JPS6233806A

JPS6233806A - 防塵衣

Info

Publication number: JPS6233806A
Application number: JP60170785A
Authority: JP
Inventors: 良延鈴木
Original assignee: Shimizu Construction Co Ltd
Current assignee: Shimizu Construction Co Ltd
Priority date: 1985-08-02
Filing date: 1985-08-02
Publication date: 1987-02-13
Also published as: JPH0411644B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】「産業上の利用分野、」本発明は、クリーンルーム内で着用される防塵衣に関す
るものである。

「従来の技術」近年、コンピュータ用ＬＳＩをはじめとする各種工業製
品の精密化に伴い、その生産性と品質の向上のために、
周囲の空気中に含まれる微細な塵埃を除去して塵埃によ
る不具合の発生を防止するクリーンルームの建設が増大
している。また、医薬分野、食品分野においても、空気
中の微生物（バクテリアなど）による悪影響を避けるた
めに、クリーンルームの使用が不可欠となりつつある。

クリーンルームの機能を推持するためには、塵埃濃度な
どを一定に保つことを要求されろ。このため、クリーン
ルーム内で作業する場合には、作業者自身の出す塵埃に
対しての十分な配慮が要望され、作業者自身防塵衣を着
用する必要がある。

該防塵衣は、作業者自身が出す塵埃などによってクリー
ンルームの機能が阻害されないようにする目的等に用い
られるもので、密閉性のある衣服本体によって作業者自
身を覆う構成となっている。

ところで、このようなりリーンルームの中で、例えば半
導体工場のようなミクロン単位の微細加工を行うところ
では、ＩＣ（集積回路）の集積度が上がるにつれて作業
者の出す塵埃が問題になりはじめている。

このため、従来より、防塵衣の改良が工夫されており、
例えば防塵性能を向上させるため、布地の密度を高くし
たり、あるいは、布地フィルム等でラミネートしたりす
るなどし、布地本体のフィルタ効果を高める方法等が提
案されている。ところが、このような布地等に改良を加
えた防塵前では、現在のところ十分な効果を上げていな
いのが、実状であり、作業者が防塵前から出す塵埃を確
実に防止することのできる防塵衣の開発が必要となって
きている。

そこで、本出願人等は、作業者による塵埃の発生につい
て、鋭意研究したところ、防塵着着衣者からの発塵をお
こす駆動力は、身体の運動に伴う衣服内外の圧力差であ
ることが分かり、単に布地のフィルタ効果を高めても、
逃げ場のなくなった衣服内の汚染空気は、首回りあるい
は袖口等のような外気と通じる開口部から排出されると
の考えに至った。したがって、単に布地にフィルタ効果
を高めただけでは、衣服本体全体の防塵性能を向上させ
ることが困難であり、また布地のフィルタ効果を上げる
ことによって通気抵抗か増加する分、衣服内の空気の移
動が少なくなって、着衣者は蒸し暑く感じ、着心地が悪
くなるといった問題点が生じてしまう。

しかしながら、布地にフィルタ効果を上げた構成の防塵
衣以外のものとしては、現在のところ、例えば高度な手
術着のように、頭から密閉性のあるフードをかぶり、主
として呼気を対象として、頭部から塵埃を排出する構造
のものが一部で適用されているだけであり、このもので
は、防塵前とは別に設けた吸気ファンを用いて、塵埃を
排出する構造であるため、吸気管を床にはわせる必要が
ある等作業をする上において不便でかつ作業しづらいと
いった問題点がある。

また、これら防塵衣にあっては、ウェハーへの影響を考
慮すると、特に袖口近くに対する衣服本体内からの空気
の漏れに対して十分な配慮が必要である。

「発明が解決しようとする問題点」本発明が解決しようとする問題点は、衣服本体内外の圧
力差によって、襟元、袖口、裾などから、汚染空気が漏
出する点、布地にフィルタ効果を高めることによって着
心地が悪くなる点、および吸気管等の配管類によって作
業性が悪くなる点てあり、本発明は、このような問題点
を有効に解決せんとした防塵衣を提供することを目的と
している。

「問題点を解決するための手段」かかる目的を達成するために、本発明は、クリーンルー
ム内で着用されかつ集塵装置により衣服本体内部の空気
を吸引するようにした防塵衣において、前記衣服本体の
内側に、各々の先端部分が襟元、袖口および裾などの各
所にそれぞれ位置して前記集塵装置までの吸気流路を構
成する複数の吸気管を設けたことを特徴としている。

「作用」前記構成の防塵衣によれば、集塵装置によって、衣服本
体内の空気が吸気管を通って吸引され、この結果、衣服
本体内の圧力が外気圧より下がって、衣服本体内外の圧
力差が生じ、布地自体を体内側から通過したり、袖口、
襟元、裾などから排出される汚染空気を確実に防ぐこと
ができる。ま１こ、特に、吸気管の先端部分を袖口、襟
元および裾などに位置させ、ここから空気を吸引する構
造としているので、これら襟元、袖口、裾なとから排出
されろ汚染空気を皆無とし、むしろ外気を吸引して衣服
内に導入するので、防塵効果を向−１−させろことに加
えて、衣服内の通気を良好とする故に作業者の作業環境
をも向上させろことができる。

「実施例」以下本発明の一実施例を第１図ないし第４図を参照して
説明すると、本実施例の防塵衣は、基本的には、衣服本
体１、フード２、手袋３およびソックス本体４などによ
って作業者Ａを覆う点において、従来の防塵衣と同様で
あるが、衣服本体１の内側に集塵装置５までの吸気流路
を構成する複数の吸気管６，７，８，９．１０を設けた
点において大きく異なっている。すなわち、この防塵衣
は、衣服本体１の内側に、先端部分が襟元１ａ、左右の
袖口１ｂ、左右の裾１ｃなどに位置して集塵装置５まて
の吸気流路を構成ずろ複数の吸気管６，７．８゜９．１
０が一体に設けられ、かつ前記衣服本体１に集塵装置５
が取り付けられた基本構成となっている。

そして、前記衣服本体１は、丈の長いズボンの部分イと
、柚付きの上着の部分口とが一体化されたつなぎ構造と
され、図示せぬファスナーによって前側か止められるよ
うになっており、また前記各部分イ、〔１は、第２図な
どに示すように、気密性のある表地１１と通気性のある
メツシュ状等の裏地１２とを重ね合わせて、一体に縫合
された構造となっている。なお、前記表地１１をビニー
ル等の空気を通さない素材で成形すれば、衣服本体１表
面からの空気の漏洩が防止されるので好ましい。また、
この場合には、衣服本体ｌの首回りを開放型とすること
によって、衣服本体１内への空気の取り入れおよび吸気
管による吸気を一層積極的に行い得る。

一方、この衣服本体ｌの左右の袖口１ｂは、第３図に示
すように、表地１１が２重構造となっており、下側の表
地１１の外周には、手袋３を止める粘着テープ１３が設
けられている。なお、該粘着テープ１３は、手袋３を袖
口１ｂに止める構成のものであれば、どのような構造の
ものであっても良く、例えばベルベットファスナーなど
が適用される。また、この衣服本体ｌの襟元１ａには、
第４図などに示すように、首の回りを一周する環状の襟
１４が設けられ、該襟１４の内側には、衣服本体ｌの内
外に連通しかつ積極的に空気を取り入れるための空気溝
１５が形成されている。

また、前記衣服本体１内の空気を吸引する集塵装置５は
、モータ駆動の吸引ファン１６と、該吸引ファン１６の
電源となるバッテリー１７と、吸引ファン１６により吸
引された衣服本体Ｉ内の塵埃を除去するフィルタ１８と
から主として構成され、これら吸引ファン１６、バッテ
リー１７およびフィルタ１８は衣服本体１に着脱自在に
取り付けられるようになっている。そして、前記吸引フ
ァン１６は、その吸入口が分配器１９から延出した接続
管２０に連結されるとともに、吐出口が前記フィルタ１
８に連結されている。また、前記フィルタ１８の吐出口
には下方に延びる長尺の吐出管２１が接続されている。

なお、前記フィルタ１８としては、塵埃を除去できるも
のであればその構造は任意であるが、フィルタ１８を通
して排出される空気の汚染が問題になるときには、ＨＥ
ＰＡフィルタなどを用いるのが好ましい。

また、自記吸気管６，７，８．９．１０について説明す
ると、これら吸気管は、それぞれ可撓性のある合成樹脂
によってチューブ状に形成されたもので、それぞれその
周壁には、第２図に示すように、吸気管の長さ方向に沿
って管の内外に連通ずる貫通孔２２が複数所定の間隔を
おいて形成された構造となっている。なお、この貫通孔
２２の数およびその開口面積は、衣服本体ｌ内の最も塵
埃が発生する個所、塵埃が衣服本体１から排出される趨
所等吸引に必要な個所を考慮して設定され、例えば、ウ
ェハーなどの影響を考慮した場合には、袖口１ｂからの
発生量を少なくする必要があるので、袖口１ｂに配置さ
れた吸気管７．８の先端部分に多数の貫通孔２２を設け
るのが好ましい。

また、これら各吸気管は、前記衣服本体ｌの表地１１と
裏地１２との間に配置されるとと乙に、これらの基端は
分配器１９に接続され、該分配器１９および接続管２０
を介して吸引ファン１６の吸入口に接続されている。

なお、実施例の吸気管は、その先端部分と基端部分にお
いて管の内径が等しい構造のチューブが適用されている
が、この吸気管の構造は実施例のものに限定されるもの
ではなく、好ましくは先端部分から基端部分までの管の
内径を変えて基端部分に近ずくほど内径を大きくしたし
のが良く、この場合には、チューブの圧力損失を下げて
吸引ファン１６の所要動力を低下させることができる。

自記吸気管６は、その先端部分が衣服本体ｌの背中°の
部分を通って襟元まで延びており、これによって衣服本
体ｌの襟元から背中の部分にかけての吸気流路を構成す
るようになっている。また、吸気管６の先端部分は襟元
に沿って環状に形成されろとともに、その途中はＳ字状
に湾曲してこの吸気管６の伸縮を許容するようになって
おり、これによって伸縮機構を構成している。

一方、前記吸気管７．８は、その先端部分がそれぞれ左
右の袖口１ｂまで延びてこの袖口１ｂの部分から分配器
１９までの吸気流路を構成するもので、その先端部分は
手首を一周する如く環状に形成され、またその途中は、
ループ状に湾曲して吸気管７．８の伸縮を許容するよう
になっており、このループによって吸気管７，８の伸縮
機構を構成している。

また、前記吸気管９．１０は、その先端部分かそれぞれ
左右の据１．ｃまで延びてこの据１ｃの部分から分配器
１９までの吸気流路を構成ずろらので、途中が遊びを持
つように配管されて、吸気管９．１０の伸縮を許容する
ようになっている。そして、この吸気管９．１０にあっ
ては、この遊びが吸気管９．；。

の伸縮を許容する伸縮機構を構成している。

さて、ここで、前記吸気管６，７，８．９．１０の配管
について説明を補足しておくと、これらの配管方法は、
基本的には、人間の骨格の機能や関節の働き、さらには
作業時の姿勢など人間工学的な面等を考慮してなされる
乙ので、作業時にこれら吸気管が折れ曲がって途中で閉
塞しないように配管されるものである。したがって、例
えば、吸気管６の場合には衣服本体１を着やすいように
、ファスナーとは反対側の背中の部分に配置され、また
袖の部分を貫通する吸気管７．８にあってはひじのつく
部分を避けてしかもひじを折ったときに吸気管７，８が
折り曲がらないように螺旋状に配置されるものである。

なお、裾１ｃまで延びる吸気管９．ＩＯについて説明を
補足しておけば、この場合には、座った際に吸気管９．
１０がつぶされないように荷重を受ける位置を避けて配
設されるものである。

次に以上のように構成された本実施例の作用について説
明する。

第１図などに示すように防塵衣を着用した状態で、集塵
装置５を作動させろと、衣服本体ｌ内の空気が、第２図
矢印で示す如く、各吸気管６，７゜８．９．１０の貫通
孔２２を通って吸気ファン１６により吸引される。この
結果、衣服本体ｌ内外の圧力差が小さくなって、この圧
力差に起因して生じろ首回り、あるいは袖口等からの汚
染空気が減少する。

また、実施例では、袖口１ｂの部分が手袋３を表地１１
によって重ねた３重構造とされ、しかも粘着テープ１３
によってこれらの密着性が高められているので、袖口１
ｂからの汚染空気の漏洩はほとんどなくなり、ウェハー
等の取り扱いに対する適用性を向上することができる。

さらに、本実施例では、位衣服本体１内の空気が吸引さ
れろことによって、襟１４の空気溝１５がら空気が積極
的に取り入れられるので、衣服本体ｌ内が換気されて、
蒸し暑さがなくなり、着心地が向上する。

なお、衣服本体ｌ内から吸引された汚染空気は、フィル
タ１８を通って塵埃が取り除かれ、吐出管２１を介して
外部に排出される。

また、第５図は本発明の他の実施例を示すもので、前記
した集塵装置５に代えてクリーンルーム内に設置した集
塵装置（図示せず）に吸気管を接続するようにしたもの
である。

即ち、本実施例にあっては、分配器１９から延出し集塵
装置の吸入口３０に接続される接続管３１を伸縮自在な
蛇腹構造とし、この接続管３１を通して衣服本体ｌ内の
汚染空気を吸引するようにしたちのである。

しかして、本実施例にあっては、集塵装置を作業者とは
別に外側（例えばクリーンルーｊ・等）に設けているの
で、集塵装置を集中化し得て、その機能を向上すること
か・できる。

なお、作業者自身か移動しながら作業をする場合には、
前記実施例で示した集塵装置５を取り付けろようにすれ
ば良い。

また、前記した各実施例では、各吸気管６．７゜８．９
．ｔｏの各基端を分配器１９によりまとめて、吸引ファ
ン１６によって吸引する構造としたが、吸気管の配管構
造は、これら実施例のしのに限定される乙のではなく、
それぞれを独立した系統にして、吸引ファン１６から吸
引するようにしても良い。

なお、この場合には、他の経路の流量の影響を受けにく
いといった利へかある。

また、抽を貫通ずる吸気管７．８を、特に独立した２経
路の構造とすれば、この吸気管７．８からの吸引量をさ
らに増大し得て、袖口での吸引の信頼性を向上すること
ができ、ウェハーなどを取り扱う半導体工場での適用性
を向」ニすることかできる。

また、この吸気管７．８からの吸引をさらに確実なしの
にするためには、例えば、第６図の別の実施例で示すよ
うに、曳数の口状のチコーブ４０を２本の吸気管７，７
，８．８で連結し、これらの内部を空気が通過するよう
にすれば良い。この場合には、例えば１本の吸気管が途
中で閉塞するようなことがあっても、バイパスできるの
で、吸引に対する問題が生じるおそれがない。

なお、第７図および第８図は、吸気管の先端部分の変形
例をそれぞれ示すしので、第７図は、鳴蹄形に湾曲させ
た先端吸引部分５０を連結管５１によって接続された２
本の吸気管７に取り付けたちので、先端吸引部分５０に
は、多数の貫通孔２２か形成されている。

また、第８図では、吸気管７の先端をＵ字状に湾曲させ
て折り曲げたしのて、この折り曲げた部分５２には、多
数の貫通孔２２が形成されている。

以下、実験例を示し、本発明を具体的に説明する。

「実験例」防塵衣を着用して、衣服本体ｌ内部と外部との圧力差を
測定した。

また、比較のために、（Ｅ　＋）静止した状態で呼吸す
る場合、（Ｆｌ）着席した状態で腕を上下動する場合、
（Ｆ２）起立、着席を繰り返す場合、（Ｆ４）身体を屈
曲運動する場合、（Ｆ８）足踏みする場合についてそれ
ぞれ圧力差を測定した。

結果を第９図（イ）ないしくホ）に示す。この結果から
種々の運動に伴い、圧力変動が生しているのが知見され
た。

この圧力変動の中で、正圧の圧ツノ時に衣服本体ｉ内の
汚染空気が外部へ噴き出してくるものと考えられる。こ
の正圧力を小さくするため、給排気１１０ｆ２／ｍｉｎ
で、衣服本体１内部の空気を排除し、（イ）該吸引時に
おける腕の上下運動の場合、（ロ）該吸引時での体操を
した場合について、圧力差を測定した。また、比較のた
めに、（ハ）非吸引時の時の腕の上下運動の場合、（ニ
）非吸引時での体操をした場合について、圧力差を測定
した。結果をを第１０図（イ）ないし仁）に示す。

次に、この吸引時の防塵効果を検証した結果について説
明する。

第１１図に示すように、防塵衣の状態を次の（１）、（
１１）、（ｉｉｉ）の３通りについて行い、それぞれに
ついて運動の種類を変えて、２人の被験者Ｄｌ、Ｄ２に
より実験を行った。

（１）非吸引（１１）非吸引で目張り（ガムテープ等によってすき間
を目張りした　）（ｉｉｉ）吸引第１１図の結果により、目張りおよび吸引の効果が大き
いことが知見された。統計的処理を行うと、防塵衣の状
態の要因だけか、１％百色で、５３％の寄与率を示した
。

なお、防塵衣の状態の違いによろ発塵量を第１２図に示
した。この結果により、非吸引時に比へ、目張りの状態
、吸引時では、半分以下の発塵量となり、その効果が大
きいことか知見された。なお、目張りの状態ら効果はあ
るが、この場合、作業者は若干苦痛であり、まに空気の
流通が少なく、衣服内かむれること等の理由により、吸
引方式の方が望ましい。

「発明の効果」以上説明したように、本発明によれば、次のような優れ
た効果を奏することかできる。

（ａ）衣服本体の内側に配設した吸気管によって衣服本
体内の空気を吸引するようにしているので、衣服本体内
が負圧となり、布地自体を通過する風量および襟元、袖
口、裾等から排出される汚染空気の量を減少し得て、防
塵効果を向上さＵ“ることかできる。

（ｂ）前記により、衣服本体内で換気が行なわれるので
、蒸し暑さがなくなり、着心地を良くすることかできる
。

（ｃ）密閉性のある布地によって、衣服本体を構成する
ことにより、布地からの汚染空気の漏洩を完全に防止す
ることができる。

（ｄ）集塵装置を衣服本体にコンパクトに取り付けるこ
とによって、防塵衣を着用した状態での作業性を向」−
させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第４図は本発明の一実施例を示すもので、
第１図は防塵衣を着用した状態を示す斜視図、第２図は
防塵衣の一部を切り欠いた状態を示す斜視図、第３図は
防塵衣の袖の部分を説明するために示した斜視図、第４
図は防塵衣の襟の部分を説明するために示した平面図、
第５図は本発明の他の実施例を示す斜視図、第６図は本
°発明の別の実施例を示す正面図、第７図は吸気管の変
形例を示す斜視図、第８図は吸気管のさらに別の変形例
を示す斜視図、第９図（イ）ないしくホ）は防塵衣を着
用した状態で測定した衣服本体内外の圧力差を表すグラ
フ、第１０図（イ）ないしく二）は非吸引時と吸引時に
おけろ圧力差を表すグラフ、第１１図は実験例を説明す
るための図、第１２図は防塵衣の状態の違いによる発塵
量を表ずグラフである。Ａ・・・・・・作業者、１・・・・・・衣服本体、１ａ
・・・・・襟元、１ｂ・・・・袖口、１ｃ　　・裾、５
・・　集塵装置、６．７．８　。９．１０・・・・吸気管、１１・・・・・表地、１２・
・　裏地、１４・・・襟、１５−−・・空気溝、１６・
・・・吸引ファン、１７・・・バッテリー、１８・・　
・フィルタ。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）クリーンルーム内で着用されかつ集塵装置により
衣服本体内部の空気を吸引するようにした防塵衣であっ
て、前記衣服本体の内側には、各々の先端部分が襟元、
袖口および裾などの各所にそれぞれ位置して前記集塵装
置までの吸気流路を構成する複数の吸気管が設けられて
いることを特徴とする防塵衣。
（２）前記衣服本体は、気密性のある表地と、該表地と
の間に吸気管を介在させて一体に縫合される通気性のあ
る裏地とから構成されていることを特徴とする特許請求
の範囲第１項に記載の防塵衣。
（３）前記吸気管の途中に該吸気管の伸縮を許容する伸
縮機構が設けられていることを特徴とする特許請求の範
囲第１項もしくは第２項に記載の防塵衣。
（４）前記集塵装置は、前記吸気管の基端が接続された
吸引ファンと、該吸引ファンの電源となるバッテリーと
、衣服本体内の塵埃を除去するフィルタとから構成され
、かつこれら吸引ファン、バッテリーおよびフィルタは
衣服本体に脱着自在に取り付けられていることを特徴と
する特許請求の範囲第１項ないし第３項のいづれかに記
載の防塵衣。