JPS6382378A - 混成集積回路特性測定装置 - Google Patents

混成集積回路特性測定装置

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Publication number
JPS6382378A
JPS6382378A JP61228592A JP22859286A JPS6382378A JP S6382378 A JPS6382378 A JP S6382378A JP 61228592 A JP61228592 A JP 61228592A JP 22859286 A JP22859286 A JP 22859286A JP S6382378 A JPS6382378 A JP S6382378A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
probes
variable
integrated circuit
hybrid integrated
diode
Prior art date
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Pending
Application number
JP61228592A
Other languages
English (en)
Inventor
Tadaki Wakao
若生 忠樹
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
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Publication of JPS6382378A publication Critical patent/JPS6382378A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、混成集積回路の電気的特性測定装置に関し、
特に、集中定数回路で構成される高周波回路の特性測定
及び特性調整に用いる混成集積回路特性測定装置に関す
る。
〔従来の技術〕
従来、混成集積回路の電気的特性測定装置においてプロ
ーバーは、膜回路基板の抵抗トリミング用の10−バー
のごとく、基板上に形成された素子の端子導体と測定器
とを電気的に接続する機能しか有していなかった。
[、発明が解決しようとする問題点〕 上述した従来の特性測定装置では、回路定数をかえる必
要がある場合には、部品の搭載・半田付をくり返し行い
測定するため、時間が著しくかかるといった欠点があっ
た。
上述した従来の測定装置に対し、本発明は、被測定物に
対し外部より受動素子が付加され、かつ受動素子の定数
を外部バイアス電圧により、可変にできる機能を有する
点において独創的内容を有する。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明の混成集積回路特性測定装置は、1対の探針と、
この探針間に電気的に接続される可変容量ダイオードま
たは可変抵抗素子と、前記可変容量ダイオードまたは可
変抵抗素子の容量値または抵抗値を外部から可変する手
段とを具備することを特徴とする。
〔実施例〕
第1図は、本発明の一実施例におけるプローバ一部を示
す構成図で、可変容量ダイオード1は、外部バイアス端
子4から供給される電圧により、探針3,3′間の容量
が変化する。DCブロック用のコンデンサ2.2′は外
部バイアスによる直流のまわり込みを防止するものであ
り、外部バイアス端子4と可変容量ダイオード1とをリ
ード5で接続する。高周波測定の場合には、RF防止の
ため、ビーズコアをリード5に通す。ここで、探針3.
3′は一組に限らず、混成集積回路基板上の素子に対応
して、二組以上付加することも可能である。なお、符号
6は探針支持台を示す。
第2図は、第1図のプローバ一部を使用して測定する場
合を説明するための、混成集積回路・高周波増幅回路の
斜視図である。
膜回路基板7の上に増幅用トランジスタ10が搭載され
、また、電力整合用の容量として、チップコンデンサ9
が搭載されており、11は、チップコンデンサ搭載用の
端子ランドである。なお、符号8は放熱板を示す。
通常、この種の増幅器においては、搭載されているトラ
ンジスタ10は、入出力のインピーダンスがある程度バ
ラつくため、所定の特性を確保するためには、チップコ
ンデンサ11の容量値をふり分けて最適な定数を選定す
ることが必要となる。
この場合、混成集積回路の端子ランド11に接続するよ
う第1図のプローバ一部の探針3,3′をおろし、電力
計等を直視しながら、外部バイアス電圧を加え、最適電
圧を得ることにより、この電圧から容量への変換が可能
であるため、直ちに最適なコンデンサーが設定でき、プ
ローバーをはずし、指定の容量値のコンデンサーを搭載
半田付することにより、短時間で混成集積回路が調整9
組立されることになる。また、電圧を連続的に変動させ
ることにより、容量をパラメーターとした各測定値が直
ちに得られ、設計のデーター集積にも有用である。
尚、本実施例では、電力増幅回路をとりあげたが、電圧
可変発振器の発振周波数の調整等に適用しても、同様の
効果が期待される。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明によれば、混成集積回路の調
整作業における著しい工数短縮が可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例におけるプローバー部の構成
図、第2図は測定の対象となる一般の混成集積回路を例
示する斜視図である。 1・・・可変容量ダイオード、2・・・DCブロック用
コンデンサ、3.3′・・・探針、4・・・バイアス端
子、5・・・リード、6・・・探針支持台、7・・・膜
回路基板、8・・・放熱板、9・・・チップコンデンサ
、10・・・トランジスタ、11・・・チップコンデン
サ搭載ランド。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  1対の探針と、この探針間に電気的に接続される可変
    容量ダイオードまたは可変抵抗素子と、前記可変容量ダ
    イオードまたは可変抵抗素子の容量値または抵抗値を外
    部から可変する手段とを具備することを特徴とする混成
    集積回路特性測定装置。
JP61228592A 1986-09-26 1986-09-26 混成集積回路特性測定装置 Pending JPS6382378A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04359532A (ja) * 1991-06-06 1992-12-11 Nec Yamagata Ltd 発振防止プローブカード
CN106483473A (zh) * 2016-09-14 2017-03-08 深圳清华大学研究院 发光二极管测试装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04359532A (ja) * 1991-06-06 1992-12-11 Nec Yamagata Ltd 発振防止プローブカード
CN106483473A (zh) * 2016-09-14 2017-03-08 深圳清华大学研究院 发光二极管测试装置

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