JPS6430827U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6430827U JPS6430827U JP12581787U JP12581787U JPS6430827U JP S6430827 U JPS6430827 U JP S6430827U JP 12581787 U JP12581787 U JP 12581787U JP 12581787 U JP12581787 U JP 12581787U JP S6430827 U JPS6430827 U JP S6430827U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor substrate
- base
- opposing surface
- annealing
- impurity ions
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000000137 annealing Methods 0.000 claims description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
第１図は本考案のアニール用治具の１実施例の
平面図、第２図は同実施例の―断面図、第３
図は同実施例を使用してアニール処理を行なつて
いる状態の概略構成図である。 １……アニール用治具、２……半導体基板、４
……基部、４ａ……対向面、５……側壁。
平面図、第２図は同実施例の―断面図、第３
図は同実施例を使用してアニール処理を行なつて
いる状態の概略構成図である。 １……アニール用治具、２……半導体基板、４
……基部、４ａ……対向面、５……側壁。
Claims (1)
- 蒸気圧の異なる少なくとも二種類の元素を有す
る化合物半導体よりなる半導体基板への不純物イ
オンの注入後、この不純物イオンの注入された半
導体基板をアニールするためのアニール用治具に
おいて、前記半導体基板への対向面側に蒸気圧の
高い方の元素を含む基部と、該基部の前記対向面
に前記半導体基板のアニール面の側方に当接しか
つ該対向面とアニール面との間に実質的な密閉空
間を形成するための側壁とを備えてなるアニール
用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12581787U JPS6430827U (ja) | 1987-08-19 | 1987-08-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12581787U JPS6430827U (ja) | 1987-08-19 | 1987-08-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6430827U true JPS6430827U (ja) | 1989-02-27 |
Family
ID=31376757
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12581787U Pending JPS6430827U (ja) | 1987-08-19 | 1987-08-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6430827U (ja) |
-
1987
- 1987-08-19 JP JP12581787U patent/JPS6430827U/ja active Pending
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