JPS6373802A

JPS6373802A - ワ−ク搬送ユニツトにおける電力供給装置

Info

Publication number: JPS6373802A
Application number: JP21590086A
Authority: JP
Inventors: Toshihiko Imai; 敏彦今井; Katsumi Takami; 高見　勝己; Akira Mori; 毛利　顕; Satoru Kishimoto; 哲岸本
Original assignee: Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 1986-09-16
Filing date: 1986-09-16
Publication date: 1988-04-04

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は、ウェハや磁気ディスク等のワークを搬送する
ワーク搬送ユニット（例えばワーク搬送用ロボット）に
おける電力供給装置に関し、特にワーク搬送ユニットの
移動の自由度を向上できると共に発塵を無くすことがで
きる電力供給装置に関する。

従来の技術従来のワーク搬送ユニット、例えばワーク搬送用ロボッ
トは、第４図に示すように、所定箇所から他の所定箇所
まで敷設された搬送レール１を有すると共に、この搬送
レール１上を移動する移動架台２を有し、この移動架台
２にはウェハや磁気ディスク等のワーク３を保持するハ
ンドリング機ｖｔ４が設けられている。そして、上記移
動架台−２はＸ軸制御用モータ５によって回転されるボ
ールねじ６により上記搬送レール１に沿ってＸ軸方向へ
移動するようになっている。また、上記移動架台２には
、ｙ軸方向の移動架台７が組み込まれており、この移動
架台７は、Ｘ軸制御用モータ８によって回転されるボー
ルねじ（第４図では見えない）により上記Ｘ軸方向の移
動架台２上でｙ軸方向へ移動するようになっている。さ
らに、上記ｙ軸方向の移動架台７の上面には、ワーク３
のハンドリング機構４が設けられており、アーム９を２
軸方向に上下したり、そのアーム９を矢印Ａ、　Ｂ方向
に回転するようになっている。ここで、上記Ｘ軸制御用
モータ５及びＸ軸制御用モータ８並びに２軸制御用モー
タ（図示省略）等への電力の供給は、移動架台２或いは
ｙ軸方向の移動架台７から伸びるケーブル１０によって
図示外の電源装置から有線方式で供給していた。

発明が解決しようとする問題点しかし、このような従来のワーク搬送用ロボットにおけ
る電力供給のやり方では、移動架台２が上記電力供給用
のケーブル１０を引きずってＸ軸方向へ移動するので、
上記ケーブル１ｏの長さの制限により、ハンドリング機
構４の全体がＸ軸方向に長い距離を移動することはでき
ず、移動の自由度が低下するものであった。また、上記
ケーブル１０を引きずって移動することから、そのケー
ブル１０自体の被覆から塵が発生したり、周囲の塵埃を
舞い上げたりして、発塵の原因となるものであった。こ
の場合は、ワーク３に塵埃が付着して、製品としての歩
留りが低下することがあった。

なお、上述の電力供給のやり方に対処して、搬送レール
１の上面に電力供給用の線状電極を埋設すると共に、移
動架台２の底面には摺動子を設け、上記線状電極と摺動
子との接触摺動により電力を供給するようにしたものも
ある。しかし、この場合は、ワーク搬送用ロボットの自
由度は向上するが、線状電極と摺動子との接触摺動によ
る発塵が多くなると共に、火花も発生するという欠点が
あった。そこで、本発明はこのような問題点を解決する
ことを目的とする。

問題点を解決するための手段上記の問題点を解決する本発明の手段は、所定箇所から
他の所定箇所まで敷設された搬送レールを有すると共に
、この搬送レール上を移動する移動架台を有し、この移
動架台にはワークを保持するハンドリング機構が設けら
れたワーク搬送ユニットにおいて、上記搬送レールの側
方に、交流電源に接続された電力供給線を該搬送レール
と平行に張設すると共に、上記移動架台の側部にはドー
ナツ形のコアにコイルを巻き付けそのコイル端部は駆動
手段に接続された電力伝送部を設け、この電力伝送部の
コアの中心孔に上記電力供給線を挿通して上記コイルと
の磁気結合により非接触で上記駆動手段に電力を供給す
るようにしたワーク搬送ユニットにおける電力供給装置
によってなされる。

実施例以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて詳細に説明
する。

第１図は本発明によるワーク搬送ユニットにおける電力
供給装置の実施例を示す斜視図である。

第１図においては、ワーク搬送ユニットの一例としてク
リーンルーム内でウェハや磁気ディスク等のワークを搬
送するワーク搬送用ロボットを示している。このワーク
搬送用ロボットは、所定箇所から他の所定箇所まで敷設
された搬送レール１１を有すると共に、この搬送レール
１１上を移動する移動架台１２を有し、この移動架台１
２にはワーク３を保持するハンドリング機構１４が設け
られている。

そして、上記移動架台１２は、適宜の駆動手段により上
記搬送レール１１に沿ってＸ軸方向へ移動するようにな
っている。例えば、上記搬送レール１１の上面にはその
長手方向に沿って直線状のガイド凹溝１５，１５が形成
されており、移動架台１２の底面には上記ガイド凹溝１
５，１５に嵌合するガイド突条が設けられ、さらにこの
移動架台１２の内部にはコイルと永久磁石が埋設されて
、上記搬送レール１１を固定部（ステータ）とすると共
に移動架台１２を可動部（アーマチャ）とするりニアモ
ータ駆動により、平面上を直線的に移動するようになっ
ている。また、上記移動架台１２には、ｙ軸方向の移動
架台１６が組み込まれており、この移動架台１６は、適
宜の駆動手段例えばりニアモータ駆動により上記Ｘ軸方
向の移動架台１２上でｙ軸方向へ移動するようになって
いる。

さらに、上Ｅｙ軸方向の移動架台１６の上部には、ワー
ク３のハンドリング機構１４が設けられており、アーム
１７を２軸方向に上下したり、そのアーム１７を矢印Ａ
、Ｂ方向に回転するようになっている。なお、上記ワー
ク３の保持は、例えばハンドリング機構１４に内蔵され
た吸引用エアポンプにより、アーム１７の先端に設けら
れた吸引口１８で真空吸引することにより保持する。

ここで、本発明においては、上記搬送レール１１の一側
方に電力供給線１９が張設されると共に、上記移動架台
１２の一側部には電力伝送部２０が設けられている。上
記電力供給線１９は、電力伝送部２０との磁気結合にお
ける一次巻線となるもので１図示外の交流電源に接続さ
れており、上記搬送レール１１と平行に張設さ社ている
。なお、この電力供給線１９は、搬送レール１１と平行
に電力供給用パイプを張設し、この電力供給用パイプの
内部に挿通してもよい、前記電力伝送部２０は、上記電
力供給線１９と磁気結合をするもので、その内部には第
２図に示すように、ドーナツ形のコア（トロイダルコア
）２１に二次巻線としてのコイル２２を巻き付けたもの
が設置されており、そのコイル２２の引き出し端部２２
ａ、２２ｂは図示外の駆動手段に接続されている。そし
て、上記電力伝送部２０のコア２１の中心孔２３に上記
電力供給線１９が挿通されており、この状態でコア２１
に対して電力供給線１９が一次巻線として、及びコイル
２２が二次巻線としてそれぞれ配置され、両者の磁気結
合により第２図に示すようにコイル２２に二次電流主２
が流れることとなる。この結果、電力供給線１９から電
力伝送部２０のコイル２２に対して非接触で電力を供給
することができる。なお、第２図において、符号ｊ工は
電力供給線１９に流れる一次電流である。

第３図は本発明による電力供給装置の一実施例のブロッ
ク図である。交流電源２４は、例えば交流２００Ｖの電
源であり、この交流電源２４には交流／直流変換回路２
５が接続されて交流を直流に変換し、さらに直流／交流
変換回路２６で交流に変換し、この直流／交流変換回路
２６の出力側に磁気結合の一次巻線となる電力供給線１
９が接続されている。そして、電力伝送部２０のコア２
１に巻き付けられ二次巻線となるコイル２２には交流／
直流変換回路２７が接続されて交流を直流に変換し、こ
の交流／直流変換回路２７の出力側は駆動用電源回路２
８を介して、ｘ、ｙ、ｚ軸方向の移動の駆動手段２９、
例えばリニアモータに接続されている。なお、上記直流
／交流変換回路２６は、電力伝送部２ｏのコア２１を小
型、軽量化するため、高周波への変換を行なうことが望
ましい。

なお、第１図においては、ワーク搬送ユニットとしてワ
ーク搬送用ロボットを示したが、本発明はこれに限らず
、ロボット以外のワーク搬送ユニットにも同様に適用で
きる。

発明の効果本発明は以上のように構成さ九たので、電力伝送部２０
のコア２１の中心孔２３に電力供給線１９を挿通して上
記コア２１に巻き付けられたコイル２２との磁気結合に
より、非接触でワーク搬送ユニットの駆動手段２９に電
力を供給することができる。従って、第４図に示す従来
のワーク搬送ユニットのように電力供給用のケーブル１
ｏの長さによって制限を受けることなく、電力供給線１
９の長さに沿ってハンドリング機構１４の全体がＸ軸方
向に長い距離を移動することができ、ワーク搬送ユニッ
トの移動の自由度を向上することができる。また、従来
のようにケーブル１０のようなものを引きすることなく
、電力供給線１９と電力伝送部２０とは磁気結合により
全く非接触で電力を供給できるので、電力供給装置自体
からの塵の発生を無くすことができると共に、周囲の塵
埃を舞い上げるのを防止することができる。従って、ワ
ーク搬送ユニット全体として、発塵の原因を少なくする
ことができる。このことから、本発明は。

クリーンルーム内におけるワーク搬送用ロボットにおい
て特に顕著な効果を発揮するものである。

さらに、磁気結合の方式を用いるので、火花が発生する
ことはなく、また、太陽電池あるいは電波を利用した電
力供給方式に比して高い電力供給効率を得ることができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるワーク搬送ユニットにおける電力
供給装置の実施例を示す斜視図、第２゛図は電力伝送部
の内部構造を示す要部拡大斜視図、第３図は本発明によ
る電力供給装置の一実施例のブロック図、第４図は従来
のワーク搬送ユニットにおける電力供給の状態を示す斜
視図である。３・・・ワーク、　１１・・・搬送レール、　１２・・
・移動架台、　１４・・・ハンドリング機構、　１６・
・・ｙ軸方向の移動架台、　　１７・・・アーム、　　
１９・・・電力供給線、　２ｏ・・・電力伝送部、　２
１・・・コア、２２・・・コイル、　　２２ａ、２２ｂ
・・・コイルの引き出し端部、　２３・・・コアの中心
孔、　２４・・・交流電源、　２９・・・駆動手段。出願人　自立電子エンジニアリング株式会社第　１２１ソ第　２　ス

Claims

【特許請求の範囲】

所定箇所から他の所定箇所まで敷設された搬送レールを
有すると共に、この搬送レール上を移動する移動架台を
有し、この移動架台にはワークを保持するハンドリング
機構が設けられたワーク搬送ユニットにおいて、上記搬
送レールの側方に、交流電源に接続された電力供給線を
該搬送レールと平行に張設すると共に、上記移動架台の
側部にはドーナツ形のコアにコイルを巻き付けそのコイ
ル端部は駆動手段に接続された電力伝送部を設け、この
電力伝送部のコアの中心孔に上記電力供給線を挿通して
上記コイルとの磁気結合により非接触で上記駆動手段に
電力を供給するようにしたことを特徴とするワーク搬送
ユニットにおける電力供給装置。