JPH04276197A - マルチターボ型真空ポンプ - Google Patents
マルチターボ型真空ポンプInfo
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- JPH04276197A JPH04276197A JP3854491A JP3854491A JPH04276197A JP H04276197 A JPH04276197 A JP H04276197A JP 3854491 A JP3854491 A JP 3854491A JP 3854491 A JP3854491 A JP 3854491A JP H04276197 A JPH04276197 A JP H04276197A
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D17/00—Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
- F04D17/08—Centrifugal pumps
- F04D17/16—Centrifugal pumps for displacing without appreciable compression
- F04D17/168—Pumps specially adapted to produce a vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/046—Combinations of two or more different types of pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D25/00—Pumping installations or systems
- F04D25/16—Combinations of two or more pumps ; Producing two or more separate gas flows
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高真空から大気圧まで
一気に大容量の排気を行なうことができる大容量のマル
チターボ型真空ポンプに関する。
一気に大容量の排気を行なうことができる大容量のマル
チターボ型真空ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の真空ポンプを図３に示す。図３に
おいて、高真空ポンプ１５はターボ分子ポンプであり、
補助ポンプ１６と配管１７で接続されている。高真空ポ
ンプ１５で圧縮されたガスは配管１７を介し補助ポンプ
１６でさらに圧縮され、外部に排気される。
おいて、高真空ポンプ１５はターボ分子ポンプであり、
補助ポンプ１６と配管１７で接続されている。高真空ポ
ンプ１５で圧縮されたガスは配管１７を介し補助ポンプ
１６でさらに圧縮され、外部に排気される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ターボ分子ポンプで排
気容量を大きくするためには、気体の掻き込み面積を大
きくし、かつ、その回転翼の回転速度を大きくする必要
がある。掻き込み面積を大きくするためには、回転翼の
直径を大きくして面積その物を大きくすると共に高真空
側の翼の傾き角度αをほぼ４０〜４５°にして、気体の
分子が翼列に飛び込む開口面積とその排気効率を大きく
することが必要である。
気容量を大きくするためには、気体の掻き込み面積を大
きくし、かつ、その回転翼の回転速度を大きくする必要
がある。掻き込み面積を大きくするためには、回転翼の
直径を大きくして面積その物を大きくすると共に高真空
側の翼の傾き角度αをほぼ４０〜４５°にして、気体の
分子が翼列に飛び込む開口面積とその排気効率を大きく
することが必要である。
【０００４】しかし、ターボ分子ポンプの回転翼１８は
、図４及び図５に示すように、放射状に広がっており、
外径側に行く程放射状の回転翼片１８ａの隙間は広がっ
てしまい、結局は図６に示すように、上部から下部が見
えるようなシースルーの状態となる。回転翼の外径周速
は材料強度上の制限から３００〜４００ｍ／ｓ程度が限
界であるが、軽ガス（水素，ヘリウム等）の気体の分子
速度は１０００〜１５００ｍ／ｓと早いため、シースル
ー部があれば、その隙間を自由に通過出来るので圧縮・
排気の効率は悪くなる。
、図４及び図５に示すように、放射状に広がっており、
外径側に行く程放射状の回転翼片１８ａの隙間は広がっ
てしまい、結局は図６に示すように、上部から下部が見
えるようなシースルーの状態となる。回転翼の外径周速
は材料強度上の制限から３００〜４００ｍ／ｓ程度が限
界であるが、軽ガス（水素，ヘリウム等）の気体の分子
速度は１０００〜１５００ｍ／ｓと早いため、シースル
ー部があれば、その隙間を自由に通過出来るので圧縮・
排気の効率は悪くなる。
【０００５】これを避けるためには、図７に示すように
回転翼片１８ａの傾き角度αを小さくし、また回転翼片
１８ａの軸方向長さを長くすることが必要になるが、前
者では排気容量を低下させ、後者では回転体が長くなり
回転性能面・コスト面等の不具合が生じる。また、回転
翼片１８ａの傾き角度αを外周にいくにつれて変えてい
くという方法もあるが、製作コスト及び遠心力によるね
じりモーメントの発生等の不具合がある。
回転翼片１８ａの傾き角度αを小さくし、また回転翼片
１８ａの軸方向長さを長くすることが必要になるが、前
者では排気容量を低下させ、後者では回転体が長くなり
回転性能面・コスト面等の不具合が生じる。また、回転
翼片１８ａの傾き角度αを外周にいくにつれて変えてい
くという方法もあるが、製作コスト及び遠心力によるね
じりモーメントの発生等の不具合がある。
【０００６】なお、以上の各種の諸元と排気速度の関係
の解析結果を図８に示す。以上のような制限から、現在
市販されているターボ分子ポンプの排気容量は数千 ｌ
／ｓｅｃ程度であり、最近発表されたものでも２万 ｌ
／ｓｅｃ程度に止まっている。また、その圧縮比は低く
、数Ｔｏｒｒ程度までしか圧縮できないために、大気圧
排気するには、図３に示すように補助ポンプを排気側に
連結した二段構成にする必要があった。
の解析結果を図８に示す。以上のような制限から、現在
市販されているターボ分子ポンプの排気容量は数千 ｌ
／ｓｅｃ程度であり、最近発表されたものでも２万 ｌ
／ｓｅｃ程度に止まっている。また、その圧縮比は低く
、数Ｔｏｒｒ程度までしか圧縮できないために、大気圧
排気するには、図３に示すように補助ポンプを排気側に
連結した二段構成にする必要があった。
【０００７】本発明は、これらの問題点を解決すること
により、大容量で、かつ、大気圧排気可能なマルチター
ボ型真空ポンプを提供しようとするものである。
により、大容量で、かつ、大気圧排気可能なマルチター
ボ型真空ポンプを提供しようとするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明のマルチターボ型
真空ポンプは次の手段を講じた。 １ 吸気口及び排気口を設けたケーシングの内部に、
複数のターボ型回転体を多軸に内蔵した。 ２ 前記１の本発明において、ターボ型回転体の一つ
はターボ分子ポンプであり、その最下段翼の下方に複数
のターボ型回転体を円周状に配置した。 ３ 前記２の本発明において、ターボ分子ポンプの最
下段の下方に配置された複数のターボ型回転体の各々は
、スパイラル方向の溝を設けた回転円盤を多段に組合せ
た粘性真空ポンプである。
真空ポンプは次の手段を講じた。 １ 吸気口及び排気口を設けたケーシングの内部に、
複数のターボ型回転体を多軸に内蔵した。 ２ 前記１の本発明において、ターボ型回転体の一つ
はターボ分子ポンプであり、その最下段翼の下方に複数
のターボ型回転体を円周状に配置した。 ３ 前記２の本発明において、ターボ分子ポンプの最
下段の下方に配置された複数のターボ型回転体の各々は
、スパイラル方向の溝を設けた回転円盤を多段に組合せ
た粘性真空ポンプである。
【０００９】
【作用】前記１の本発明においては、複数のターボ型回
転体を多軸に吸気口と排気口をもつケーシング内部に内
蔵しているために、途中の配管を必要とせず、複数のタ
ーボ型回転体によって効率の良い排気が行なわれ、かつ
小型で大容量の排気が可能になる。
転体を多軸に吸気口と排気口をもつケーシング内部に内
蔵しているために、途中の配管を必要とせず、複数のタ
ーボ型回転体によって効率の良い排気が行なわれ、かつ
小型で大容量の排気が可能になる。
【００１０】前記２の本発明では、ターボ分子ポンプの
最下段翼の下方に複数のターボ回転体を配置したことに
よって、前記１の本発明の作用に加えて、ガスがターボ
分子ポンプ翼間を通過して逆拡散することが防止される
。また、複数のターボ回転体は円周状に配置されており
、ターボ回転体は小さいスペースに配置されると共に、
ターボ分子ポンプの翼径を大きくして排気量を大きくし
ガスの圧縮比を向上させることができる。
最下段翼の下方に複数のターボ回転体を配置したことに
よって、前記１の本発明の作用に加えて、ガスがターボ
分子ポンプ翼間を通過して逆拡散することが防止される
。また、複数のターボ回転体は円周状に配置されており
、ターボ回転体は小さいスペースに配置されると共に、
ターボ分子ポンプの翼径を大きくして排気量を大きくし
ガスの圧縮比を向上させることができる。
【００１１】前記３の本発明では、前記２の本発明の作
用に加えて、気体の分子としての挙動を利用して排気す
るターボ分子ポンプの最下段翼の下方には、スパイラル
方向の溝をもつ回転円盤を多段に組合せ、気体の粘性を
利用して圧縮し、スパイラル方向の溝によって排気を行
なう複数の粘性真空ポンプが配置されており、気体の相
異る特性を利用して連続的に高圧縮比の排気が行なわれ
る。
用に加えて、気体の分子としての挙動を利用して排気す
るターボ分子ポンプの最下段翼の下方には、スパイラル
方向の溝をもつ回転円盤を多段に組合せ、気体の粘性を
利用して圧縮し、スパイラル方向の溝によって排気を行
なう複数の粘性真空ポンプが配置されており、気体の相
異る特性を利用して連続的に高圧縮比の排気が行なわれ
る。
【００１２】
【実施例】本発明の一実施例を図１及び図２によって説
明する。本実施例はメインターボをターボ分子ポンプと
し、サブターボを粘性ポンプとしたマルチターボ型真空
ポンプに係る。
明する。本実施例はメインターボをターボ分子ポンプと
し、サブターボを粘性ポンプとしたマルチターボ型真空
ポンプに係る。
【００１３】図１において、メインターボ吸気口１を上
端にもつケーシング４の中にメインターボ回転体６及び
多段のメインターボ静翼５を上下方向に配し、メインタ
ーボ回転体６はメインターボ軸受９でラジアル方向とス
ラスト方向を支持され、メインターボモータ８で駆動さ
れる。また、停止時、異常時にはメインターボ危急軸受
７に接触して安全に停止できる構造としている。また、
各メインターボ回転体６には多段の放射状のメインター
ボ回転体動翼６ａが取付けられており、各メインターボ
回転体の動翼６ａはケーシング４に固定されたメインタ
ーボ静翼５間に配置され、両者の相互作用により気体分
子を下向きに叩き落とすことにより真空排気を行うよう
になっている。
端にもつケーシング４の中にメインターボ回転体６及び
多段のメインターボ静翼５を上下方向に配し、メインタ
ーボ回転体６はメインターボ軸受９でラジアル方向とス
ラスト方向を支持され、メインターボモータ８で駆動さ
れる。また、停止時、異常時にはメインターボ危急軸受
７に接触して安全に停止できる構造としている。また、
各メインターボ回転体６には多段の放射状のメインター
ボ回転体動翼６ａが取付けられており、各メインターボ
回転体の動翼６ａはケーシング４に固定されたメインタ
ーボ静翼５間に配置され、両者の相互作用により気体分
子を下向きに叩き落とすことにより真空排気を行うよう
になっている。
【００１４】最下段のメインターボ回転体動翼６ａの下
方には複数台のサブターボ回転体１１が円周状に配置し
てあり、これらは全てケーシング４の中に内蔵され、多
軸で非接触に回転できる構造となっている。サブターボ
回転体１１は、上端にサブターボ吸気口２をもちケーシ
ング４内に配置されたサブターボケーシング１２の中に
入っており、サブターボ軸受１４でラジアル方向とスラ
スト方向を支持され、サブターボモータ１３により駆動
されるようになっている。サブターボ回転体１１には多
段のサブターボ回転体動翼１１ａがついており、各サブ
ターボ回転体動翼１１ａは、図２に示すように、その上
下の面の全面に等間隔に設けられたスパイラル状の複数
の溝１１ｂを有する円盤形状をしている。そのサブター
ボ回転体動翼１１ａと互い違いに組み合わさった状態で
サブターボケーシング４内に固定されたサブターボ静翼
１０が配置されている。またケーシング４の下部には、
大気側のサブターボ排気口３が設けられている。
方には複数台のサブターボ回転体１１が円周状に配置し
てあり、これらは全てケーシング４の中に内蔵され、多
軸で非接触に回転できる構造となっている。サブターボ
回転体１１は、上端にサブターボ吸気口２をもちケーシ
ング４内に配置されたサブターボケーシング１２の中に
入っており、サブターボ軸受１４でラジアル方向とスラ
スト方向を支持され、サブターボモータ１３により駆動
されるようになっている。サブターボ回転体１１には多
段のサブターボ回転体動翼１１ａがついており、各サブ
ターボ回転体動翼１１ａは、図２に示すように、その上
下の面の全面に等間隔に設けられたスパイラル状の複数
の溝１１ｂを有する円盤形状をしている。そのサブター
ボ回転体動翼１１ａと互い違いに組み合わさった状態で
サブターボケーシング４内に固定されたサブターボ静翼
１０が配置されている。またケーシング４の下部には、
大気側のサブターボ排気口３が設けられている。
【００１５】前記メインターボ回転体６は繊維強化金属
（ＦＲＰ）、繊維強化セラミックス（ＦＲＣ）等の複合
材料で作られて高周速回転を可能としており、また大気
側のサブターボ回転体１１はセラミックスで作られ、熱
による膨張を小さくなるようにしている。また、メイン
ターボ軸受９は磁気軸受型であり、サブターボ軸受１４
は気体軸受型とすることにより、オイルフリーの構造と
している。
（ＦＲＰ）、繊維強化セラミックス（ＦＲＣ）等の複合
材料で作られて高周速回転を可能としており、また大気
側のサブターボ回転体１１はセラミックスで作られ、熱
による膨張を小さくなるようにしている。また、メイン
ターボ軸受９は磁気軸受型であり、サブターボ軸受１４
は気体軸受型とすることにより、オイルフリーの構造と
している。
【００１６】以上のように構成された本実施例では、メ
インターボ吸気口１からの気体分子は多段のメインター
ボ回転体動翼６ａとメインターボ静翼５との相互作用に
よって下方へ叩き落されて、真空排気が行なわれる。こ
の叩き落された気体は、サブターボ吸気口２からサブタ
ーボケーシング４内へ入る。この気体は、その粘性力に
よって、各サブターボ回転体１１のサブターボ回転体動
翼１１ａとサブターボ静翼１０の間において圧縮される
と共にスパイラル状の溝１１ｂを通ってサブターボ回転
体動翼１１ａの外方へ排気され、多段のサブターボ回転
体動翼１１ａによって徐々に下方に圧縮・排気される。 このようにして、サブターボ回転体１１において、気体
は最終的に大気圧となってサブターボ排気口３より排出
される。
インターボ吸気口１からの気体分子は多段のメインター
ボ回転体動翼６ａとメインターボ静翼５との相互作用に
よって下方へ叩き落されて、真空排気が行なわれる。こ
の叩き落された気体は、サブターボ吸気口２からサブタ
ーボケーシング４内へ入る。この気体は、その粘性力に
よって、各サブターボ回転体１１のサブターボ回転体動
翼１１ａとサブターボ静翼１０の間において圧縮される
と共にスパイラル状の溝１１ｂを通ってサブターボ回転
体動翼１１ａの外方へ排気され、多段のサブターボ回転
体動翼１１ａによって徐々に下方に圧縮・排気される。 このようにして、サブターボ回転体１１において、気体
は最終的に大気圧となってサブターボ排気口３より排出
される。
【００１７】以上説明したように、本実施例では、メイ
ンターボ回転体６における気体分子の叩き落しと、サブ
ターボ回転体１１における気体の粘性による圧縮・排気
との両者を組合せて連続的に排気を行なっており、高圧
縮比の排気が可能である。
ンターボ回転体６における気体分子の叩き落しと、サブ
ターボ回転体１１における気体の粘性による圧縮・排気
との両者を組合せて連続的に排気を行なっており、高圧
縮比の排気が可能である。
【００１８】また、メインターボ回転体６とサブターボ
回転体１１は、ケーシング４内に上下に配置され、その
間の配管を必要とせず、効率の良い圧縮・排気を行なう
ことができると共に、装置の小形化が可能である。
回転体１１は、ケーシング４内に上下に配置され、その
間の配管を必要とせず、効率の良い圧縮・排気を行なう
ことができると共に、装置の小形化が可能である。
【００１９】また、メインターボ回転体の最下段の動翼
６ａの下方にサブターボ回転体１１が配置されているた
めに、ガスが前記メインターボ回転体の動翼６ａ間のシ
ースルー部を通過して最拡散することを防止できる。こ
れに加えて、サブターボ回転体１１は円周上に複数個配
置されているために、配置スペースを小さくすることが
できると共に、メインターボ回転体の動翼６ａの翼径を
大きくして排気量とガスの圧縮比を高めることができる
。
６ａの下方にサブターボ回転体１１が配置されているた
めに、ガスが前記メインターボ回転体の動翼６ａ間のシ
ースルー部を通過して最拡散することを防止できる。こ
れに加えて、サブターボ回転体１１は円周上に複数個配
置されているために、配置スペースを小さくすることが
できると共に、メインターボ回転体の動翼６ａの翼径を
大きくして排気量とガスの圧縮比を高めることができる
。
【００２０】また更に、メインターボ回転体６が複合材
料で作られることによって、その高周速回転を可能にし
て排気性能が向上し、かつ、排気する気体の粘性力と圧
縮作用によって高温となる大気側のサブターボ回転体を
熱膨張が小さいセラミックス製とすることによって、微
小なクリアランスで使用する気体軸受や放熱性が悪く熱
膨張が問題となる磁気軸受を使用することができ、軸受
に油を使用しないオイルフリー化が可能である。
料で作られることによって、その高周速回転を可能にし
て排気性能が向上し、かつ、排気する気体の粘性力と圧
縮作用によって高温となる大気側のサブターボ回転体を
熱膨張が小さいセラミックス製とすることによって、微
小なクリアランスで使用する気体軸受や放熱性が悪く熱
膨張が問題となる磁気軸受を使用することができ、軸受
に油を使用しないオイルフリー化が可能である。
【００２１】
【発明の効果】本発明は次の効果を奏することができる
。
。
【００２２】（１） 請求項１の本発明では、吸気口及
び排気口を設けたケーシングの内部に、複数の多軸ター
ボ型回転体を内蔵してマルチターボ型とすることで途中
の配管を不要にできるので、排気ロス、スペースロスを
小さくでき、排気効率が良い小型で大容量排気の真空ポ
ンプとすることができる。
び排気口を設けたケーシングの内部に、複数の多軸ター
ボ型回転体を内蔵してマルチターボ型とすることで途中
の配管を不要にできるので、排気ロス、スペースロスを
小さくでき、排気効率が良い小型で大容量排気の真空ポ
ンプとすることができる。
【００２３】（２） 請求項２の本発明では、前記に加
えて、高真空側のターボ分子ポンプの最下段翼の下方に
複数のターボ型回転体を円周状に配置することにより、
ガスがターボ分子ポンプ翼の間を通過して逆拡散するこ
とを防止でき、かつ、ターボ分子ポンプの翼径を大きく
して排気容量を大きくすることができる。また、複数の
ターボ型回転体を円周状に配置することによって、小形
化が可能である。
えて、高真空側のターボ分子ポンプの最下段翼の下方に
複数のターボ型回転体を円周状に配置することにより、
ガスがターボ分子ポンプ翼の間を通過して逆拡散するこ
とを防止でき、かつ、ターボ分子ポンプの翼径を大きく
して排気容量を大きくすることができる。また、複数の
ターボ型回転体を円周状に配置することによって、小形
化が可能である。
【００２４】（３） 請求項３の本発明では、前記に加
えて気体の分子としての挙動を利用して排気するターボ
分子ポンプの最下段翼の下方に、気体の粘性を利用して
排気するスパイラル方向の溝を設けた回転円盤を多段に
組み合わせた粘性真空ポンプを複数台配置することによ
り、気体の相異なる特性を利用して連続的な排気が行な
われ、ターボ分子ポンプの構造的欠陥・宿命による性能
低下をカバーした高圧縮比な真空ポンプとすることがで
き、高真空から一気に大気圧等の圧力までの排気が可能
である。
えて気体の分子としての挙動を利用して排気するターボ
分子ポンプの最下段翼の下方に、気体の粘性を利用して
排気するスパイラル方向の溝を設けた回転円盤を多段に
組み合わせた粘性真空ポンプを複数台配置することによ
り、気体の相異なる特性を利用して連続的な排気が行な
われ、ターボ分子ポンプの構造的欠陥・宿命による性能
低下をカバーした高圧縮比な真空ポンプとすることがで
き、高真空から一気に大気圧等の圧力までの排気が可能
である。
【図１】本発明の一実施例に係わるマルチターボ型真空
ポンプの縦断面図である。
ポンプの縦断面図である。
【図２】同実施例のサブターボ回転体動翼の平面図であ
る。
る。
【図３】従来の真空ポンプの概念図である。
【図４】従来のターボ分子ポンプの翼形状の外観図であ
る。
る。
【図５】従来のターボ分子ポンプの翼の縦断面図である
。
。
【図６】従来のターボ分子ポンプの翼の側面図である。
【図７】シースルーを無くした場合の従来のターボ分子
ポンプの翼の側面図である。
ポンプの翼の側面図である。
【図８】ターボ分子ポンプの最大排気速度効率に関する
解析結果を示すグラフである。
解析結果を示すグラフである。
１ メインターボ吸気口
２ サブターボ吸気口
３ サブターボ排気口
４ ケーシング
５ メインターボ静翼
６ メインターボ回転体
６ａ メインターボ回転体動翼
７ メインターボ危急軸受
８ メインターボモータ
９ メインターボ軸受
１０ サブターボ静翼
１１ サブターボ回転体
１１ａ サブターボ回転体動翼
１２ サブターボケーシング
１３ サブターボモータ
１４ サブターボ軸受
Claims (3)
- 【請求項１】 吸気口及び排気口を設けたケーシング
の内部に、複数のターボ型回転体を多軸に内蔵したこと
を特徴とするマルチターボ型真空ポンプ。 - 【請求項２】 ターボ型回転体の一つはターボ分子ポ
ンプであり、その最下段翼の下方に複数のターボ型回転
体を円周状に配置したことを特徴とする請求項１に記載
のマルチターボ型真空ポンプ。 - 【請求項３】 ターボ分子ポンプの最下段翼の下方に
配置された複数のターボ型回転体の各々は、スパイラル
方向の溝を設けた回転円盤を多段に組合わせた粘性真空
ポンプであることを特徴とする請求項２に記載のマルチ
ターボ型真空ポンプ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3854491A JP2865888B2 (ja) | 1991-03-05 | 1991-03-05 | マルチターボ型真空ポンプ |
| DE19924206972 DE4206972A1 (de) | 1991-03-05 | 1992-03-05 | Mehrturbinen-vakuumpumpe |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3854491A JP2865888B2 (ja) | 1991-03-05 | 1991-03-05 | マルチターボ型真空ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04276197A true JPH04276197A (ja) | 1992-10-01 |
| JP2865888B2 JP2865888B2 (ja) | 1999-03-08 |
Family
ID=12528229
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3854491A Expired - Fee Related JP2865888B2 (ja) | 1991-03-05 | 1991-03-05 | マルチターボ型真空ポンプ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2865888B2 (ja) |
| DE (1) | DE4206972A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE29715035U1 (de) * | 1997-08-22 | 1997-10-30 | Leybold Vakuum GmbH, 50968 Köln | Reibungsvakuumpumpe |
| DE10149366A1 (de) * | 2001-10-06 | 2003-04-17 | Leybold Vakuum Gmbh | Axial fördernde Reibungsvakuumpumpe |
| DE10354204B4 (de) * | 2003-11-20 | 2016-03-10 | Leybold Vakuum Gmbh | Molekularpumpe |
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-
1991
- 1991-03-05 JP JP3854491A patent/JP2865888B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1992
- 1992-03-05 DE DE19924206972 patent/DE4206972A1/de active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE4206972C2 (ja) | 1993-08-12 |
| JP2865888B2 (ja) | 1999-03-08 |
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