JPS63733B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

本発明の解決課題は、例えばビン、フラスコ、
ポツト等の透明物体の欠陥を光学的に検知して自
動的な類別及びかかる欠陥を有する物品の製造連
鎖からの除去を可能とする方法及び装置に関す
る。 更に詳しくは、かかる検知に、広範囲な応用並
びに高度の実用性及び再生産性を与えることを目
指す。 一般的には本発明は少くとも検査さるべき領域
に回転壁を形成した透明物体の光学的検査の作動
に適用可能である。その作動の間、各物体は一つ
又は継続した多くのステーシヨンに位置され、そ
の各々のステーシヨンで選定された壁面領域で一
つ又はそれ以上の光線が投影され、この壁面上の
光線の通過の後、伝達される光が受取られ一方光
学手段のユニツトに関し容器を支持する部材の相
対回転に期づく走査によつて、この回転の軸線の
廻りでの少くとも完全な一回転にわたつてその各
領域の検査を行う。この走査の間に取出される光
の強度の差は欠陥等の存在の検知及び欠陥のある
物体の除去に使用する。 本発明は更に詳しくは中空ガラス工業において
グレージング（glazing）と称されている光の反
射を引起す欠陥の検知に関する。 かかるグレージングは数ミリメータの長さの欠
陥を程するもので、内部応力の影響に基づく破損
につながり壁面の厚みに影響し、かつ非常に異つ
た傾きを持つ。 これらのグレージングは形状ないしは断面の変
化するところで良く生ずることは経験上よく知ら
れている。それ故、グレージングは容器の上部で
特に見られる。唇部では略垂直なグレージングが
見られ、カラー部やねじ部では全体として水平方
向のグレージングが生じ、肩部ではグレージング
は良く平担Ｖ字状になる。 検査のための種々の方法及び装置がこれまで知
られているが、程度を変るには光の放出及び受取
りの種々の手段の位置の調節が長時間を要し、か
つデリケートで再現性が良くなく実用的でないと
いう欠点を内包するものである。異つた形状の物
体の検査のための別々の検査ヘツドを使用するこ
とは極めてコスト高となり、故に実際上は方向調
整可能なアームを備えた支持コンソールにより共
通ベース上で取付けた部材を設けており、調整は
一般的には段階をおつて行われる。即ち操作者
は、検査の始めにおいて先ず目視によつて被検査
欠陥のある物体を見る。それから異つた検査ステ
ーシヨンでこの欠陥を観察して、光の放出のため
の種々の手段及びこれと結合した受取手段を一定
の場所に取付ける。 操作者は発光した光を見分けるのに低い周囲照
明で満足せねばならないことだけでも作動は困難
である。存在している欠陥のタイプの複雑性が経
済上の理由で複数の検査を同一ステーシヨンで行
わねばならないことを要するという事実によつて
も困難が生ずる。かくして、異つた光線が相互に
干渉するのを避けるという困難が生じ、同一タイ
プの物体の二つの製造場所間で調整の再現性を保
証するのは極めて高度な技能を持つた人が行つて
も極めてデリケートな操作を要する。これ故、こ
の操作の仕方は生産の変更毎に多くの損失、費用
をしいるものである。 仏国特許第1588308号は異つた光線間の干渉及
び例えば周囲光の変動等の内部及び外部原因に基
づく雑音を避けるため、同一の検査ヘツドで使用
される異つた光線のための光の放出の間これを異
つて変調をし、かつ受光の際受けとられた光の変
調と同調した増幅器を採用することによつて受光
された光の起源を区別するようにしている。 本発明に係る方法は、かかる調整方法の欠点、
即ち、操作に長時間を要すること及び非再現性
を、与えられたタイプの欠陥を検査するための異
つた発光手段、これと結合した受光手段に、検査
さるべき領域の単一の位置の関数として予め限定
した向も及び位置を割り当てることによつて、克
服することを目指す。 実際、非常に異つた形及び寸法の物体のための
検査試験、直接の目視検査の結果との統計方法に
より比較した試験、及び上記方法による検査によ
つて、必要となる異なつた発光器及び受光器の位
置を一律に決めることができ、かつ物体の形及び
寸法に直接相関させられることがわかつた。 本発明に係る、回転の中心線の廻りで物体を少
くとも一回完全に廻して壁面を、発光器から射出
され受光器で受取られる光線で走査することによ
つて回転壁を有する透明物体を光学的に検査する
方法においては、被検査物体の領域からの発光器
及び受光器の光学的距離を固定すると共に、受光
器及び発光器の角度方向の向きも固定にし、受光
器及び発光器を上記壁面の両側上の対向点に集点
を結ばせ、かつ受光器及び発光器をこれらの並進
移動によつて壁面上に集点を結ばせるようにして
いる。 又、本発明の他の面では、少くとも一つの発光
器およびこれと組合せた受光器を有した光学的ユ
ニツト、並びにこのユニツトに対し被検査物体を
回転の中心軸の廻りで回転せしめる支持手段を備
えており、該支持手段は案内部材を担持した基部
及び発光器と受光器とを支持する脚部を形成した
剛直サポートを備え、発光器及び受光器は案内部
材に対し平行にかつ横方向に可動となす一方案内
部材に対し固定した角度位置に保持可能とした透
明物体の光学的検知装置が提供される。 以下この明細書では、検査のための手段を担持
するヘツドは固定と仮定し、物体は適切な部材に
よつて公知手法でその軸芯の廻りで回転され、こ
の検査ステーシヨンでの物体の回転の軸芯は垂直
と仮定する。これらの仮定は記載の容易のためこ
こでは本質的であるとして採用した。そしてこれ
らは本発明を実施する一つの方法に相当するがし
かし、他の配置ももちろん使用できる。 発光器及び受光器のための異なつた光学手段の
焦点距離は前もつて固定され、光学ユニツトの向
き、必要あらば、光学ユニツトの、検査ヘツドを
形成する光学手段の組立体の支持基部に対する傾
斜は、被検査領域の、回転の軸から距離及びこの
領域での高さがどうあつても、検査のタイプに応
じ前もつて決されかつ一定に維持される。 光線の調整は、発光器及び受光器に焦点合わせ
によつて決まる各設定毎に、対応する支持手段を
単に並進させることにより作動する。 なるべくは、これらの各々の手段の焦点は同一
の平面内に一定に位置させ、調整作動を可能とす
る並進の全体を前もつて選んだこの平面に平行に
行う。発光及び又受光のため、この平面は半径平
面、即ち回転の軸を含むのが有利で、この結果、
照明光が焦点で一方ではこの半径方向検査平面と
なし他方で回転軸に垂直な平面となす角度は一定
になる。 便宜上及び汎用性の観点からは、組合せた手段
の組立体による与えられたタイプの欠陥の検査の
全体のための照明及びこれに対応する観察は単一
の半径平面で行う。即ち、組合せ手段、発光器、
受光器の組立体の調整は、与えられた検査のため
には実際上二つの垂直方向に沿うこの平面で実行
される一連の並進によつて行う。この調整は好ま
しくは互に面し、被検査領域の壁面の厚みによつ
て隔てた二つの点での物体の表面の走査をもたら
し、入射光は内面を貫通し、欠陥を反映した光の
検知は外面でなされる。 実際上、全ての組立体に共通しかつ装置上で初
期的に実行される調整の第一局面は支持部材上に
置かれる物体上方の光学的検査ユニツトの基部及
び走査を行わしめる回転の初点を、回転の軸線
と、例えば被検査物体の底部の箇所又は唇部の平
面の箇所に相当する基部の所定高さを基準に、正
確に位置させる。 第二の局面では、各発光器及び受光器に適用し
た被検査物体の検査が、所定欠陥のための検査の
領域に相当する走査点を選定後実施される。好ま
しくは、先ず軸線に並行に並進させることとによ
り、被検査領域の高さに相発光器若しくは受光器
の焦点を位置させ、それからその高さでの物体の
内の又は外の直径に直接関する軸に垂直に並進さ
せ、焦点を軸からの所望距離とし、これらの二つ
の並進によつて、選定した点を形成する。 かかる作動は継続した並進の軌道に沿い単純な
調整によつて直接の走査なく実行される。 装置は、検知すべき欠陥に適合した、相互に組
合せた少くとも一つの発光及び受光手段組体を有
した光学的検査ユニツトを各検査ステーシヨン毎
に備え、このユニツトは一定位置への取付けを確
かにしかつ回転の軸の廻りでユニツトに関し物体
の相対回転を可能とするサポート部材に結合され
ている。 装置は物体及び制御手段に対する位置の再現性
を確実とする通常の手段を持つている。 光学ユニツトは一般的には案内部材を形成した
面を有した少くとも一つの基部を有し、この案内
部材は夫々所定機能の光学手段のグループ即ち発
光、受光手段を受けるものであり、これら手段は
支持コンソール上に取付けてあり、このコンソー
ルは剛直で案内部材に平行又は横方向な調整を可
能とする脚部を備える一方案内部材に固定方向を
与える。好ましくは、物体の被検査領域を形成す
るパラメータに応じ調整を可能とする目盛等の手
段が設けてある。例えば、回転の軸上に中心づけ
た筒状基部を使用することが可能であるが、一般
的にいうとこれに垂直な板を使用するのが好まし
い。この案内部材に矩形溝を形成すると良く、コ
ンソールの脚部はねじ又は錠止ナツトと関係づけ
た切開部のステムであり、これらを基部の面に垂
直に維持する。 焦点距離もしくは使用される異つた光学手段の
位置は予め前述のように決めることができるが、
もし板が軸に垂直な配置の場合には、光学手段の
向きを考えに入れて、板に対する与えられた光学
装置（発光器又は受光器）の焦点の変位が、板の
芯出し後は検査面が半径平面となるよう軸に一致
する同一の直線上で交差するよう、案内溝の軸か
らの距離とすると良い。 更に、好ましい実施例では、発光及び受光のた
めの二つの組合せ組立体の案内溝は相互に平行で
対応する検査平面が一致すべくなつている。 以下本発明の実施例を添附図面を参照にしなが
ら説明する。 第１，２図において、容器Ａは垂直に位置した
回転軸０―０を有する。この容器Ａは検査ヘツド
（これはこの概略図には示してない普通の装置に
よつて固定となつている）の下方でその軸の廻り
で回転される。 光学的放射のための組立体Ｅ及び受取のための
結合光学組立体Ｒは二つの区別した位置に取付け
てある。 例えば、符号E₀で示す位置について言うと、
組立体Ｅの向きは一方では規準平面として選んだ
水平面Ｈに対するその傾斜即ち角度α_eによつて限
定され、又他方では放射器の軸芯を通る垂直平面
が照明ビームの集合点I₀を通る半径方向平面に対
しなす角、言い換えれば第２図の水平突起内の方
位角β_e及び当然ながらこの半径方向平面εの位置
によつて限定される。 受取器Ｒの集光する点J₀を有した半径平面Ｒの
位置からの受取器Ｒの傾斜は同様に角度α_r及びβ_r
によつて限定される。 放射器Ｅ及び受取器Ｒの焦点の距離は固定され
かつその配向の間は同一に保たれる。 もし、容器上の特定の高さ領域に現われる或る
種のグレージングの検査を行うため、容器を同一
の半径平面と内で内部壁上の点I₁のところで照明
して検査を外部壁上の点J₁のところで行うとする
と、発光器Ｅの対応する点は一定のベクトルの表
示I₁E₁→＝I₀E₀→によつて決され、I₀I₁→＝E₀E₁→＝E₀
e→＋
eE₁→と書くことも可能である。同様にしてJ₀I₁→＝
R₀r→＋rR₁→である。 それ故、もし点Ｉが第２図の如く単一の半方向
平面εに常に位置するという条件を設定すると、
規準平面Ｈ上での発光器の脚部Teの案内線Feは
軸芯０―０から所定距離で、平面εに平行な線セ
グメントであり、放射器Ｅの垂直平面のこの線に
関する角度は一定でβ_eである。発光器の位置は軸
線０―０に対するＩからの距離に直線依存する。
更に角α_eが一定のままであると、平面Ｈからの距
離は点Ｉの高さで変化する。 同一の理屈が、脚部Trの軌道が平面Ｈ内でFe
と角度γをなす線セグメントFrを持つ受光器Ｒ
の変位についても当てはまる。 以上説明のように点Ｉ及びＪを同一の半径方向
平面に位置させられること、即ち二つの平面εと
Ｒとの間の角度δを０とできることは実用上有利
である。このときこれら二つのセグメントFe及
びFrは平行である。更に、調整中に点Ｉ及びＪ
を同一の高さにすることは有利である。この手法
は与えられたタイプのグレージングの検査に理論
的に常に最善に適用できるとは限らないが、実用
上は十分であるし調整の単純化を可能とするもの
である。 第３，７図は首部が16〜80mmの直径を持つ容器
の検査装置である。 第３図は、自動類別のための回転装置の一ステ
ーシヨンである検査ヘツドの極めて単純化した平
面図である。 このヘツドは三つの異なつた種類の検査に相当
する三つの組合せ光学組立体を担持する。但し、
その支持体のみこの図には示している。これらの
三つの組立体の各々は、発光器及びこれに組合せ
た受光器の対称平面に沿う正面図である第４〜７
図により詳細に示される。 第３図において３０はアーム３１の端に取付け
た板である。アーム３１はクランプ３２等の位置
決め部材の内部を摺動する。そのクランプ３２内
に錠止ねじ３３があつてアーム３１を錠止可能と
する。クランプ３２はそれ自体抗３４上で摺動で
き、錠止ねじ３５は柱３４上でクランプを不動と
なす。図示の実施例では、柱３４は装置の全体的
な枠組と一体になつており、被検査容器Ａは公知
手段によつて中心線０―０の廻りで回転駆動でき
る。この手段に対する板の位置の調節機構につい
てはこの説明の終りのことろで述べる。 発光器と受光器の別々のグループは別々の調整
を可能とする摺動部を形成する溝内で可動となつ
ている。一般的な手法で発光器及び受光器の走査
距離が一度、全て前に述べたように、調整され
る。 第４図（第３図の―線に沿う断面図）及び
第３図において、水平のグレージングの検査のた
めの発光と受光器との２つの組合せグループが図
示してある。発光器グループは共通のコンソール
４２上に同一の傾きで取付けた二つの同一な発光
器４１を備える。尚、図にはその一つのみしか見
えない。これらの二つの発光器４１は対称に取付
けられていてその射出光が同一の点に集束するよ
う調整してある。それ故に、これらは単一の発光
器として挙動する。コンソール４２は二つの板４
２ｂを担持したねじ切りしたステム４２ａと一体
である。このステム４２ａは板３０の摺動部 し
くは溝内で回転することなく移動できるようにな
つており、かつ板３０に二つのナツトによつて垂
直位置に錠止自在となつている。即ち、この一方
のナツト４２ｃはコンソール４２の高さ位置の調
整を可能とし第二のナツト４２ｂは軸０―０を所
望の距離で不動にするねじ止めを行わせる。 この調整具はかくして水平及び垂直の要素を持
つた２重の並進を可能にする。 受光器グループは二つの同一な受光器４４で構
成する。これらはコンソール４５上で同一の垂直
平面内に取付けてありその前レンズから固定距離
に位置する同一点を観察するようになつている。
コンソール４５は板３０の溝４６内でコンソール
４２の場合と同様の仕方で変位し調節をうける。 各溝の側方には４７で示すスケールで構成した
指示手段が設けてある。尚、第３図には一つの溝
４６についてのみ見えている。４８で示すスケー
ルとしての指示手段は板３０に対する各グループ
の高さの指示を可能とする。 上記説明及び第３図に関し、摺動部４３及び４
６の軸線は半径方向平面―内で整列した二つ
の真直ぐなセグメントである。各種の発光器及び
受光器の焦点調整は容器壁の両側で領域４０でそ
の向きを変更することなく行われる。 より正確にいうと、簡便である故有利な手法と
して、調整は同一の高さで相互に面した一方は容
器Ａの内面上に他方は外面に位置した二つの点４
０ａ，４０ｂで対称に行われる。而して、発光器
は内面を照らすようする。 この結果、スケールの目盛りは中心線０―０か
らの点４０ａ及び４０ｂの距離を一方で示し、又
他方で選定した規準平面Ｈに対するその高さを示
す。これらは、かくして、被検査領域での容器Ａ
の外径及び内径、並びに容器の底部又は口部に対
するこの領域の位置に相当することとなる。 第５図に示した―断面では組合せた発光器
と受光器との二つのグループが見え、これは傾斜
した欠陥の検知を意図したものである。 受光器グループは共通のコンソール５２上で同
様な垂直平面に取付けた４つの同一な集束した発
光器５１を有している。その共通コンソール５２
のステム５２ａは板３０の摺動部若しくは溝５３
内で前と同様に変位可能である。受光器群は４個
の同一な集束した受光器５４（断面の平面につき
２個づく対称である）によつて構成される。２個
のみしか第５図には見えないが、これらの受光器
はコンソール５５上に取付けてありそのステム５
５ａは溝５６内で変位するようになつている。第
３図に見えるように、溝５３及び５６の中心線
は、所定高さでの発光器及び受光器のグループの
変位が同様の線に沿つてなされるよう整列してい
る。ステム５２ａ及び５５ａの板の配向に基づい
て組立体の対称平面はこれらの間で固定した角度
をなしその結果焦点調整は溝の中心線に対し平行
な単一の半径方向平面内の領域５０で実行され
る。 次に第６図を参照すると、これは―断面に
沿う組合せグループを示すもので、これは垂直な
グレージングを検査するものである。発光器グル
ープはコンソール６２上に取付けた単一の発光器
６１を備える。板３０上でのそのコンソール６２
の位置は溝６３故にその傾斜を変更することなく
調節しえる。受光器グループはコンソール６５上
に取付けの単一の受光器６４として構成され、溝
６３と平行な溝（若しくは摺動部）６６によつて
板３０上を同様に移動できる。受光器６４の入口
での光学軸の傾斜は発光器６１のそれと逆、即ち
符号が反対だが等しい。この理由で、簡便のた
め、受光器は90゜の反射を形成する。 被検査領域６０での二つの部材の焦点合せは前
に述べたと同様に行う。 複数の検査を同時に行わなければならないとき
は検査の平面の夫々の位置を適切に選定する要が
ある。 完全な検査装置として有利なのは第二のステー
シヨンを第一のそれと類似にしかしその部材は対
称に取付けることである。水平グレージングのた
めの第二の検査組立体は容器の異つた高さでの第
二の検査の実施を可能とし、垂直グレージングの
検査のための第二の組立体は与えられた領域で、
グレージングの２重検査を可能とする。というの
はこれらは必ずしも半径方向である必要はないと
いう事実の故である。その結果、傾斜の度合がど
うでもこれらを検出する。傾斜したグレージング
のための第二の検査組立体はその傾斜方向がどう
あつてもグレージングの異なる検出を可能とす
る。 以上説明の実施例では、発光器はこれらが、前
レンズから60mmのところで容器の内壁上に像を形
成するよう配置してある。又受光器は前レンズか
ら30mmのところで外壁上に面するよう位置した点
を掃引するように配置してある。垂直なグレージ
ングを検出する受光器（第６図）に関しては、こ
れらが補助の光学路を導入する反射光を形成する
よう与えられていると、この距離は21mmに減少さ
れる。 焦点調節は0.8×７mmの矩形像上で行う。但し
容器肩部上のグレージングの検査の装置に関して
は、グレージングが全体として水平において平担
化したＶ字状を程するよう2.5×10mmの像に焦合
させる。 完全な回転体でない物体の領域、例えばねじを
切つた部分を形成した容器首部等の、欠陥がなく
ても不均一信号を生じさせる領域の検査が必要な
ときは、受光器の前面に小ダイヤフラムを配し、
そのダイヤフラムに矩形スロツトを穿設して、か
つこのスロツトが、信号／雑音レベルを改善すべ
く調節中に配向されるようにして寄生信号の影響
を減ずるのが有効であり、このようにすると、類
別装置から除去信号が望まないともに発生するこ
とは避けられる。 好ましい実施例では、0.9μmの程度の波長の実
質上単色の赤外光発光器（赤外ダイオード）を受
光器に上記波長で最大感度となるよう接続して使
用する。一方、異なつた検査が重なつてしまうの
を防止すべく、発光器に対する供給を異つた周波
数で変調し又対応する周波数に同調した組合せ受
光器で受取られる信号の増幅を行う。 上記の実施例では発光器は7.5KHzの周波数で
変調し、その対応する受光器はこの周波数に同調
する。但し、垂直グレージングの検知受光器とそ
の組合せ受光器を5KHzの周波数で調整する。 上記説明では板３０は被検査物体に関し完全に
固定の位置に固定すべく述べている。この実施例
では容器Ａは、固定軸７２ａ，７２ｂを有した二
つのローラ並びに弾性部材７５に取付けた駆動ロ
ーラ７４によつて支持体７１上に回転できるよう
取付けてある。中心線０―０の位置はそれ故に容
器Ａの直径、必然的に板３０の位置にも依存す
る。 この位置決めを行う手段を第７図に示す。これ
は中心ストツパ７７と結合した針７６を有する。
このストツパ７７は、第３図見えるねじ３３及び
３５で錠止するに先立ち板３０を被検査容器Ａの
口部に対し芯出の意味でも高さの面での一定位置
をとらせるためのものである。 次の表は上記した各発光器及び受光器のため
の、角度α_e，β_e，β_rの値を示すものである。表示
した記号は図に示した向きに相当す。この表には
５〜25mmの直径の容器での検査装置α同様な

【表】

【表】 角度値が示される。この装置は16〜80mmのそれに
類似の構造であり図示しない。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は本発明に係る装置における
発光器及び受光器の夫々概略的正面及び平面図、
第３図は本発明の装置の検査ステーシヨンの平面
図、第４図は第３図の―線に沿う断面図、第
５図は第３図の―線に沿う断面図、第６図は
第３図の―線に沿う断面図、第７図は第３図
の―線に沿う断面図、 ４０…検査領域、４１…発光器、４２…コンソ
ール、４３…案内溝、４４…受光器、４５…コン
ソール、Ａ…被検査容器。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 回転の中心線の廻りで物体を少くとも一全周
   にわたつて、発光器から射出される光線で走査
   し、欠陥があればそれによつて反射される光線の
   一部は受光器の受光素子によつて受け取られ、発
   光器及び受光器はレンズ等の集光手段を有し、被
   検査物体の領域からの発光器及び受光器の光学的
   距離は走査中固定に保持されると共に、前記中心
   線に対する受光器及び発光器の角度方向の向きも
   固定に保持され、走査操作に先立ち、受光器及び
   発光器を、その光源及び受光素子の光学像が物体
   壁面の対抗側面に形成されるように並進運動せし
   め、かつ発光器及び受光器の焦点を夫々の半径方
   向平面内に常時留まらせ、光線が焦点中心におい
   て前記半径平面となす角度及び光線が回転の中心
   線に垂直な平面となす角度を一定とした透明物体
   の光学的検査方法。 ２ 特許請求の範囲第１項に記載の発明におい
   て、夫々の半径方向平面を同一とした方法。 ３ 特許請求の範囲第１項又は第２項に記載の発
   明において、発光器及び受光器を垂直な二つの方
   向に並進させることにより焦点合わせを行う方
   法。 ４ 特許請求の範囲第３項に記載の発明におい
   て、前記二つの方向のうち一方は回転の中心線に
   平行であり、他方はこれに垂直である方法。 ５ 中空物体に応用される特許請求の範囲の第１
   項から第４項のいずれか一項に記載の発明におい
   て、発光器によつて物体の内面上に光線が照射さ
   れ、物体の外面を指向した検知器によつて検出す
   る方法。 ６ 光源を有する発光器と受光素子を有する受光
   器とから成る光学的ユニツトを具備し、発光器及
   び受光器は、光源と受光素子との像を物体壁の対
   抗側面に結像させる集光手段を有し、発光器より
   物体壁を介して伝達される光線は、欠陥があれば
   これにより反射されて、その物体壁に対抗して位
   置する受光器によつて検出され、更に前記光学的
   ユニツト及び被検査物体を支持する支持手段が設
   けられ、該支持手段は前記光学的ユニツトに対し
   被検査物体をその支持手段に固定される固定軸の
   廻りで回転せしめ、前記支持手段は、基部と、該
   基部に固定される複数の案内部材と、発光器及び
   受光器とを支持するため夫々の案内部材に支持さ
   れるホルダとから成り、各ホルダは夫々の案内部
   材に対し平行又は交叉方向に可動で、夫々の案内
   部材に対する配向方向は不変に維持しながら、光
   源及び受光素子の焦点合わせが可能であり、使用
   時にホルダは、光源及び受光素子の焦点を固定す
   るために、所望の位置で案内部材に固定可能であ
   る透明物体の光学的検査装置。 ７ 特許請求の範囲第６項に記載の発明におい
   て、発光器及び受光器は、これらの焦点が回転の
   中心線を含む平面内を移動するように可動である
   装置。 ８ 特許請求の範囲第６項に期待の発明におい
   て、少くとも二つの発光器及びこれに対応して組
   となる受光器が、これらの焦点が全て同一平面内
   を移動するよう、可動である装置。 ９ 特許請求の範囲第６項又は第７項に記載の発
   明において、案内部材は矩形溝を備え、ホルダは
   ステムを有し、該ステムは切開底部を有し、該底
   部は矩形溝内において基部の表面に垂直に保持さ
   れる装置。 １０ 特許請求の範囲第９項に記載の発明におい
   て、基部は板より成り、その表面は前記固定軸に
   垂直に前記の案内部材を担持している装置。 １１ 特許請求の範囲第６項から第１０項のいづ
   れか一項に記載の発明において、光学的ユニツト
   はホルダ上に取付けた少くとも一つの発光器若し
   くは受光器を備え、そのホルダはステムを有し該
   ステムは錠止機構により保持される少なくとも一
   つの板を担持しており、錠止機構は溝に直交する
   方向にその板を不動とする装置。 １２ 特許請求の範囲第９項から第１１項のいづ
   れか一項に記載の発明において、溝及びホルダの
   ステムは被検査物体の直径、および検査を実行す
   べき物体の高さに関した目盛を有した装置。 １３ 特許請求の範囲第６項から第１２項のいず
   れか一項に記載の発明において、光学ユニツトは
   同一の傾斜で共通のホルダに集束するように取付
   けた同一構造の二つの発光器と、対応する発光器
   と対称な垂直平面に取付けられる少なくとも一つ
   の受光器とより成る装置。 １４ 特許請求の範囲第６項から第１２項のいず
   れか一項に記載の発明において、同一の垂直平面
   に取付けた同一構造の４個の集束配置した発光器
   と、同一構造の４個の集束配置した受光器とを備
   え、これらは垂直平面に関して２個づつ対称に配
   置される装置。 １５ 特許請求の範囲第１１項に記載の発明にお
   いて、受光器の光学軸がそれに対応する発光器の
   光学軸に対し逆の傾斜を持つ装置。 １６ 特許請求の範囲第６項から第１５項のいず
   れか一項に記載の発明において、受光器の前面は
   狭いスロツトを形成したダイヤフラムを備えた装
   置。 １７ 特許請求の範囲第６項から第１６項のいず
   れか一項に記載の発明において、発光器及び受光
   器は0.9μm位の波長の赤外光のため設計される装
   置。 １８ 特許請求の範囲第６項から第１７項のいず
   れか一項に記載の発明において、異なつた周波数
   で変調された複数の発光器を備え、これに対応す
   る受光器はこれらの周波数に同調された装置。