JPS6368320A - 積層体の切断方法 - Google Patents

積層体の切断方法

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JPS6368320A
JPS6368320A JP21166486A JP21166486A JPS6368320A JP S6368320 A JPS6368320 A JP S6368320A JP 21166486 A JP21166486 A JP 21166486A JP 21166486 A JP21166486 A JP 21166486A JP S6368320 A JPS6368320 A JP S6368320A
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JP
Japan
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cutting
cut
laminate
thin films
conductor thin
Prior art date
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Pending
Application number
JP21166486A
Other languages
English (en)
Inventor
Shigetaka Higuchi
樋口 重孝
Isao Noguchi
勲 野口
Shuji Kurita
栗田 修二
Kazuaki Suzuki
和明 鈴木
Hidehiro Numao
沼尾 秀裕
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dexerials Corp
Original Assignee
Sony Chemicals Corp
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Publication date
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  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、モータ、ブラウン管の偏向ヨーク等に使用さ
れるフラットコイルやマイラーコンデンサ等を作製する
際の積層体の切断方法に関するものであり、詳細には導
体1i:々間に絶縁層をpDんだ多層構造からなる積層
体の切断方法に関するものである。
〔発明の概要〕
本発明は、導体薄膜間に絶縁層を挟んだ多層tR造の積
層体を切断するに当たり、 ′4A械的研削と放電加工とを重畳して切断することに
より、 導体薄膜間での短絡等の不良の発生を’rmえ、切断時
間を短縮し、さらに切断後の後処理工程を不要となし、
これら積層体を生産性よく切断しようとするものである
〔従来の技術〕
例えば、マイラーコンデンサを作製する場合には、金属
箔とマイラーフィルムとを交互に積口した積層体を作製
しておき、これを所定の幅で切断すれば、この種のコン
デンサを生産性よく製造することができるものと考える
あるいは、銅線を幾重にも巻いた巻線式のコイルに代わ
り、化8イ皮膜を塗布した20箔を巻回し、これを輪切
りにしてフラットコイルとすることができれば、絶縁シ
ートにラミネートされた銅箔ζこ線幅50μm程度の渦
巻状の工、チングを梅し、これをコイルとした。いわゆ
るシートコイルに比べ生産性0作業性の点で非常に有利
であると考えられる。
従って、かかる方法を採用するためには、導体薄膜と絶
!&層とを交互に積層した積層体を理想的に切断する必
要がある。
従来の切断方法としては、先ず機械的な切断工具によっ
て研削する方法が挙げられる。この機械的研削方法によ
り積層体を切断した場合には、積層体の切断部分を機械
的手法によってむりやり排除したり、積層体の一度切断
した面を研削装置が擦ったりするために、導体薄膜が変
形してダレやパリ等が発生し短絡したり、積層体自体が
変形する等の不良が発生し易く、例えば切断面のダレを
解決するためには、後処理として切断面を研摩処理する
必要がある。
そこで、本願出願人は特願昭61−132512号明細
書において非接触加工法である放電加工法による切断方
法を提案した。この放電加工法によれば、機械的研削に
よる切断の際に生じていた積層体のダレやパリの発生に
よる。+2絡等が発生するおそれがなく、信鯨性の高い
切断が可能である。ところが、本発明者等がさらに検討
を加えたところ、この方法では切断速度が非常に遅いた
め生産性に劣ること、また積層体の研削表面が放1こに
よって焼けつきm体薄膜が酸化されてしまい導電薄膜の
劣化等を招き易く、例えば導体薄膜の酸化を解決するた
めに積層体切断後にその表面に対して研■や化学的処理
等の後処理を施す必要があること、等の改善すべき点が
あることが判明した。
〔発明が解決しようとする問題点〕
このように導体薄膜間に絶澹1層を挟んだ多層構造の1
膜層体を切断しようとした場合、従来の切断方法ではコ
ストに見合う能力がないこと、切断時間が遅いこと、後
処理工程が必要となり、しかもその工程が困難であるこ
と、従って製造コストがかかること、等から実用化され
ていないのが実1nである。
そこで本発明は、上述の従来の切断方法の欠点を除去し
た積層体の切断方法を提供することを目的とし、上記積
層体を切断したときに短絡等の不良の発生を抑え、短時
間で切断でき、切断後の後処理工程を不要となし、これ
ら積層体を信頼性。
生産性よく切断することが可能な積層体の切断方法を提
供することを目的とする。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明者等は、導体薄膜の積層体の切断方法について種
々の検討を重ねた結果、機械的研削と放電加工とを併用
する方法が好適であるとの結論を得る至った。本発明は
、このような知見に基づいて完成されたものであって、
導体フ膜間に絶縁層を挟んだ多層構造の積層体を切断す
る二ご際し、機械的研削と放電加工とを重畳して切断す
ることを特徴とするものである。
〔作用〕
W体重膜間に絶1:4層を介した多層構造の積層体を放
電加工と機械的研削を(jt用すること;こよって切断
すると、その切断面は絶縁層が導体1膜よりもやや突出
した状態となり、4体薄膜間の絶縁が保たれるとともに
、後処理工程も不要となる。
また、機械的研削を併用しているため、積層体を非常に
短時間に切断することが可能になり、しかも大計のmN
体を一括して切断処理することが可能であるため、生産
性の面でも優れたものとなる。
〔実施例〕
以下、本発明の具体的な実施例について説明する。
先ず、第1図に示すように、導体薄膜(銅箔)(1)と
絶縁層(接着剤層)(2)を交互にIU;Jした積層体
(3)を!V備した。ここで、上記導体薄膜(1)の厚
さは35μmとした。もちろん、上記■体曹膜は必ずし
も銅箔に限ることはなく、アルミニウノ、やステンレス
、恨、金等の導電体物質であって、所望の特性が得られ
るものならば何れでもよい。
一方、絶縁層(2)とし、ての接着剤層は、通常使用さ
れる接着剤であれば何れであってもよく、その厚さは2
5μmとした。また、絶縁層(2)としての接着剤層と
しては、絶縁性を確実なものとするため、ポリイミドフ
ィルムを与体a膜(1)と絶1)1’5(2)の間に介
在させてもよい。
このように導体薄膜(銅箔)(1)と絶縁層(接着剤層
)(2)を交互に積層して作製される積層体(3)全体
の厚さは3龍とした。
次いで、第2図に示すように、上記積層体(3)を切断
加工機の加工台(5)に取り付け、略円盤状の研磨砥石
兼放電電極電極(4)を該積層体(3)に当接しながら
、該電極(4)よりパルス電源を与えるとともに電極(
4)を兼ねた砥石を回転させ積層体(3)を切断した。
積層体(3)の切断にあたっては、切断速度=0゜3〜
2.5 amlsec、研磨砥石の回転速度シま100
00〜30000rpm程度、好ましくは15000〜
2000Orpmで行い、放電に際しては交流20〜3
0 ’!、  1 ktlzのパルス電流を与えた。
上記研磨砥石兼放電電極8極(4)は、略円盤状の形状
をしており、機械的研削における砥石と放電加工におけ
る電極とを兼ねたもので、その直径は58龍である。な
お、上記研磨砥石兼放電電極(4)の大きさは、切断す
る積層体(3)○大きさに合わせて選択すればよい。ま
た、研磨砥石兼放電TL罹(4)は、硬質の粉末(例え
ばキュービック引tロンナイトライド)と結合剤(例え
ば導電樹脂や金、后)とからなるもので、硬質で!電性
を有していればよい。
また、研磨砥石兼放電電極(4)としては、上記円盤状
のものの地平板状のものも使用可能である。
前記円盤状の研磨砥石兼放電電極(4)によって積層体
(3)を切断する場合は、積層体(3)の上部より積層
体(3)に対して垂直に移動させて切断すればよい。ま
た、平板状の研磨砥石兼放電電極(4)の場合には、電
極(4)を積層体(3)に対して前後にのこぎりを引く
ような形で移動させながら切断させればよく、このよう
にすることによって円盤状電極(4)での切断効果と同
様な効果が得られる。
これら機械的研削と放電加工とを重畳することによって
、両者の利点が発渾され非常に短時間で、かつ良好な切
断面を有するように積層体(3)を切断することができ
る。
また、研磨砥石兼放電電極(4)は、切断加工機に1枚
だけ取り付けて積層体(3)を切断してもよいが、復数
枚取り付けることによって一時に多数枚の切断加工物を
生産するようにすれば、その生産性は飛躍的に向上する
その際、積層体(3)を取り付ける切断加工機の加工台
(5)は、平面形状としておく必要がある。
本発明者等は、上記機械的研削と放電加工とを重畳した
切断方法による切断面を顕微鏡により観察したところ、
第3図に示すように絶縁層(2)が導体薄膜(1)より
も突出した状態となっており、積層される各導体薄膜(
1)間の絶縁は完全に保たれていた。同時に切断面は、
砥石により研磨したように非常に整った面であった。
次に、本発明をフラットコイルの作製に適用した例を説
明する。
先ず、第4図に示すように、可体gJ膜として厚さ35
μmの銅箔(11)と、絶縁層として厚さ25μmの接
着剤(12)とを重ね合わせ、所望のコイル形状に応じ
た中心軸(13)に成形しながら巻付けて巻回体(14
)を作製した。
次に、加熱炉中で上記巻回体(14)を150°Cで加
5Jり処理し、iトコ箔(11)間の接着剤(12)を
完全に硬化させた。
続いて、上記を同体(14)を切断加工機の加工台(1
5)に取りイ;1け、第5図に示すように中心軸(13
)の長手方向(軸心方向)に所定の凹陥で配置される円
盤を加工電極兼研削砥石(16)として、hカロエ電極
(16)よりパルス電源を与えるとともに、該i1D工
電極(16)を回転させながら放電切削加工機により巻
回体(] 4 ”を切断した。
本実施例では、20.へ、40〜50Vの電源を用い、
ピーク電流10Δでパルス1唱がオン3μSeC、オフ
6μsecのパルス電源を与えた。
最後に加熱炉にて加工液を02模させ、第60に示すフ
ラットコイル(17)を得た。
得られたフラットコイル(17)は、銅箔(11)と接
着剤(12)との積層状態が極めて藩く、しかも緻密な
ものであり、偏平モータ用コイルとして有用なものとな
る。
さらに、本発明者等は、上記機械的研削と放電加工とを
重畳した切断方法による切断面を顕微鏡により観察した
ところ、第7図に示すように、接着剤(12)が銅箔(
11)よりも突出した状態となっており、積層される各
銅箔(11)間の絶縁は完全に保たれていた。同時に切
断面は、砥石により研磨したように非常に整った面であ
った。
〔発明の効果〕
以上の説明からも明らかなように、本発明では導体薄膜
間に絶縁層を挟んだ多I3構造の積層体を機械的研削と
放電力U工とを重畳して切断しているため、各切断方法
の利点が助長され、積層体の切断面のパリやダレ及び変
形がなく、また絶縁層が導体薄膜よりも突出した状態と
なって導体薄膜間の絶縁性が確保され、短絡等の不良の
発生がほとんど起こらない、従って、この11の積層体
を信頼性高く切断することが可能である。
また、本発明によれば、非常に短時間に切断することが
可能になり、しかも大量の積層体を一括して切断処理す
ることが可能であるため、生産性の面でも優れたものと
なる。
さらに本発明は、極めて簡単な方法であるので、実用的
価値は高いといえる。
【図面の簡単な説明】
第1図ないし第30は本発明を適用した切断方法の一例
を示すもので、第1図は積層体の構成を示す概略断面図
、第2図は切断加工工程を示す概略図、第3図は切断し
た積層体の切断面近傍を示す概略断面図である。 第4図ないし第7図は本発明の切断方法をフラットコイ
ルの作製に通用した例を示すもので、第4図は銅箔の巻
付は工程を示す概略斜視図、第5図は切断工程を示す概
略図、第6回は得られるフラットコイルの外観斜視図、
第7図は第6図A−A線における概略的な拡大断面図で
ある。 1・・・導体gJ膜 2・・・絶縁層 3・・・積層体 特許出願人 ソニーケミカル株式会社 代理人  弁理士   小池  見 回    田村 榮− 第1図 第2図 第3図 第6図 第5図 第7図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 導体薄膜間に絶縁層を挟んだ多層構造の積層体を切断す
    るに際し、 機械的研削と放電加工とを重畳して切断することを特徴
    とする積層体の切断方法。
JP21166486A 1986-09-10 1986-09-10 積層体の切断方法 Pending JPS6368320A (ja)

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JPS6368320A true JPS6368320A (ja) 1988-03-28

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ID=16609549

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105171149A (zh) * 2015-10-28 2015-12-23 哈尔滨工业大学 一种防钛火涂层的高能微弧火花数控化沉积方法
CN105345179A (zh) * 2015-11-16 2016-02-24 四川明日宇航工业有限责任公司 一种钛合金材料电铣削加工方法
CN107008981A (zh) * 2017-05-17 2017-08-04 深圳大学 微沟槽电火花加工工具电极及其制备方法

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