JPS639127A - Icモジユ−ル基板 - Google Patents
Icモジユ−ル基板Info
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- JPS639127A JPS639127A JP15138386A JP15138386A JPS639127A JP S639127 A JPS639127 A JP S639127A JP 15138386 A JP15138386 A JP 15138386A JP 15138386 A JP15138386 A JP 15138386A JP S639127 A JPS639127 A JP S639127A
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title abstract description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 12
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 abstract description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 abstract description 5
- 239000003973 paint Substances 0.000 abstract description 3
- 238000007747 plating Methods 0.000 abstract description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 11
- 238000003909 pattern recognition Methods 0.000 description 11
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 6
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- 240000002299 Symphytum officinale Species 0.000 description 1
- 235000005865 Symphytum officinale Nutrition 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 1
- 238000005201 scrubbing Methods 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
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- H01L2224/4809—Loop shape
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
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- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48225—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
- H01L2224/48227—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
Landscapes
- Structures For Mounting Electric Components On Printed Circuit Boards (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ICチップを多層配線基板に形成したホール
に挿入固着して該多層配線基板上の配線パターンとIC
と電極の電気的接続を行なう場合における該ホールと挿
入するICチップの位置整合を正しく行なう事のできる
構成を有したICモジュール基板に関する。
に挿入固着して該多層配線基板上の配線パターンとIC
と電極の電気的接続を行なう場合における該ホールと挿
入するICチップの位置整合を正しく行なう事のできる
構成を有したICモジュール基板に関する。
多層配線基板にICチップを搭載する場合、該多層配線
基板にホールを穿設し、このホール内にICチップを挿
入固着してからICチップの電極と多層配線基[反上の
配線パターンとを自動機によるワイヤーボンド法等によ
り電気的接続を行なうような方法が採用される。
基板にホールを穿設し、このホール内にICチップを挿
入固着してからICチップの電極と多層配線基[反上の
配線パターンとを自動機によるワイヤーボンド法等によ
り電気的接続を行なうような方法が採用される。
この種のICモジュールは、通常f、l ICチップを
搭載した多層配線基板(第2層)とその下面に接合した
端子板(第1層)及び該多層基板の上面にICチップの
レジン封止のためのダム(第3層)の3層から構成され
る。
搭載した多層配線基板(第2層)とその下面に接合した
端子板(第1層)及び該多層基板の上面にICチップの
レジン封止のためのダム(第3層)の3層から構成され
る。
前記多層配線基板に設けるホールは、配線パターン形成
後の基板に、その下面から端子板を接合してから座ぐり
加工によって所要寸法の凹所を形成する方法と、配線パ
ターン形成後、プレス加工等によって所要寸法の貫通孔
を形成したものに、その下面から端子板を接合する方法
と、の2つに大別される。
後の基板に、その下面から端子板を接合してから座ぐり
加工によって所要寸法の凹所を形成する方法と、配線パ
ターン形成後、プレス加工等によって所要寸法の貫通孔
を形成したものに、その下面から端子板を接合する方法
と、の2つに大別される。
以上のようにして得たホールにICチップを挿入し、ワ
イヤーポンディング等による配線を行なった後、ダムを
接合して該配線基板とICチップとの空間を含めてレジ
ンを注入してICモジュールを完成するものである。
イヤーポンディング等による配線を行なった後、ダムを
接合して該配線基板とICチップとの空間を含めてレジ
ンを注入してICモジュールを完成するものである。
上記従来技術においては、多層配線基板に設けたホール
にICチップを挿入してワイヤーボンドするための、多
層配線基板−ICチップ接着工程を処理するダイボンダ
ーと称する自動機械では、前記多層配線基板のホールと
挿着すべきICチップの位置合わせを、多層配線基板上
に形成された配線パターンをパターン認識の対象とする
方法によっている。
にICチップを挿入してワイヤーボンドするための、多
層配線基板−ICチップ接着工程を処理するダイボンダ
ーと称する自動機械では、前記多層配線基板のホールと
挿着すべきICチップの位置合わせを、多層配線基板上
に形成された配線パターンをパターン認識の対象とする
方法によっている。
しかし、多層配線基板上に形成する配線パターンは基板
素材にパターンフィルムを貼り付けて露光、エツチング
する方法によっているため、多数回に亘る露光工程によ
ってパターンフィルムのズレが発生したり、パターン形
成後のホール形成のための座ぐり加工、あるいはプレス
加工にも位置ずれが生じて、前記配線パターンとホール
の相互位置にもずれが発生する。このため、配線パター
ンのパターン認識によって割り出したホールの位置と実
際のホールの位置がずれて、ICチップの自動挿入がス
ムーズに行なわれなくなる結果をまねく。ICチップの
自動挿入は、コレット等の把持手段でICチップを把持
して上記パターン認識で決定したホール位置に移送し、
挿入すると共に、横方向にスクラブ(振動)を与えてホ
ール底部とICチップ間に存在させた接着材を介して該
ホール底部に該ICを確実に接着させている。
素材にパターンフィルムを貼り付けて露光、エツチング
する方法によっているため、多数回に亘る露光工程によ
ってパターンフィルムのズレが発生したり、パターン形
成後のホール形成のための座ぐり加工、あるいはプレス
加工にも位置ずれが生じて、前記配線パターンとホール
の相互位置にもずれが発生する。このため、配線パター
ンのパターン認識によって割り出したホールの位置と実
際のホールの位置がずれて、ICチップの自動挿入がス
ムーズに行なわれなくなる結果をまねく。ICチップの
自動挿入は、コレット等の把持手段でICチップを把持
して上記パターン認識で決定したホール位置に移送し、
挿入すると共に、横方向にスクラブ(振動)を与えてホ
ール底部とICチップ間に存在させた接着材を介して該
ホール底部に該ICを確実に接着させている。
ところが、上記したように、多層配線基板上に形成した
配線パターンにずれがあると、ICチップは該ホールに
正しく挿入されず、ICチップがホール縁部に衝突して
ICチップの割れ等の不具合が生ずるという問題があっ
た。
配線パターンにずれがあると、ICチップは該ホールに
正しく挿入されず、ICチップがホール縁部に衝突して
ICチップの割れ等の不具合が生ずるという問題があっ
た。
本発明は、上記従来技術の問題点を解決し、多層配線基
板の配線パターンとホールとの間にずれがあっても、I
Cチップを正確に挿入固定できるようにしたICモジュ
ール基板を提供することを目的とする。
板の配線パターンとホールとの間にずれがあっても、I
Cチップを正確に挿入固定できるようにしたICモジュ
ール基板を提供することを目的とする。
上記目的は、多層配線基板のICチップ挿入部(ホール
)底面にホール位置認識用のマークを設けることにより
達成される。
)底面にホール位置認識用のマークを設けることにより
達成される。
以下、本発明の実施例を図面を用いて説明する。
第1図は本発明によるICモジュール基板の一実施例を
示す展開斜視図であって、1は第1層となる端子板、2
は第2層となる多層配線基板、3は第3層となるダム、
4は凹部形成孔(ホール)、5はICモジュール基板全
体を示す。また8はマーク材、9はスルーホールである
。
示す展開斜視図であって、1は第1層となる端子板、2
は第2層となる多層配線基板、3は第3層となるダム、
4は凹部形成孔(ホール)、5はICモジュール基板全
体を示す。また8はマーク材、9はスルーホールである
。
同図において、端子板1にはCuF6のエツチング又は
メッキ、あるいはペイント等によるマーク材8が形成さ
れており、多層配線基板2に設けた凹部形成孔(ホール
)と共にICチップの挿入固定用空間を形成する。この
ホール4は多層配線基板2と端子板1を接着後に座ぐり
加工によって形成する方法と、該端子板1の接着前にプ
レス加工環等の手段で穿設される。なお、端子Filの
下面(モジュール完成時にその一表面となる)には外部
接続用の接触端子が設けられ、多層配線基板2の上下面
にはCu′4のエツチングによる配線パターンが形成さ
れ、−面の配線パターンにはICチップの電極と接続す
るためのパッドが必要数形成される。ダム3は前記凹部
にICチップを挿入固定し前記配線パターンのパッドと
電気的接続を行なって搭載後に前記多層配線基板2上に
接合してモジュールを補強すると共にレジン注入封止枠
の役をはたす。
メッキ、あるいはペイント等によるマーク材8が形成さ
れており、多層配線基板2に設けた凹部形成孔(ホール
)と共にICチップの挿入固定用空間を形成する。この
ホール4は多層配線基板2と端子板1を接着後に座ぐり
加工によって形成する方法と、該端子板1の接着前にプ
レス加工環等の手段で穿設される。なお、端子Filの
下面(モジュール完成時にその一表面となる)には外部
接続用の接触端子が設けられ、多層配線基板2の上下面
にはCu′4のエツチングによる配線パターンが形成さ
れ、−面の配線パターンにはICチップの電極と接続す
るためのパッドが必要数形成される。ダム3は前記凹部
にICチップを挿入固定し前記配線パターンのパッドと
電気的接続を行なって搭載後に前記多層配線基板2上に
接合してモジュールを補強すると共にレジン注入封止枠
の役をはたす。
第2図は本発明によるICモジュール基板の一部破断し
た側面図であって、第1図と同一部分には同一符号を付
してあり、6はICチップ、7はボンディングワイヤー
、10は封止レジンを示す。
た側面図であって、第1図と同一部分には同一符号を付
してあり、6はICチップ、7はボンディングワイヤー
、10は封止レジンを示す。
同図に示すように、ICチップ6は多層配線基板2と端
子板1とで形成される凹部に挿入され、該端子板lの上
面(凹部の底面)に接着材により固定され、その電極と
多層配線基板の配線に設けたパッドとの間でボンディン
グワイヤー7で電気的接続がなされている。そして、こ
のICチップと前記凹部およびダム3によって形成され
る空間にレジンが注入されて封止がなされている。
子板1とで形成される凹部に挿入され、該端子板lの上
面(凹部の底面)に接着材により固定され、その電極と
多層配線基板の配線に設けたパッドとの間でボンディン
グワイヤー7で電気的接続がなされている。そして、こ
のICチップと前記凹部およびダム3によって形成され
る空間にレジンが注入されて封止がなされている。
なお、多層配線基板2の配線パターンと端子板1の接触
端子(図示せず)とはスルーホール9を介して接続され
ている。
端子(図示せず)とはスルーホール9を介して接続され
ている。
次に、第3図を参照して本発明によりICチップ挿入画
定用の凹部底面すなわち端子板1の上面に形成するホー
ル位置認識用マーク(以下、マークと略す)について説
明する。
定用の凹部底面すなわち端子板1の上面に形成するホー
ル位置認識用マーク(以下、マークと略す)について説
明する。
第3図は本発明によるマークの一例を示す端子板の(a
)上面図、(b)そのA−A断面図であって、1は端子
板、8はマーク材で前記したようにCu7i又はメッキ
、あるいはペイント等によってホール4より多少大きめ
に形成される。
)上面図、(b)そのA−A断面図であって、1は端子
板、8はマーク材で前記したようにCu7i又はメッキ
、あるいはペイント等によってホール4より多少大きめ
に形成される。
図中一点鎖線は多層配線基板2の仮想位置を示す。
同図は、多層配線基板2を端子板1に接着する前にホー
ル4をプレス加工等により形成した場合の例を示し、同
図(a)に示すように、ホール4から端子板1の上面に
形成したマーク材8が該ホールで構成される凹部の底面
全域に見えている。
ル4をプレス加工等により形成した場合の例を示し、同
図(a)に示すように、ホール4から端子板1の上面に
形成したマーク材8が該ホールで構成される凹部の底面
全域に見えている。
第4図は本発明によるマークの他側を示す端子板の(a
)上面図、(b)そのA−A断面図であって、第3図と
同一部分には同一符号を付しである。
)上面図、(b)そのA−A断面図であって、第3図と
同一部分には同一符号を付しである。
同図(aンは、多層配線基板2を端子板1に接着した後
、座ぐり加工によってホール4を穿設して凹部を形成し
た場合の例を示し、同図(b)に示すように座ぐり加工
時にマーク材8を多層配線基板2のホールの縁に沿った
位置で周回除去された形にあっている。
、座ぐり加工によってホール4を穿設して凹部を形成し
た場合の例を示し、同図(b)に示すように座ぐり加工
時にマーク材8を多層配線基板2のホールの縁に沿った
位置で周回除去された形にあっている。
以上のように構成したことによって、第3図においては
、同図に小円(イ)、(ロ)で示したホール4の対角線
位置におけるエツジ部分のマーク材8と多層基板2のホ
ール縁2′で形成される角形状を位置認識マークとして
用い、図示しない認識装置に設定したマスターパターン
との照合により、上記2つのマークの位置を認識する。
、同図に小円(イ)、(ロ)で示したホール4の対角線
位置におけるエツジ部分のマーク材8と多層基板2のホ
ール縁2′で形成される角形状を位置認識マークとして
用い、図示しない認識装置に設定したマスターパターン
との照合により、上記2つのマークの位置を認識する。
2つのマーク位置を認識すれば、これら2つのマークを
結ぶ線上の中点をもってホール4の中心位置従って凹部
の中心位置を知ることができる。また、第4図において
は、座ぐり加工により形成されたマーク材8の残存部の
角形状(イ)、(ロ)をマークとして上記と同様の認識
を行なってホール4(凹部)の中心を知ることができる
。
結ぶ線上の中点をもってホール4の中心位置従って凹部
の中心位置を知ることができる。また、第4図において
は、座ぐり加工により形成されたマーク材8の残存部の
角形状(イ)、(ロ)をマークとして上記と同様の認識
を行なってホール4(凹部)の中心を知ることができる
。
ホール4で形成された凹部へのICチップの挿入は、通
常、パキュウム作動のコレットチャックでICチップを
吸引保持し、これを該凹部へ移送することにより行なわ
れる。従って、前記の認識で得たホール4の中心位置(
すなわち凹部の中心)にコレットチャックで吸引したI
Cチップの中心を合致させて挿入すれば、たとえ多層配
線基板のホールが配線パターンとずれていても、ICチ
ップはホールの中に正しく挿入され、この挿入の際にホ
ール縁にICチップが衝突することはない。
常、パキュウム作動のコレットチャックでICチップを
吸引保持し、これを該凹部へ移送することにより行なわ
れる。従って、前記の認識で得たホール4の中心位置(
すなわち凹部の中心)にコレットチャックで吸引したI
Cチップの中心を合致させて挿入すれば、たとえ多層配
線基板のホールが配線パターンとずれていても、ICチ
ップはホールの中に正しく挿入され、この挿入の際にホ
ール縁にICチップが衝突することはない。
これを具体的な寸法例で説明すると、多層基板へのパタ
ーン形成のためのフィルム焼付は誤差を±0.1 ta
、該15板のエツチングのためのエツチングマスク貼付
誤差を±0.1龍、プレス加工、座ぐり加工の加工誤差
を±0.1mm、パターン認識の繰り返し誤差を±0.
1m、としても、ホール4とICとの間の間隙が通常1
1重としているから、ICチップの接着強度を高めるた
めに行なうコレットチャックの横方向のスクラブ(振動
)が±0.05mmあっても、上記したICチップとホ
ールの縁との衝突は生じない。
ーン形成のためのフィルム焼付は誤差を±0.1 ta
、該15板のエツチングのためのエツチングマスク貼付
誤差を±0.1龍、プレス加工、座ぐり加工の加工誤差
を±0.1mm、パターン認識の繰り返し誤差を±0.
1m、としても、ホール4とICとの間の間隙が通常1
1重としているから、ICチップの接着強度を高めるた
めに行なうコレットチャックの横方向のスクラブ(振動
)が±0.05mmあっても、上記したICチップとホ
ールの縁との衝突は生じない。
第5図は本発明によるマークの他の例を示す端子板2の
部分図であって、第3図、第4図と同一符号は対応部分
を示す。(a)は多層配線基板のホールをプレス加工に
より形成した場合、(b)は同じく座ぐり加工により形
成した場合のマークを示し、(a)、 (b)共、マ
ーク材8はパターン認識を行なう部分にのみ形成した例
である。
部分図であって、第3図、第4図と同一符号は対応部分
を示す。(a)は多層配線基板のホールをプレス加工に
より形成した場合、(b)は同じく座ぐり加工により形
成した場合のマークを示し、(a)、 (b)共、マ
ーク材8はパターン認識を行なう部分にのみ形成した例
である。
第6図は多層配線基板に形成するホールが短形でない場
合の例を説明する本発明によるマークのさらに他の例を
示す端子板2の部分図である。
合の例を説明する本発明によるマークのさらに他の例を
示す端子板2の部分図である。
次に、本発明による位置認識用のマークを用いたパター
ン認識について説明する。
ン認識について説明する。
第7図は本発明によるマークを用いたパターン認識シス
テムの概略図であって、20はダイボンダ、21はその
コレットチャック部、22はテレビカメラ、23は信号
処理回路、24は照合回路、25はマスターパターン格
納部、26はズレ検出部、27は位置制御部である。
テムの概略図であって、20はダイボンダ、21はその
コレットチャック部、22はテレビカメラ、23は信号
処理回路、24は照合回路、25はマスターパターン格
納部、26はズレ検出部、27は位置制御部である。
第8図は第7図のシステムにおける位置制御の一態様を
説明する概念図である。
説明する概念図である。
以下、第7図の動作を第8図を参照して説明する。
第7図において、テレビカメラ22はダイボンダー20
上に載置された多層配線基板と端子板とで形成されたI
Cモジュール基板の凹部を含めた領域を撮影する。テレ
ビカメラ22からの盪影信号は信号処理回路23におい
てコントラスト強調等が行なわれ、例えば白部分を1、
黒部骨を0とする2値化処理され、検出パターンSとし
て、照合部24に供給する。照合部24にはマスターパ
ターン格納部25から2値化されたマスターパターンM
が供給される。検出パターンSとマスターパターンMと
を照合部24で照合し、照合結果をズレ検出部26へ送
る。ズレ検出部26は照合結果から検出パターンとマス
ターパターンとの間のズレ量を検出し、その結果を位置
制御部27に出力し、位置制御部27は入力されたズレ
量に応じた位置制御量を作成し、コレットチャック部2
1の移動量を制御する。
上に載置された多層配線基板と端子板とで形成されたI
Cモジュール基板の凹部を含めた領域を撮影する。テレ
ビカメラ22からの盪影信号は信号処理回路23におい
てコントラスト強調等が行なわれ、例えば白部分を1、
黒部骨を0とする2値化処理され、検出パターンSとし
て、照合部24に供給する。照合部24にはマスターパ
ターン格納部25から2値化されたマスターパターンM
が供給される。検出パターンSとマスターパターンMと
を照合部24で照合し、照合結果をズレ検出部26へ送
る。ズレ検出部26は照合結果から検出パターンとマス
ターパターンとの間のズレ量を検出し、その結果を位置
制御部27に出力し、位置制御部27は入力されたズレ
量に応じた位置制御量を作成し、コレットチャック部2
1の移動量を制御する。
上記したパターン認識による位置制御を第8図によりさ
らに詳しく説明する。
らに詳しく説明する。
第8図において、(a)はテレビカメラからの撮影比カ
バターンで、パターン認識の対象は同図S、、S、の部
分とする。なお、8はホール4の縁(第3.4.5.6
図参照)で区画されたマーク材を示す。
バターンで、パターン認識の対象は同図S、、S、の部
分とする。なお、8はホール4の縁(第3.4.5.6
図参照)で区画されたマーク材を示す。
同図(b)はパターン認識の対象部分である角部パター
ンS+、Stを強調して示したもので、この部分を2値
化してパターンs、’、s2 ”として照合部24へ与
える。
ンS+、Stを強調して示したもので、この部分を2値
化してパターンs、’、s2 ”として照合部24へ与
える。
同図(c)はパターンSt ′、S! ”と、マス
ターパターンM、、M、との照合を説明するもので、パ
ターンSt”とマスターパターンM1.およびパターン
82 ′とマスターパターンM2とのズレ量(x、y)
を算出し、この算出値からパターンS。
ターパターンM、、M、との照合を説明するもので、パ
ターンSt”とマスターパターンM1.およびパターン
82 ′とマスターパターンM2とのズレ量(x、y)
を算出し、この算出値からパターンS。
と32 ′との中点Cと、マスターパターンM、とM2
との中点C′のズレ量を求め、これを位置制御f (X
、Y)としてコレットチャック部に与え、前記凹部の中
心にコレットチャックの中心を合致させることにより、
該凹部の中央にICチップを位置させるものである。
との中点C′のズレ量を求め、これを位置制御f (X
、Y)としてコレットチャック部に与え、前記凹部の中
心にコレットチャックの中心を合致させることにより、
該凹部の中央にICチップを位置させるものである。
なお、第4図、第5図に示した形のマークを用いる場合
は、それぞれのマークで形成される該凹部対角線上のパ
ターンに相当するパターンをマスターパターンとして用
いればよい。
は、それぞれのマークで形成される該凹部対角線上のパ
ターンに相当するパターンをマスターパターンとして用
いればよい。
また、第6図に示した形のマークを用いる場合には、凹
部全体の周部分のコントラストを強調した形状に対応す
るパターンをマスターパターンとして用意すればよい。
部全体の周部分のコントラストを強調した形状に対応す
るパターンをマスターパターンとして用意すればよい。
以上のように、本発明は、ICモジュールを製作する際
のICチップの搭載を正確に行なうことができる。
のICチップの搭載を正確に行なうことができる。
上記本発明により得られるICモジュールは、その実施
例として端子板を多層配線基板に貼り合わせてICモジ
ュールの一面に外部端子を形成したICカード用をイメ
ージしたものであり、このICモジュールをICカード
に組込む場合はカード基体に所要の凹部を形成し、そこ
にこのICモジュールを固定し、外部端子を露呈させた
構造にするものである。
例として端子板を多層配線基板に貼り合わせてICモジ
ュールの一面に外部端子を形成したICカード用をイメ
ージしたものであり、このICモジュールをICカード
に組込む場合はカード基体に所要の凹部を形成し、そこ
にこのICモジュールを固定し、外部端子を露呈させた
構造にするものである。
しかしながら、本発明は上記のICカードに限らず、時
計、電卓、その他の電子機器のためのICモジュールに
適用できるものであって、基板の細部はそれぞれの機器
に対応させて適宜変更すればよい。
計、電卓、その他の電子機器のためのICモジュールに
適用できるものであって、基板の細部はそれぞれの機器
に対応させて適宜変更すればよい。
以上説明したように、本発明によれば、多層配線基板に
ICチップを搭載する場合に、該多層配線基板に形成し
た凹部に正確にICチップを挿入固定することができ、
搭載時に生じるICチップの損傷等をなくして歩留りの
よい、信頼性の高いICモジュールを提供することがで
きる。
ICチップを搭載する場合に、該多層配線基板に形成し
た凹部に正確にICチップを挿入固定することができ、
搭載時に生じるICチップの損傷等をなくして歩留りの
よい、信頼性の高いICモジュールを提供することがで
きる。
第1図は本発明によるICモジュール基板の一実施例を
示す展開斜視図、第2図は本発明によるICモジュール
基板の一部破断した側面図、第3図は本発明による位置
認識マークの一例を示す端子板の(a)上面図、(b)
そのA−A断面図、第4図は本発明による位置認識マー
クの他側を示す端子板の(a)上面図、(b)そのA−
A断面図、第5図、第6図は本発明による位置認識マー
クのさらに他の例を示す端子板の部分図、第7図は本発
明による位置認識マークを用いたパターン認識システム
の概略図、第8図は第7図のシステムにおける位置制御
の一態様を説明する概念図である。 1・・・・・・第1層、2・・・・・・第2層、3・・
・・・・第3層、4・・・・・・凹部形成孔(ホール)
、5・・・・・・ICモジュールM板、8・・・・・・
マーク材、9・・・・・・スルーホール。 第1 図 第3図 (b) 第4図 (b) 第5図 (O) (b)第
6図 (a) (b
)第8図
示す展開斜視図、第2図は本発明によるICモジュール
基板の一部破断した側面図、第3図は本発明による位置
認識マークの一例を示す端子板の(a)上面図、(b)
そのA−A断面図、第4図は本発明による位置認識マー
クの他側を示す端子板の(a)上面図、(b)そのA−
A断面図、第5図、第6図は本発明による位置認識マー
クのさらに他の例を示す端子板の部分図、第7図は本発
明による位置認識マークを用いたパターン認識システム
の概略図、第8図は第7図のシステムにおける位置制御
の一態様を説明する概念図である。 1・・・・・・第1層、2・・・・・・第2層、3・・
・・・・第3層、4・・・・・・凹部形成孔(ホール)
、5・・・・・・ICモジュールM板、8・・・・・・
マーク材、9・・・・・・スルーホール。 第1 図 第3図 (b) 第4図 (b) 第5図 (O) (b)第
6図 (a) (b
)第8図
Claims (2)
- (1)少なくとも多層配線基板と端子板とを有し、該多
層配線基板に穿設した孔と該端子板とでICチップ搭載
用の凹部を形成したICモジュール基板において、前記
端子板の前記凹部の底部となる面に前記凹部の位置を認
識するためのマーク材を形成したことを特徴とするIC
モジュール基板。 - (2)特許請求の範囲第(1)項記載のICモジュール
基板において、前記端子板には前記多層配線基板とは反
対の面に外部接続用の接触端子を設けたことを特徴とす
るICカード用のICモジュール基板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15138386A JPS639127A (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 | Icモジユ−ル基板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15138386A JPS639127A (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 | Icモジユ−ル基板 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS639127A true JPS639127A (ja) | 1988-01-14 |
Family
ID=15517377
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15138386A Pending JPS639127A (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 | Icモジユ−ル基板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS639127A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5727461A (en) * | 1997-02-06 | 1998-03-17 | Amtx, Inc. | Method of forming fiducials, and stencils containing such fiducials |
WO2012066944A1 (ja) * | 2010-11-15 | 2012-05-24 | アイシン・エィ・ダブリュ株式会社 | 接続端子及び回路部品 |
-
1986
- 1986-06-30 JP JP15138386A patent/JPS639127A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5727461A (en) * | 1997-02-06 | 1998-03-17 | Amtx, Inc. | Method of forming fiducials, and stencils containing such fiducials |
WO2012066944A1 (ja) * | 2010-11-15 | 2012-05-24 | アイシン・エィ・ダブリュ株式会社 | 接続端子及び回路部品 |
WO2012067109A1 (ja) * | 2010-11-15 | 2012-05-24 | アイシン・エィ・ダブリュ株式会社 | 接続端子及び回路部品 |
CN103125148A (zh) * | 2010-11-15 | 2013-05-29 | 爱信艾达株式会社 | 连接端子以及电路部件 |
JPWO2012067109A1 (ja) * | 2010-11-15 | 2014-05-12 | アイシン・エィ・ダブリュ株式会社 | 接続端子及び回路部品 |
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