JPS638441B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS638441B2 JPS638441B2 JP54066585A JP6658579A JPS638441B2 JP S638441 B2 JPS638441 B2 JP S638441B2 JP 54066585 A JP54066585 A JP 54066585A JP 6658579 A JP6658579 A JP 6658579A JP S638441 B2 JPS638441 B2 JP S638441B2
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- JP
- Japan
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- grating
- photoreceptor
- relief
- original
- exposure
- Prior art date
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- Expired
Links
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Landscapes
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、分光器やホログラム素子として使
われるブレーズド格子の製造方法に関する。
われるブレーズド格子の製造方法に関する。
回折格子は、分光器や、ホログラム素子として
種々の応用があるが、一般的に回折効率が低く実
用上問題である。
種々の応用があるが、一般的に回折効率が低く実
用上問題である。
ブレーズド格子は、特定の回折次数へ理論上
100％の光を回折できる特徴があるが、格子溝の
形状を制御して製作しなければならないため、製
作が困難である。現在最も実用的と思われるの
は、あらかじめ作つたレリーフ格子を斜め方向か
らイオンミリングする方法であるがイオンミリン
グ装置は真空系を含む大がかりな高価な装置であ
り簡便な製作方法ではなかつた。
100％の光を回折できる特徴があるが、格子溝の
形状を制御して製作しなければならないため、製
作が困難である。現在最も実用的と思われるの
は、あらかじめ作つたレリーフ格子を斜め方向か
らイオンミリングする方法であるがイオンミリン
グ装置は真空系を含む大がかりな高価な装置であ
り簡便な製作方法ではなかつた。
この発明の目的は、イオンミリングによらない
簡便なブレージド格子の製造方法を提供すること
にある。
簡便なブレージド格子の製造方法を提供すること
にある。
この発明のブレーズド格子の製造方法は現像処
理によつて未露光部が除去される感光体を、前記
感光体の露光波長の光に対して不透明な表面レリ
ーフ格子を有する格子原板のレリーフに実質的に
密着する工程と、前記感光体と格子原板の密着状
態において、前記感光体側から斜め露光する工程
と、前記感光体を格子原板からはく離後現像する
工程によつてブレーズド格子を製造する方法であ
る。
理によつて未露光部が除去される感光体を、前記
感光体の露光波長の光に対して不透明な表面レリ
ーフ格子を有する格子原板のレリーフに実質的に
密着する工程と、前記感光体と格子原板の密着状
態において、前記感光体側から斜め露光する工程
と、前記感光体を格子原板からはく離後現像する
工程によつてブレーズド格子を製造する方法であ
る。
次に図面を参照してこの発明を詳細に説明す
る。
る。
第１図は、この発明のブレーズド格子の製造方
法において、感光体と原板格子の密着状態での感
光体側からの露光を示す断面図である。第１図は
感光体の露光波長の光に対して透明な基板１に塗
布された感光体２が表面レリーフ格子を有する格
子原板３に熱プレスで圧着され、感光体２が表面
レリーフ格子３の表面のくぼみに入り込んだ状態
を示すものである。矢印４はこの状態での感光体
への露光の光線方向を示すもので、角度５がほぼ
ブレーズ角に相当する。
法において、感光体と原板格子の密着状態での感
光体側からの露光を示す断面図である。第１図は
感光体の露光波長の光に対して透明な基板１に塗
布された感光体２が表面レリーフ格子を有する格
子原板３に熱プレスで圧着され、感光体２が表面
レリーフ格子３の表面のくぼみに入り込んだ状態
を示すものである。矢印４はこの状態での感光体
への露光の光線方向を示すもので、角度５がほぼ
ブレーズ角に相当する。
第１図の状態で矢印４の方向から露光後感光体
２は、原板格子３からはく離される。
２は、原板格子３からはく離される。
第２図は、原板格子をはく離した後の基板１と
感光体２を示す断面図である。露光は第１図で示
すような状態で行なわれているので、第２図の７
〜１１のハツチング部分は、原板格子の凸部の影
になつて露光を受けていない部分である。点線６
は露光光の方向を示したものである。
感光体２を示す断面図である。露光は第１図で示
すような状態で行なわれているので、第２図の７
〜１１のハツチング部分は、原板格子の凸部の影
になつて露光を受けていない部分である。点線６
は露光光の方向を示したものである。
第３図は、原板格子からはく離後の感光体２を
現像処理した後の感光体を示す断面図である。第
２図でハツチングをほどこした７〜１１の部分が
現像処理によつて除去され露光角（第１図５）に
応じたブレーズド格子が得られる。
現像処理した後の感光体を示す断面図である。第
２図でハツチングをほどこした７〜１１の部分が
現像処理によつて除去され露光角（第１図５）に
応じたブレーズド格子が得られる。
第１図では、感光体と原板格子が完全に密着し
た状態を示しているが、上の説明から理解される
様に、ブレーズド格子として現像処理後残る程度
の深さに感光体が原板格子のくぼみに入り込んで
いればよい。
た状態を示しているが、上の説明から理解される
様に、ブレーズド格子として現像処理後残る程度
の深さに感光体が原板格子のくぼみに入り込んで
いればよい。
この発明に使う格子原板は、次の様なよく知ら
れた方法で容易に得られる。すなわち、まず乾板
に白黒で記録された格子をホトレジスト膜に密着
露光するが、あるいは、ホトレジスト膜上で２光
束を干渉して格子を記録し、現像すればレリーフ
格子となる。このレリーフ格子は透明であるので
不透明なものにする。不透明にする方法としては
例えばホトレジストのレリーフ格子に無電解メツ
キ（例えばNiのいわゆるカニゼンメツキ）を施
し、あるいは銀鏡反応によつて銀膜を形成し、さ
らにこのメツキ層又は銀膜を電極としてその上に
電気メツキを行ない、その後ホトレジスト膜を除
去すればニツケルのレリーフ格子となる。
れた方法で容易に得られる。すなわち、まず乾板
に白黒で記録された格子をホトレジスト膜に密着
露光するが、あるいは、ホトレジスト膜上で２光
束を干渉して格子を記録し、現像すればレリーフ
格子となる。このレリーフ格子は透明であるので
不透明なものにする。不透明にする方法としては
例えばホトレジストのレリーフ格子に無電解メツ
キ（例えばNiのいわゆるカニゼンメツキ）を施
し、あるいは銀鏡反応によつて銀膜を形成し、さ
らにこのメツキ層又は銀膜を電極としてその上に
電気メツキを行ない、その後ホトレジスト膜を除
去すればニツケルのレリーフ格子となる。
ホトレジストのレリーフ格子から、不透明なレ
リーフ格子を得るには、上のような金属製格子を
形成する方法の他に、ホトレジストと溶剤を異に
する不透明樹脂をホトレジストのレリーフ格子に
塗布後ホトレジスト膜を溶剤で除去する方法等の
方法もある。
リーフ格子を得るには、上のような金属製格子を
形成する方法の他に、ホトレジストと溶剤を異に
する不透明樹脂をホトレジストのレリーフ格子に
塗布後ホトレジスト膜を溶剤で除去する方法等の
方法もある。
又、この発明に使う感光体は、ICの製造等に
使われるネガ型レジストを使えば、高分解能の格
子を得ることができる。
使われるネガ型レジストを使えば、高分解能の格
子を得ることができる。
例えば、OSR、OMR等がある。
上の説明では、感光体として熱可塑性の感光体
を熱プレスで表面レリーフ格子に密着させたが、
感光体と表面レリーフ格子の実施的な密着は、こ
の方法に限らず、例えばIC等の製造工程におい
て行なわれているように感光体を直接表面レリー
フ格子に塗布することでも容易になされる。
を熱プレスで表面レリーフ格子に密着させたが、
感光体と表面レリーフ格子の実施的な密着は、こ
の方法に限らず、例えばIC等の製造工程におい
て行なわれているように感光体を直接表面レリー
フ格子に塗布することでも容易になされる。
図面を参照した上記説明では、説明の便宜上単
純格子の図で説明したが、本発明の実施は単純格
子に限らない。
純格子の図で説明したが、本発明の実施は単純格
子に限らない。
例えばホログラムスキヤナに使う様な、格子の
周期、格子の方向共にホログラム内で分布を持つ
ている格子でも露光光の方向と、露光の角度（第
１図５）を選ぶことで本発明の方法によつて容易
にブレーズド格子にできることはいう迄もない。
すなわちホログラムのサイズに対して全面を一度
に露光せず、細い露光光を用いて露光光又は、感
光体を移動しながら常にブレース角が形成される
様な露光方法をとればよい。
周期、格子の方向共にホログラム内で分布を持つ
ている格子でも露光光の方向と、露光の角度（第
１図５）を選ぶことで本発明の方法によつて容易
にブレーズド格子にできることはいう迄もない。
すなわちホログラムのサイズに対して全面を一度
に露光せず、細い露光光を用いて露光光又は、感
光体を移動しながら常にブレース角が形成される
様な露光方法をとればよい。
以上説明した様に、この発明により任意のブレ
ーズ角のブレーズド格子が容易に得られる。
ーズ角のブレーズド格子が容易に得られる。
第１図は、この発明の露光工程を示す断面図、
第２図は格子原板はく離後の感光体を示す断面
図、第３図は現像処理後の感光体を示す断面図で
ある。 図において、１は基板、２は感光体、３は原板
格子、矢印４は露光方向、７〜１１は感光体の未
露光部を各々表わす。
第２図は格子原板はく離後の感光体を示す断面
図、第３図は現像処理後の感光体を示す断面図で
ある。 図において、１は基板、２は感光体、３は原板
格子、矢印４は露光方向、７〜１１は感光体の未
露光部を各々表わす。
Claims (1)
- １ 現像処理によつて未露光部が除去される感光
体を、前記感光体の露光波長の光に対して不透明
な表面レリーフ格子を有する格子原板のレリーフ
に実質的に密着する工程と、前記感光体と格子原
板の密着状態において、前記感光体側から斜め露
光する工程と、前記感光体を格子原板からはく離
後現像する工程とを少なくとも含むことを特徴と
するブレーズド格子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6658579A JPS55157705A (en) | 1979-05-29 | 1979-05-29 | Production of blazed grating |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6658579A JPS55157705A (en) | 1979-05-29 | 1979-05-29 | Production of blazed grating |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55157705A JPS55157705A (en) | 1980-12-08 |
| JPS638441B2 true JPS638441B2 (ja) | 1988-02-23 |
Family
ID=13320164
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6658579A Granted JPS55157705A (en) | 1979-05-29 | 1979-05-29 | Production of blazed grating |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS55157705A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS608802A (ja) * | 1983-06-29 | 1985-01-17 | Agency Of Ind Science & Technol | ブレ−ズド格子の製造方法 |
| JPS60230601A (ja) * | 1984-05-01 | 1985-11-16 | Masayasu Negishi | 膜処理方法 |
| WO2023157475A1 (ja) * | 2022-02-18 | 2023-08-24 | 株式会社日立ハイテク | 回折格子の製造方法および回折格子 |
-
1979
- 1979-05-29 JP JP6658579A patent/JPS55157705A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS55157705A (en) | 1980-12-08 |
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