JPH09300270A - 多関節ロボットのハンド部給電装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ロボットの外部に露出したケーブルを設ける
必要のない多関節ロボットのハンド部給電装置を提供す
る。 【解決手段】 屈曲自在なアームを複数有する多関節ロ
ボットの先端アームに設けられたハンド部において、ハ
ンドの作動状態を可変とする駆動機器が内蔵されたハン
ド部に対する給電装置であって、前記ハンド部に設けら
れた受電ユニットと、前記受電ユニットに対峙して給電
ユニットを備え、前記受電ユニット、駆動機器への電力
及び制御信号を、ともに非接触により供給し、少なくと
も前記電力は、前記給電ユニットから供給し、前記ハン
ドの作動状態を変えるようにしたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、所定物品を授受す
るハンドの作動状態を可変する駆動機器を有するハンド
部を備えた多関節ロボットに係わり、特に、ハンドの作
動状態を可変にする駆動機器へ電力、制御信号を供給す
る給電装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】多関節ロボットの一例として、半導体ウ
エハを表面処理する際に用いられるウエハ移載ロボット
ｒについて、図５及び図６を参照して説明する。図５に
おいて、６０はクリンルーム７０内に配置された表面処
理装置であって、内部がクリーンな状態に保たれた上部
空間Ａと下部空間Ｂに区画されている。表面処理装置６
０の上部空間Ａには、半導体ウエハ（以下、単に「ウエ
ハ」という。）をＣＶＤ処理する縦型反応炉３０が配置
されている。また、表面処理装置６０の下部空間Ｂに
は、縦型反応炉３０内でＣＶＤ処理されるウエハの複数
枚を一定間隔を隔てて保持する棚４１を有するボート４
０、ボート４０を支持する支持台４２、支持台４２を昇
降しボート４０を昇降して縦型反応炉３０内に対して出
し入れする昇降装置４３、ウエハカセット５１を収納す
るウエハカセット用のステージ５０とが配置されてい
る。ウエハカセット５１はウエハの複数枚を一定間隔を
隔てて保持する棚５２を有している。そして、ウエハ移
載ロボットｒは、ウエハカセット５１の棚列方向（ボー
ト４０の棚列方向）に昇降自在にされて、ステージ５０
とボート４０との間に配置されている。

【０００３】ウエハ移載ロボットｒは、図６に示すよう
に、ロボット本体１０とアーム２１，２２とを有し、各
アーム２１、２２は回転軸２４によって相互に旋回自在
に結合されていると共に、アーム２１も回転軸２５を介
してロボット本体１０に対して旋回自在に結合されてい
る。また、アーム２２の先端には回転軸２６を介して旋
回自在にハンド部２が設けられており、ハンド部２は、
上下に複数枚配置されたへら状のペンシル３ａ〜３ｅ
（ハンド３）を備え、ペンシル３ａ〜３ｅの相互の間隔
を可変させる駆動機構４Ａと、駆動機構４Ａを駆動する
モータＭとからなる駆動機器４を内蔵している。駆動機
器４は、ロボット本体１０に内蔵された電源１１、制御
装置１２からの電力と制御信号を、ウエハ移載ロボット
ｒの外部に配線されたケーブルＣを通して受けて駆動す
るものである。

【０００４】ところで、ウエハ移載ロボットｒの各ペン
シル３ａ〜３ｅを昇降駆動機構４Ａで可変自在としてい
るのは、ウエハを載置するウエハカセット５１の棚５２
の間隔と、ボート４０の棚４１の間隔とが一致しておら
ず（例えば、８インチのウエハでは、ウエハカセット５
１内のウエハは６．３５ｍｍの間隔で設けられた棚５２
に載置され、ボート４０内のウエハは４．７６ｍｍ〜１
０ｍｍの間隔で設けられた棚４１に載置される。）、ウ
エハ移載ロボットｒでウエハをウエハカセット５１から
ボート４０へ、又その逆に移載する時に各棚５２、４１
の間隔にペンシル３ａ〜３ｅ相互の間隔を合わせる必要
があるからである。

【０００５】また、通常、アームやハンド部の構成が単
純で且つ制御も単純な多関節ロボットでは、各アーム
（各アームを旋回させるモータ等）やハンド部に電力、
制御信号を供給するケーブルをアームの内部に通して配
線することができるが、上述のようにウエハを複数枚同
時にウエハカセット５１からボート４０、又その逆に移
載するウエハ移載ロボットｒでは、ハンド部２の構成や
制御が複雑になるので、ケーブルの心線数が多くなり、
すべてのケーブルをアーム２１，２２内に通して配線す
ることができない場合がある。そのため、ハンド部２の
駆動機器４を駆動するための電力や制御信号を送るケー
ブルＣは、通常、ロボット本体１０から外部に配して、
ハンド部２に内蔵される駆動機器４のモータＭに接続さ
れる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ようにウエハ移載ロボットｒ（多関節ロボット）のハン
ド部２に対する電力、制御信号の供給を、ロボット本体
１０の外部に配線されるケーブルＣで行うと、アーム２
１、２２の旋回に追従してケーブルＣが曲がったり伸び
たりし、そのことによってケーブルＣから発塵する問題
があった。特に、クリンルーム７０内で使用されるウエ
ハ移載ロボットｒ（多関節ロボット）から発塵すると、
この塵がウエハ等に付着して半導体製造に悪影響を与え
る原因となるので、ウエハ移載ロボットｒ（多関節ロボ
ット）からの発塵を防止しなければならない。

【０００７】本発明はこのような問題を解決するために
なされたもので、ハンド部に供給される電力、制御信号
をケーブルを配することなく非接触で供給することで、
多関節ロボットの発塵を防止することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の請求項１記載の発明は、屈曲自在なアーム
を複数有する多関節ロボットの先端アームに設けられた
ハンド部において、ハンドの作動状態を可変とする駆動
機器が内蔵されたハンド部に対する給電装置であって、
前記ハンド部に設けられた受電ユニットと、前記受電ユ
ニットに対峙して給電ユニットを備え、前記受電ユニッ
ト、駆動機器への電力及び制御信号は、ともに非接触に
より供給し、少なくとも前記電力は、前記給電ユニット
から供給して前記ハンドの作動状態を変えるようにした
ことを特徴とするものである。これにより、受電ユニッ
ト（駆動機器）に非接触により電力及び制御信号が供給
されるので、多関節ロボットの移動により発塵する原因
となるケーブルを多関節ロボットの外部に配線する必要
がなくなる。また、少なくとも前記電力は、受電ユニッ
トを対峙させた前記給電ユニットから供給されるので、
電力の供給損失が少ない。

【０００９】請求項２記載の発明は、請求項１記載のも
のに、前記給電ユニットは、前記ハンドの駆動機器に対
する制御信号を前記受電ユニットに非接触で供給するこ
とを特徴とするものである。これにより、多関節ロボッ
トの外部にケーブルを配線することなく、ハンド部（駆
動機器）に対する電力と制御信号とをともに給電ユニッ
トから供給するので、電力の損失が少なく、制御信号が
確実に伝送される。

【００１０】請求項３記載の発明は、請求項１又は請求
項２記載のものに、前記給電ユニットが設けられる部位
は、前記ハンドが原点位置にある場合の前記受電ユニッ
トに対峙する部位であることを特徴とするものである。
これにより、多関節ロボットは、一定の動作を終えると
必ず原点位置（ホームポジション）に復帰する。したが
って、このときに給電するようにすれば、多関節ロボッ
トの動作の途中で電力、制御信号の供給のためにわざわ
ざ特定の位置まで移動する必要がない。

【００１１】請求項４記載の発明は、請求項１記載のも
のに、複数の前記アームが高さの異なる水平面内で旋回
自在となっているスカラ型ロボットであることを特徴と
するものである。これにより、スカラ型ロボットである
ため、各アームが水平面内で旋回するので、給電ユニッ
トをハンドが移動する水平面に対向する所定位置に設け
ればその旋回を妨げる恐れがない。

【００１２】請求項５記載の発明は、請求項１乃至請求
項３それぞれに記載のものに、前記ハンドは所定物品を
吸着する複数のペンシルを上下に配置したものであり、
このペンシルの間隔が搬送すべき所定物品の大きさに対
応して可変となっていることを特徴とするものである。
これにより、ペンシルを可変するときだけ給電ユニット
から受電ユニットに電力、制御信号を供給するればよい
ので、各ユニットの出入容量を小さくでき、小型化を図
れる。

【００１３】請求項６記載の発明は、請求項１記載のも
のに、前記多関節ロボットはクリーンルーム内で使用さ
れるものであることを特徴とするものである。これによ
り、ハンド部へ電力、制御信号を供給するために多関節
ロボットの外部にケーブルを配線する必要がないので、
ケーブルから発生する塵埃によってクリーンルームを汚
染するおそれがない。

【００１４】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を、図１乃至
図３に基づいて説明する。図１は、本発明のウエハ移載
ロボットのハンド部給電装置の説明図、図２は本発明の
ウエハ移載ロボットのハンド部給電装置の一実施の形態
を示すブロック図、図３は他の実施の形態を示すブロッ
ク図である。尚、図１乃至図４において、従来技術の図
５及び図６と同一の符号は同一の構成を有するので、そ
の説明は省略する。

【００１５】本発明のウエハ移載ロボットｒ（多関節ロ
ボット）と、従来技術のウエハ移載ロボットｒと異なる
ところは、ウエハ移載ロボットｒのアーム２１、２２及
びハンド部２の旋回移動に関係のない箇所に配置された
給電ユニット１Ａと、ハンド部２に配置された受電ユニ
ット１Ｂとからなる給電装置１を設け、非接触でハンド
部２の駆動機構４ＡとモータＭとからなる駆動機器４に
電力及び制御信号を供給することで、ウエハ移載ロボッ
トｒの外部に駆動機器４へ電力、制御信号を供給するた
めのケーブルＤを、各アーム２１、２２の旋回に無関係
とするべく別途配したものである。

【００１６】図１において、給電装置１の給電ユニット
１Ａは、ウエハ移載ロボットｒの各アーム２１、２２及
びハンド部２が相互に並行に重畳された状態（図１に示
す状態で、以下、この状態を「原点位置」という。）
で、ウエハ移載ロボットｒのハンド部２の上面２ａに対
して所定間隔を隔てて配置されている。また、給電ユニ
ット１Ａは、ウエハ移載ロボットｒのロボット本体１０
に立設された支持管６の先端に固定されており、支持管
６内にはロボット本体１０に内蔵された電源１１、又は
制御装置１２と給電ユニット１Ａとを接続するケーブル
Ｄが配線されている。支持管６はウエハカセット５１と
ボート４０との間を旋回される各アーム２１，２２やハ
ンド部２の作動に支障のないようにロボット本体１０に
設けられている。一方、給電装置１の受電ユニット１Ｂ
は、上記原点位置で給電ユニット１Ａに対峙するように
ハンド部２内に配置され、給電ユニット１Ａから出力さ
れる電力、制御信号を非接触で受けて駆動機器４に供給
するものである。

【００１７】次に、給電装置１の給電ユニット１Ａと、
受電ユニット１Ｂの具体的な構成について、図２に基づ
いて説明する。図２において、受電ユニット１Ｂは受電
コイル６１と受電された電力を変圧し直流に変換するコ
ンバータ６２と、制御信号を受信する受信器５とで構成
され、コンバータ６２で変換された電力と受信器５で受
信された制御信号とが駆動機器４に供給される。

【００１８】一方、給電ユニット１Ａは給電コイル７１
とスイッチ回路とからなり、Ｓは給電ユニット１Ｂを作
動させるメインスイッチ、ＲはメインスイッチＳを閉じ
たときコイル部７２に電流が流れて閉じるａ接点、Ｔは
メインスイッチＳを閉じたときコイル部７３に電流が流
れて閉じ、ペンシル３ａ〜３ｅの間隔を所定の値に変更
する等作動状態を変えるまでの間、通電が持続するよう
に接点が閉じるオフ・ディレータイマである。なお、こ
のようなリレーを用いた制御回路の他に電子信号を用い
て供給電流をオン・オフすることも可能である。また、
給電ユニット１Ａには、ロボット本体１０の制御装置１
２から送られる制御信号を受信器５に伝送するための送
信器７を内蔵している。送信器７及び受信器５は、ワイ
ヤレスで通信可能なものであればよく、電磁結合、静電
結合、光結合など条件に応じて適宜選択することができ
る。図示例では、送信器７及び受信器５は各一つであり
受信器５の出力制御信号はＳ１，Ｓ２の二つ示してお
り、この場合、受信器５は制御信号の種類を弁別するた
めのフィルタ、デコーダなどを備えたものとするが、制
御対象別に送信器７及び受信器５を設けたものとしても
よい。また、送信器７は必要に応じて給電ユニット１Ａ
とは別の適当な場所に設けることもできるが、給電ユニ
ット１Ａ内に設けると、距離が近いので簡単な機器で確
実な伝送ができる。また、送信器７及び受信器５をとも
に送受信可能なものとして、信号をやりとりすることも
できる。

【００１９】このように構成された給電装置１は、各ア
ーム２１、２２及びハンド部２が図１に示す原点位置に
あるときに給電を行う。すなわち、図２のメインスイッ
チＳを閉じるとコイル７２及び７３が通電され接点Ｒ及
び接点Ｔが閉じて所定時間保持され、その間給電コイル
７１にも通電される。給電コイル７１に流れる電流によ
り生じる磁束の変化によって受電コイル６１に誘導され
る交流電圧はコンバータ６２によって変圧、整流され直
流電圧として受信器５やモータＭに供給される。

【００２０】また、受信器５には、送信器７を介して、
又は図示しない外部の送信手段によって次の作業に関す
る情報、例えば配列情報（ウエハカセットット５１の棚
５２に収納されているウエハの有無を示す情報）、ウエ
ハカセット５１の棚ピッチ情報、ボート４０の棚ピッチ
情報などが与えられる。受信器５はこれらの情報に基づ
いて駆動機器４を制御し、ペンシル３ａ〜３ｅの間隔を
ウエハカセット５１の棚５２又はボート４０の棚４１に
応じて変更する。変更の時だけ通電されていればよいの
で、先端アーム２３が図１のように原点位置に戻ったと
きだけ作動させればよいが、受電ユニット１Ａ内に充電
可能なバッテリーを設け、コンバータ６２の出力電圧で
充電して用いるようにすれば、バッテリーによって任意
のときに作動させることもできる。そして、このバッテ
リーは、給電ユニット１Ａからの給電により随時充電で
きる。なお、メインスイッチＳは制御装置１２から送ら
れる制御信号によって開閉するリレーとしてもよく、ま
た外部から遠隔操作によって開閉されるスイッチとする
こともできる。

【００２１】次に、図１及び図２に基づいて、ウエハカ
セット５１からボート４１への移載手順を説明する。先
ず、図１の原点位置において、給電ユニット１Ａと受電
ユニット１Ｂとを相互に対峙させた状態で、ロボット本
体１０の制御装置１２、電源１１から制御信号及び電力
を送出すると、これら制御信号及び電力が給電ユニット
１Ａから非接触で受電ユニット１Ｂに供給される。これ
により、制御信号と電力を受けた受電ユニット１Ｂは、
駆動機器４を駆動してハンド部２の各ペンシル３ａ〜３
ｅのピッチＰを調整し、カセット５１の各棚５２の間隔
に合わせる。

【００２２】このように、各ペンシル３ａ〜３ｅのピッ
チＰをウエハカセット５１の各棚５２の間隔に調整する
と共に、各アーム２１、２２及びハンド部２の回転軸２
４〜２６を回動させる各旋回モータ（図示しない）を駆
動して各アーム２１，２２、ハンド部２をウエハカセッ
ト５１側に旋回させることにより、各ペンシル３ａ〜３
ｅをウエハカセット５１に対向させる。この後、アーム
２１，２２及びハンド部２を微動させて、各ペンシル３
ａ〜３ｅをウエハカセット５１の棚５２間に挿入すると
共に、移載ロボットｒを僅かに上昇させ、この上昇の際
に各ペンシル３ａ〜３ｅでウエハを吸着する。そして、
再びアーム２１，２２及びハンド部２を駆動することに
より、各ペンシル３ａ〜３ｅをウエハカセット５１から
退避させると共に、各アーム２１、２２及びハンド部２
を旋回させて原点位置に戻す。

【００２３】移載ロボットｒが原点位置に戻されると、
制御装置１２、電源１１から出力される制御信号及び電
力が給電ユニット１Ａから受電ユニット１Ｂを介して駆
動機器４に供給され、駆動機構４Ａが作動して各ペンシ
ル３ａ〜３ｅのピッチＰをボート４０の各棚４１の間隔
に調整すると共に、上記各旋回モータを駆動して各アー
ム２１、２２及びハンド部２をボート４０側に旋回させ
ることにより、各ペンシル３ａ〜３ｅをボート４０に対
向させる。この後、アーム２１，２２及びハンド部２を
微動させて、各ペンシル３ａ〜３ｅをボート４０の棚４
１間に挿入すると共に、移載ロボットｒを僅かに下降さ
せ、この下降の際に各ペンシル３ａ〜３ｅからウエハを
各棚４１に載置する。そして、再びアーム２１，２２及
びハンド部２を駆動することにより、各ペンシル３ａ〜
３ｅをボート４０から退避させると共に、各アーム２
１、２２及びハンド部２を旋回させて原点位置に戻す。

【００２４】そして、移載ロボットｒが、上述の作動を
繰り返すことで、ウエハカセット５１の各棚５２に収納
されているＣＶＤ処理（表面処理）前のウエハを、順次
ボート４０の各棚４１に移載する。また、ＣＶＤ処理さ
れたウエハをボート４０の各棚４１からウエハカセット
５１の各棚５２に移載するには、上述に記載したと逆の
手順に従って、移載ロボットｒにより行われるものであ
る。

【００２５】図３はハンド部給電装置の他の実施の形態
を示す説明図である。図２の実施の形態と異なるところ
は、給電コイル７１の代わりに高周波発振器７４と一対
の電極板Ｅ１，Ｅ１を、受電コイル６１の代わりに一対
の電極板Ｅ２，Ｅ２を設けた点にある。この場合、高周
波発振器７４から出力される高周波電圧が電極板Ｅ１と
電極板Ｅ２によって形成されるコンデンサを介してコン
バータ６２に加えられ、直流電圧として駆動機器４に供
給される。その他の点は図２の実施形態と同様である。

【００２６】上記の実施の形態においては、給電ユニッ
ト１Ａは、いずれもロボット本体１０に設けられた支持
管６によって固定されるものとしたが、給電ユニット１
Ａの取付位置はこれに限定されるものではなく、例え
ば、図４に示す表面処理装置６０内に配置したものであ
ってもよい。この場合には、昇降される移載ロボットｒ
の受電ユニット１Ｂに対峙するように下部空間Ｂの天井
６１に設けると共に、移載ロボットｒに対する制御指
令、電力を表面処理装置６０の外部から受電ユニット１
Ａを介して移載ロボットｒの受電ユニットＢに非接触で
供給できる。従って、ハンド部２への制御信号及び電力
供給のためのケーブルを配線する必要がなくなるという
効果を奏する。

【００２７】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明の請求項
１記載の発明は、屈曲自在なアームを複数有する多関節
ロボットの先端アームに設けられたハンド部において、
ハンドの作動状態を可変とする駆動機器が内蔵されたハ
ンド部に対する給電装置であって、前記ハンド部に設け
られた受電ユニットと、前記受電ユニットに対峙して給
電ユニットを備え、前記受電ユニット、駆動機器への電
力及び制御信号をともに非接触により供給し、少なくと
も前記電力は、前記給電ユニットから供給し、前記ハン
ドの作動状態を変えるようにしたことを特徴とするもの
である。これにより、受電ユニット（駆動機器）に非接
触により電力及び制御信号が供給されるので、多関節ロ
ボットの移動により発塵する原因となるケーブルを多関
節ロボットの外部に配線する必要がなくなる。また、少
なくとも前記電力は、前記給電ユニットから供給される
ので、電力の供給損失が少ない。

【００２８】請求項２記載の発明は、請求項１記載のも
のに、前記給電ユニットは、前記ハンドの駆動機器に対
する制御信号を前記受電ユニットに非接触で供給するこ
とを特徴とするものである。これにより、多関節ロボッ
トの外部にケーブルを配線することなく、ハンド部（駆
動機器）に対する電力と制御信号とをともに給電ユニッ
トから供給するので、電力の損失が少なく、制御信号が
確実に伝送される。

【００２９】請求項３記載の発明は、請求項１又は請求
項２記載のものに、前記給電ユニットが設けられる部位
は、前記ハンドが原点位置にある場合の前記受電ユニッ
トに対峙する部位であることを特徴とするものである。
これにより、多関節ロボットは、一定の動作を終えると
必ず原点位置（ホームポジション）に復帰する。したが
って、このときに給電するようにすれば、多関節ロボッ
トの動作の途中で電力、制御信号の供給のためにわざわ
ざ特定の位置まで移動する必要がない。

【００３０】請求項４記載の発明は、請求項１記載のも
のに、複数の前記アームが高さの異なる水平面内で旋回
自在となっているスカラ型ロボットであることを特徴と
するものである。これにより、スカラ型ロボットである
ため、各アームが水平面内で旋回するので、給電ユニッ
トをハンドが移動する水平面に対向する所定位置に設け
ればその旋回を妨げる恐れがない。

【００３１】請求項５記載の発明は、請求項１乃至請求
項３それぞれに記載のものに、前記ハンドは所定物品を
吸着する複数のペンシルを上下に配置したものであり、
このペンシルの間隔が搬送すべき所定物品の大きさに対
応して可変となっていることを特徴とするものである。
これにより、ペンシルを可変するときだけ給電ユニット
から受電ユニットに電力、制御信号を供給するればよい
ので、各ユニットの出入容量を小さくでき、小型化を図
れる。

【００３２】請求項６記載の発明は、請求項１記載のも
のに、前記多関節ロボットはクリーンルーム内で使用さ
れるものであることを特徴とするものである。これによ
り、ハンド部へ電力、制御信号を供給するために多関節
ロボットの外部にケーブルを配線する必要がないので、
ケーブルから発生する塵埃によってクリーンルームを汚
染するおそれがない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の多関節ロボットのハンド部給電装置の
説明図である。

【図２】図１のハンド部給電装置の具体的な構成を示す
ブロック図である。

【図３】図１のハンド部給電装置の具体的な構成を示す
ブロック図である。

【図４】本発明の多関節ロボットの他のハンド部供給装
置を示す説明図である。

【図５】従来の多関節ロボットが使用される表面処理装
置を示す縦断面図である。

【図６】従来の多関節ロボットのハンド部のブロック図
である。

【符号の説明】

１ ハンド部給電装置 １Ａ 給電ユニット １Ｂ 受電ユニット ２ ハンド部 ３ａ〜３ｅ ペンシル（ハンド） ４ 駆動機器 ４Ａ 駆動機構 ５ 受信器 ７ 送信器 １０ ロボット本体 ２１， ２２ アーム Ｃ，Ｄ ケーブル Ｍ モータ ｒ ウエハ移載ロボット

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 屈曲自在なアームを複数有する多関節ロ
   ボットの先端アームに設けられたハンド部において、ハ
   ンドの作動状態を可変とする駆動機器が内蔵されたハン
   ド部に対する給電装置であって、 前記ハンド部に設けられた受電ユニットと、 前記受電ユニットに対峙して給電ユニットを備え、 前記受電ユニット、駆動機器への電力及び制御信号を、
   ともに非接触により供給し、少なくとも前記電力は、前
   記給電ユニットから供給し、前記ハンドの作動状態を変
   えるようにしたことを特徴とする多関節ロボットのハン
   ド部給電装置。
2. 【請求項２】 前記給電ユニットは、前記ハンドの駆動
   機器に対する制御信号を前記受電ユニットに非接触で供
   給することを特徴とする請求項１記載の多関節ロボット
   のハンド部給電装置。
3. 【請求項３】 前記給電ユニットが設けられる部位は、
   前記ハンドが原点位置にある場合の前記受電ユニットに
   対峙する部位であることを特徴とする請求項１又は請求
   項２記載の多関節ロボットのハンド部給電装置。
4. 【請求項４】 前記多関節ロボットは、複数の前記アー
   ムが高さの異なる水平面内で旋回自在となっているスカ
   ラ型ロボットであることを特徴とする請求項１記載の多
   関節ロボットのハンド部給電装置。
5. 【請求項５】 前記ハンドは所定物品を載せる複数のペ
   ンシルを上下に配置したものであり、このペンシルの間
   隔が搬送すべき所定物品の大きさに対応して可変となっ
   ていることを特徴とする請求項１乃至請求項３にそれぞ
   れ記載の多関節ロボットのハンド部給電装置。
6. 【請求項６】 前記多関節ロボットはクリーンルーム内
   で使用されるものであることを特徴とする請求項１記載
   の多関節ロボットのハンド部給電装置。