JPS6377239A - 通信方式 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （概要〕 本発明は複数台の子局を一台の親局により集中的にオン
ラインコントロールする通信方式において、 ネットワーク回線を専有する時間の最も長い情報を別ネ
ットワークに分離することにより、システムとしての制
御情報伝達のリアルタイム性を確保し、全体のターンア
ラウンドタイムの短縮を図ったものである。

〔産業上の利用分野〕

本発明は通信方式、特にネットワーク回線を使い分ける
通信方式に関する。

Ｃ従来の技術〕 複数台の子局を一台の親局により集中的にオンラインコ
ントロールする通信方式（通信ネットワーク方式）は従
来より各極短られているが、例えば半導体製造ラインに
おいては、成る製造装置による製造工程が終ってから、
別の製造装置へマガジンを搬送して次の製造工程を行な
わせるため、半導体製造装２群をネットワークで結び、
中央の親局で集中的にマガジン等のオンラインコントロ
ールを行なう通信方式が構築されている。

第４図は従来の通信方式の一例のブロック図で、一台の
親局１はｎ台の子局（製造装置やロボット等）２１〜２
ηとネットワーク回線３を介して接続されている。これ
により、親局１は子局２１〜２ＴＩよりの制御データ等
に基づいて子局２Ｉ〜２ＴＩのうち所定の子局の動作を
制御するデータをネットワーク回線３へ転送する。

かかる通信方式によって親局１と子局２１〜２Ｔ１間で
転送されるデータ（ネットワーク情報）としては、大別
して制御情報と製造情報とに分かれる。制御情報は一般
にリアルタイム性が要求され、作業品種情報、装置作業
進行情報、装置状態情報１作業開始通知／作業終了通知
情報その他に分類され、通常は約数十にバイト程度のデ
ータｍである。一方、製造情報には、通常約数百にバイ
トのデータｍの拡張及びフルカットウェーハ内良品チッ
プのマツプ情報や、約数十にバイトのデータ量の品種別
セルフティーヂ情報などがある。これにより、複数品種
が同時生産の形式で制御される。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかるに、ネットワーク使用時のデータ転送時間及び回
線の専有特開は転送データサイズに比例するため、上記
の如くデータサイズの大なる製造情報がネットワーク回
線３を専有している時間が艮い。このため、システム制
御中に制御情報と製造情報とが回線使用時に重複するこ
とがあり、製造情報が通信され終るまで制御情報の通信
を持たねばならないことがあり、制御情報伝達のリアル
タイム性が損われてしまうという問題点があった。

本発明は上記の点に鑑みて創作されたもので、制御情報
伝達のリアルタイム性を確保した通信方式を提供するこ
とを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明の通信方式は、通信される各種の情報データのう
ち、ネットワーク回線を専有する時間が最も長い一の情
報データ専用のネットワーク回線を新たに設け、ネット
ワーク回線を専有する時間が短い制御情報データの通信
用のネットワーク回線とは別にしたものである。

〔作用〕

ネットワーク回線を専有する時間が最も長い一の情報デ
ータは専用のネットワーク回線を通して親局と複数台の
子局との間で通信を行なわれる。

このため、制御情報データは上記一の情報データの通信
に無関係に別のネットワーク回線を通して転送されるこ
とができる。

（実施例） 第１図は本発明の一実施例のブロック図を示す。

一台の親８４とｎ台の子局５１〜５Ｔｌとは第１のネッ
トワーク回線６を介して接続されると共に、第２のネッ
トワーク回Ｆｉ１７を介して接続されている。子局５１
〜５１は前記半導体ラインに適用した場合は各々所定製
造を行なう半導体製造装置や、マガジン搬送用のロボッ
トなどである。

一方、ネットワーク回線６は前記制御情報データの通信
用ネットワーク回線、ネットワーク回線７はネットワー
ク回線を専有する時間の最も長い製造情報データ専用の
ネットワーク回線である。

従って、制御情報データは、製造情報データがネットワ
ーク回線７を専有している時間内であっても、これに無
関係に別のネットワーク回線６を通して転送できること
になる。

第２図はソフトウェアブロック構成の一例を示す。親￥
４４はシステムメインゐ制御１０により制御情報１１を
生成し、これを送信部／受信部１２を通してネットＡの
ネットワーク回線６へ制御２Ｉｌ情報データとして送信
する。一方、システムメイン制ｔ１１１０により製造情
報１３を生成した場合は、これを送信部／受信部１４を
通してネットＢのネットワーク回線７へ製造情報データ
として送信する。

これに対し、ネットワーク回線６．７を通して入力され
た制御情報データ、製造情報データは送信部／受信部１
２．１４により受信された後、制御情報１１．’５１７
Ｄ情報１２としてシステムメイン制御１０を行なわしめ
る。なお、第２図に示すソフトウェアブロック構成は、
子局２１〜２ｎについても同様の構成とされである。

ネットワーク回線６．７を転送されるデータは、例えば
第３図に示す如く、このデータの転送先のノードの番地
を示すノードアドレス１６と、このデータのデータ量を
示すデータサイズ１７と、制御情報内容又は製造情報内
容を示すデータ１８と、データ１８の誤り訂正のための
チェックサム１９とよりなる構成とされである。しかし
、本発明により転送されるデータはこの構成に限られる
ものではないことは勿論である。

このようにして、製造情報データの通信の有無に無関係
に制御情報データが持ち時間なく転送される。

なお、本発明は上記の実施例に限定されるものではなく
、同様の各種の情報データの通信方式に適用することが
できるものである。

〔発明の効果〕

上述の如（、本発明によれば、ネットワーク回線を専有
する時間の最も長い情報データの通信の有無に無関係に
１、制御情報データが待ち時間なく別のネットワーク回
線を通して親局と子局との間で通信されるので、親局又
は子局の制御がリアルタイムででき、システム全体のタ
ーンアラウンドタイムを短縮することができ、通信内容
が目的局に受信されるのが結果的には速くなり、効率の
良い通信が行なえる等の特長を有するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示すブロック図、第２図は
本発明におけるソフトウェアブロック構成の一例を示す
図、 第３図は転送データの一例の構成図、 第４図は従来の一例のブロック図である。 図において、 ４は親局、 ５１〜５Ｔｌは子局、 ６．７はネットワーク回線である。 木売哨め一職衾ら−１のブロッｙ図 第１図 ソ７）ウェアグローｙ２構べ図 第２図 転送デー７／）構成図 第３図 ネξ來の→りの７゛ロヤ２ 第４図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 一台の親局（４）と複数台の子局（５＿１〜５＿ｎ）と
   の間に接続されたネットワーク回線を通して両者間で各
   種の情報データの通信を行なう通信方式において、 該各種の情報データのうちネットワーク回線を専有する
   時間が最も長い一の情報データ専用のネットワーク回線
   （７）を新たに設け、ネットワーク回線を専有する時間
   が短い制御情報データの通信用ネットワーク回線（６）
   とは別にしたことを特徴とする通信方式。