JPS6373935U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案における蓋移動装置の側面図、
第２図は同蓋移動時の正面図、第３図はウエハー
キヤリア移動装置の概略図、第４図は同装置駆動
機構の斜視図、第５図はウエハーキヤリア把持状
態の説明図、第６図は同把持時の該装置概略図、
第７図は従来の支持具の斜視図、第８図は同支持
状態の正面図である。 １０……搬送装置、１１……キヤリアボツクス
、１１ａ……蓋、１２……開蓋装置、１５……ラ
ンシートケース、２０……蓋把手段、３０……駆
動部、３２，３４……駆動シリンダー、４３……
本体部、４４……アーム、４５……把持部、４６
，４９，６０……駆動シリンダー、４８，５２…
…駆動チエーン、５９……リンク。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 キヤリアボツクスを、収納ウエハーキヤリア及
   びランシートケースの取出又は収納位置に移送す
   るための移送装置と、 該収納又は取出位置のキヤリアボツクス蓋の把
   持手段及び該蓋の把持下で上記把持手段の上下及
   び又は前後方向での進退駆動にて該蓋を前記位置
   外に移動させるキヤリアボツクス蓋の移動装置と
   、 上記キヤリアボツクス中のウエハーキヤリア及
   びランシートケースを同時に把持する一対のアー
   ムと、 該一対のア―ムの把持及び解放手段及び該アー
   ムの前記位置から他の処理部への移動手段を具備
   し、これら手段による動作を互いに連動させる手
   段、 を含む半導体製造装置用搬送装置。