JPS638709A - 光素子の製造方法 - Google Patents
光素子の製造方法Info
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- JPS638709A JPS638709A JP15320686A JP15320686A JPS638709A JP S638709 A JPS638709 A JP S638709A JP 15320686 A JP15320686 A JP 15320686A JP 15320686 A JP15320686 A JP 15320686A JP S638709 A JPS638709 A JP S638709A
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Landscapes
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は波長分割多重方式によって波長の異なる光信
号を合波あるいは分波する光合波分波器又は光信号を合
流・分岐させる光合流分岐器としての光素子の製造方法
に関するものである。
号を合波あるいは分波する光合波分波器又は光信号を合
流・分岐させる光合流分岐器としての光素子の製造方法
に関するものである。
（従来の技術）
従来、例えば光合波分波器として干渉膜フィルタ方式フ
ァイバ型のものが知られている。第６図は斯かる従来の
光合波分波器の構成を示し、第１の光ファイバ１と第２
の光ファイバ２が所定の角度で斜め研磨された各端面１
ａ、２ａ間に、波長λ１の光信号を透過させ波長λ２の
光信号を反射させる干渉膜フィルタ４を介在させて突き
合わせ接合されており、この接合面近傍の光ファイバｌ
。
ァイバ型のものが知られている。第６図は斯かる従来の
光合波分波器の構成を示し、第１の光ファイバ１と第２
の光ファイバ２が所定の角度で斜め研磨された各端面１
ａ、２ａ間に、波長λ１の光信号を透過させ波長λ２の
光信号を反射させる干渉膜フィルタ４を介在させて突き
合わせ接合されており、この接合面近傍の光ファイバｌ
。
２の側面１ｂ、２ｂに第３の光ファイバ３の、所定の角
度で斜め研磨された端面３ａを当接させて突き合わせ固
定されている。
度で斜め研磨された端面３ａを当接させて突き合わせ固
定されている。
この種の光合波分波器において、干渉膜フィルタ４を透
過する波長λ１を有する光信号が第１の光ファイバ１に
入射されると、この光信号は干渉膜フィルタ４を透過し
て第２の光ファイバ２に伝搬し、干渉膜フィルタ４にて
反射される波長λ２を有する光信号は干渉膜フィルタ４
にて反射されて第３の光ファイバ３に伝搬される。斯く
して第１の光ファイバｌに入射した波長ＡＩとＡ２の光
信号は干渉膜フィルタ４により夫々第２及び第３の光フ
ァイバ２，３に分波される。一方、第２の光ファイバ２
に入射した波長λ１の光信号は干渉膜フィルタを透過し
、第３の光ファイバ３に入射した波長λ２の光信号は干
渉膜フィルタ４にて反射されて夫々第１の光ファイバ１
に伝搬され、合波される。
過する波長λ１を有する光信号が第１の光ファイバ１に
入射されると、この光信号は干渉膜フィルタ４を透過し
て第２の光ファイバ２に伝搬し、干渉膜フィルタ４にて
反射される波長λ２を有する光信号は干渉膜フィルタ４
にて反射されて第３の光ファイバ３に伝搬される。斯く
して第１の光ファイバｌに入射した波長ＡＩとＡ２の光
信号は干渉膜フィルタ４により夫々第２及び第３の光フ
ァイバ２，３に分波される。一方、第２の光ファイバ２
に入射した波長λ１の光信号は干渉膜フィルタを透過し
、第３の光ファイバ３に入射した波長λ２の光信号は干
渉膜フィルタ４にて反射されて夫々第１の光ファイバ１
に伝搬され、合波される。
斯かる光合渡分′ｏ１器の製造方法として、第７図乃至
第１０図に示す方法が特開昭５６−１５０７２１により
公知である。
第１０図に示す方法が特開昭５６−１５０７２１により
公知である。
即ち、例えば、シリコン板１６．１６２に異方性エツチ
ングによってＶｉを生成し、その中に光ファイバｔｓ、
ｔｓａが接着剤で止められろ。シリコン板１６がガラス
１反１７の上に、しかも／薄のついた側がガラス板１７
の反対側になるように接着される。こうして第７図に示
される素材部材が得られる。次に、Ｆｉｌ ６ ａが角
度αを有する二つのガラスプリズム１８．１９の間に、
シリコン板１６ａの溝のついた側がプリズム１９に対向
するように接着される０次いで、第８図に示される素材
部材がＡ−Ａ線に沿って三部分に切断され、Ａ−Ａｉの
上にある上部分の切断面を研磨してその上部分が、その
研磨された切断面によって、しかもその平行な溝の中に
存在する光ファイバ１５ａが同様に平行な溝の中に存在
する光ファイバ１５に当接するように仮１６の上に接着
され、このようにして第９図に示す部材が得られる。第
９図に示される部材をＢ−Ｂ線に沿って切断し、切断面
を研磨しそして切断面の全面に干を歩膜フィルタを蒸着
により設け、こうして生ずる両部材が第１゜図に示され
た最終段階に組立て、接合されている。
ングによってＶｉを生成し、その中に光ファイバｔｓ、
ｔｓａが接着剤で止められろ。シリコン板１６がガラス
１反１７の上に、しかも／薄のついた側がガラス板１７
の反対側になるように接着される。こうして第７図に示
される素材部材が得られる。次に、Ｆｉｌ ６ ａが角
度αを有する二つのガラスプリズム１８．１９の間に、
シリコン板１６ａの溝のついた側がプリズム１９に対向
するように接着される０次いで、第８図に示される素材
部材がＡ−Ａ線に沿って三部分に切断され、Ａ−Ａｉの
上にある上部分の切断面を研磨してその上部分が、その
研磨された切断面によって、しかもその平行な溝の中に
存在する光ファイバ１５ａが同様に平行な溝の中に存在
する光ファイバ１５に当接するように仮１６の上に接着
され、このようにして第９図に示す部材が得られる。第
９図に示される部材をＢ−Ｂ線に沿って切断し、切断面
を研磨しそして切断面の全面に干を歩膜フィルタを蒸着
により設け、こうして生ずる両部材が第１゜図に示され
た最終段階に組立て、接合されている。
（発明が解決しようとする問題点）
上述の公知の方法により光合波分波器を製造すると、前
記光ファイバ１５と光ファイバ１５ａの位置合わせはＡ
−ＡｖＡに沿う切断面を高精度で研磨した後研磨面を前
後方向（第９図において左右方向）及び横方向（第９図
において紙面上下方向）に移動させながら行われるが、
この調整にはＰ練した高度の技術を要し、手間が掛かる
。又、第９図のＢ−ＢｖＡに沿う切断面に研磨を梅す必
要があり、しかもこの研磨も高精度が要求される。そし
て、Ｂ−Ｂ線に沿う切断面を再び接合して切断された光
ファイバ１５を突き合わせる際に軸ずれ１貝失が生しる
という問題点があった。
記光ファイバ１５と光ファイバ１５ａの位置合わせはＡ
−ＡｖＡに沿う切断面を高精度で研磨した後研磨面を前
後方向（第９図において左右方向）及び横方向（第９図
において紙面上下方向）に移動させながら行われるが、
この調整にはＰ練した高度の技術を要し、手間が掛かる
。又、第９図のＢ−ＢｖＡに沿う切断面に研磨を梅す必
要があり、しかもこの研磨も高精度が要求される。そし
て、Ｂ−Ｂ線に沿う切断面を再び接合して切断された光
ファイバ１５を突き合わせる際に軸ずれ１貝失が生しる
という問題点があった。
本発明は斯かる問題点を解決するためになされたもので
、軸合わせ等の調整が容易で低損失な光合波分波器、光
合流分岐器等の光素子の製造方法を提供することを目的
とする。
、軸合わせ等の調整が容易で低損失な光合波分波器、光
合流分岐器等の光素子の製造方法を提供することを目的
とする。
（問題点を解決するだめの手段）
上述の目的を達成するために本発明の光素子の製造方法
は、基板上に第１の光ファイバを配置固定し、該第１の
光ファイバの側面に、第２の光ファイバを該第１の光フ
ァイバに対し所定の角度θをなして接合固定し、前記第
１及び第２の光ファイバの各コア中心線の交点を通り該
各コア中心線の夫々と実質的にｚ×（π−θ）の角度を
なす直線に沿って切込溝を穿設し、該切込溝に分岐膜を
挿入固定することを特徴とする。
は、基板上に第１の光ファイバを配置固定し、該第１の
光ファイバの側面に、第２の光ファイバを該第１の光フ
ァイバに対し所定の角度θをなして接合固定し、前記第
１及び第２の光ファイバの各コア中心線の交点を通り該
各コア中心線の夫々と実質的にｚ×（π−θ）の角度を
なす直線に沿って切込溝を穿設し、該切込溝に分岐膜を
挿入固定することを特徴とする。
（作用）
第１の光ファイバに第２の光ファイバを接合した後、所
定位置に所定角度の切込溝を穿設し、該切込溝に分岐膜
を挿入固定するため、第１の光ファイバと第２の光ファ
イバとの接合時に位置調整が不要となると共に、分岐膜
を挟んで第１の光ファイバの該分岐膜前後のコア間の軸
ずれが生しることがない。
定位置に所定角度の切込溝を穿設し、該切込溝に分岐膜
を挿入固定するため、第１の光ファイバと第２の光ファ
イバとの接合時に位置調整が不要となると共に、分岐膜
を挟んで第１の光ファイバの該分岐膜前後のコア間の軸
ずれが生しることがない。
（実施例）
以下、本発明の一実施例を第１図乃至第５図を参照して
説明する。
説明する。
実施例は光合波分波器の製造に本発明方法を適用したも
のであり、先ず、第２図に示す様な平面形状矩形の基＋
Ｆｉ５を製造する。例えば、先端が■状のバイト（図示
せず）を用い基板５の一側５ａから他側５ｂに亘る直線
状の■溝６を刻設し、更に、同しバイトを使用し■溝６
と同−深さで、且つ、Ｖ？！ｔ６の略中央部から所定の
角度θで分岐し基板５の一側５ａに至る■溝７を刻設す
る。
のであり、先ず、第２図に示す様な平面形状矩形の基＋
Ｆｉ５を製造する。例えば、先端が■状のバイト（図示
せず）を用い基板５の一側５ａから他側５ｂに亘る直線
状の■溝６を刻設し、更に、同しバイトを使用し■溝６
と同−深さで、且つ、Ｖ？！ｔ６の略中央部から所定の
角度θで分岐し基板５の一側５ａに至る■溝７を刻設す
る。
次に、第３図に示すように、■溝６上に第１の光ファイ
バ８を載置し、■溝７上に第２の光ファイバ９を載置す
る。この第２の光ファイバ９の先端面９ａは、前記所定
角度θで斜めに研磨されており、該先端面９ａが第１の
光ファイバ８の側面に当接するようにしである。そして
、これらの光ファイバ８．９を、低融点ガラス等の屈折
率整合剤兼用の接着剤を用いて基板５に固定する。
バ８を載置し、■溝７上に第２の光ファイバ９を載置す
る。この第２の光ファイバ９の先端面９ａは、前記所定
角度θで斜めに研磨されており、該先端面９ａが第１の
光ファイバ８の側面に当接するようにしである。そして
、これらの光ファイバ８．９を、低融点ガラス等の屈折
率整合剤兼用の接着剤を用いて基板５に固定する。
光ファイバ８．９を基板５に固定した後、第４図に示す
ように、第１の光ファイバ８のコア中心ＮｉＡと第２の
光ファイバ９のコア中心線３との交点Ｃを通り、且つ、
各コア中心線Ａ及びＢの夫々と実質的に１／２ Ｘ （
π−θ）の角度をなす直線りに沿って、光ファイバ８．
９と共に基板５を切込み、切込溝１０を形成させる。こ
の切込溝１０は、例えば昭和６１年度電子通信学会総合
全国大会第８３８頁「マイクロラッピングによる光部品
の高精度加工」に載でされているようなマイクロラッピ
ング法を用いることで実現出来る。そして、第１図に示
すように、この切込ｉＪ？１０内に分岐膜としての波長
選択性フィルタ４を挿入し、低融点ガラス等の屈折率整
合剤兼用の接着剤を用いて固定する。
ように、第１の光ファイバ８のコア中心ＮｉＡと第２の
光ファイバ９のコア中心線３との交点Ｃを通り、且つ、
各コア中心線Ａ及びＢの夫々と実質的に１／２ Ｘ （
π−θ）の角度をなす直線りに沿って、光ファイバ８．
９と共に基板５を切込み、切込溝１０を形成させる。こ
の切込溝１０は、例えば昭和６１年度電子通信学会総合
全国大会第８３８頁「マイクロラッピングによる光部品
の高精度加工」に載でされているようなマイクロラッピ
ング法を用いることで実現出来る。そして、第１図に示
すように、この切込ｉＪ？１０内に分岐膜としての波長
選択性フィルタ４を挿入し、低融点ガラス等の屈折率整
合剤兼用の接着剤を用いて固定する。
本実施例による光合波分波器は、上述したように、波長
選択性フィルタ４を、第１及び第２の光ファイバ８，９
を基板５に載置・固定した後切込７薄１０を穿設し、こ
の切込溝１０に挿入するため、光ファイバ８．９の位置
調整が不要となる。又、第１の光ファイバ８にフィルタ
４を挿入するので第１の光ファイバ８のフィルタ４前後
のコアの光軸はフィルタ４の挿入前から整合しており、
軸ずれが生じる心配がなく、特別な調整をしなくても低
を員失化が図れ、従って、光合波分波器の製造が容易と
なる。
選択性フィルタ４を、第１及び第２の光ファイバ８，９
を基板５に載置・固定した後切込７薄１０を穿設し、こ
の切込溝１０に挿入するため、光ファイバ８．９の位置
調整が不要となる。又、第１の光ファイバ８にフィルタ
４を挿入するので第１の光ファイバ８のフィルタ４前後
のコアの光軸はフィルタ４の挿入前から整合しており、
軸ずれが生じる心配がなく、特別な調整をしなくても低
を員失化が図れ、従って、光合波分波器の製造が容易と
なる。
上述した実施例では、基板５に■溝６．７を刻設し８１
ｖ ４６ 、 ７上に光ファイバ８．９を！３２置す
るようにしたが、本発明はこれに限定されるものではな
く、光ファイバの基板上に安定に支持固定されればよい
。例えば第５図に示すように、平坦面を有する基板１１
上に所定形状をした平板状ブロック１２．１３．１４を
載宣し、各ブロック間に形成されたガイド溝内に光ファ
イバ８．９を配置・固定するようにしてもよい。
ｖ ４６ 、 ７上に光ファイバ８．９を！３２置す
るようにしたが、本発明はこれに限定されるものではな
く、光ファイバの基板上に安定に支持固定されればよい
。例えば第５図に示すように、平坦面を有する基板１１
上に所定形状をした平板状ブロック１２．１３．１４を
載宣し、各ブロック間に形成されたガイド溝内に光ファ
イバ８．９を配置・固定するようにしてもよい。
又、上述の実施例では光合波分波器の製造に本発明方法
を適用したが、本発明はこれに限定されず、例えば波長
選択性フィルタに代えてハーフミラ−等の反射鏡を挿入
する光分岐器に本発明方法が適用できる。
を適用したが、本発明はこれに限定されず、例えば波長
選択性フィルタに代えてハーフミラ−等の反射鏡を挿入
する光分岐器に本発明方法が適用できる。
（発明の効果）
以上詳述したように、本発明によれば、基板上に第１の
光ファイバを配置固定し、該第１の光ファイバの側面に
、第２の光ファイバを該第１の光ファイバに対し所定の
角度θをなして接合固定し、前記第１及び第２の光ファ
イバの各コア中心線の交点を通り該各コア中心線の夫々
と１／２ Ｘ （π−θ）の角度をなす直線に沿って切
込溝を穿設し、該切込溝に分岐膜を挿入固定するように
したので、光ファイバのセツティング時における位置調
整が不要となり、また低１員失化が図れるという効果が
ある。
光ファイバを配置固定し、該第１の光ファイバの側面に
、第２の光ファイバを該第１の光ファイバに対し所定の
角度θをなして接合固定し、前記第１及び第２の光ファ
イバの各コア中心線の交点を通り該各コア中心線の夫々
と１／２ Ｘ （π−θ）の角度をなす直線に沿って切
込溝を穿設し、該切込溝に分岐膜を挿入固定するように
したので、光ファイバのセツティング時における位置調
整が不要となり、また低１員失化が図れるという効果が
ある。
第１図乃至第４図は本発明方法の一実施例を示す、光合
波分波器の製造工程図であり、第１図は本発明方法によ
り製造を完了した光合波分波器の平面図、第２図は第１
図に示す光ファイバ８及び９を載置固定する、■溝を有
する基板形状を示す平面図、第３図は第２図に示す基板
に光ファイバをセツティングした状態を示す平面図、第
４図は切込溝の穿設工程を示す平面図、第５図は平板状
ブロックを使用してガイド溝を形成させた基板に光ファ
イバをセノテングした状すを示す平ｍｉ図、第６図は光
合波分波器の構成説明図、第７図乃至第１Ｏ図１ま従来
のこの種の光素子の！Ａご方法を示す工ｆ星図である。 ４・・・分岐膜（波長選択性フィルタ）、５・・・基板
、６，７・・・ガイド溝、８・・・第１の光ファイバ、
９・・・第２の光ファイバ、ＩＯ・・・切込溝。
波分波器の製造工程図であり、第１図は本発明方法によ
り製造を完了した光合波分波器の平面図、第２図は第１
図に示す光ファイバ８及び９を載置固定する、■溝を有
する基板形状を示す平面図、第３図は第２図に示す基板
に光ファイバをセツティングした状態を示す平面図、第
４図は切込溝の穿設工程を示す平面図、第５図は平板状
ブロックを使用してガイド溝を形成させた基板に光ファ
イバをセノテングした状すを示す平ｍｉ図、第６図は光
合波分波器の構成説明図、第７図乃至第１Ｏ図１ま従来
のこの種の光素子の！Ａご方法を示す工ｆ星図である。 ４・・・分岐膜（波長選択性フィルタ）、５・・・基板
、６，７・・・ガイド溝、８・・・第１の光ファイバ、
９・・・第２の光ファイバ、ＩＯ・・・切込溝。
Claims (4)
- （１）基板上に第１の光ファイバを配置固定し、該第１
の光ファイバの側面に、第２の光ファイバを該第１の光
ファイバに対し所定の角度θをなして接合固定し、前記
第１及び第２の光ファイバの各コア中心線の交点を通り
該各コア中心線の夫々と実質的に［１／２］×（π−θ
）の角度をなす直線に沿って切込溝を穿設し、該切込溝
に分岐膜を挿入固定することを特徴とする光素子の製造
方法。 - （２）前記基板はガイド溝を有し、該ガイド溝に前記第
１及び第２の光ファイバを配置固定することを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の光素子の製造方法。 - （３）前記基板は平坦面を有し、該平坦面上に複数の平
板状ブロックを載置し、各ブロック間に形成された溝を
前記ガイド溝として前記第１及び第２の光ファイバを配
置固定することを特徴とするる特許請求の範囲第２項記
載の光素子の製造方法。 - （４）前記切込溝をマイクロラッピング法により穿設す
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項乃至第３項の
いずれか記載の光素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15320686A JPS638709A (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 | 光素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15320686A JPS638709A (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 | 光素子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS638709A true JPS638709A (ja) | 1988-01-14 |
Family
ID=15557364
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15320686A Pending JPS638709A (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 | 光素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS638709A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3920416A1 (de) * | 1988-06-29 | 1990-02-22 | Furukawa Electric Co Ltd | Optisches bauteil, und verfahren zu seiner herstellung |
| JPH02153307A (ja) * | 1988-12-06 | 1990-06-13 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光機能素子 |
-
1986
- 1986-06-30 JP JP15320686A patent/JPS638709A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3920416A1 (de) * | 1988-06-29 | 1990-02-22 | Furukawa Electric Co Ltd | Optisches bauteil, und verfahren zu seiner herstellung |
| JPH02153307A (ja) * | 1988-12-06 | 1990-06-13 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光機能素子 |
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