JPS5923098A - タ−ボ分子ポンプ - Google Patents

タ−ボ分子ポンプ

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Publication number
JPS5923098A
JPS5923098A JP57132243A JP13224382A JPS5923098A JP S5923098 A JPS5923098 A JP S5923098A JP 57132243 A JP57132243 A JP 57132243A JP 13224382 A JP13224382 A JP 13224382A JP S5923098 A JPS5923098 A JP S5923098A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pump
power
generator
energy
converter
Prior art date
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Pending
Application number
JP57132243A
Other languages
English (en)
Inventor
Yutaka Ito
裕 伊藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Publication of JPS5923098A publication Critical patent/JPS5923098A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
    • F16C32/0406—Magnetic bearings
    • F16C32/044—Active magnetic bearings
    • F16C32/0444—Details of devices to control the actuation of the electromagnets
    • F16C32/0457—Details of the power supply to the electromagnets
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
    • F16C32/0406—Magnetic bearings
    • F16C32/044—Active magnetic bearings
    • F16C32/0442—Active magnetic bearings with devices affected by abnormal, undesired or non-standard conditions such as shock-load, power outage, start-up or touchdown
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C2360/00—Engines or pumps
    • F16C2360/44—Centrifugal pumps
    • F16C2360/45—Turbo-molecular pumps

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
  • Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、超高真空を得るためのＡ空ボングであるター
ボ分子ポンプに係り、特に、安全に運転できる高（ｉ頼
性ターボ分子ポンプに関する。
超高真空ｔ１．ｎ−７〜１０−目’Ｊ’ｏｒｒｌ　　を
得ルタめの、各種の、■空ポンプが実用化されているう
近来、犬容（社）の９荷ガスを処理できるターボ分子ポ
ンプが使われるよう罠なって来た。ターボ分子ポンプは
第１図に示すように、同定Ｒ９の間隔に配列された回転
翼８を１分間詮方回転の高速で回転し、気体分子に一定
方向の運動１ｔ−ｈ−ｑえることにより、真空排気する
ものである。高速回転を得るため電動機３は、−股間用
周波よりも高い周波数の電源Ｃを用いてηもカを供給し
ている。また、高速回転のための軸受１２は本ボングの
４Ｍ頼性に大きく関−ｔｊする重要部品で、通常、ポン
プケーシングの最下部に設けた潤滑油だめ１より軸受１
２に潤滑油を供給し、軸受の摩耗、焼付を防止する。
ターボ分子ポンプ（ｄ手軽に超高真空を実現できるすぐ
れた性質のポンプではあるが、高速回転体をもつため、
上述のようにＩｆ’、’、Ｉ滑油を使用するので、ポン
プ回転を停止する際に、特に、問題となるオイルによる
真空系の汚染、また、高速回転に伴う機械的振動があシ
、特に、電子顕微鏡などの精密計測器ではターボ分子ポ
ンプの使用ができない状況にある。
このため、最近では第２図ＶＣ回転翼および軸受の関係
を示すように軸受として磁気軸受１３．１４を使用する
方式が採用されるようになっている。
このターボ分子ポンプの１１源は、回転翼を高速回転さ
せるための周波数変換機能をもつ電動機３０電源゛Ａと
、磁気軸受用の軸受電源Ｂが必要である。
磁気軸受方式にすることによシ、軸受の潤滑油の省略１
機械振動の飛躍的な低減が可能となり、ターボ分子ポン
プの使用分野を拡大している。
しかるに、通常電源の喪失時、いわゆる停電時には、磁
気軸受効果がなくなり、高速回転中の回転翼の支持が不
可能となり危険である。このため、回転翼の持つ回転エ
ネルギーを消失するまで、補助的に機械的な軸受にて支
持する方法が取られているが、本ポング運転の際の信頼
性低下の一大要因となっている。このため、停電時対策
用として、非常用バッテリー等による非常用電＃Ｃをあ
らかじめ準備することもある。しかし、これはメンテナ
ンスをできるだけなくシ、高性能、高信頼性を狙う磁気
軸受方式の主旨に逆行し、経済性、保守性上からもＩｆ
ましくない。
本発明の目的は、高信頼性の清浄超真窒低振動のターボ
分子ポンプを提供するにある。
第３図は本発明のターボ分子ポンプを示す。回転翼８の
駆動源には、電動機としても発電気としても作用する電
動発電機１５を用いる　この電動発電機１５が発電機と
して作用する時（回転数が低下する際）は、外部へ電力
として取り出せる変換器Ｅを設ける。この変換器Ｅから
の電力を磁気軸受源Ｂに取シ込み、回転翼８を浮上させ
るように回路を構成する。なお、図中２は電流導入端子
、４は冷却管、５はポンプ外筒、６は保護ろみ、７は尚
真空側ボート、ｌＯｌよシャフト、１１は補助ポンプ用
ボートである。
本実施例によれば、通常運転の高速回転中に停電が発生
しても、高速回転中の回転翼８の持つエネルギーが発電
機、変換器Ｅ、軸受電源を介してすみやかに磁気軸受１
３．１４に供給され、軸受効果をそこなうことがないの
で、安全に回転翼８の回転を停止することが可能で、信
頼性の高いポンプとすることができる。
さらに本方式によれば、電源喪失のような非常時ではな
くても運転を停止する際、従来のように軸受電源に通常
電源より電力を供給し続ける必要がなくなるので、省エ
ネルギー効果がある。また、回転翼のエネルギーが変換
器Ｅを介してボング外に放出されるので、従来機よシも
すみヤかに回転を停止さぜることかできるばかりでなく
、補助的に設けている機械的軸受１２も小型化すること
ができ、保守性も向上する。
本発明によれば、潤滑油で汚染１機械振動のない高性能
、高信頼性のターボ分子ポンプが可能となる。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来のターボ分子ポンプの断面図、第２図（は
従来のターボ分子ポンプの系統図、第３図は本発明のタ
ーボ分子ポンプの系統図である。 １３．１４・・・磁気軸受、１５・・・電動発電機、Ｅ
・・・秦　　ｌ　　目 奉　　２　図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、回転翼を固定翼の間で高速回転し、気体を排気する
    ターボ分子ポンプにおいて、前記回転翼の駆動に電動発
    電機を用い、ポンプ運転時は電動機、ポンプ停止時は発
    電機として使用するように禍成したことを特徴とするタ
    ーボ分子ポンプ。 ２、特許請求の範囲第１項の記載において、前記回転翼
    の軸受に磁気軸受を用いることを特徴とするターボ分子
    ポンプ。 ３、特許請求の範囲第２項の記載において、前記電動発
    電機からの電力を変換器を介して、前記磁気軸受に供給
    することを％徴とするターボ分子ポンプ。 ４、特許請求の範囲第３項の記載において、前記磁気軸
    受への電力供給を、常用電力喪失時、自動的に前記電動
    発電機からの電力供給に切換える回路を設けたことを特
    徴とするターボ分子ポンプ
JP57132243A 1982-07-30 1982-07-30 タ−ボ分子ポンプ Pending JPS5923098A (ja)

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JP57132243A JPS5923098A (ja) 1982-07-30 1982-07-30 タ−ボ分子ポンプ

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JP57132243A JPS5923098A (ja) 1982-07-30 1982-07-30 タ−ボ分子ポンプ

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JPS5923098A true JPS5923098A (ja) 1984-02-06

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ID=15076707

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JP57132243A Pending JPS5923098A (ja) 1982-07-30 1982-07-30 タ−ボ分子ポンプ

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