JPS6375387A - セラミツクス製オイルフリ−・ハイブリツド真空ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はセラミックス製オイルフリー・ハイブリッド真
空ポンプに関するものである。

（従来の技術） 高真空領域で高い排気性能を有するターボ分子ポンプと
低真空領域で高い排気性能を有するねし溝真空ポンプと
を具えた複合型真空ポンプの従来例を第３図により説明
すると、　（Ｏｌａ）がターボ分子ポンプの多段の動翼
、　（Ｏｌｂ）が同各動翼（Ｏｌａ）をもつターボ分子
ポンプの回転体、　（Ｏｌｅ）がねし溝真空ポンプの回
転体、　（Ｏｌｄ）がねし溝真空ポンプの回転軸（回転
体）、　（０２ａ）がターボ分子ポンプのケーシング、
　（０２ｂ）がねじ溝真空ポンプのケーシング、　（０
２ｃ）が内周面にねし溝をもつねし溝真空ポンプの中空
静止体、　（０２ｄ）がターボ分子ポンプの静翼である
。なお上記各動翼（Ｏｌａ）と上記回転体（Ｏｌｂ）〜
（Ｏｌｄ）とは金属製で、上記回転体（０１ｂ）　（Ｏ
ｌｄ）が一体に作られ、上記ケーシング（０２ａ）（０
２ｂ）が一体に作られている。また（０３）が上部ラジ
アル軸受（油潤滑式玉軸受）　、　（０４）が下部ラジ
アル軸受（油潤滑式玉軸受”）　、　（０５）がスラス
ト軸受（油潤滑式玉軸受）で、同上下のラジアル軸受（
０３）　（０４）と同スラスト軸受（０５）とにより上
記各動翼（Ｏｌａ）及び回転体（Ｏｌｂ）　〜（Ｏｌｄ
）が上記ケーシング（０２ａ）　（０２ｂ）内に回転可
能に支持されている。

また（０６）が駆動モータ、　（０８）が排気口で、各
動翼（Ｏｌａ）及び回転体（Ｏｌｂ）　〜（Ｏｌｄ）を
駆動モータ（０６）により高速回転させ、矢印（ＡＩ）
−（Ａｍ）方向に排気して、（Ａｔ）側に高真空を発生
させる。このとき。

（Ａ２）側では大気圧近傍の圧力で排気している。

（発明が解決しようとする問題点） 前記第３図に示す従来の複合型真空ポンプでは。

各動翼（１ａ）及び回転体（Ｏｌｂ）〜（Ｏｌｄ）が金
属製であり、高磁場中で使用する場合には、渦電流損が
大きくなり２回転数が低下して、ターボ分子ポンプとし
て機能しないばかりでなく、各動翼（Ｏｌａ）及び回転
体（Ｏｌｂ）〜（Ｏｌｄ）が破損する。また軸受（０３
）〜（０５）が油潤滑式玉軸受であり、排気ガスが腐食
性ガスの場合には、軸受（０３）〜（０５）を潤滑する
潤滑油が早期の劣化し、軸受（０３）〜（０５）の寿命
が著しく短くなって、長時間の運転に耐えられないとい
う問題があった。

（問題点を解決するための手段） 本発明は前記の問題点に対処するもので、多段の動翼を
もつターボ分子ポンプのセラミックス製回転体とねし溝
真空ポンプのセラミックス製回転体とを直結し、同回転
体をケーシング内にガスベアリングを介して回転可能に
支持し、同回転体を駆動するガスタービンを同回転体に
設けたことを特徴とするセラミックス製オイルフリー・
ハイブリッド真空ポンプに係わり、その目的とする処は
。

回転体の破損を防止できる。また長時間にわたり運転で
きるセラミックス製オイルフリー・ハイブリッド真空ポ
ンプを供する点にある。

（作用） 本発明のセラミックス製オイルフリー・ハイブリッド真
空ポンプは前記のように多段の動翼をもつターボ分子ポ
ンプの回転体とねし溝真空ポンプの回転体とを直結する
一方、同回転体を絶縁性。

高温強度を有するセラミックス類にしており、高磁場中
でも、渦電流が発生せず２回転数低下、温度上昇が生じ
なくて、ポンプの回転体が破損しない。また上記ポンプ
の回転体を回転可能に支持するのが潤滑油を必要としな
いガスベアリングであり、腐食性ガスに対し耐久性を有
して、長時間の運転が可能になる。

（実施例） 次に本発明のセラミックス製オイルフリー・ハイブリッ
ド真空ポンプを第１図に示す一実施例により説明すると
、　（ｌａ）がターボ分子ポンプの多段の動Ｒ，（１ｂ
）が同各動翼（１ａ）をもつターボ分子ポンプの回転体
、　（ｌｃ）がねじ溝真空ポンプの回転体。

（１ｄ）がねし溝真空ポンプの回転軸（回転体）、（２
ａ）がターボ分子ポンプのケーシング、　（２ｂ）がね
じ溝真空ポンプのケーシング、　（２ｃ）が内周面にね
し溝をもつねし溝真空ポンプの中空静止体、　（２ｄ）
がターボ分子ポンプの静翼で、上記各動翼（１ａ）と上
記回転体（１ｂ）〜（１ｄ）とがセラミックスにより構
成されている。また上記回転体（ｌｂ）　（ｌｄ）が一
体に作られ、上記ケーシング（２ａ）　（２ｂ）が一体
に作られている。また（３）　（４）　（５）がガスベ
アリングで、同ガスベアリング（３）　（４）　（５）
により上記各動翼（１ａ）及び回転体（ｌｂ）　〜（ｌ
ｄ）が上記ケーシング（２ａ）　（２ｂ）内に回転可能
に支持されている。また（６）が上記回転体（１ｄ）に
設けたガスタービン、（８）が排気口である。

次に前記第１図に示すセラミックス製オイルフリー・ハ
イブリッド真空ポンプの作用を具体的に説明する。各ガ
スベアリング（３）　（４）　（５）に矢印（Ｂ＋）　
（Ｂ＋）　（Ｂ＋）方向から給気して５回転体（１ｄ）
を非接触により回転可能に支持する一方、ガスタービン
（６）に矢印（Ｃ１）方向から給気して、動１（ｌａ）
及び回転体（１ｂ）〜（１ｄ）を高速回転させ、矢印（
ＡＩ）−（Ａ２）方向に排気して、（ＡＩ）側に高真空
を発生させる。

またガスベアリング（３）　（４）及びガスタービン（
６）への給気を矢印（Ｃ２）方向に排気し、ガスベアリ
ング（５）への給気を矢印（Ｅ２）方向に排気する。

第２図は、ガスタービン（６）をスラストディスクに兼
用した他の実施例で、ガスタービン（６）以外の部分は
、前記第１図の実施例と同様に構成されており３本実施
例でも前記と同様の作用が行われる。

（発明の効果） 本発明のセラミックス製オイルフリー・ハイブリッド真
空ポンプは前記のように多段の動翼をもつターボ分子ポ
ンプの回転体とねじ溝真空ポンプの回転体とを直結する
一方、同回転体を絶縁性。

高温強度を有するセラミックス製にしており、高磁場中
でも、渦電流が発生せず９回転数低下、温度上昇が生じ
なくて１回転体の破損を防止できる。

また上記回転体を回転可能に支持するのが潤滑油を必要
としないガスベアリングであり、腐食性ガスに対し耐久
性を有して、長時間にわたり運転できる効果がある。

以上本発明を実施例により説明したが、勿論本発明はこ
のような実施例だけに局限されるものでなく９本発明の
精神を逸脱しない範囲で種々の設計の改変を施しうるも
のである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係わるセラミックス製オイルフリー・
ハイブリッド真空ポンプの一実施例を示す縦断側面図、
第２図は他の実施例を示す縦断側面図、第３図は従来の
複合型真空ポンプを示す縦断側面図である。 （１ａ）・・・ターボ分子ポンプの多段の動翼、　（１
ｂ）・・・ターボ分子ポンプのセラミックス製回転体。 （ｌｃ）　（ｌｄ）・・・ねじ溝真空ポンプのセラミッ
クス製回転体、（２ａ）（２ｂ）・・・ケーシング、　
（３）（４）（５）・・・　ガスベアリング、（６）・
・・ガスタービン。 復代理人弁理士岡本重文外２名 第１図 Ｅ＋　　　　Ｅｔ Ｅ　　　　Ｅ７

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 多段の動翼をもつターボ分子ポンプのセラミックス製回
   転体とねじ溝真空ポンプのセラミックス製回転体とを直
   結し、同回転体をケーシング内にガスベアリングを介し
   て回転可能に支持し、同回転体を駆動するガスタービン
   を同回転体に設けたことを特徴とするセラミックス製オ
   イルフリー・ハイブリッド真空ポンプ。