JPS6397222A - 薬液供給装置 - Google Patents
薬液供給装置Info
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- JPS6397222A JPS6397222A JP61243138A JP24313886A JPS6397222A JP S6397222 A JPS6397222 A JP S6397222A JP 61243138 A JP61243138 A JP 61243138A JP 24313886 A JP24313886 A JP 24313886A JP S6397222 A JPS6397222 A JP S6397222A
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 54
- 239000003814 drug Substances 0.000 claims 6
- 229940079593 drug Drugs 0.000 claims 6
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 240000007594 Oryza sativa Species 0.000 description 1
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- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J4/00—Feed or outlet devices; Feed or outlet control devices
- B01J4/02—Feed or outlet devices; Feed or outlet control devices for feeding measured, i.e. prescribed quantities of reagents
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の分野］
本発明は、半導体製造プロセス、特にフォトプロセスに
おいて多量の薬液を使用する薬液供給装置に関し、特に
薬液の自動供給を可能とする薬液自動供給システムに関
する。
おいて多量の薬液を使用する薬液供給装置に関し、特に
薬液の自動供給を可能とする薬液自動供給システムに関
する。
［従来の技術］
半導体フォトプロセス装置に対し使用する薬液を供給す
る場合、薬液は加圧ガス（エア）を導入した加圧薬液容
器から装置に供給される。従来のフォトプロセス装置に
おいては、薬液供給中の加圧薬液容器が空になると装置
を停止して加圧薬液容器を交換していた。従って容器交
換中はロスタイムとなり装置の稼動効率が低下し、特に
多量の薬液を消費する装置では交換頻度が高く問題が大
ぎかった。
る場合、薬液は加圧ガス（エア）を導入した加圧薬液容
器から装置に供給される。従来のフォトプロセス装置に
おいては、薬液供給中の加圧薬液容器が空になると装置
を停止して加圧薬液容器を交換していた。従って容器交
換中はロスタイムとなり装置の稼動効率が低下し、特に
多量の薬液を消費する装置では交換頻度が高く問題が大
ぎかった。
［発明の目的コ
本発明は前記従来技術の欠点に鑑みなされたものであっ
て、容器内の薬液が空になった場合、フォトプロセス装
置を停止することなく別の容器から直ちに連続的に薬液
の供給を可能としまた薬液供給動作を自動化して省力化
を図った薬液自動供給システムの提供を目的とする。
て、容器内の薬液が空になった場合、フォトプロセス装
置を停止することなく別の容器から直ちに連続的に薬液
の供給を可能としまた薬液供給動作を自動化して省力化
を図った薬液自動供給システムの提供を目的とする。
［実施例］
第１図は本発明に係る薬液自動供給システムの構成説明
図である。この実施例では２個の同様な構成の加圧薬液
容器５ａ、５ｂが配設される。各容器構造およびこれら
に接続する配管系等は同様であるため各構成部の参照番
号に添字ａ、ｂを付して両者を区別し、一方の加圧薬液
容器５ａについてのみ構成を説明する。加圧ガス（Ｎ２
又はエア）を導入するためのガス配管３１および薬液を
導入するための薬液配管３０が加圧薬液容器５ａに接続
されている。ガス配管３１上には加圧弁１ａおよびエア
抜き弁２ａが設けられる。ガス配管３１は図示しない加
圧ガス供給源に接続され、矢印Ｃのように加圧ガスを導
入し、エア抜き弁２ａを通して矢印りのように大気に開
放される。薬液配管３０上には入口弁３ａおよび出口弁
４ａが設けられる。
図である。この実施例では２個の同様な構成の加圧薬液
容器５ａ、５ｂが配設される。各容器構造およびこれら
に接続する配管系等は同様であるため各構成部の参照番
号に添字ａ、ｂを付して両者を区別し、一方の加圧薬液
容器５ａについてのみ構成を説明する。加圧ガス（Ｎ２
又はエア）を導入するためのガス配管３１および薬液を
導入するための薬液配管３０が加圧薬液容器５ａに接続
されている。ガス配管３１上には加圧弁１ａおよびエア
抜き弁２ａが設けられる。ガス配管３１は図示しない加
圧ガス供給源に接続され、矢印Ｃのように加圧ガスを導
入し、エア抜き弁２ａを通して矢印りのように大気に開
放される。薬液配管３０上には入口弁３ａおよび出口弁
４ａが設けられる。
薬液配管３０は図示しない薬液供給源（工場ライン）に
接続され、矢印Ａのように薬液を各容器に導入する。ま
た薬液配管３０は図示しないフォトプロセス装置に接続
され矢印Ｂのように薬液を供給する。加圧薬液容器５ａ
には薬液が満杯状態の上限位置および交換を要する空の
状態の下限位置を各々検知するための上限センサーＳｌ
ａおよび下限センサーＳ２ａが備わる。
接続され、矢印Ａのように薬液を各容器に導入する。ま
た薬液配管３０は図示しないフォトプロセス装置に接続
され矢印Ｂのように薬液を供給する。加圧薬液容器５ａ
には薬液が満杯状態の上限位置および交換を要する空の
状態の下限位置を各々検知するための上限センサーＳｌ
ａおよび下限センサーＳ２ａが備わる。
上限センサーＳｌａおよび下限センサーＳ２ａの例を第
２図に示す。加圧薬液容器５ａ内に収容された薬液８ａ
の液面にマグネット付フロート９ａが浮かべられる。マ
グネット付フロート９ａはガイド棒１０ａに装着され液
面に従って上下動する。ガイド棒１０ａの上端部および
下端部には各々磁気センサーＳｌａおよびＳ２ａが設け
られる。７ａはキャップ、ｌｌａはリード線である。薬
液の充填時に容器内の薬液量が増加して液面が上昇する
とマグネット付フロート９ａも上昇し、薬液が満杯状態
になると、上限センサーである磁気センサーＳｌａがマ
グネット付フロート９ａにより、動作し検知信号を発す
る。一方、薬液の使用時、容器内の薬液量が低下すると
マグネット付フロート９ａが下降し、薬液がほぼ空にな
ると下限センサーである磁気センサーＳ２ａが動作して
検知信号を発する。
２図に示す。加圧薬液容器５ａ内に収容された薬液８ａ
の液面にマグネット付フロート９ａが浮かべられる。マ
グネット付フロート９ａはガイド棒１０ａに装着され液
面に従って上下動する。ガイド棒１０ａの上端部および
下端部には各々磁気センサーＳｌａおよびＳ２ａが設け
られる。７ａはキャップ、ｌｌａはリード線である。薬
液の充填時に容器内の薬液量が増加して液面が上昇する
とマグネット付フロート９ａも上昇し、薬液が満杯状態
になると、上限センサーである磁気センサーＳｌａがマ
グネット付フロート９ａにより、動作し検知信号を発す
る。一方、薬液の使用時、容器内の薬液量が低下すると
マグネット付フロート９ａが下降し、薬液がほぼ空にな
ると下限センサーである磁気センサーＳ２ａが動作して
検知信号を発する。
２つの加圧薬液容器５ａ、５ｂの上限センサーＳｌａ、
Ｓｌｂおよび下限センサーＳ２ａ、Ｓ２ｂは制御回路６
（第１図）に接続され、各容器の上限および下限位置の
検知信号が制御回路６に入力される。制御回路６はさら
に各容器の加圧弁１ａ。
Ｓｌｂおよび下限センサーＳ２ａ、Ｓ２ｂは制御回路６
（第１図）に接続され、各容器の上限および下限位置の
検知信号が制御回路６に入力される。制御回路６はさら
に各容器の加圧弁１ａ。
ｌｂ、エア抜き弁２ａ、２ｂ、人口弁３ａ。
３ｂ、および出口弁４ａ、４ｂの駆動装置（図示しない
）に接続され、前記上限および下限センサーＳｌａ 、
Ｓｌｂ 、 Ｓ２ａ 、 Ｓ２ｂの出力に基いて、予
め設定したシーケンスプログラムに従って前記各弁の開
閉駆動制御を行なう。
）に接続され、前記上限および下限センサーＳｌａ 、
Ｓｌｂ 、 Ｓ２ａ 、 Ｓ２ｂの出力に基いて、予
め設定したシーケンスプログラムに従って前記各弁の開
閉駆動制御を行なう。
上記制御回路６のシーケンスプログラムに基づくバルブ
制御動作のフローチャートを第３図に示し、各パルプお
よびセンサーのＯＮ１０ Ｆ Ｆのタイムチャートを第
４図に示す。第３図（ａ）および（ｂ）は各々加圧薬液
容器５ａおよび５ｂについての制御動作を示したもので
ある。各容器５ａ。
制御動作のフローチャートを第３図に示し、各パルプお
よびセンサーのＯＮ１０ Ｆ Ｆのタイムチャートを第
４図に示す。第３図（ａ）および（ｂ）は各々加圧薬液
容器５ａおよび５ｂについての制御動作を示したもので
ある。各容器５ａ。
５ｂは同様の動作を交互に行なう。制御動作がスタート
し加圧薬液容器５ａ内の薬液がなくなると下限センサー
Ｓ２Ａがこれを検出し、ＥＭＰＴＹ出力を発する（ステ
ップ１２）。この検出信号に基き容器５ａの出口弁４ａ
を閉じ容器５ｂの出口弁４ｂを開いて加圧薬液容器５ｂ
から薬液を供給する。この容器５ｂからの薬液供給動作
とともに入口弁３ａを開いて空の容器５ａへの薬液充填
動作を開始する（ステップ１３）。このと籾、容器内へ
の薬液の流入を円滑にするために加圧弁１ａを閉じ、エ
ア抜き弁２ａを開いて容器５ａ内のエア抜きを行なう。
し加圧薬液容器５ａ内の薬液がなくなると下限センサー
Ｓ２Ａがこれを検出し、ＥＭＰＴＹ出力を発する（ステ
ップ１２）。この検出信号に基き容器５ａの出口弁４ａ
を閉じ容器５ｂの出口弁４ｂを開いて加圧薬液容器５ｂ
から薬液を供給する。この容器５ｂからの薬液供給動作
とともに入口弁３ａを開いて空の容器５ａへの薬液充填
動作を開始する（ステップ１３）。このと籾、容器内へ
の薬液の流入を円滑にするために加圧弁１ａを閉じ、エ
ア抜き弁２ａを開いて容器５ａ内のエア抜きを行なう。
上限センサーＳｌａが容器５ａ内への薬液充填完了を検
出すると（ステップ１４）、入口弁３ａを閉じる（ステ
ップ１５）。この状態で５秒間放置しエア抜きを行ない
その後エア抜き弁２ａを閉じる。続いて加圧弁１ａを開
いて加圧薬液容器５ａからの薬液を供給可能な状態とす
る（ステップ１７）。この状態で、供給動作中の容器５
ｂが空かどうかを検出しくステップ１９）、容器５ｂの
下限センサーＳ２ｂが空の状態を検出すると容器５ａか
らの薬液供給動作を開始する（ステップ２０）。
出すると（ステップ１４）、入口弁３ａを閉じる（ステ
ップ１５）。この状態で５秒間放置しエア抜きを行ない
その後エア抜き弁２ａを閉じる。続いて加圧弁１ａを開
いて加圧薬液容器５ａからの薬液を供給可能な状態とす
る（ステップ１７）。この状態で、供給動作中の容器５
ｂが空かどうかを検出しくステップ１９）、容器５ｂの
下限センサーＳ２ｂが空の状態を検出すると容器５ａか
らの薬液供給動作を開始する（ステップ２０）。
この容器５ａからの薬液供給動作中に、容器５ｂに対し
、前述と同様の薬液充填動作が行なわれる。容器５ａが
空になると下限センサー１ａがこれを検知しくステップ
２２） 、 ＥＭＰＴＹ出力を発して（ステップ１２）
前述の薬液充填動作が繰返される。
、前述と同様の薬液充填動作が行なわれる。容器５ａが
空になると下限センサー１ａがこれを検知しくステップ
２２） 、 ＥＭＰＴＹ出力を発して（ステップ１２）
前述の薬液充填動作が繰返される。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明に係る薬液自動供給システ
ムにおいては、２木の加圧薬液容器を用いて制御回路に
より交互に連続的に薬液供給のシーケンス制御を行なっ
ている。従って薬液供給中の容器が空になっても供給動
作を中断することなく直ちに別の容器から薬液供給を連
続して行なうことができ、従来のような空の容器交換に
伴うプロセスのロスタイムがなくなる。また、薬液供給
動作の完全自動化が図られ、半導体製造プロセスが効率
良く行なわれる。
ムにおいては、２木の加圧薬液容器を用いて制御回路に
より交互に連続的に薬液供給のシーケンス制御を行なっ
ている。従って薬液供給中の容器が空になっても供給動
作を中断することなく直ちに別の容器から薬液供給を連
続して行なうことができ、従来のような空の容器交換に
伴うプロセスのロスタイムがなくなる。また、薬液供給
動作の完全自動化が図られ、半導体製造プロセスが効率
良く行なわれる。
第１図は本発明に係る薬液自動供給システムの構成説明
図、第２図は本発明で用いる加圧薬液容器の概略斜視図
、第３図および第４図は各々本発明に係る薬液自動供給
システムにおける各弁およびセンサーの動作を示すフロ
ーチャートおよびタイムチャートである。 ｌａ、ｌｂ：加圧弁、２ａ、２ｂ；エア抜き弁、３ａ、
３ｂ＋入口弁、４ａ、４ｂ：出口弁、５ａ、５ｂ：加圧
薬液容器、Ｓｌａ、 Ｓｌｂ ：上限センサー、Ｓ２ａ
、 Ｓ２ｂ ：下限センサー。 第 ３ （ｆ）） 図
図、第２図は本発明で用いる加圧薬液容器の概略斜視図
、第３図および第４図は各々本発明に係る薬液自動供給
システムにおける各弁およびセンサーの動作を示すフロ
ーチャートおよびタイムチャートである。 ｌａ、ｌｂ：加圧弁、２ａ、２ｂ；エア抜き弁、３ａ、
３ｂ＋入口弁、４ａ、４ｂ：出口弁、５ａ、５ｂ：加圧
薬液容器、Ｓｌａ、 Ｓｌｂ ：上限センサー、Ｓ２ａ
、 Ｓ２ｂ ：下限センサー。 第 ３ （ｆ）） 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、２個の薬液容器を具備し、一方の薬液容器から薬液
を供給し、該一方の薬液容器の薬液量が下限に達すると
他方の薬液容器から薬液供給を開始するとともに前記一
方の加圧薬液容器に薬液を充填するように制御手段によ
りシーケンス制御することを特徴とする薬液自動供給シ
ステム。 ２、前記薬液容器に加圧用ガス配管および薬液配管を接
続し、該ガス配管上にガス導入用加圧弁およびガス排出
用エア抜き弁を設け、該薬液配管上に入口弁および出口
弁を設け、前記２個の薬液容器に各々上限に達したこと
を検知する上限センサーおよび下限に達したことを検知
する下限センサーの出力に基き前記加圧弁、エア抜き弁
、入口弁および出口弁を開閉駆動して２個の薬液容器を
交互に用いて薬液供給動作を中断することなく連続的に
行なうように前記制御手段を構成したことを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の薬液自動供給システム。 ３、前記制御手段は、前記上限センサーおよび下限セン
サーに接続し、かつ加圧弁、エア抜き弁、入口弁および
出口弁の各駆動装置に接続する制御回路からなることを
特徴とする特許請求の範囲第２項記載の薬液自動供給シ
ステム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61243138A JP2556313B2 (ja) | 1986-10-15 | 1986-10-15 | 薬液供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61243138A JP2556313B2 (ja) | 1986-10-15 | 1986-10-15 | 薬液供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6397222A true JPS6397222A (ja) | 1988-04-27 |
| JP2556313B2 JP2556313B2 (ja) | 1996-11-20 |
Family
ID=17099353
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61243138A Expired - Lifetime JP2556313B2 (ja) | 1986-10-15 | 1986-10-15 | 薬液供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2556313B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0277752A (ja) * | 1988-09-13 | 1990-03-16 | Tokyo Electron Ltd | 現像装置 |
| JPH0311617A (ja) * | 1989-06-08 | 1991-01-18 | Tokyo Electron Ltd | 処理液の供給装置 |
| EP0723214A1 (en) * | 1995-01-17 | 1996-07-24 | Olin Corporation | Computer-controlled chemical dispenser with alternative operating modes |
| WO1998007509A1 (fr) * | 1996-08-23 | 1998-02-26 | Nikon Corporation | Procede et systeme d'alimentation en matiere liquide |
| JP2000015082A (ja) * | 1998-07-03 | 2000-01-18 | Kanto Chem Co Inc | 安全検出型薬液供給装置 |
| JP2016128156A (ja) * | 2015-01-09 | 2016-07-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理液濾過装置、薬液供給装置及び処理液濾過方法並びに記憶媒体 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56172328U (ja) * | 1980-05-23 | 1981-12-19 | ||
| JPS58101732A (ja) * | 1981-12-14 | 1983-06-17 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 薬液供給装置 |
| JPS58100038U (ja) * | 1981-12-26 | 1983-07-07 | 株式会社西原環境衛生研究所 | 次亜塩素酸ナトリウム溶液の定圧注入装置 |
| JPS60244333A (ja) * | 1984-05-21 | 1985-12-04 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 原料液補給装置 |
-
1986
- 1986-10-15 JP JP61243138A patent/JP2556313B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56172328U (ja) * | 1980-05-23 | 1981-12-19 | ||
| JPS58101732A (ja) * | 1981-12-14 | 1983-06-17 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 薬液供給装置 |
| JPS58100038U (ja) * | 1981-12-26 | 1983-07-07 | 株式会社西原環境衛生研究所 | 次亜塩素酸ナトリウム溶液の定圧注入装置 |
| JPS60244333A (ja) * | 1984-05-21 | 1985-12-04 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 原料液補給装置 |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0277752A (ja) * | 1988-09-13 | 1990-03-16 | Tokyo Electron Ltd | 現像装置 |
| JPH0311617A (ja) * | 1989-06-08 | 1991-01-18 | Tokyo Electron Ltd | 処理液の供給装置 |
| EP0723214A1 (en) * | 1995-01-17 | 1996-07-24 | Olin Corporation | Computer-controlled chemical dispenser with alternative operating modes |
| WO1998007509A1 (fr) * | 1996-08-23 | 1998-02-26 | Nikon Corporation | Procede et systeme d'alimentation en matiere liquide |
| US6116260A (en) * | 1996-08-23 | 2000-09-12 | Nikon Corporation | Liquid material supplying apparatus and liquid material supplying method |
| JP2000015082A (ja) * | 1998-07-03 | 2000-01-18 | Kanto Chem Co Inc | 安全検出型薬液供給装置 |
| JP2016128156A (ja) * | 2015-01-09 | 2016-07-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理液濾過装置、薬液供給装置及び処理液濾過方法並びに記憶媒体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2556313B2 (ja) | 1996-11-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |