JPS641950B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS641950B2 JPS641950B2 JP5582184A JP5582184A JPS641950B2 JP S641950 B2 JPS641950 B2 JP S641950B2 JP 5582184 A JP5582184 A JP 5582184A JP 5582184 A JP5582184 A JP 5582184A JP S641950 B2 JPS641950 B2 JP S641950B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- gas
- duct
- medium gas
- laser medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 14
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明はガスレーザ発振器のレーザ発振特性
の改良に関するものである。
の改良に関するものである。
従来この種の装置として第１図に示すものがあ
つた。
つた。
図において、容器１内にレーザ媒質ガス２を封
入し電極３Ａ，３Ｂ間に電源４から電圧を印加す
ると、放電５が発生し、レーザ媒質ガス２を励起
し、この放電５を挾んで対向して置かれた全反射
鏡６と部分透過鏡７の間でレーザ発振が起こり、
レーザ光８を出力する。また放電５により高温に
なつたレーザ媒質ガス２は熱交換器９を通ること
により冷却され、再度送風機１０により電極３
Ａ，３Ｂ間に送られ循環される。インバー１３は
容器１が仮にたわんでも影響されない様形成され
ている。光学基板１１，１２はインバー１３によ
り保持され、平行状態を温度変化等があつても安
定に保つようになつている。また光学基板１４，
１５にはマイクロメータ１６〜１９が取付けられ
ており、さらにこのマイクロメータ１６〜１９は
光学基板１１，１２に接している。また光学基板
１４，１５には全反射鏡６または部分透過鏡７が
取付けられマイクロメータ１６〜１９の表示され
る数値によつて光学基板１４，１５を調整するこ
とにより角度調整ができるようになつている。ベ
ローズ２０，２１は光学基板１４，１５が自由に
動くことができるよう構成されており、レーザ媒
質ガス２と大気とをしや断する機能もしている。
入し電極３Ａ，３Ｂ間に電源４から電圧を印加す
ると、放電５が発生し、レーザ媒質ガス２を励起
し、この放電５を挾んで対向して置かれた全反射
鏡６と部分透過鏡７の間でレーザ発振が起こり、
レーザ光８を出力する。また放電５により高温に
なつたレーザ媒質ガス２は熱交換器９を通ること
により冷却され、再度送風機１０により電極３
Ａ，３Ｂ間に送られ循環される。インバー１３は
容器１が仮にたわんでも影響されない様形成され
ている。光学基板１１，１２はインバー１３によ
り保持され、平行状態を温度変化等があつても安
定に保つようになつている。また光学基板１４，
１５にはマイクロメータ１６〜１９が取付けられ
ており、さらにこのマイクロメータ１６〜１９は
光学基板１１，１２に接している。また光学基板
１４，１５には全反射鏡６または部分透過鏡７が
取付けられマイクロメータ１６〜１９の表示され
る数値によつて光学基板１４，１５を調整するこ
とにより角度調整ができるようになつている。ベ
ローズ２０，２１は光学基板１４，１５が自由に
動くことができるよう構成されており、レーザ媒
質ガス２と大気とをしや断する機能もしている。
従来のガスレーザ発振器は以上のように構成さ
れているので、レーザ発振をするとベローズ２
０，２１が筒状となつているためにレーザ媒質ガ
ス２２，２３が充満し、さらにレーザ光を吸収す
ることにより温度が上昇し、さらに温度が高くな
ることにより吸収率が増加するという現象が起こ
り、レーザ発振効率が下つてしまう。
れているので、レーザ発振をするとベローズ２
０，２１が筒状となつているためにレーザ媒質ガ
ス２２，２３が充満し、さらにレーザ光を吸収す
ることにより温度が上昇し、さらに温度が高くな
ることにより吸収率が増加するという現象が起こ
り、レーザ発振効率が下つてしまう。
これを第３図において説明すると、２９は放電
電力に対するレーザ出力であり、放電電力を増加
してもレーザ出力が増加しなくなり、発振効率が
低下するといつた欠点があつた。
電力に対するレーザ出力であり、放電電力を増加
してもレーザ出力が増加しなくなり、発振効率が
低下するといつた欠点があつた。
この発明は上記のような従来のものの欠点を除
去するためになされたもので、ベローズの内側の
レーザ媒質ガスを滞留しないように送風機により
流れを作る構成にすることにより、発振効率の良
いガスレーザ発振器を得ることを目的としてい
る。
去するためになされたもので、ベローズの内側の
レーザ媒質ガスを滞留しないように送風機により
流れを作る構成にすることにより、発振効率の良
いガスレーザ発振器を得ることを目的としてい
る。
以下この発明の一実施例を第２図について説明
する。
する。
図において、第１図と同一符号は同一または相
当部分を示し、ベローズ２１により形成されてい
る筒状部の内部空間部には、容器１にシールダク
ト２５が取付けられて囲われ、密閉室が形成され
ている。この密閉室のレーザ光の光軸方向にはア
ルミニウム材、樹脂材などより成形されたパイプ
状のダクト２４が設けられ開口されている。パイ
プ状のダクト２４は上記密閉室の光軸方向と同方
向でかつレーザ光が貫通するよう配設されてお
り、一端は部分透過鏡７の近傍部に、他端は電極
３Ａ，３Ｂの近傍部まで伸びている。さらにダク
ト２４の外側のレーザ媒質ガス２がもれないよう
な構造にしたシールダクト２５には、容器１内の
レーザ媒質ガス２をダクト２４内に送り込むため
の送風機２６が取付けられている。そして送風機
２６の吸込側にはエアフイルタ２８が設けられて
おり、このエアフイルタ２８によつて容器１内に
混入している塵埃を吸着し、全反射鏡６や部分透
過鏡７の表面への塵埃の付着、破損を防いでい
る。このエアフイルタ２８によつて清浄にされた
レーザ媒質ガス２７はベローズ２１とダクト２４
との隙間部に送り込まれ、さらに部分透過鏡７
と、ダクト２４との隙間部を通つてダクト２４内
の充満しているレーザ媒質ガス２を電極３Ａ，３
Ｂの方向に押し出される。
当部分を示し、ベローズ２１により形成されてい
る筒状部の内部空間部には、容器１にシールダク
ト２５が取付けられて囲われ、密閉室が形成され
ている。この密閉室のレーザ光の光軸方向にはア
ルミニウム材、樹脂材などより成形されたパイプ
状のダクト２４が設けられ開口されている。パイ
プ状のダクト２４は上記密閉室の光軸方向と同方
向でかつレーザ光が貫通するよう配設されてお
り、一端は部分透過鏡７の近傍部に、他端は電極
３Ａ，３Ｂの近傍部まで伸びている。さらにダク
ト２４の外側のレーザ媒質ガス２がもれないよう
な構造にしたシールダクト２５には、容器１内の
レーザ媒質ガス２をダクト２４内に送り込むため
の送風機２６が取付けられている。そして送風機
２６の吸込側にはエアフイルタ２８が設けられて
おり、このエアフイルタ２８によつて容器１内に
混入している塵埃を吸着し、全反射鏡６や部分透
過鏡７の表面への塵埃の付着、破損を防いでい
る。このエアフイルタ２８によつて清浄にされた
レーザ媒質ガス２７はベローズ２１とダクト２４
との隙間部に送り込まれ、さらに部分透過鏡７
と、ダクト２４との隙間部を通つてダクト２４内
の充満しているレーザ媒質ガス２を電極３Ａ，３
Ｂの方向に押し出される。
このようにして、第３図の放電電力に対するレ
ーザ出力３０に示す如く、レーザ媒質ガス２の吸
収による影響がなく、放電電力に対して直線的に
レーザ出力が増加するため、放電電力が高くなり
レーザ出力も同様に高くなることができる。すな
わち、発振効率が良くなるということである。し
かるにレーザ媒質ガス２によるレーザ光８の吸収
率は低下し、よつてレーザ出力の不安定さはなく
なる。
ーザ出力３０に示す如く、レーザ媒質ガス２の吸
収による影響がなく、放電電力に対して直線的に
レーザ出力が増加するため、放電電力が高くなり
レーザ出力も同様に高くなることができる。すな
わち、発振効率が良くなるということである。し
かるにレーザ媒質ガス２によるレーザ光８の吸収
率は低下し、よつてレーザ出力の不安定さはなく
なる。
なおダクト２４の長さは、ダクト２４内をレー
ザ媒質ガス２が流通するとき加速されるので、あ
る程度の長さを必要とし極端に短ければ流通の力
が弱く効果が少ない。なお上記実施例ではダクト
２４の材質はアルミニウム材、樹脂材などより成
るパイプ形状のものを用いたが、レーザ媒質ガス
２や熱などの影響を受けない材質のものであれば
用いても良い。
ザ媒質ガス２が流通するとき加速されるので、あ
る程度の長さを必要とし極端に短ければ流通の力
が弱く効果が少ない。なお上記実施例ではダクト
２４の材質はアルミニウム材、樹脂材などより成
るパイプ形状のものを用いたが、レーザ媒質ガス
２や熱などの影響を受けない材質のものであれば
用いても良い。
また送風機１０によつてレーザ媒質ガス２が循
環されるが、さらに送風機２６によつてダクト２
４内にレーザ媒質ガス２が流通されるので、これ
らのレーザ媒質ガス２が容器１内で互いに干渉し
て滞留することがなくなる。
環されるが、さらに送風機２６によつてダクト２
４内にレーザ媒質ガス２が流通されるので、これ
らのレーザ媒質ガス２が容器１内で互いに干渉し
て滞留することがなくなる。
さらに上記実施例では、部分透過鏡７側にダク
ト２４と送風機２６を設けた場合について説明し
たが、全反射鏡６側に同様の構造としてもよく、
また部分透過鏡７側および全反射鏡６側の双方に
設けてもよく、上記実施例と同様の効果が得られ
る。
ト２４と送風機２６を設けた場合について説明し
たが、全反射鏡６側に同様の構造としてもよく、
また部分透過鏡７側および全反射鏡６側の双方に
設けてもよく、上記実施例と同様の効果が得られ
る。
また上記実施例では、送風機２６によりレーザ
媒質ガス２をダクト２４内に送り込む場合につい
て説明したが、ダクト２４外に排出するようにし
てもよく、上記実施例と同様の効果が得られる。
媒質ガス２をダクト２４内に送り込む場合につい
て説明したが、ダクト２４外に排出するようにし
てもよく、上記実施例と同様の効果が得られる。
以上のように、この発明によれば筒状部の内部
空間を含む密閉室を設け、この密閉室にレーザ媒
質ガスを圧入または排出する送風機を備えるとと
もにパイプ状のダクトから成る開口部を上記密閉
室に設けたので、レーザ媒質ガスが滞留せずレー
ザ出力が安定し発振効率の高いガスレーザ発振器
を得ることができる効果がある。
空間を含む密閉室を設け、この密閉室にレーザ媒
質ガスを圧入または排出する送風機を備えるとと
もにパイプ状のダクトから成る開口部を上記密閉
室に設けたので、レーザ媒質ガスが滞留せずレー
ザ出力が安定し発振効率の高いガスレーザ発振器
を得ることができる効果がある。
第１図は従来のガスレーザ発振器を示す概略
図、第２図はこの発明の一実施例によるガスレー
ザ発振器の部分拡大断面図である。第３図は動作
を説明するための特性図である。 図において同一符号は同一または相当部分を示
し、１は容器、２，２２，２３，２７はレーザ媒
質ガス、５は放電、６は全反射鏡、７は部分透過
鏡、８はレーザ光、９は熱交換器、１０，２６は
送風機、２０，２１はベローズ、２４はダクト、
２８はエアフイルタである。
図、第２図はこの発明の一実施例によるガスレー
ザ発振器の部分拡大断面図である。第３図は動作
を説明するための特性図である。 図において同一符号は同一または相当部分を示
し、１は容器、２，２２，２３，２７はレーザ媒
質ガス、５は放電、６は全反射鏡、７は部分透過
鏡、８はレーザ光、９は熱交換器、１０，２６は
送風機、２０，２１はベローズ、２４はダクト、
２８はエアフイルタである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ レーザ媒質ガスを満たした容器と、この容器
内に対向配設された電極と、この電極間の放電に
より励起されて発生するレーザ光の光軸上の双方
に、容器に接続され端面に全反射鏡を有する第１
の筒状部と、端面に部分透過鏡を有する第２の筒
状部とを備えたガスレーザ発振器において、一方
の上記筒状部の内部空間を含む密閉室を設け、こ
の密閉室にレーザ媒質ガスを圧入または排出する
送風機を備えるとともに、上記レーザ光の光軸方
向にレーザ光が貫通するパイプ状ダクトから成る
開口部を上記密閉室の上記電極に対向した側に備
えたことを特徴とするガスレーザ発振器。 ２ パイプ状ダクトは筒状部まで挿入されて成る
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のガ
スレーザ発振器。 ３ パイプ状ダクトはアルミニウム材より成るこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項または第２
項記載のガスレーザ発振器。 ４ 送風機はレーザ媒質ガスのフイルタを有する
ものであることを特徴とする特許請求の範囲第１
項または第２項または第３項記載のガスレーザ発
振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5582184A JPS60198878A (ja) | 1984-03-23 | 1984-03-23 | ガスレ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5582184A JPS60198878A (ja) | 1984-03-23 | 1984-03-23 | ガスレ−ザ発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60198878A JPS60198878A (ja) | 1985-10-08 |
| JPS641950B2 true JPS641950B2 (ja) | 1989-01-13 |
Family
ID=13009611
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5582184A Granted JPS60198878A (ja) | 1984-03-23 | 1984-03-23 | ガスレ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60198878A (ja) |
-
1984
- 1984-03-23 JP JP5582184A patent/JPS60198878A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60198878A (ja) | 1985-10-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS641950B2 (ja) | ||
| JPS603170A (ja) | 無声放電式ガスレ−ザ装置 | |
| US3528028A (en) | Gaseous laser of improved construction | |
| US5268919A (en) | Gas laser oscillating device | |
| US4317090A (en) | Laser oscillator | |
| US4907241A (en) | Gas laser device | |
| US6289029B1 (en) | Solid state laser | |
| JPH02161786A (ja) | 半導体レーザ励起固定レーザ装置 | |
| JP2833219B2 (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| US6169755B1 (en) | Laser-diode-pumped solid state laser and an optical system using the same | |
| US3517329A (en) | Laser having an electrostrictive detuning member | |
| JP2800503B2 (ja) | ダイオード励起固体レーザ | |
| JPS6310917B2 (ja) | ||
| JPS6235276B2 (ja) | ||
| JPH05110164A (ja) | レーザ発振器 | |
| JP3259161B2 (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JPH05198868A (ja) | レーザ装置 | |
| JPS62243382A (ja) | レ−ザ発振器 | |
| JPH03178179A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JPS6196784A (ja) | ガスレ−ザ | |
| JPH02125681A (ja) | ガスレーザ発振装置の調整方法 | |
| JPS5843587A (ja) | 空冷型レ−ザ発振器 | |
| JPH03292781A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JPH01108786A (ja) | ガスレーザ装置 | |
| JPS6021583A (ja) | ガスレ−ザ発振装置 |