JPS6426182U - - Google Patents

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JPS6426182U
JPS6426182U JP12049887U JP12049887U JPS6426182U JP S6426182 U JPS6426182 U JP S6426182U JP 12049887 U JP12049887 U JP 12049887U JP 12049887 U JP12049887 U JP 12049887U JP S6426182 U JPS6426182 U JP S6426182U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案に係わるフインガ取付装置の
一実施例の構成を示す斜視図；第２図はフインガ
の取り付け部付近の構成を示す断面図；第３図は
フインガステーシヨンの構成を示す正面図；そし
て、第４図はフインガがラツクに保持された状態
を示す正面図である。 図中、１０…フインガ取付装置、１２…ロボツ
トアーム、１４…フインガ取付部材、１６…フイ
ンガ保持部材、１８…電磁コイル、２２…フイン
ガ部分、２４…環状のフツク溝、２６…位置決め
ピン、２８…凹部、３０…フインガステーシヨン
、３２…フインガラツク、３４…ラツク板、３６
…挿入用凹所、３８…ラツク内位置決めピン、４
０…位置決め用穴、４２…光反射体、４４…フオ
トセンサである。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ロボツトアームの先端にフインガを交換可
    能に保持する保持手段と、 ロボツトアームのフインガラツクに対する位置
    を検出する検出手段とを具備し、 この検出手段によりロボツトアームがフインガ
    ラツクに在ることが検出された場合に、前記保持
    手段によるフインガの保持が解除可能状態に設定
    される事を特徴とするフインガ取付装置。 (2) 前記検出手段は、ロボツトアームに設けら
    れた検出器と、フインガラツクに設けられた被検
    出体とを備え、 この検出器は、被検出体を検出した際に、前記
    ロボツトアームがフインガラツクに在ることを示
    す検出信号を出力する事を特徴とする特許請求の
    範囲第１項に記載のフインガ取付装置。
JP1987120498U 1987-08-07 1987-08-07 フインガ取付装置 Expired - Lifetime JPH085033Y2 (ja)

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JP1987120498U JPH085033Y2 (ja) 1987-08-07 1987-08-07 フインガ取付装置

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JPS6426182U true JPS6426182U (ja) 1989-02-14
JPH085033Y2 JPH085033Y2 (ja) 1996-02-14

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006120799A (ja) * 2004-10-20 2006-05-11 Tokyo Electron Ltd 基板処理装置、基板載置台交換方法、及びプログラム

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59136292U (ja) * 1983-03-01 1984-09-11 株式会社安川電機 産業用ロボツトの加工具取付装置
JPS60155387A (ja) * 1983-12-29 1985-08-15 ルーデイ・キルスト ロボツト若しくは操作装置のグリツパを自動的に交換及び連結するための装置
JPS60249585A (ja) * 1984-05-23 1985-12-10 三菱電機株式会社 産業用ロボツト装置

Patent Citations (3)

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Publication number Publication date
JPH085033Y2 (ja) 1996-02-14

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