JPS6373935U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6373935U JPS6373935U JP16667986U JP16667986U JPS6373935U JP S6373935 U JPS6373935 U JP S6373935U JP 16667986 U JP16667986 U JP 16667986U JP 16667986 U JP16667986 U JP 16667986U JP S6373935 U JPS6373935 U JP S6373935U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gripping
- lid
- carrier box
- storage
- carrier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
Description
第1図は本考案における蓋移動装置の側面図、
第2図は同蓋移動時の正面図、第3図はウエハー
キヤリア移動装置の概略図、第4図は同装置駆動
機構の斜視図、第5図はウエハーキヤリア把持状
態の説明図、第6図は同把持時の該装置概略図、
第7図は従来の支持具の斜視図、第8図は同支持
状態の正面図である。 10……搬送装置、11……キヤリアボツクス
、11a……蓋、12……開蓋装置、15……ラ
ンシートケース、20……蓋把手段、30……駆
動部、32,34……駆動シリンダー、43……
本体部、44……アーム、45……把持部、46
,49,60……駆動シリンダー、48,52…
…駆動チエーン、59……リンク。
第2図は同蓋移動時の正面図、第3図はウエハー
キヤリア移動装置の概略図、第4図は同装置駆動
機構の斜視図、第5図はウエハーキヤリア把持状
態の説明図、第6図は同把持時の該装置概略図、
第7図は従来の支持具の斜視図、第8図は同支持
状態の正面図である。 10……搬送装置、11……キヤリアボツクス
、11a……蓋、12……開蓋装置、15……ラ
ンシートケース、20……蓋把手段、30……駆
動部、32,34……駆動シリンダー、43……
本体部、44……アーム、45……把持部、46
,49,60……駆動シリンダー、48,52…
…駆動チエーン、59……リンク。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 キヤリアボツクスを、収納ウエハーキヤリア及
びランシートケースの取出又は収納位置に移送す
るための移送装置と、 該収納又は取出位置のキヤリアボツクス蓋の把
持手段及び該蓋の把持下で上記把持手段の上下及
び又は前後方向での進退駆動にて該蓋を前記位置
外に移動させるキヤリアボツクス蓋の移動装置と
、 上記キヤリアボツクス中のウエハーキヤリア及
びランシートケースを同時に把持する一対のアー
ムと、 該一対のア―ムの把持及び解放手段及び該アー
ムの前記位置から他の処理部への移動手段を具備
し、これら手段による動作を互いに連動させる手
段、 を含む半導体製造装置用搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16667986U JPS6373935U (ja) | 1986-10-31 | 1986-10-31 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16667986U JPS6373935U (ja) | 1986-10-31 | 1986-10-31 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6373935U true JPS6373935U (ja) | 1988-05-17 |
Family
ID=31097887
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16667986U Pending JPS6373935U (ja) | 1986-10-31 | 1986-10-31 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6373935U (ja) |
-
1986
- 1986-10-31 JP JP16667986U patent/JPS6373935U/ja active Pending