JPS648591B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、灯油などの液体燃料、水・薬液など
の液体の霧化ポンプに関するものであり、さらに
詳しくは、圧電振動子などの電気振動子を利用し
た霧化ポンプに関するものである。

従来例の構成とその問題点 従来この種の霧化ポンプは、第１図に示すよう
に構成されている。すなわち電気振動子１の相対
向する平滑面には、電極膜２ａ，２ｂが形成さ
れ、電極膜２ｂとノズル板３とは半田層４ａを介
して接合がされていた。さらにノズル板３の他方
の面と、ボデイー５は半田層４ｂを介して接合さ
れていた。

電気振動子１は主成分がPbO、TiO₂、ZrO₂、
NbO、MgOからなるセラミツク体で、円形中央
部に開口部を設けたリング形状を有し、電極膜２
ａ，２ｂは、銀系の厚膜用導電性ペーストの焼結
体、ノズル板３は厚さ約50〜100μｍ程度のコバ
ール、洋白、銅など半田付に活性な金属の円板が
選ばれ、或は、ステンレスやチタンなど半田付に
不活性な金属板の表面を、半田付に活性な金属に
より薄膜形成したものが選ばれる。この薄膜処理
は、真空蒸着、メツキ、溶射などの手段によりお
こなわれている。さらにノズル板３は、その中央
部に１つまたは複数個の貫通したノズル孔６（孔
径約70〜100μｍ）が設けられている。

尚、ノズル板３は、第２図ａ，ｂに示す様に、
表面に半田レジスト膜３１，３２が形成されてい
る。半田レジスト膜３１，３２は、半田付に不活
性なクロム、アルミなどの金属膜で、真空蒸着、
スパツタ、メツキ、溶射などの方法で形成され
る。また、レジストインキや感光性樹脂を用いた
樹脂レジスト膜の形成もおこなわれている。この
半田レジスト膜３１，３２は、ノズル板３と各構
成部材とを半田接合する際、その被着部を規制す
るためのもので、半田レジスト膜３１は、電気振
動子１の被着部を、半田レジスト膜３２は、ボデ
イー５の被着部を規制している。被着部の規制
は、第３図に示す様に、電気振動子１の加振によ
り、ノズル板３が図中点線の様に振動運動する
際、この振動特性の変動の原因になる接合部の半
田流れを阻止し、半田層４ａ，４ｂを定形化する
ものである。被着部は、各構成部材とほぼ同形状
に成る様、半田レジスト膜３１，３２により規制
されている。

次に電極膜２ａは、発振回路（図省略）からの
リード線接続用電極であり、ボデイー５には液体
通路７および液体室８が設けられ、この様にして
霧化ポンプは構成されていた。

この構成では、ノズル板３と電気振動子１を接
合する際、ノズル板３の表面に設けられた、被着
部が、電気振動子１とほぼ同形状からなるため、
半田付する半田量をかなり精度良く管理する必要
があつた。また、過剰の半田が供給された場合
は、半田層４ａの接合端部（電気振動子とノズル
板との界面端部）に余剰の半田が球状に残り、振
動特性を変動させるなどの問題があつた。

発明の目的 本発明は、かかる従来の欠点を除去するもの
で、霧化ポンプの構成において、各構成部材の接
合を容易にし、特性の信頼性を高め、生産性の良
い霧化ポンプを提供することを目的とする。

発明の構成 この目的を達成するために本発明は、電気振動
子とノズル板と、これらを支持するボデイーと
が、それぞれ半田層で接合された構成からなり、
前記のノズル板の表面には、前記電気振動子を接
合するための被着部と、半田溜のための被着部
を、相互に接続した構成で被着部が形成される
様、この面以外の部分に半田レジスト膜を形成し
たものである。

この構成によつて、ノズル板と電気振動子との
接合界面の余剰半田は、振動系の影響の少ない半
田溜部へ流れ吸収される。従つて、ノズル板と電
気振動子との接合界面の半田層は、形状的に均一
化できる。ノズル板中央部を中心とした振動系の
半田層を均一化することにより、振動特性の安定
化が図れるものである。

実施例の説明 以下、本発明の一実施例を、第４図、第５図を
用いて説明する。尚、これらの図において、第１
図〜第３図と同じものについては、同一番号を付
している。

第４図において、電気振動子１は外径が10mm、
開口径3.5mm、厚さ約10mmのリング状で、従来例
と同様なもので、電極膜２ａ，２ｂが形成されて
いる。ノズル板３は、半田付に活性な表面を有し
た、デイスク状の金属薄板で従来と同様のものを
選んだ。ノズル板３の片面の一部には、第５図に
示す様に中央部に電気振動子１を接合のための被
着部と、ノズル板３外周部に余剰半田を吸収する
半田溜部３ａを相互に接続した被着パターン３３
が残る様、半田レジスト膜３４で形成されてい
る。半田溜部３ａは、第３図で示したノズル板３
の振動系に最も影響の少ない外周端部に設けられ
ている。

また、ノズル板３の他方の面には、ボデイー５
を接合するための被着部を残す様に、半田レジス
ト膜３５が形成されている。

ついで、電気振動子１の電極膜２ｂと、ノズル
板３の被着パターン３３、ならびにノズル板３の
他方の面の被着部とボデイー５は、半田層４ａお
よび半田層４ｂを介して接合される。また、ボデ
イー５の液体通路７、液体室８などは、従来と同
じ構造にしている。

上記構成において、発振回路（図省略）からの
電圧印加により、電気振動子１は発振され、半田
層４ｂを介して、ノズル板３を加振する。ノズル
板３は、第３図の点線で示した様に、振動運動を
する。その結果、液体室９に充填された液体は加
圧され、ノズル板６を介して噴霧化される。噴霧
化は振動特性に依存されるため、ノズル板３の振
動運動を安定にすることが必要であつた。従つ
て、本発明の構成では、ノズル板３の表面に、上
述の様な半田溜部３ａを持つ被着部パターン３３
を形成しているため、電気振動子１を接合時、こ
の被着部の余剰半田は、半田溜部３ａへ流れ、振
動系の影響の少ないこの部分へ吸収され、冷却後
固着される。その結果、電気振動子１とノズル板
３の接合部の半田層４ａ界面は、定形化できる。
そのため、ノズル板３の振動運動を、安定にする
ことができる。また、上述の様に、接合に不必要
な余剰の半田は、半田溜部３ａでその量に比例し
吸収することができるため、従来の様な精度の良
い半田量の管理が不要とできる。

発明の効果 以上のように、本発明の霧化ポンプによれば、
ノズル板の表面に、半田レジスト膜により電気振
動子を接合するための被着部と、半田溜のための
被着部を、相互に連結した構成で半田被着パター
ンを形成しているため、半田接合時、前者の被着
部に対し余剰の半田は、後者の被着部で相当量を
吸収できる。結果として、前者の被着部の半田界
面は、定形化できる。従つて、ノズル板の振動運
動を安定化する効果が得られ、また、半田の供給
量を精度良く管理することが不要となる効果が得
られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の構成による霧化ポンプを示す断
面図、第２図ａ，ｂは従来の構成による要部の平
面図及び断面図、第３図は霧化ポンプ基本動作を
説明する断面図、第４図は本発明の一実施例を示
す霧化ポンプの断面図、第５図ａ，ｂは本発明の
構成による要部の平面図及び断面図である。 １…電気振動子、２ａ…電極膜、２ｂ…電極
膜、３…ノズル板、４ａ…半田層、４ｂ…半田
層、５…ボデイ、６…ノズル孔、７…液体通路、
８…液体室、３ａ…半田溜部、３３…被着パター
ン、３４，３５…半田レジスト膜。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 相対向する略平滑主面上に電極膜を設けた電
   気振動子と、この電気振動子によつて加振される
   ノズル板と、これらを支持するボデイーとが、そ
   れぞれ半田層で接合された構成からなり、前記ノ
   ズル板の表面には、半田レジスト膜が形成され、
   この半田レジスト膜は、前記電気振動子を接合す
   るに要す被着部と半田溜のための被着部を相互に
   接続した所定形状で残るように、パターン形成し
   た霧化ポンプ。 ２ ノズル板は、半田付に活性なコバール、洋
   白、銅などの金属薄板、あるいは、金属薄板の表
   面が半田付に活性な前記と同じ金属層からなる特
   許請求の範囲第１項記載の霧化ポンプ。 ３ 半田溜のための被着部は、ノズル板が電気振
   動子により加振され振動する際、ノズル板の振動
   を抑えた部分に設けた特許請求の範囲第１項記載
   の霧化ポンプ。