主軸６０に固定されている。これによって、モータ４６の駆動に伴って主軸６０と複数のカム６４が一体となって回転するようになっている。ここで、モータ回転子８０には取扱流体の種類に応じて腐食防止用の樹脂コーティングが施され、主軸６０とカム６４は、ステンレス合金やＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）樹脂によって別体に、あるいは一体に成形されている。主軸６０とカム６４とを別体で成形した場合には、主軸６０とカム６４は接着または圧入などの方法により一体化する。また、軸受６６，７４としては、取扱流体が気体の場合には玉軸受等が使用され、取扱流体が液体の場合にはセラミック製の滑り軸受等が使用される。
バルブ本体５６は円錐形状に形成され、バルブ本体５６にはバルブ本体５６の軸芯に沿って延びる軸部６２が設けられている。この軸部６２は、ケーシング本体４０に設けた案内部４０ａと吐出ヘッダ４２に設けた案内部４２ａとによって案内されるようになっている。このように、バルブ本体５６は円錐形状に形成され、バルブ本体５６はこの円錐形の側面で弁座部５４に係合するようになっている。そのため、バルブ本体５６がカム６４によって弁座部５４から離れるように移動する際に、バルブ本体５６の軸方向移動量に対して、バルブ本体５６と弁座部５４の実体隙間の増加量を減らすように作用する。すなわち、バルブ本体５６と弁座部５４の対向面は、いずれも円錐形の側面になっているため、バルブ本体５６の軸方向移動距離とバルブ本体５６と弁座部５４との対向面間距離とを比較すると、対向面間距離を軸方向移動距離より相当小さくできる。これによって、カム６４の形状（プロフィール）に若干の寸法誤差があった場合でも、流量制御の誤差が小さくなるようにしている。更に、この円錐形状は流体に乱れを与えずに滑らかに流体を導く効果があり、バルブの圧力損失を低減できる。なお、バルブ本体５６は、例えばＰＰＳ樹脂を射出成形して製作される。
ケーシング本体４０の反シリンダ部側には、吐出ヘッダ４２がボルト（図示せず）によって固定されている。ケーシング本体４０と弁座部５４の間には、密封用のガスケット８２が介装されている。この吐出ヘッダ４２は、例えばＰＰＳ樹脂を射出成形して製作され、バルブ本体５６の数と同数の吐出部４２ｂを一体に備えている。バルブ本体５６の軸部６２の周囲で、かつ吐出ヘッダ側には、ステンレス合金等からなるコイル状ばね５８が配置されており、このコイル状ばね５８はバルブ本体５６と吐出ヘッダ４２の間に介装されて設けられている。そして、コイル状ばね５８の付勢力により、バルブ本体５６は弁座部５４に押圧されるとともに軸部６２の先端がカム６４に押圧されるようになっている。
ケーシング本体４０及び吐出ヘッダ４２に設けられる案内部４０ａ，４２ａは筒形状に形成され、これら案内部４０ａ，４２ａの内部をバルブ本体５６の軸部６２が摺動するようになっている。また、ケーシング本体４０と案内部４０ａは複数のリブ４０ｂによって接続されており、吐出ヘッダ４２と案内部４２ａは複数のリブ４２ｃによって接続されている。そして、取扱流体は、隣接するリブ４０ｂ，４０ｂおよび隣接するリブ４２ｃ，４２ｃの間の隙間を流れる。なお、リブ４０ｂ，４２ｃは取扱流体の流れをバルブ本体５６の軸方向に滑らかに整流する作用を併せ持ち、流れの円周方向成分を抑えることができるため、バルブの圧力損失を低減する効果がある。
ここで、ケーシング本体４０と吐出ヘッダ４２は、共に一体でアンダーカット部のないオープン形状に形成されている。つまり、ケーシング本体４０は、シリンダ部５２の内側に対応する金型をモータ４６側に、吸込口４８の内側に対応する金型をシリンダ部５２側から吸込口４８側に、弁座部５４の内側に対応する金型をシリンダ部５２側から弁座部５４側にそれぞれ引き抜ける形状に形成されている。吐出ヘッダ４２についても同様に、上下方向に２分割された金型によって成形可能な形状に形成されている。ケーシング本体４０及び吐出ヘッダ４２に設けられるバルブ本体５６の案内部４０ａ，４２ａは、ケーシング本体４０及び吐出ヘッダ４２から延びるリブ４０ｂ，４２ｃによって一体に成形されて取扱流体の通過流路が確保されている。このように構成することで、例えば、ＰＰＳ樹脂等を使用し射出成形によって軽量なバルブユニット３８を製作する際の生産性を向上させることができる。
次に、このバブルユニットの基本動作について説明する。最初にカム６４の回転角度位置は、３つのバルブが全て「閉」になるように、すなわち、全てのバルブ本体５６が各弁座部５４に着座するように、モータ４６によって位置決めされている。そして、ポンプ等が運転を開始しバルブユニット３８の吸込口４８に流体圧力が加わり、カム６４がモータ４６によってゆっくりと回転すると、例えば、中央に位置する吐出口５０（以下、吐出口Ｂという）に対応するバルブのバルブ本体５６がカム６４によってゆっくりと弁座部５４から持ち上げられてバルブが徐々に開く。
この時、取扱流体は、吸込口４８からケーシング本体４０のシリンダ部５２とモータケーシング７２の内側に形成される空間に導かれ、次に吐出口Ｂに相当する位置のバルブ本体案内部４０ａの外周を通過し、バルブ本体５６と弁座部５４との間の隙間を通過して吐出ヘッダ４２へ導かれる。更に、吐出ヘッダ４２へ導かれた流体は、吐出ヘッダ４２のバルブ本体案内部４２ａの外周を通過して吐出口Ｂから外部に吐出される。３つのバルブには各々個別のカム形状（プロフィール）が与えられているため、主軸６０の回転角度位置をモータ４６によって切り替えることで、各々の吐出口５０から所望の流量を吐出することができる。
図２は、横軸に時間（時刻）をとり、縦軸に各吐出口５０から吐出される取扱液の流量をとったグラフである。このグラフにおいて、ライン（線）Ａは、図１の左側に位置する吐出口から吐出される流量を、ライン（線）Ｂは、図１の中央に位置する吐出口から吐出される流量を、ライン（線）Ｃは、図１の右側に位置する吐出口から吐出される流量をそれぞれ示している。
このように、例えばタイマーとモータ４６を使用して主軸６０及びカム６４を回転式のオルゴールのように時間毎に正確に回転させることで、図２に示すような系統別の流量制御が可能となる。また、タイマーではなく、外部からモータ４６へ実行すべき主軸６０の回転角度位置を信号で伝えることで、即ち、実行すべきモードを有限の選択肢の中から選択することで、適切な流量制御システムを実現することができる。ここで実行すべきモードとは、例えば、ＡとＢとＣの流量比であり、（Ａ，Ｂ，Ｃ）＝（１，０，０），（１，１，０）…など各種のモードがあり、ＡとＢとＣの流量比は関数で定義されていてもよい。これらのモードは予め定められたカムプロフィールによって定められる。
図１に示す実施例においては、各バルブ本体５６を個別に駆動するために、複数のカム６４を用いた例を示したが、各バルブ本体を個別に駆動するアクチュエータを用いてもよい。このアクチュエータは、複数の駆動用素子で構成することができる。駆動用素子としては、例えば、圧電素子を用いてもよい。
図３は、図１に示すバルブユニット３８を使用した本発明の実施の形態の流量制御システムを示す図である。なお、図４に示す従来例と同一または相当部材には同一符号を付してその説明を一部省略する。
図３に示すシステムにおいては、タンク１０に貯めた温水を吸い込んで圧送する流体機械（ポンプ）１２として、例えば周波数変換器（インバータ）によって可変速運転される流体機械が使用され、このポンプ１２の吐出側に接続される上流側主配管１４にバルブユニット３８の吸込口４８が接続されている。そして、バルブユニット３８の各吐出口５０には、各系統別配管１８が接続されて系統別に分岐され、この各系統別配管１８には、ファンコイルユニット等の空調負荷２８がそれぞれ設けられている。そして、系統別配管１８の下流側には戻りヘッダ２０が設けられ、この戻りヘッダ２０とタンク１０とは下流側主配管２２により接続されている。また、系統別配管１８の１系統には電磁流量計等の流量検出装置（流量検出手段）２４が設けられており、この流量検出装置２４の信号と空調負荷２８の信号をフィードバックしながら、コントローラ３２がバルブユニット３８のモード変更と、ポンプ１２の回転速度変更の指令を出すようになっている。すなわち、前述した実行すべきモードを変更することで流量比を変更し、あわせてポンプの回転速度を変更することで流量（絶対値）を変更できる。
このように、ポンプ１２を可変速制御することで、ポンプを一定速度で運転する時に比べて部分負荷運転時の消費電力を軽減でき、同時にモータの回転速度を低下させることでミニマムフロー（運転可能最小水量）の値を低減できるため、図４に示す従来例におけるバイパス配管が削除されている。
ここで、バルブユニット３８の内部に収容されたカム６４（図１参照）の形状とカムの角度位置によって時々刻々の系統毎の流量比率は決定されるため、流量の絶対値が要求値に合致するようにポンプ１２を可変速運転すればよい。このため、流量検出装置（例えば、電磁流量計）２４を代表的な系統別配管１８にのみ設け、この流量検出装置２４の信号によって全系統別配管の流量を制御するようにしている。
吸込口４８は、バルブケーシング４４のシリンダ部５２の側周部に一体に設けられており、ポンプ１２から供給される取扱流体をバルブユニット３８内に取り込むために、ポンプ１２の吐出側に設けられる上流側主配管１４に接続されている。バルブケーシング４４は、軽量化と生産性向上のため、例えばＰＰＳ樹脂を使用した射出成形によって製作されている。
なお、上記の例では、取扱流体を液体とし、流体機械としてポンプを使用した例を示しているが、取扱流体が気体で、流体機械が送風機ブロワまたは圧縮機等の場合であっても、本発明のバルブユニットは同様に効果的に適用できる。
以上説明したように、本発明のバルブユニットによれば、１つのバルブユニットで複数の吐出口から吐出される流量を同時に制御することができる。また、カム形状の異なる複数のカムを使用することで、各吐出口から吐出される流量比率を任意かつ容易に変更することができる。また、本発明の流量制御システムによれば、システムとしての単純化とコンパクト化を図るとともに、信頼性を高め、更に、省エネルギー化に役立たせることができる。
産業上の利用の可能性
本発明は、流体を系統別配管に分岐して各々の系統を流れる流量を制御しつつ吐出するのに使用されるバルブユニットと、このバルブユニットを使用した流量制御システムに関するものである。本発明は複数の個所に流体を分岐して供給する流体供給システムに利用可能である。
【図面の簡単な説明】
図１は本発明の実施の形態のバルブユニットを示す断面図である。
図２は図１に示すバルブユニットにおける時間と各吐出口から吐出される流量の関係の一例を示すグラフである。
図３は図１に示すバルブユニットを備えた流量制御システムを示す図である。
図４は従来の流量制御システムの一例を示す図である。

Claims (6)

1. 吸込口と複数の吐出口を備え、かつ該各吐出口の内部に弁座部を設けたバルブケーシングと、
   前記バルブケーシングの各弁座部に着座自在に設けられるとともに該弁座部方向に付勢されたバルブ本体と、
   回転自在な主軸の軸方向に沿い前記弁座部に対向する位置に設けられ前記各バルブ本体にそれぞれ当接してバルブの開度を調節するカムとを有することを特徴とするバルブユニット。
2. 前記主軸を回転させるモータを備え、該モータの少なくとも固定子を気密構造にしたことを特徴とする請求項１記載のバルブユニット。
3. 前記バルブケーシングをケーシング本体と吐出ヘッダに分割して構成し、該ケーシング本体と吐出ヘッダは、共に一体でアンダーカット部のないオープン形状であることを特徴とする請求項１または２記載のバルブユニット。
4. 吸込口と複数の吐出口を備え、かつ内部に該複数の吐出口にそれぞれ連通された複数の弁座部を設けたバルブケーシングと、
   前記バルブケーシングの各弁座部に着座自在に設けられた複数のバルブ本体と、
   前記複数のバルブ本体を個別に駆動して、各バルブ本体と各弁座部との間のバルブ開度を個別に調節するアクチュエータとを備えたことを特徴とするバルブユニット。
5. 請求項１乃至４のいずれかに記載のバルブユニットと、該バルブユニットの各吐出口にそれぞれ接続した系統別配管と、前記バルブユニットの吸込口に接続された上流側主配管内に設置された可変速制御可能な流体機械とを備え、
   前記バルブユニットによるバルブ制御と前記流体機械の可変速制御とを連動させて、前記各系統別配管内を流れる流量を制御することを特徴とする流量制御システム。
6. 前記系統別配管の一部に流量検出装置を設け、この流量検出装置の信号によって全系統別配管内を流れる流量を制御することを特徴とする請求項５記載の流量制御システム。

Images