JPS6374143A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS6374143A JPS6374143A JP22065086A JP22065086A JPS6374143A JP S6374143 A JPS6374143 A JP S6374143A JP 22065086 A JP22065086 A JP 22065086A JP 22065086 A JP22065086 A JP 22065086A JP S6374143 A JPS6374143 A JP S6374143A
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- Japan
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- magneto
- transition metal
- optical recording
- recording medium
- rare earth
- Prior art date
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- Pending
Links
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は光磁気記録媒体の希土類造移金Ｗ４層の組成に
関する。
関する。
コンビエータ用磁気ディスク及びフロッピーディスクの
場合、従来から用φられている方式は角速度一定のＯＡ
Ｔ方式である。この方式は言うまでもなく、容量的には
ＯＬＶ方式（線速度一定）に劣るが、ランダムアクセス
が容易と−うメリットのためＯＡＴ方式が採用されてき
た。そして、光ディスクもコンビエータ用途にはＯＡ４
方式が採用されている。
場合、従来から用φられている方式は角速度一定のＯＡ
Ｔ方式である。この方式は言うまでもなく、容量的には
ＯＬＶ方式（線速度一定）に劣るが、ランダムアクセス
が容易と−うメリットのためＯＡＴ方式が採用されてき
た。そして、光ディスクもコンビエータ用途にはＯＡ４
方式が採用されている。
しかし、前述の従来技術であるＯＡ４方式の場合、ディ
スクの内周へ行くほどビット長が短かくなる、逆にディ
スクの外周へ行くほどビット長が長くなり、外周の信号
はどＣ／Ｎが大きく、内周の信号はどａ ／ Ｎが小さ
くなるという欠点を有していた。そこで本発明はこのよ
うな問題点を解決するもので、その目的とするところは
ディスク全面にわたってＯ／ Ｎの均一な媒体を提供す
るところにある。
スクの内周へ行くほどビット長が短かくなる、逆にディ
スクの外周へ行くほどビット長が長くなり、外周の信号
はどＣ／Ｎが大きく、内周の信号はどａ ／ Ｎが小さ
くなるという欠点を有していた。そこで本発明はこのよ
うな問題点を解決するもので、その目的とするところは
ディスク全面にわたってＯ／ Ｎの均一な媒体を提供す
るところにある。
磁化の向きが膜面に垂直で上向きか下向きかの２値をと
る非晶質希土類遣移金ｋＮＭに、光を照射し記録・再生
・消去を行う光磁気ディスクにおいて、非晶質希土類遷
移金属の組成が、光５Ｂ気ディスクの局方向に分布が無
いが、光磁気ディスクの径方向で外周にいくにしたがい
遷移金属が多くなることを特徴とする。
る非晶質希土類遣移金ｋＮＭに、光を照射し記録・再生
・消去を行う光磁気ディスクにおいて、非晶質希土類遷
移金属の組成が、光５Ｂ気ディスクの局方向に分布が無
いが、光磁気ディスクの径方向で外周にいくにしたがい
遷移金属が多くなることを特徴とする。
本発明の上記構成によれば、ディスクの内周へ行くにし
たがい希土類金属が多くなる。つまり光磁気記録層の組
成が補償組成を境にして、遷移金Ｊｇｒｉｃｈ側の場合
、内周へ行くほどより補償組成に近くなるということで
あり、磁化が小さくなる、そして、磁化が小さくなると
いうことは、それだけ友磁界が小さいことであり１ビツ
トがよりシャープに書けるということであり、媒体のノ
イズ（Ｎ）が小さくなり、内周へ行くほどＯ／Ｎが良く
なるということである。しかし、ＣＡｖ方式の場合は内
周へ行くほどビット長は短かくなるためキャリア（０）
は小さくなる。この様に内周へ行くにしたがい、シグナ
ルが小さくなるものの、ノイズも小さくなり、相対的に
Ｏ／ Ｎは一定となるのである。
たがい希土類金属が多くなる。つまり光磁気記録層の組
成が補償組成を境にして、遷移金Ｊｇｒｉｃｈ側の場合
、内周へ行くほどより補償組成に近くなるということで
あり、磁化が小さくなる、そして、磁化が小さくなると
いうことは、それだけ友磁界が小さいことであり１ビツ
トがよりシャープに書けるということであり、媒体のノ
イズ（Ｎ）が小さくなり、内周へ行くほどＯ／Ｎが良く
なるということである。しかし、ＣＡｖ方式の場合は内
周へ行くほどビット長は短かくなるためキャリア（０）
は小さくなる。この様に内周へ行くにしたがい、シグナ
ルが小さくなるものの、ノイズも小さくなり、相対的に
Ｏ／ Ｎは一定となるのである。
以下１本発明を実施例をもとに詳述する。
第１図は本発明媒体を作成するために用いたスパッタ装
置概略断面図である。チャンバー１はクライオポンプ２
で１０′″’ Ｔｏｒｒ台まで真空引きされている。５
は基板ホルダー、４はガラスディスク、５は外周マスク
治具、６は内周マスク治具でありこれらは一体となり３
０ｒｐｍで回転している。７はＮｄＤｙ？ｅＯｏＴｉ合
金ターゲットであり、光磁気記録層を成膜するだめのも
のである。
置概略断面図である。チャンバー１はクライオポンプ２
で１０′″’ Ｔｏｒｒ台まで真空引きされている。５
は基板ホルダー、４はガラスディスク、５は外周マスク
治具、６は内周マスク治具でありこれらは一体となり３
０ｒｐｍで回転している。７はＮｄＤｙ？ｅＯｏＴｉ合
金ターゲットであり、光磁気記録層を成膜するだめのも
のである。
ターゲットは５ φ、基板は２０ａｙ＋φである。成膜
は人ｒｌ：Ｅ２．５ｍＴｏ ｒｒ 、 Ｐｏｖｒｅｒ
５００ｆとし、１０００１厚にした。膜厚分布は±１％
以内と極めて良好な公布を示している。この様にターゲ
ットと基板が対向せず、少し横にズした配置にしておく
ことにより、組成を本発明の様にすることができる。す
なわち、内周へ行くにしたがい希土類を多くすることが
できるのである。ターゲット組成は１Ｊｄ７Ｄ７２ｓ’
Ｆ６！７００２３で４４ａｔ％ を用いた。
は人ｒｌ：Ｅ２．５ｍＴｏ ｒｒ 、 Ｐｏｖｒｅｒ
５００ｆとし、１０００１厚にした。膜厚分布は±１％
以内と極めて良好な公布を示している。この様にターゲ
ットと基板が対向せず、少し横にズした配置にしておく
ことにより、組成を本発明の様にすることができる。す
なわち、内周へ行くにしたがい希土類を多くすることが
できるのである。ターゲット組成は１Ｊｄ７Ｄ７２ｓ’
Ｆ６！７００２３で４４ａｔ％ を用いた。
膜は全面にわたり遷移金属ｒ ｉ ｃ ｈ である、
この様にして作成したディスクの磁気特性及び組成を測
定した。第２図・が磁気特性の径方向依存性図である。
この様にして作成したディスクの磁気特性及び組成を測
定した。第２図・が磁気特性の径方向依存性図である。
そして径方向位置による組成を分析したのが表１である
。ＲＥはＮＣＬとＤｙの合計量、ＴＭハＦ ｅとＣＯと
Ｔ１の合計量である。この表から明らかな様にディスク
中心へ行くほどＲＫｆｉが多くなることがわかる。これ
は第２図の磁気特性の結果とも良く一致するものである
。
。ＲＥはＮＣＬとＤｙの合計量、ＴＭハＦ ｅとＣＯと
Ｔ１の合計量である。この表から明らかな様にディスク
中心へ行くほどＲＫｆｉが多くなることがわかる。これ
は第２図の磁気特性の結果とも良く一致するものである
。
表１
そしてこの様にして作成した媒体のＯ／ Ｎを測定した
。第３図はＣとＮ及びＯ／Ｎのディスク半径位置依存性
図である。３１は○の半径位置依存性、５２はＮの半径
位置依存性、３５は○／Ｎの半径位置依存性である。こ
の図かられかる様に、本発明媒体は０人Ｖ方式でピット
長が半径位置により変わりたとしてもＯ／Ｎは一定であ
ることがわかる。
。第３図はＣとＮ及びＯ／Ｎのディスク半径位置依存性
図である。３１は○の半径位置依存性、５２はＮの半径
位置依存性、３５は○／Ｎの半径位置依存性である。こ
の図かられかる様に、本発明媒体は０人Ｖ方式でピット
長が半径位置により変わりたとしてもＯ／Ｎは一定であ
ることがわかる。
尚、本実施例に用いた希土類遷移金属組成は、ＮｄＤｙ
１ＦａＯｏＴｉを用いたが、Ｔｂ？ｅ、ＧｄＴｂ？ｅ。
１ＦａＯｏＴｉを用いたが、Ｔｂ？ｅ、ＧｄＴｂ？ｅ。
ＴｂＦｓＯｏ、ＧｄＴｂ７ｅＯｏ、８ｍ０４７ｅＯｏ
等の合金（焼結）ターゲットを用いても本発明は有効
である。
等の合金（焼結）ターゲットを用いても本発明は有効
である。
以上述べたように本発明によれば、光Ｖ＆気ディスクに
おいてディスクの径方向で外周にいくにしたがい遷移金
属を多くすることにより、ディスクの半径位置でＯ／
Ｎが変わらない＜ｏ７ｍの半径位置依存性がない）とい
う効果を有する。
おいてディスクの径方向で外周にいくにしたがい遷移金
属を多くすることにより、ディスクの半径位置でＯ／
Ｎが変わらない＜ｏ７ｍの半径位置依存性がない）とい
う効果を有する。
第１図は本発明媒体を作成するために用いたスパッタ装
置概略断面図。 第２図が磁気特性の径方向依存性図。 第３図は０とＮ及びＯ／Ｈのディスク半径位置依存性図
。 １・・・・・・・・・チャンバー ２・・・・・・・・・クライオ〆ンプ ３・・・・・・・・・基板ホルダー ４・・・・・・・・・ガラスディスク ５・・・・・・・・・外周マスク治具 ６・・・・・・・・・内周マスク治具 ７７へ・・……ＮｄＤｙ１・０ＯＴｉ 合金ターゲット
３１・・・・・・００半径位置依存性 ３２・・・・−Ｈの半径位置依存性 ３３・・・・・・０／Ｎの半径位置依存性以 上 第１ ｍ
置概略断面図。 第２図が磁気特性の径方向依存性図。 第３図は０とＮ及びＯ／Ｈのディスク半径位置依存性図
。 １・・・・・・・・・チャンバー ２・・・・・・・・・クライオ〆ンプ ３・・・・・・・・・基板ホルダー ４・・・・・・・・・ガラスディスク ５・・・・・・・・・外周マスク治具 ６・・・・・・・・・内周マスク治具 ７７へ・・……ＮｄＤｙ１・０ＯＴｉ 合金ターゲット
３１・・・・・・００半径位置依存性 ３２・・・・−Ｈの半径位置依存性 ３３・・・・・・０／Ｎの半径位置依存性以 上 第１ ｍ
Claims (1)
- 磁化の向きが膜面に垂直で上向きか下向きかの２値をと
る非晶質希土類遷移金属層に、光を照射し記録・再生・
消去を行う光磁気ディスクにおいて、前記非晶質希土類
遷移金属の組成が、前記光磁気ディスクの周方向に分布
が無いが、前記光磁気ディスクの径方向で外周にいくに
したがい遷移金属が多くなることを特徴とする光磁気記
録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22065086A JPS6374143A (ja) | 1986-09-18 | 1986-09-18 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22065086A JPS6374143A (ja) | 1986-09-18 | 1986-09-18 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6374143A true JPS6374143A (ja) | 1988-04-04 |
Family
ID=16754291
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22065086A Pending JPS6374143A (ja) | 1986-09-18 | 1986-09-18 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6374143A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5486395A (en) * | 1991-12-05 | 1996-01-23 | Sharp Kabushiki Kaisha | Magneto-optical disk |
-
1986
- 1986-09-18 JP JP22065086A patent/JPS6374143A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5486395A (en) * | 1991-12-05 | 1996-01-23 | Sharp Kabushiki Kaisha | Magneto-optical disk |
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