JPS6366821A - 陰極線管の排気方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は陰極線管の排気方法に係り、特に、ゲッターフ
ラッシュ時に発生するグロー放電が解消できるよう排気
中にゲッターの予備加熱を行なうようにした陰極線管の
排気方法に関するものである。

〔従来の技術〕

従来の排気方法では、陰極線管内に装着されているゲッ
ターはバルブの加熱温とほぼ同じ最高温度で約４００’
Ｃまでしか加熱されず、ゲッター内部に包含されている
ガスは十分に出しきれない状態である。この状態にある
ゲッターを真空封着後にフラッシュする時に、前記の包
含されたガスが多量に発生し、管内の真空度が外部供給
される高周波エネルギーでグロー放電が発生している。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来技術ではゲッターフラッシュ時に発生するガス放出
量については何の弊害もないため、何の配慮もされてい
なかった。

しかし、近年になって実装ランニング時に発生するスパ
ーク電流を小さくするため、内装黒鉛の内部抵抗を大き
くさせる必要があり、内装黒鉛の成分が変わってきた。

このため、従来の内装黒鉛のガス吸着能力に比較して減
少してきたことにより、ゲッターフラッシュ直前の管内
の真空度が悪くなり、上記のゲッターからのガス放出と
重なって、ゲッター加熱のための高周波エネルギーによ
りグロー放電が発生するようになった。

本発明の目的は、ゲッターフラッシュ時にゲッターから
放出するガス量を減少させて、グロー放電させないよう
にすることにある。

〔問題点をＭ決するための手段〕

上記目的は、ゲッターに包含されているトータルガス量
を減少させることにより達成されるはずである。

しかし、メーカーサイドでは、ゲッター製作技術上、ト
ータルガス量を減らすことは非常に難しい。

このため、排気プロセスにおいて上記の目的を達成する
ことを試みた。

その結果、上記の目的は、排気中において、チップオフ
前（真空封着前）にゲッターを適正温度（ゲッターフラ
ッシュさせない温度）に加熱して、ゲッターの中に含ま
れているガスを放出させ、真空ポンプ（Ｄ−Ｐ＋Ｒ−Ｐ
）により管外に排出させることにより達成される。

〔作用〕

本発明によれば、排気工程中、チップオフ前に、　　ゲ
ッターを予備加熱してゲッター中に含まれている不要ガ
スを予め放出させてしまうことにより、チップオフ後の
ゲッターフラッジユニ程においてゲッター自体から放出
されるガスが大幅に減少し、したがって、高周波加熱に
よるゲッターフラッシュ時にグロー放電が発生すること
を防止できる。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図、第２図により説明す
る。

第１図（ａ）は、排気炉中において、カラーブラウン管
２中に設けられたゲッター４を予備加熱するため、排気
カート１にゲッター加熱用のコイル３を取り付けた概略
図である。第１図（ｂ）はカラーブラウン管を断面図示
して示している。

この状態で排気炉（図示せず）中に投入する。

これ以後カラーブラウン管２は加熱され、通常の排気プ
ロセスとして、電極焼き、活性化、電熱チップオフのプ
ロセスがある。

本実施例によれば、活性化と電熱チップオフの中間で、
高周波発振器５により、ゲッター加熱コイル３に高周波
電流を流し、カラーブラウン管の電子銃に装着されてい
るゲッター４を加熱し、ゲッター内に吸蔵されているガ
スを出来る限り放出させる。

そして、この放出ガスを真空排気管６を通して排出し、
かくしてカラーブラウン管２の排気工程は完了する。

第２図は、排気中の真空度変化を示したものであり、同
図中、イは電極焼き時のガス放出を示し、口は陰極炭酸
塩の分解時のガス放出を示し、ハがゲッター予備加熱時
のガス放出を示している。なお、二はチップオフ時のガ
ス放出を示している。

すなわち、チップオフ前のゲッターの予備加熱によりゲ
ッター中に吸蔵されているガスを放出させることにより
、ゲッター中に含まれているガスの量を減少させておく
。

ついで、チップオフ後ゲッターは再度加熱されてゲッタ
ーフラッシュされるが、ゲッターは既に予熱加熱されて
いるため、この時発生するガス放出量は少なくグロー放
電の異常現象が回避できる。

予備加熱条件としては、管内真空度が１０′″’ＴＯｒ
ｒ〜１０−Ｂ丁Ｏｒｒにおいて行なうのがよく、できれ
ば１０−δ〜１０−６において行なうのが望ましい。ま
た、加熱温度はゲッターがフラッシュしない範囲で高け
れば高いほど良いが、実用温度範囲としては５００℃〜
７００℃が望ましい。

〔発明の効果〕

本発明によれば、ゲッターフラッシュ時に発生する総ガ
ス放出量が減少できるので、ゲッターフラッシュ時に発
生するグロー放電が回避でき、このため、この異常現象
による、ファンネルクラック、ゲッターサポートの溶断
を皆無にできる。

又、ゲッターに内蔵されているガスを管外に排出してい
るため、ゲッターにガス吸着される負担が軽減でき、寿
命を含むエミッション特性が良くなる効果も期待できる
。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）、（ｂ）は本発明の一実施例である排気炉
中でゲッターの予備加熱をするための排気カートの構成
を示す概略図、並びにブラウン管の中のゲッターと加熱
コイルとの位置関係を示す説明用断面図、第２図は排気
中における管内真空度の変化状態を示す曲線図である。 １・・・排気カート、２・・・カラーブラウン管、３・
・・ゲッター加熱コイル、４・・・ゲッター、５・・・
高周波発振器、６・・・真空排気時間（Ｔ）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、陰極線管の排気中において、陰極線管内に装着され
   ているゲッターを高周波加熱方法により脱ガスのための
   予備加熱を行なうことを特徴とする陰極線管の排気方法
   。