RU2016254C1

RU2016254C1 - Способ запуска турбомолекулярного вакуумного агрегата

Info

Publication number: RU2016254C1
Authority: RU
Inventors: В.И. Вихрев; Н.М. Новиков; В.П. Сергеев; В.Б. Шолохов
Original assignee: Специальное конструкторско-технологическое бюро прецизионного оборудования "Вектор"
Priority date: 1990-01-30
Filing date: 1990-01-30
Publication date: 1994-07-15

Abstract

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить экономичность и сократить время запуска турбомолекулярного вакуумного агрегата с аэростатическими опорами роторов (Р) турбомолекулярной и молекулярной ступеней (ТС и МС). Разгон Р ТС и МС осуществляют одновременно, контролируют величину тока нагрузки (ТН) преобразователя частоты, управляющего электродвигателем ТС, и по достижении максимального допустимой величины ТН разгон Р ТС прекращают, а после завершения падения ТН разгон Р ТС возобновляют. 1 ил.

Description

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к технологии эксплуатации средств вакуумирования.

Цель изобретения - повышение экономичности и сокращение времени запуска турбомолекулярного вакуумного агрегата при управлении его приводными электродвигателями посредством преобразователей частоты электрического тока.

На чертеже представлена схема агрегата.

Турбомолекулярный вакуумный агрегат содержит корпус 1 турбомолекулярной ступени и сообщенный с ним корпус 2 молекулярной ступени. В корпусе 1 на аэростатических опорах 3 установлен ротор 4, а в корпусе 2 на аэростатических опорах 5 - ротор 6. Роторы 4 и 6 снабжены приводными электродвигателями 7 и 8 соответственно.

Способ запуска турбомолекулярного вакуумного агрегата реализуется следующим образом.

В аэростатические опоры 3 и 5 подается сжатый воздух, в результате чего роторы 4 и 6 "всплывают". Затем одновременно включают преобразователи частоты электрического тока, являющиеся источниками питания электродвигателей 7 и 8, и разгоняют роторы 4 и 6. Ротор 6 молекулярной ступени разгоняется до рабочей частоты вращения. При этом происходит вакуумирование полости корпуса 1 турбомолекулярной ступени при помощи молекулярной ступени, выполняющей функции форвакуумного средства откачки. Разгон ротора 4 сразу до рабочей частоты вращения невозможен ввиду повышенной нагрузки, обусловленной давлением в полости корпуса 1, превосходящим значения, обеспечивающие нормальную устойчивую работу. Поэтому в процессе разгона ротора 4 контролируют величину тока нагрузки соответствующего преобразователя частоты электрического тока. При достижении максимально допустимой величины тока нагрузки разгон ротора 4 прекращают, он вращается с достигнутой к данному моменту частотой, своим вращением способствуя удалению газа от полости корпуса 1. После того, как ток нагрузки падает до постоянного значения вследствие уменьшения давления в полости корпуса 1, разгон ротора 4 возобновляется. При необходимости паузы в разгоне ротора 4 делаются неоднократно до достижения ротором 4 номинальной частоты вращения.

Таким образом, одновременный разгон роторов обеих ступеней сокращает время запуска и позволяет повысить экономичность.

Claims

СПОСОБ ЗАПУСКА ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНОГО ВАКУУМНОГО АГРЕГАТА, содержащего турбомолекулярную и молекулярную ступени с аэростатическими опорами роторов, снабженных приводными электродвигателями, включающий подачу сжатого газа в опоры и последующие разгон и поддержание рабочей частоты вращения роторов при помощи приводных электродвигателей, отличающийся тем, что, с целью повышения экономичности и сокращения времени запуска при управлении электродвигателями посредством преобразователей частоты электрического тока, разгон роторов осуществляют одновременно, контролируют величину тока нагрузки преобразователя частоты, управляющего электродвигателем турбомолекулярной ступени, и по достижении максимально допустимой величины тока нагрузки разгон ротора турбомолекулярной ступени прекращают, а после завершения падения тока нагрузки разгон ротора возобновляют.