JPS6365478A - 表示装置及びその製造方法 - Google Patents

表示装置及びその製造方法

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JPS6365478A
JPS6365478A JP62220531A JP22053187A JPS6365478A JP S6365478 A JPS6365478 A JP S6365478A JP 62220531 A JP62220531 A JP 62220531A JP 22053187 A JP22053187 A JP 22053187A JP S6365478 A JPS6365478 A JP S6365478A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、陰極線管、液晶表示装置及び固体エレクト
ロルミネセンス表示装置のような表示装置及びその製造
方法に関し、特に受像スクリーンの反射率の低減に関す
る。
表示装置は、種々の照明条件下に見ることができねばな
らない。しかし、装置に表示されるイメージの明るさに
は限度があるので、高強度の周囲光レベルの条件下でさ
え明瞭に見うる画像を視聴者に提供するようにコントラ
ストをできるだけ高くしなければならない。したがって
、表示装置製造業者は、このような装置のコントラスト
を増加させるように努力し、一つの技術は、ガラスが４
．９％の反射率を有するガラスフェースプレートにより
反射される周囲光の量を減少させることである。
人間の目の感度（第３図参照）は、約５５０ｎｍ　（ナ
ノメートル）にピーク感度を有し４００ｎｍより下及び
７００ｎｍより上ではゼロまで減少するので、これが関
心のあるスペクトル部である。
陰極線管フェースプレートからの反射率の減少に関する
従来の提案があった。欧州特許公告第０１３１３４１号
明細書（ＰＨＮｌｏ、７３７）には、陰極線管フェース
プレートの外表面を機械的に粗面化し、λ／４の厚さの
フッ化マグネシウム（ＭｇＦ　ｚ）単層を蒸着させる方
法が開示される。ここでλはピーク感度波長、すなわち
約５５０ｎｍである。空気、ガラス及びＭｇＦ　ｔの屈
折率は、それぞれ１．０．１．５７及び１゜３９である
。このような配置は、フェースプレートでの反射率を減
少させるけれども、次の不利益点を伴う、（１）反射率
の減少は、ピーク感度波長で最大であり、このピーク感
度波長の両側で次第に小さくなる。（２）必要な程度の
硬さを有する層を得るためには、ＭｇＦ　ｚを加熱基板
上に付着させねばならない。代表的に、基板、すなわち
フェースプレートの最低温度は、２００°Ｃであるが、
２５０°Ｃの温度が好ましい。フェースプレートの加熱
は、真空下に行うので、熱伝達は輻射により、これは遅
（約１時間を要する。いっそう低い温度でＭｇｈｉｉを
蒸着させることは可能は可能であるが、これらの層は、
反射防止コーティングとして有用な、必要な程度の硬さ
を存しない。このような層は、蒸着後、焼なましによっ
て更に硬くすることはできない。
説明及び特許請求の範囲は、低、中位及び高屈折率（ｎ
）を有する材料に言及する。これらの相対用語は、光学
的に透明なフェースプレートバネルを形成する材料、例
えばガラス、の屈折率と関係がある。ｎ＝１．５を有す
るガラスに対して、ｎに対する低い値は１．５以下であ
り、ｎに対する中位の値は１．５０より太きく１．８０
より小さい範囲内にあり、ｎに対する高い値は１．８０
以上である。
反射防止コーティングの反射率特性曲線は、スペクトル
の可視部においてそれがほとんど一定の値、理想的には
ゼロを有するようであるべきである。レーザーの場合、
フェースプレートに適用される比較的高い屈折率を有す
る第１層と、比較的低い屈折率を有する隣接する第２層
とをそなえる干渉フィルタを用いることが知られている
。このような配列は、■−コーティングとして知られる
が、これは、反射特性曲線がレーザー光の波長で頂点（
ｖｅｒ　ｔａｘ）又は最小反射を有する、−ｉにＶ字形
をなすからである。■−特性曲線の側部は、中位の屈折
率を有する、Ａ　１　ｚ（ｈのような、材料の第１層と
、比較的高い屈折率を有する、ＴｉＯ２のような、材料
のいっそう厚い隣接第２層と、第２Ｎより厚さが薄く、
比較的低い屈折率を有する、ＭｇＦｔのような、材料の
、隣接する第３層とをそなえる３層干渉フィルタを用い
て修飾することができる。このコーティングは、二つの
最小、中心波長の両側に一つずつ、があるいっそう幅の
広い特性曲線を有するので、Ｗ−コーティングとして知
られている。知られている限りでは、このような反射防
止コーティングは、必要な程度の硬さと耐引っかき性を
得るために約３００　’Ｃに加熱した基板上に蒸着され
る。これらの層をつくるのに用いられる材料は、引き続
（焼なましによって硬くすることはできない。
この発明の目的は、処理容器内にわたる周囲温度より高
く基板（すなわちフェースプレート）を特別に加熱する
必要がない方法によって表示装置上に引っかき抵抗のあ
る反射防止コーティングを提供することである。
この発明に従って、周囲温度にある蒸着装置内でフェー
スプレートパネル上に少なくとも３Ｎのフィルタ層を真
空蒸着させることによりコーティングを設け、しかも前
記層の一つの層の材料がフェースプレートパネルの材料
の屈折率に関して高い屈折率を有し、前記層の別の一つ
の層の材料がフェースプレートパネルの材料の屈折率に
関して低い屈折率を有し、前記層を構成する材料が蒸着
後中程度の硬さを有するようにし、次いで前記層を蒸着
装置の外で高温での焼なましにより硬くすることにより
フェースプレートパネルの外表面上に硬くした反射防止
コーティングを設けることを特徴とする表示装置の製造
方法を提供する。
許容しうる反射防止コーティングは、３層で構成しうる
けれども、材料選択への依存度をいっそう小さくするた
めには、コーティングが４層以上から成ることが好まし
い。
五酸化ニオブ（Ｎｂ２Ｏ５）　、酸化ケイ素（ＳｉＯｚ
）及び酸化アルミニウム（Ａ　ｆ　、０３）のような材
料を選択することにより、真空蒸着容器内にわたる８０
°Ｃの程度の周囲温度でこれらを蒸着させて中程度の硬
さの層を生成させ、次いでこれを蒸着容器の外で高温で
焼なましすることにより高度の硬さを有するようにする
ことができる。基板（すなわちフェースプレート）を加
熱しなければならぬことを避けることにより真空中での
加熱時間を省（ことができる。更に、焼なまし段階が陰
極線管の通常の加工の一部分である場合、この時間の節
約は、有効になる。
このようにして反射防止コーティングを生成させること
は、はとんど又は全くひび割れのないフィルタ層を生成
させることであることを確かめた。
所要に応じて、フェースプレートの外表面は、フェース
プレートの正反射率を低減するために機械的に粗面化す
ることができる。
反射防止４Ｎコーテイングの一例において、フェースプ
レートに設けられる第１及び第２Ｎは、最外層より各薄
い。第１層は、高屈折率を有し、Ｎｂ２Ｏ５より成って
よい。最外層は、いかなる場合にも１．４〜１．８の屈
折率を有する材料より成る第２層と同様に５ｉＯｚで構
成することができる。
この発明に従って製造される表示装置のこの例において
は、４層反射防止コーティングの第１及び第２層は、各
λ／８の程度の厚さを有し、第３層は、λ／２の程度の
厚さを有し、最外層は、λ／４の程度の厚さを有する。
ここでλは、目の感度曲線から選ばれる望ましい中心波
長に等しい。
また、この発明は、光学的に透明なフェースプレート及
びフェースプレートの外表面上に反射防止コーティング
をそなえ、該反射防止コーティングが焼なましにより硬
くされた少なくとも３層の蒸着層から成り、前記層の一
つの層の材料がフェースプレートの材料の屈折率に関し
て高い屈折率を有し、前記層の別の一つの層の材料がフ
ェースプレートの材料の屈折率に関して低い屈折率を有
する表示装置にも関する。
表示装置は、カラー陰極線管、中心波長かけいりん光体
の波長である投写形テレビジョン管（ＰＴＶ管）、デー
タグラフィックディスプレイ（Ｄ、Ｇ、Ｄ、）管又はオ
シロスコープ管のような陰極線管を含むことができる。
以下、この発明を図面を参照して例により説明する。
図面において、対応する符号は、同様な特徴を示す。
第１図に示す陰極線管は、円錐部１２に結合する光学的
に透明なフェースプレートパネル１０により形成される
エンベロープをそなえ、ネック部１４が円錐部１２に結
合される。電子銃１６をネック部１４内に配設する。陰
極ルミネセンススクリーン１８をフェースプレートパネ
ル１０の内側に設ける。反射防止コーティング２０を、
酸化鉛（ＰｂＯ）をほとんど含まない混合アルカリガラ
スで構成されるフェースプレートパネル１０の外表面上
に設ける。電子銃１６により発生された電子ビーム（図
示せず）は、エンベロープのネック部−円錐部の遷移部
に設けた偏向コイル組立２２によりスクリーン上に走査
される。
説明した陰極線管は、単色管、ＰＴＶ管又はオシロスコ
ープ管を含むことができる。しかし、この発明は、フェ
ースプレートの外表面からの反射率を減少することによ
りイメージのコントラストを増加させるのに主として向
けられるので、シャドーマスクの表示管又は任意の他の
表示装置に適用することができる。
第２図に示すフェースプレート構造及び反射防止コーテ
ィング２０は、比例して描かれてはいない。
図示の反射防止コーティング２０は、真空蒸着により周
囲温度でフェースプレートパネル１０上に設けられた四
つの隣接する層２６．２８．３０．３２より成る。
層２６〜３２は異なる厚さを有し、層２６及び３０は、
ＮｂｔＯｌのような比較的高い屈折率を有する材料から
成り、層２８及び３２は、ＳｉＯ□のような比較的低い
屈折率を有する材料から成る。層２６〜３２の各の正確
な厚さは、各層の材料の屈折率、ｎ、と必要な光学的性
能を考えて選択されるけれども、層２６゜２８の各の厚
さは、λ／８の程度であり、層３０の厚さはλ／２の程
度であり、層３２の厚さはλ／４の程度である。ここで
λは、第３図に示す目の感度曲線から選ばれた所望の中
心波長に等しい。異なる厚さの層を有することの一つの
利点は、干渉効果が減少されることである。Ｎｂ２Ｏ５
及びＳｊＯ□のような材料は、加熱されないフェースプ
レートパネル１０上に８０°Ｃの程度の周囲温度で蒸着
される場合、中位の硬さの層を形成する。しかし、Ｍｇ
Ｆ　ｚのような材料と異なって、これらの層は、次に高
温焼なましによって硬くしてこれらに耐引っかき性を付
与することができる。
このような４層コーティングの加工では、Ｎｂ２Ｏ５層
をガラス上に付着させ最外低屈折率層をＳｉｎ、で構成
するのが望ましいことを確かめた。しかし、このような
配列は、不可欠ではない。
第２層２８は、八１−ｚ（ｈ　、ＭｇＯ又はＣｅ０２を
含む種々の材料のようなＳｉＯ□と異なる材料で構成す
ることができる。この層の材料の選択基準の若干は、そ
れが１．４〜１，８の屈折率を有すること及びそれが比
較的硬い層として蒸着され、次いでこの層が焼なましに
よりいっそう硬い層になることができることである。
第３図は、人間の目の感度曲線３４である。横軸は、ナ
ノメートル（ｎｍ）で表した波長、λであり、縦軸は、
任意の単位で目盛られる。曲線は、一般にガウス型で約
５５０ｎｍにピーク値を有する。
第４図は、百分率で表したガラスの反射率（Ｒ）及び１
．２又は３層のフィルタ層を有するコーティングの反射
率を波長、λ、に対して示したグラフである。ガラスの
反射率は、４．９％の反射率値を有する水平線３６によ
り示される。
少なくとも目が怒じる波長範囲にわたって反射を除くた
めには、反射防止コーティングは、理想的に破線で示す
長方形特性曲線３８を有する。代表的な単層反射防止コ
ーティングは、約５５０ｎｍに最小反射率値を有する一
点鎖線で示される特性曲線３９を有する。代表的な２層
■−コートフィルタ特゛性曲線は、二点鎖線４０で示さ
れ、波長の狭い範囲で最小又はゼロ反射率を有し、この
ことは、このような反射防止コーティングをレーザーに
使用するのに好適にする。３１？ｉｉＷコーテイングの
特性曲線は、線４２で示される。第３層の存在は、■特
性曲線４００側部を横に引っ張って理想的な特性曲線に
いっそう近い曲線を生じさせる効果を有する。
４層以上を与えることにより得られる反射率曲線は、長
方形に近イ以してくる。４層コーティングの場合、層厚
さは、ガラス基板から始めてλ／８、λ／８、λ／２及
びλ／４の程度である。
第５図は、この発明に従う方法によりつくられた４筋反
射防止コーティングの反射率（Ｒ）のグラフである。反
射防止コーティングは、フェースプレートパネルに付着
した、高屈折率（２，１４）と光学ｙ７さくｎ、ｄ、／
λ）　０．０７９を有する、Ｎｂ、Ｏ５の第１層と、低
い屈折率（１，４３）と光学厚さ０．０９２を有する、
５ｉ（ｈの第２層と、０．５７７の光学厚さを有する、
Ｎｂ２Ｏ５の第３層と、０．２４９の光学厚さを有する
、ＳｉＯ□の最外層とから成る。
第６図は、この発明に従う方法でつくられた７層反射防
止コーティングの反射率（Ｒ）のグラフである。コーテ
ィングは、Ｓｉｎ、とＮｂ、Ｏ，の交互層より成り、焼
なまし後のそれぞれの屈折率（ｎ）は、１．４５及び２
．１０である。最内層と最外層は、５ｉ０２である。コ
ーティング構造とそれぞれの層の光学厚さは、次の通り
である。
（ｎｄ／λ） ガラス 層Ｉ　　　５ｉＯｚ　　　　　０．５３４２　　　　Ｎ
ｂ２Ｏ５　　　　　　０．０５９３　　　５ｉＯｚ　　
　　　　　０．１１９４　　　　Ｎｂ２Ｏ５　　　　　
　０．４９１５　　　　Ｓ＋０２　　　　　　０．４３
５６　　　　Ｎｂ２０５０．３７６ ７　　　５ｉｆｔ　　　　　　　０．１９３空気 図示の曲線は、第５図に示す曲線より平らであり、特定
される波長範囲にわたって反射率が１％未満であり、こ
の点で理想曲線３８にいっそう近づく。
３層反射防止コーティングの場合、典型的なフィルタは
、０．２５の光学厚さを有する、Ａ　ｌ　ｚｏ＋　（ｎ
＝１．６３）の第１層と、０．５０の光学厚さを有する
、Ｎｂ２Ｏ５の第２層と、０．２５の光学厚さを有する
、５ｉＯｚの第３層の最外層とを有する。
第７図は、その中で反射防止コーティングのフィルタ層
をフェースプレートパネル１０上に付着させる蒸着装置
の例を略図で説明する。装置は、回転支持体５０に取り
付けるフェースプレートパネル１０を入れたり、取り出
したりするために底板４８に対して垂直に動かすことの
できる鐘形の１４６を含４□Ｂａ１ｚｅｒｓ　ＢＡ　５
１０オプチカルコーター４４をそなえる。Ｎｂ、Ｏ５及
びＳｉＯ□のような光学材料は、Ａｉｒｃｏ−Ｔｅｍｅ
ｓｃａｌ　８　ｋＷ　４ポケツト電子銃５２により、蒸
発される。電子銃５２は、回転するフェースプレートパ
ネル１０上での均一な厚さ分布を得るために蓋４６で画
成される空間中に偏心的に配置される。
ＤＩＦＦ１９００油拡散ポンプとＤＵＯ３５回転ポンプ
で構成されるポンプ装置５４が底板４８の入口によって
蒸着装置の内部と結合される。Ｎ２に対する有効ポンプ
速度は６００ｆｆｉ／ｓで最終圧力は、５　Ｘｌ０−’
ｍｍＨｇ（トール）である。液体Ｎｚ　Ｍｅｉｓｓｎｅ
ｒ　　トラップを付着中の水に対する特別のポンプ速度
用に組み込む。
付着速度は、水晶厚さモニター５６（例えばＬｅｙｂｏ
ｌｄ　ＩＣ−６０００＞で制御される。光学層厚さｎｄ
は、鐘形蓋の窓６０を経て光をあてる光源５８をそなえ
る、オプチカルモニター、例えばダイナミック・オプチ
ックス（Ｄｙｎａｍｉｃ　０ｐｔｉｃｓ）製モニターを
用いて蒸着巾測定される。この光は、傾斜鏡６２により
反射され、回転支持体５０により支えられる監視ガラス
６４を通る。監視ガラス６４を透過した光は、モニター
の検出器６８にあたる前に単色フィルタ６６によりろ光
される。モニター５６は、選ばれた波長における透過と
その干渉効果を追跡する。
基板の清浄化中域圧下にアルゴン（Ａｒ）と酸素（０□
）の混合物を、また蒸着中のみ酸素を導入するために蓋
４６に入ロア２を設ける。アルミニウム棒７４は、Ｍ２
Ｒの内側で固定され、基板清浄化段階中グロー放電を行
うために電源ユニット７６に接続される。
この装置によって方法を実施する場合、フェースプレー
トパネル、これは参考のためにあげる欧州特許公告第０
１３１３４１号明細書に開示される方法により外表面を
機械的に粗面化しておいてもよい、を回転支持体５０に
取り付ける。鐘形蓋４６を底板５０上に下ろす。
最初、系は、５　ＸＩＯ”６ｍｍＨｇ　（トール）の程
度の圧力に真空排気される。次いで、フェースプレート
パネルを、９０％Ａｒ／１０％０□の雰囲気中１０−１
〜１０−”＋ｎ＋ｎ１１ｇ　（トール）の圧力でグロー
放電を用いて清浄化する。グロー放電電流は、１００ｍ
Ａの程度であり、清浄化操作は、１５分間続けられる。
次いで、蒸着段階をＮｂ２Ｏ５から始めて３Ｘ１０−’
ｍ＋ｎ）ｔｇ（）−ル）の酸素分圧下０．７　ｎｍ／　
５　（ナノメートル７秒）の速度で実施する。実際の厚
さを厚さモニター５６で監視して所望厚さのＮｂ２Ｏ５
が付着すると、電子銃５２をＳｉＯ□に切り替え、Ｓｉ
ｎ、を３×１０−’ｍｍＨｇ　（トール）の酸素分圧下
にｌｎｍ／ｓの速度で付着させる。蒸着段階が完了すれ
ば、蒸着装置に通気し、フェースプレートパネルを取り
出す。
次いで、コーティング２０の焼なましを４５０°Ｃの温
度で空気巾約１．５時間行う。陰極線管製造に要する時
間を節約する見地から、陰極線管の通常の加工中にコー
ティングを焼なましすることが有利である。
焼なましは、層を硬くするだけでなく、それらの屈折率
をも変化させる。したがって、反射防止コーティングを
設計する場合、性能規格は、焼なまし後のフィルタコー
ティングに関していなければならない。
コーティング２０は、少なくとも３Ｎより成ることがで
きるけれども、４層以上の方が材料選択性がいっそう大
きいためにいっそう実際的な反射防止コーティングを与
える。
【図面の簡単な説明】
第１図は、壁の一部を取り除いて示した陰極線管の立面
図、 第２図は、反射防止コーティングを上に有するフェース
プレート構造の一部を通る断面略図、第３図は、人間の
目の感度曲線を示すグラフ、第４図は、種々の型の反射
防止コーティングの性能を説明するのに有用な多数の反
射率曲線を示すグラフ、 第５図及び第６図は、この発明に従う方法によりつくっ
た、それぞれ４及び７層を有する反射防止コーティング
の反射率を示すグラフ、第７図は、この発明に従う方決
を実施する装置の線図である。 １０・・・フェースプレートパネル １２・・・円錐部　　　　　　１４・・・ネック部１６
・・・電子銃 １８・・・陰極ルミネセンススクリーン２０・・・反射
防止コーティング ２２・・・偏向コイル組立　　２６・・・第１Ｎ２８・
・・第２層　　　　　３０・・・第３層３２・・・第４
Ｎ３４・・・人間の目の感度曲線３６・・・ガラスの反
射率　　３８・・・理想的長方形特性曲線３９・・・単
層反射防止コーティング特性曲線４０・・・２層反射防
止コーティング特性曲線４２・・・３層反射防止コーテ
ィング特性曲線４４・・・オプチカルコーター ４６・・・鐘形の蓋　　　　　４８・・・底板５０・・
・回転支持体　　　　５２・・・電子銃５４・・・ポン
プ装置　　　　５６・・・水晶厚さモニター５８・・・
光源　　　　　　６０・・・窓６２・・・傾斜鏡　　　
　　　６４・・・監視ガラス６６・・・単色フィルタ　
　　６８・・・検出器７２・・・入ロア４・・・アルミ
ニウム棒７６・・・電源ユニット 特許出願人　　　エヌ・ベー・フィリップス・フルーイ
ランペンファブリケン 嘴１ ＬＬ　　　　　　　　　　　　ＬＬ ｉ〜 口 す く ζ ＼巴、−− シ ８◆−一 〆−一一

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、光学的に透明なフェースプレート及びフェースプレ
    ートの外表面上に反射防止コーティングをそなえ、該反
    射防止コーティングが焼なましにより硬くされた少なく
    とも３層の蒸着層から成り、前記層の一つの層の材料が
    フェースプレートの材料の屈折率に関して高い屈折率を
    有し、前記層の別の一つの層の材料がフェースプレート
    の材料の屈折率に関して低い屈折率を有する表面装置。 ２、高い屈折率の材料がＮｂ＿２Ｏ＿５である特許請求
    の範囲第１項記載の表示装置。 ３、低い屈折率の材料がＳｉＯ＿２である特許請求の範
    囲第１項又は第２項記載の表示装置。 ４、フェースプレートの外表面を機械的に粗面化する特
    許請求の範囲第１項、第２項又は第３項記載の表示装置
    。 ５、コーティングが４層より成り、第１及び第２層がλ
    ／８の程度の厚さを有し、第３層がλ／２の程度の厚さ
    を有し、最外層がλ／４の程度の厚さを有し、λが所望
    の中心波長に等しい特許請求の範囲第１〜４項のいずれ
    か一つの項に記載の表示装置。 ６、フェースプレートが陰極線管のフェースプレートパ
    ネルであってフェースプレートの材料がほとんど酸化鉛
    （ＰｂＯ）を含まない混合アルカリガラスより成る特許
    請求の範囲第１〜５項のいずれか一つの項に記載の表示
    装置。 ７、周囲温度にある蒸着装置内でフェースプレートパネ
    ル上に少なくとも３層のフィルタ層を真空蒸着させるこ
    とによりコーティングを設け、しかも前記層の一つの層
    の材料がフェースプレートパネルの材料の屈折率に関し
    て高い屈折率を有し、前記層の別の一つの層の材料がフ
    ェースプレートパネルの材料の屈折率に関して低い屈折
    率を有し、前記層を構成する材料が蒸着後中程度の硬さ
    を有するようにし、次いで前記層を蒸着装置の外で高温
    での焼なましにより硬くすることによりフェースプレー
    トパネルの外表面上に硬くした反射防止コーティングを
    設けることを特徴とする表示装置の製造方法。 ８、高い屈折率の材料がＮｂ＿２Ｏ＿５より成る特許請
    求の範囲第７項記載の方法。 ９、低い屈折率の材料がＳｉＯ＿２より成る特許請求の
    範囲第７項又は第８項記載の方法。 １０、フェースプレートの外表面を機械的に粗面化する
    特許請求の範囲第７〜９項のいずれか一つの項に記載の
    方法。 １１、前記層の焼なましを表示装置の通常の加工中に行
    う特許請求の範囲第７〜１０項のいずれか一つの項に記
    載の方法。 １２、フェースプレートがほとんど酸化鉛（ＰｂＯ）を
    含まない混合アルカリガラスより成る特許請求の範囲第
    ７〜１１項のいずれか一つの項に記載の方法。 １３、四つのフィルタ層をフェースプレートパネル上に
    付着させ、フィルタ層の一つおきの層を高屈折率を有す
    る材料とし、残りを低屈折率を有する材料とし、フェー
    スプレートパネルに付着する第１層が高屈折率を有する
    ようにする特許請求の範囲第７〜１２項のいずれか一つ
    の項に記載の方法。 １４、第２層の材料が１．４〜１．８の範囲内の屈折率
    を有する特許請求の範囲第１３項記載の方法。 １５、前記層の各の厚さが蒸着される材料の屈折率に関
    係し、４層反射防止コーティングの場合、第１及び第２
    層が各λ／８の程度の厚さを有し、第３層がλ／２の程
    度の厚さを有し、最外層がλ／４の程度の厚さを有し、
    ここでλは所望の中心波長に等しい特許請求の範囲第１
    ３項又は第１４項記載の方法。
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