JPS6385101A - 防塵衣 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、防塵衣に適用して有効な技術に関するもので
、たとえば、半導体装置の製造工程にお゛　いて必要と
される高清浄環境内で作業者が着用する防塵衣に利用し
て特に有効な技術に関するものである。

〔従来の技術〕

防塵衣については、たとえば昭和６０年３月３１日版、
日本経済新聞に記載されている。その概要は、防寒衣と
して要求される３つの機能、すなわち、第一にほこりを
発生しない非発塵性のあること、第二に皮膚や下着から
発生される塵埃を外部に洩らさない非通磨性のあること
、第三に静電気を逃がす帯電防止性（非集塵性）のある
こと等が説明されている。

本発明者は、上記のような防寒衣の構造について検討し
た。以下は、本発明者によって検討された技術であり、
その概要は次の通りである。

すなわち、半導体装置の高集積化が進み、半導体ウェハ
に形成される回路パターンが超微細化してくると、はん
のわずかな微細異物が上記半導体ウェハに付着したのみ
で製品不良となることが多い。そのために、クラス１０
　（１立方フイート中に直径０．５ミクロン以上の微粒
子異物が１０個以下であるという基準）程度のクリーン
ルームが次第に実現されてきているが、たとえクリーン
ルーム内において高清浄環境を実現したとしても、クリ
ーンルーム内で作業を行う作業者の身体から発塵を生じ
たり、あるいは外部から塵埃を持ち込んだすすることに
よって、高清浄環境を維持できなくなることがある。

そのた゛めに、上記文献に記載されているような防塵衣
を作業者に着用させることが一般に知られている。

上記防寒衣の構造としては、たとえば防塵衣自体の非発
塵性を維持するため長繊維糸からなるポリエステル材料
等を用いて縫製し、かつポリエステル繊維中にカーボン
ファイバー等を包み込んで導電性を持たせ静電気による
集廖作用を抑制することが考えられる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところが、上記の防塵衣構造にあっては、作業者自身の
人体もし・くけ下着から発生される塵埃のクリーンルー
ム内への流出を十分に抑制できないことが本発明者によ
って見い出された。

すなわち、人体あるいは下着から発生される塵埃の流出
を抑制するためには、防塵衣を構成する繊維の縫製を縫
目の小さいものとするか、あるいはフィルム状のものと
することが考えられる。

しかし、上記防塵衣構造であってもなお作業者の動きに
より防塵衣内側の所定空間の圧力がクリーンルーム内の
圧力より高くなることにより袖口や裾口等から防塵衣内
で発生した介層異物がクリーンルーム内に流出してクリ
ーンルームを汚染する可能性がある。また、上記防塵衣
構造では防塵衣内での空気め流通性が悪く、着用する作
業者にとっては決して快適なものではなく、防塵衣内部
での発汗が除去されなかったり、あるいは皮膚呼吸を阻
害する等、着用状態で長時間作業を行った場合、健康上
の観点から問題があることも合わせて本発明者によって
明らかにされた。

本発明は、上記問題点に着目してなされたものであり、
その目的は人体あるいは下着等から発生される塵埃を外
部に流出させない非通魔性に優れ、かつ快適な作業が可
能な防塵衣を提供することにある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の前述および添付図面から明らかになるであろう
。

〔問題点を解決するための手段〕

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。

すなわち、防塵衣の内側面側にクリーンルームよりも負
圧状態となる所定空間の形成されるように均圧管を配設
したものである。

〔作用〕

上記した手段によれば、防塵衣の内側面側にクリーンル
ームよりも負圧状態となる所定空間が形成されるため、
人体あるいは下着より発生した発率吻質をクリーンルー
ム内に流出させることを防止でき、クリーンルーム内の
高清浄環境を維持できるとともに、作業者に快適な作業
条件を提供できる。

〔実施例〕 第１図は本発明の一実施例である防摩衣を作業者がクリ
ーンルーム内で着用した状態で背面から見た説明図、第
２図は均圧管を示す説明図、第３図は均圧管による所定
空間の形成状態を示す凹面図、第４図は着用状態の防寒
衣を正面かろ見た説胡図である。

本実施例の防塵衣１は、第４図に示すように着用時に作
業者の胴体Ｂ１四肢Ａ＋　、　Ａ２　、　Ｌ＋　。

Ｌ２　および頭部Ｈを覆う状態となるように縫製されて
ふり、生地としてはたとえば、縫目が極小となるように
形成されたポリエステル繊維が使用されている。このポ
リエステル繊維にはたとえばカーボン等の導電性物質が
混入されており、生地への静電気の帯電が防止される構
造となっている。

したがって、空気中の浮遊異物が静電気により、防塵衣
に付着することを防止できる。

またこの防塵衣は、四肢部分すなわち、手首Ａ１、Ａ２
および足首ＬＩ、　　Ｌ２　の部分においてその袖口お
よび裾口が手袋２または靴３で閉塞される構造となって
おり、袖口あるいは裾口から発塵異物が第１図に示すク
リーンルームＳ内へ流出されるのを防止する構造となっ
ている。

ところで、防塵衣１は第１図に示すように、その背中の
下方に排気口４が設けられており、この排気口４には防
塵衣１の外部より可撓性材料からなる排気管５の一端が
着脱可能な構造で連結されている。この排気口４に連結
された排気管５はクリーンルームＳの壁部６を経由して
外部の排気ポンプ７に連通されており、この排気ポンプ
７の吸引作用により防塵衣１の内部が強制排気される構
造となっている。ところで、この排気管５は合成樹脂等
により形成されているが、カーボン等の導電性材料を混
入して形成することにより、排気管５自体がアースとし
ての機能を有し、防塵衣１が万一帯電状態となった場合
には速やかに静電気を放電できるようになっている。

防塵衣１の内側面には第２図に示すような均圧管８が配
設されており、この均圧管８はそれぞれ一端側が上記排
気口４と連通され、さらに先端側が四肢方向にそれぞれ
延設されている。この均圧管８は第２図に示すように、
軸方向に沿って吸引孔９が設けられており、外側面には
この吸引孔９と連通される吸塵口１０が複数穿孔されて
いる。

このような均圧管８の配設により、防塵衣１０着用時に
は、第３図に示すよう防塵衣１の内側面側には所定空間
１１が形成されるようになっている。

一方、防塵衣１の背中の上方位置には吸気口１２が設け
られており、クリーンルームＳ内の空気１３を防塵衣ｌ
内の所定空間１１に供給可能な構造となっている。とこ
ろで、この吸気口１２はたとえばフィルターとともに絞
り弁機構を有しており、防塵衣１内の所定空間１１に流
入される空気１３の量を調整可能な構造となっている。

次に、本実施例の作用を説明する。

上記の防塵衣１を着用した作業者がクリーンルームＳ内
に入室あるいは退出する際には、排気管５は防塵衣１か
ら取り外された状態となっている。

このように排気管５を外した状態で作業者はクリーンル
ームＳ内を自由に動き廻ることが可能である。

次に、クリーンルームＳ内の所定位置において作業を行
う場合には、防塵衣１に排気管５を連結した状態とする
。このように防塵衣１に排気管５が連結されると、クリ
ーンルームＳの外部に設置された排気ポンプ７の作動に
より排気管５より強制排気が行われて防塵衣１内の所定
空間１１が均圧管８の吸塵口１０より吸引孔９を経て排
気管５より排気される。この強制排気にともなって、防
塵衣１内の所定空間１１は負圧状態となるため、背中の
吸気孔１２からはクリーンルームＳ内の空気１３が所定
空間１１内に流れ込むようになる。

このようにして、吸気口１２から防塵衣１内の所定空間
１１に流れ込んだ空気１３は、人体あるいは下着より発
生された発塵異物とともに均圧管の吸塵口ｌＯより吸引
孔９内に吸引されて、さらに排気管５を経てクリーンル
ームＳの外部に排出される。

このように、均圧管８により防塵衣１の内側面側にクリ
ーンルームＳよりも負圧状態となる所定空間１１が形成
され、実質的に空気１３の排気経路が構成されるため、
発塵物質のクリーンルームＳ内への流出を防止でき、該
発襄物質を効率的にクリーンルームＳの外部に除去でき
る。

また、防塵衣１の内側面側の所定空間１１で空気１３の
流通が行われるため、作業者が不快感を訴えることなく
、快適な条件下での作業が可能となる。

本発明の他の実施例としては、防塵衣の内側面側に均圧
管を配設し、防塵衣の一部にこの均圧管と連通される小
型排気装置が設けられており、この排気口はクリーンル
ームと連通される排気管と連結可能であり、連結された
排気装置の強制排気作用によって上記所定空間が負圧状
態となることを特徴とする防塵衣がある。すなわち、第
１図における防塵衣の排気口４を排気装置とし、かつ排
気ポンプを省略した構造の防塵衣である。

このように、本実施例によれば以下の効果を得ることが
できる。

（１）、防塵衣１の内側面側にクリーンルームよりも負
圧状態の所定空間１１を形成する均圧管８を配設するこ
とにより、作業者の人体あるいは下着から発生する発塵
物質が袖口あるいは裾口からクリーンルームＳ内に流出
されることを防止でき、クリーンルームＳの高清浄環境
を維持できる。

Ｃ２）、上記（１）により、防塵衣１の内側面に所定空
間１１が形成され、空気１３の流通が行われるため、作
業者の着用時の不快感を取り除くことができ、作業効率
を向上させることができる。

（３）、上記（１）〜（２）により、高清浄環境下で半
導体ウェハの処理が可能となり、信頼性の高い半導体装
置を提供することができる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。たとえば、実施例では手
袋２および靴３が防塵衣１の本体とは別体構造となって
いるものについて説明したが、防塵衣１として手袋部分
および鞘部分が防塵衣本体と一体となっているものであ
ってもよい。

以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその利用分野である、いわゆる半導体装置製造用クリ
ーンルームの室内で作業者に着用される防塵衣に適用し
た場合について説明したが、これに限定されるものでは
なく、たとえば医薬品、食品製造用クリーンルーム等で
使用される防塵衣に適用できる。

〔発明の効果〕

本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りである
。

すなわち、クリーンルーム内において少なくとも作業者
の胴および四肢を覆う状態で着用される防塵衣であり、
この防塵衣の内側面側にクリーンルームよりも負圧の所
定空間を形成する均圧管が配設された防塵衣構造とする
ことにより、作業者の人体あるいは下着から発生される
発塵物質がクリーンルームに流出することを防止でき、
クリーンルームの高清浄環境を維持することができる。

【図面の簡単な説明】

東１図は本発明の一実施例である防塵衣を作業者がクリ
ーンルーム内で着用した状態を背面からみた説明図、 第２図は均圧管を示す説明図、 第３図は均圧管による所定空間の形成状態を示す断面図
、 第４図は実施例の防塵衣の着用状態を示す正面図である
。 １・・・防塵衣、２・・・手袋、３・・・靴、４・・・
排気口、５・・・排気管、６・・・壁部、７・・・排気
ポンプ、８・・・均圧管、９・・・吸気孔、ｌＯ・・・
吸塵口、１１・・・所定空間、１２・・・吸気口、１３
・・・空気。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、クリーンルーム内において少なくとも作業者の胴お
   よび四肢を覆う状態で着用される防塵衣であり、着用状
   態で内側面側の所定空間圧力をクリーンルームよりも負
   圧状態を維持することを特徴とする防塵衣。 ２、防塵衣の内側面側に均圧管を配設し、防塵衣の一部
   にこの均圧管と連通される排気口が設けられており、こ
   の排気口はクリーンルームの室外と連通される排気管と
   連結可能であり、連結された排気管の強制排気作用によ
   って上記所定空間が負圧状態となることを特徴とする特
   許請求の範囲第１項記載の防塵衣。 ３、防塵衣の内側面側に均圧管を配設し、防塵衣の一部
   にこの均圧管と連通される小型排気装置が設けられてお
   り、この排気口はクリーンルームと連通される排気管と
   連結可能であり、連結された排気装置の強制排気作用に
   よって上記所定空間が負圧状態となることを特徴とする
   特許請求の範囲第１項または第２項記載の防塵衣。 ４、均圧管の側面に複数の吸塵口が開設されていること
   を特徴とする特許請求の範囲第１項、第２項または第３
   項記載の防塵衣。 ５、防塵衣の一部に所定空間と連通されかつ所定空間内
   への吸気量の調整が可能な吸気口が開設されていること
   を特徴とする特許請求の範囲第１項、第２項または第３
   項記載の防塵衣。