JPS649060U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS649060U JPS649060U JP10199287U JP10199287U JPS649060U JP S649060 U JPS649060 U JP S649060U JP 10199287 U JP10199287 U JP 10199287U JP 10199287 U JP10199287 U JP 10199287U JP S649060 U JPS649060 U JP S649060U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- blade
- semiconductor wafer
- holes
- wafer dicing
- blades
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 3
Landscapes
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Description
第1図は本考案の一実施例によるブレードの平
面図で、第2図はその断面図で、第3図は第1ブ
レードの平面図、第4図は第2ブレードの平面図
である。第5図は、本考案の他の実施例によるブ
レードの断面図である。第6図は、従来のフラツ
トリングタイプのブレードの平面図である。 1……第1ブレード(実施例1)、2……溝、
3……第2ブレード、4……貫通孔、5……第1
ブレード(実施例2)、6……フラツトリングタ
イプのブレード。
面図で、第2図はその断面図で、第3図は第1ブ
レードの平面図、第4図は第2ブレードの平面図
である。第5図は、本考案の他の実施例によるブ
レードの断面図である。第6図は、従来のフラツ
トリングタイプのブレードの平面図である。 1……第1ブレード(実施例1)、2……溝、
3……第2ブレード、4……貫通孔、5……第1
ブレード(実施例2)、6……フラツトリングタ
イプのブレード。
Claims (1)
- 半導体ウエハを各素子に分離する半導体ウエハ
ダイシングブレードにおいて、表面に放射状の溝
を有する第1ブレードと、複数個の貫通孔を有す
る第2ブレードから構成され、前記第1ブレード
の溝配置面と第2ブレードを貼り合せた構造を有
することを特徴とする半導体ウエハダイシングブ
レード。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10199287U JPS649060U (ja) | 1987-07-01 | 1987-07-01 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10199287U JPS649060U (ja) | 1987-07-01 | 1987-07-01 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS649060U true JPS649060U (ja) | 1989-01-18 |
Family
ID=31331491
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10199287U Pending JPS649060U (ja) | 1987-07-01 | 1987-07-01 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS649060U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0724725A (ja) * | 1993-07-07 | 1995-01-27 | Murata Mfg Co Ltd | ダイシングソー及びダイシングブレード |
-
1987
- 1987-07-01 JP JP10199287U patent/JPS649060U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0724725A (ja) * | 1993-07-07 | 1995-01-27 | Murata Mfg Co Ltd | ダイシングソー及びダイシングブレード |